JP2888520B2 - 光情報記録媒体 - Google Patents
光情報記録媒体Info
- Publication number
- JP2888520B2 JP2888520B2 JP62272398A JP27239887A JP2888520B2 JP 2888520 B2 JP2888520 B2 JP 2888520B2 JP 62272398 A JP62272398 A JP 62272398A JP 27239887 A JP27239887 A JP 27239887A JP 2888520 B2 JP2888520 B2 JP 2888520B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- optical information
- information recording
- gete
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 19
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- 229910005900 GeTe Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GPMBECJIPQBCKI-UHFFFAOYSA-N germanium telluride Chemical compound [Te]=[Ge]=[Te] GPMBECJIPQBCKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical group [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PENWSUJUKOTMCU-UHFFFAOYSA-N [Sn].[Pb].[Ge] Chemical compound [Sn].[Pb].[Ge] PENWSUJUKOTMCU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IWTIUUVUEKAHRM-UHFFFAOYSA-N germanium tin Chemical compound [Ge].[Sn] IWTIUUVUEKAHRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、光ビームを用いて情報が記録再生される光
情報記録媒体に関するものである。 (従来の技術) 化学量論組成のテルル化ゲルマニウム(Ge50Te50)及
び化学量論組成のテルル化ゲルマニウムのゲルマニウム
を錫あるいは鉛で置換したテルル化ゲルマニウム錫(Ge
50−xSnxTe50)、テルル化ゲルマニウム鉛(Ge50−yPby
Te50)、テルル化ゲルマニウム錫鉛(Ge50−x−y−Sn
xPbyTe50)(以下これらの材料をGeTe系材料と記す)
は、光記録材料として記録感度が高く再生信号の信号対
雑音比を大きくすることができる好適な材料である。 (発明が解決しようとする問題点) さて、光情報記録媒体は、データの長期保存の目的に
使用されることがあり、高温高湿の環境下に放置されて
も記録材料の変化がなく、記録データを正確に読み書き
できることが必要である。 GeTe系材料はかかる点についてみるとその薄膜は高温
高湿の環境下において徐々にではあるが酸化,腐食し、
反射率や透過率という光学的性質が変化する現象があ
る。 従来は、GeTe系薄膜に酸化物、窒化物等の無機薄膜を
非着させて保護膜とし、高温高湿環境下におけるGeTe系
薄膜の劣化を防止していたが、この方法によると、上記
保護膜作製に長時間を要したり、光情報記録媒体作製工
程の複雑化や媒体製造価格の上昇を招くという欠点があ
つた。 本発明は上記欠点を解消し、GeTe系薄膜の高温高湿環
境下における酸化,腐食を防止し、長時間にわたり安定
して情報を記録再生できる光情報記録媒体を提供するこ
とを目的としている。 (問題点を解決するための手段) GeTe系薄膜にCrを2原子パーセント以上、15原子パー
セント以下添加した薄膜を記録膜としている。 (作用) 本手段による作用を以下に説明する。 GeTe系材料は菱面体構造の結晶からなるが、GeとTeの
原子半径の差が大きいため結晶格子内には他の原子が侵
入することのできるすきまが存在する。GeTe系薄膜が高
温高湿の環境下におかれると酸素原子がこのすきまに侵
入し、Ge−Te,Ge−Ge,Te−Te結合を切断し、GeO2,Te
O2となつて薄膜を徐々に酸化させる。ところが本発明に
よるCrが添加されたGeTe系薄膜においては、Crによつて
あらかじめGe−Te結晶内のすきまが埋められているため
に酸素は侵入しにくい。また、わずかに侵入した酸素は
Crと結合しCrO2となつて不動態を形成し酸素の侵入を阻
止するので、GeTe系薄膜は酸素の侵入による劣化から保
護され、高温高湿の環境下に長時間置かれても記録材料
としての性質に変化が生じない。 (実施例) 第1図は本発明による光情報記録媒体の一実施例を示
したものである。即ち、11はポリカーボネート基板であ
り、その上に記録薄膜として、Crが添加されたGeTe系薄
膜12を有している。更に、該薄膜上には傷や埃を防止す
るための樹脂保護膜13を積層した。ここで基板11はポリ
カーボネートに限ることなく従来から公知のPMMA,ポリ
オレフイン,エポキシ等のプラスチツク板,ガラス板,A
l等の金属板等を使用できる。 Crが添加されたGeTe系薄膜は蒸着およびスパツタリン
グ法で作製する。蒸着法では、CrとGeTe系材料の2源同
時蒸発で各蒸発源からの各材料の蒸発速度を制御してCr
の添加量を調節する。スパツタリング法においては、Ge
Te系材料からなるターゲット及びCrターゲツトからの同
時スパツタリング、あるいはGeTe系材料にCrを添加した
ターゲツトからの一源スパツタリング、あるいはGeTe系
材料のターゲツトにCrチツプを載置し一源スパツタリン
グにて作製する。Cr添加量はそれぞれスパツタリング電
力,ターゲツト内のCr含有量、ターゲツト上のCrチツプ
量にて調節を行う。 本実施例によるデイスク状光情報記録媒体にレーザー
ビームを照射し回転数1800rpmで周波数1MHzの信号を記
録し、その後JIS C5024M−1の温湿度サイクル試験を行
つたときのビツト誤り率の変化を第2図に示す。なお、
本試験での1サイクルは通常の環境下では1年に相当す
る。 第2図からも明白なように、本実施例によるGeTe系材
料にCrを添加した薄膜を記録膜とする光情報記録媒体は
Crの添加されていない従来のGeTe系薄膜を記録膜とする
光情報記録媒体に比べて温湿度サイクル試験後もビツト
誤り率の変化が小さいことを示している。ビツト誤り率
が初期値(0サイクルのときの値)の3倍になる時点を
媒体寿命とすると従来例の媒体寿命は3年であるのに比
べて、本実施例による光情報記録媒体はCr添加量が2原
子パーセント、5原子パーセント,8原子パーセントと大
きくなるにしたがつて媒体寿命が7年,10年,20年という
長寿命になつていることがわかる。 次にCr添加量について説明する。Crが添加されていな
いGeTe系薄膜を用いた従来例ではレーザービームを用い
て回転数1800rpmで周波数1MHzの信号を記録再生したと
き56dBの信号対雑音化(CNR)が得られる。Cr添加のGeT
e系薄膜を記録膜とした光情報記録媒体ではCr添加量が
8原子パーセントまではCNRは56dB得られる。しかし、
更にCr添加量が増すとCNRが徐々に低下しCr添加量が15
原子パーセントになるとCNRが45dBになり情報記録媒体
としての性能が低くなる。したがつてCr添加量は15原子
パーセント以下とするのが望ましい。 (発明の効果) このように本発明によれば、Crが添加されたGeTe系薄
膜を記録膜とする光情報記録媒体は、高温高湿の環境下
に放置されてもCrがGeTe系材料の酸化、腐食を防止する
ので記録材料の変化が少なく、したがつて長期間にわた
つて正確に情報を記録再生することができる。
情報記録媒体に関するものである。 (従来の技術) 化学量論組成のテルル化ゲルマニウム(Ge50Te50)及
び化学量論組成のテルル化ゲルマニウムのゲルマニウム
を錫あるいは鉛で置換したテルル化ゲルマニウム錫(Ge
50−xSnxTe50)、テルル化ゲルマニウム鉛(Ge50−yPby
Te50)、テルル化ゲルマニウム錫鉛(Ge50−x−y−Sn
xPbyTe50)(以下これらの材料をGeTe系材料と記す)
は、光記録材料として記録感度が高く再生信号の信号対
雑音比を大きくすることができる好適な材料である。 (発明が解決しようとする問題点) さて、光情報記録媒体は、データの長期保存の目的に
使用されることがあり、高温高湿の環境下に放置されて
も記録材料の変化がなく、記録データを正確に読み書き
できることが必要である。 GeTe系材料はかかる点についてみるとその薄膜は高温
高湿の環境下において徐々にではあるが酸化,腐食し、
反射率や透過率という光学的性質が変化する現象があ
る。 従来は、GeTe系薄膜に酸化物、窒化物等の無機薄膜を
非着させて保護膜とし、高温高湿環境下におけるGeTe系
薄膜の劣化を防止していたが、この方法によると、上記
保護膜作製に長時間を要したり、光情報記録媒体作製工
程の複雑化や媒体製造価格の上昇を招くという欠点があ
つた。 本発明は上記欠点を解消し、GeTe系薄膜の高温高湿環
境下における酸化,腐食を防止し、長時間にわたり安定
して情報を記録再生できる光情報記録媒体を提供するこ
とを目的としている。 (問題点を解決するための手段) GeTe系薄膜にCrを2原子パーセント以上、15原子パー
セント以下添加した薄膜を記録膜としている。 (作用) 本手段による作用を以下に説明する。 GeTe系材料は菱面体構造の結晶からなるが、GeとTeの
原子半径の差が大きいため結晶格子内には他の原子が侵
入することのできるすきまが存在する。GeTe系薄膜が高
温高湿の環境下におかれると酸素原子がこのすきまに侵
入し、Ge−Te,Ge−Ge,Te−Te結合を切断し、GeO2,Te
O2となつて薄膜を徐々に酸化させる。ところが本発明に
よるCrが添加されたGeTe系薄膜においては、Crによつて
あらかじめGe−Te結晶内のすきまが埋められているため
に酸素は侵入しにくい。また、わずかに侵入した酸素は
Crと結合しCrO2となつて不動態を形成し酸素の侵入を阻
止するので、GeTe系薄膜は酸素の侵入による劣化から保
護され、高温高湿の環境下に長時間置かれても記録材料
としての性質に変化が生じない。 (実施例) 第1図は本発明による光情報記録媒体の一実施例を示
したものである。即ち、11はポリカーボネート基板であ
り、その上に記録薄膜として、Crが添加されたGeTe系薄
膜12を有している。更に、該薄膜上には傷や埃を防止す
るための樹脂保護膜13を積層した。ここで基板11はポリ
カーボネートに限ることなく従来から公知のPMMA,ポリ
オレフイン,エポキシ等のプラスチツク板,ガラス板,A
l等の金属板等を使用できる。 Crが添加されたGeTe系薄膜は蒸着およびスパツタリン
グ法で作製する。蒸着法では、CrとGeTe系材料の2源同
時蒸発で各蒸発源からの各材料の蒸発速度を制御してCr
の添加量を調節する。スパツタリング法においては、Ge
Te系材料からなるターゲット及びCrターゲツトからの同
時スパツタリング、あるいはGeTe系材料にCrを添加した
ターゲツトからの一源スパツタリング、あるいはGeTe系
材料のターゲツトにCrチツプを載置し一源スパツタリン
グにて作製する。Cr添加量はそれぞれスパツタリング電
力,ターゲツト内のCr含有量、ターゲツト上のCrチツプ
量にて調節を行う。 本実施例によるデイスク状光情報記録媒体にレーザー
ビームを照射し回転数1800rpmで周波数1MHzの信号を記
録し、その後JIS C5024M−1の温湿度サイクル試験を行
つたときのビツト誤り率の変化を第2図に示す。なお、
本試験での1サイクルは通常の環境下では1年に相当す
る。 第2図からも明白なように、本実施例によるGeTe系材
料にCrを添加した薄膜を記録膜とする光情報記録媒体は
Crの添加されていない従来のGeTe系薄膜を記録膜とする
光情報記録媒体に比べて温湿度サイクル試験後もビツト
誤り率の変化が小さいことを示している。ビツト誤り率
が初期値(0サイクルのときの値)の3倍になる時点を
媒体寿命とすると従来例の媒体寿命は3年であるのに比
べて、本実施例による光情報記録媒体はCr添加量が2原
子パーセント、5原子パーセント,8原子パーセントと大
きくなるにしたがつて媒体寿命が7年,10年,20年という
長寿命になつていることがわかる。 次にCr添加量について説明する。Crが添加されていな
いGeTe系薄膜を用いた従来例ではレーザービームを用い
て回転数1800rpmで周波数1MHzの信号を記録再生したと
き56dBの信号対雑音化(CNR)が得られる。Cr添加のGeT
e系薄膜を記録膜とした光情報記録媒体ではCr添加量が
8原子パーセントまではCNRは56dB得られる。しかし、
更にCr添加量が増すとCNRが徐々に低下しCr添加量が15
原子パーセントになるとCNRが45dBになり情報記録媒体
としての性能が低くなる。したがつてCr添加量は15原子
パーセント以下とするのが望ましい。 (発明の効果) このように本発明によれば、Crが添加されたGeTe系薄
膜を記録膜とする光情報記録媒体は、高温高湿の環境下
に放置されてもCrがGeTe系材料の酸化、腐食を防止する
ので記録材料の変化が少なく、したがつて長期間にわた
つて正確に情報を記録再生することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による光情報記録媒体の断面図の一例を
示し、第2図は本発明による光情報記録媒体のビツト誤
り率の変化を示す図である。 11……基板、12……記録薄膜、13……保護膜
示し、第2図は本発明による光情報記録媒体のビツト誤
り率の変化を示す図である。 11……基板、12……記録薄膜、13……保護膜
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 原 敬一郎
神奈川県川崎市川崎区港町5番1号 日
本コロムビア株式会社川崎工場内
(56)参考文献 特開 昭61−217287(JP,A)
特開 昭62−30086(JP,A)
(58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名)
B41M 5/26
G11B 7/24
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 1.基体上に形成された薄膜へ光ビームを照射し情報を
記録する光情報記録媒体において、上記薄膜は化学量論
組成のGeTe或いは化学量論組成のGeTeのGeをSn及び/ま
たはPbに置換してなるGeTe系材料を主成分とし、更にCr
が添加されて成る光情報記録媒体。 2.上記薄膜中のCr含有量が2原子パーセント以上15パ
ーセント以下であることを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の光情報記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62272398A JP2888520B2 (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | 光情報記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62272398A JP2888520B2 (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | 光情報記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01116935A JPH01116935A (ja) | 1989-05-09 |
JP2888520B2 true JP2888520B2 (ja) | 1999-05-10 |
Family
ID=17513343
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62272398A Expired - Lifetime JP2888520B2 (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | 光情報記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2888520B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07115536B2 (ja) * | 1985-07-31 | 1995-12-13 | 松下電器産業株式会社 | 光学情報記録部材 |
-
1987
- 1987-10-28 JP JP62272398A patent/JP2888520B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01116935A (ja) | 1989-05-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR920002557B1 (ko) | 정보의 기록용 부재 및 그 제조방법 | |
US4725502A (en) | Information recording medium having Al-Ti alloy reflective layer | |
EP0978831A2 (en) | Optical information recording medium and method for producing the same, method for recording and reproducing information thereon and recording/reproducing apparatus | |
KR20000062984A (ko) | 정보기록매체와 그 제조방법 및 그 기록재생방법 | |
WO2007063800A1 (ja) | 光学的情報記録媒体とその記録再生方法及び記録再生装置 | |
US6432502B1 (en) | Optical recording medium and method of manufacturing the same | |
JP2001322357A (ja) | 情報記録媒体およびその製造方法 | |
JPH0380635B2 (ja) | ||
JP2834131B2 (ja) | 情報記録用薄膜 | |
JPWO2004032130A1 (ja) | 光学的情報記録媒体とその製造方法 | |
JP2888520B2 (ja) | 光情報記録媒体 | |
JP2596902B2 (ja) | 光情報記録媒体 | |
JP2001209970A (ja) | 情報記録媒体とその製造方法およびその記録再生方法 | |
JP2571557B2 (ja) | 光情報記録媒体 | |
JP2576959B2 (ja) | 光情報記録媒体 | |
JP2562427B2 (ja) | 光情報記録媒体 | |
JP2798247B2 (ja) | 光記録媒体 | |
JP2562428B2 (ja) | 光情報記録媒体 | |
JP2696754B2 (ja) | 光情報記録媒体 | |
JPS63155439A (ja) | 情報記録媒体 | |
JP2571556B2 (ja) | 光情報記録媒体 | |
JPH0422436B2 (ja) | ||
JPH01116936A (ja) | 光情報記録媒体 | |
JPS60226037A (ja) | 情報記録媒体 | |
JPS61272190A (ja) | 光記録媒体 |