JP2882414B2 - 除振台 - Google Patents
除振台Info
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- JP2882414B2 JP2882414B2 JP4031989A JP4031989A JP2882414B2 JP 2882414 B2 JP2882414 B2 JP 2882414B2 JP 4031989 A JP4031989 A JP 4031989A JP 4031989 A JP4031989 A JP 4031989A JP 2882414 B2 JP2882414 B2 JP 2882414B2
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- moving
- vibration
- pressure
- movement
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- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 電子ビーム露光装置のような移動部を伴う装置を載せ
る除振台に関し、 該装置の重心移動に起因する振動を確実に除去するこ
とを目的とし、 該台の支持部にクッション部を有するとともに、該移
動部の現在位置及び移動先位置のそれぞれにおける該支
持部に必要とされる各支持力の差を求める手段と、該各
支持力の差に応じて該クッション部に対する与圧状態を
変える手段とをそなえ、これによって予め該移動部の重
心の移動に対応するように、該クッション部への圧力補
正が行われるように構成される。
る除振台に関し、 該装置の重心移動に起因する振動を確実に除去するこ
とを目的とし、 該台の支持部にクッション部を有するとともに、該移
動部の現在位置及び移動先位置のそれぞれにおける該支
持部に必要とされる各支持力の差を求める手段と、該各
支持力の差に応じて該クッション部に対する与圧状態を
変える手段とをそなえ、これによって予め該移動部の重
心の移動に対応するように、該クッション部への圧力補
正が行われるように構成される。
本発明は、電子ビーム露光装置やステッパのような移
動部（例えばステージの移動）を伴う装置を載せる除振
台に関する。
動部（例えばステージの移動）を伴う装置を載せる除振
台に関する。
一般に電子ビーム露光装置のように高精度の位置決め
を必要とする装置では、除振台により外部の振動を除去
するように構成されている。
を必要とする装置では、除振台により外部の振動を除去
するように構成されている。
第３図は従来技術における除振台の１例を示すもの
で、１は台部であって、該台部１には、上記電子ビーム
露光装置のような移動部（例えば移動ステージなど）を
伴う装置９が載置される。２は該台部１を支えるクッシ
ョン部、３は固定脚部であって例えば該台部１の四隅に
設けられる。該クッション部２には配管８を通してガス
が送入されるが、該配管８の途中に、テコの原理を応用
したバルブ部７が配設される。すなわち４はテコ部、５
は該テコの支点、６はテコ押えである。
で、１は台部であって、該台部１には、上記電子ビーム
露光装置のような移動部（例えば移動ステージなど）を
伴う装置９が載置される。２は該台部１を支えるクッシ
ョン部、３は固定脚部であって例えば該台部１の四隅に
設けられる。該クッション部２には配管８を通してガス
が送入されるが、該配管８の途中に、テコの原理を応用
したバルブ部７が配設される。すなわち４はテコ部、５
は該テコの支点、６はテコ押えである。
このような構成によって、例えば該台部１が下がると
該テコ部４を介してバルブ部７内のバルブが開き、該バ
ルブの開度に応じてガスを補給し、これにより該台部１
の下がりを戻すように作動する。
該テコ部４を介してバルブ部７内のバルブが開き、該バ
ルブの開度に応じてガスを補給し、これにより該台部１
の下がりを戻すように作動する。
ところで上記電子ビーム露光装置などでは一定のフィ
ールドを露光する毎にステージ送りを行っており、かか
るステージ移動に伴って装置の重心が移動する。
ールドを露光する毎にステージ送りを行っており、かか
るステージ移動に伴って装置の重心が移動する。
この場合、上述したようなテコを利用した受動的制御
による通常の除振台では、該装置の重心が移動した後に
始めてこれに応答するため応答速度が充分でなく、ステ
ージ移動のたびに除振台全体が搖れてしまう。
による通常の除振台では、該装置の重心が移動した後に
始めてこれに応答するため応答速度が充分でなく、ステ
ージ移動のたびに除振台全体が搖れてしまう。
近年、上記したような露光装置に求められる位置精度
が0.01ミクロン程度にまでなってきているが、これを達
成するには極力振動を低減する必要がある。しかし上記
従来の除振台では、台が下がることにより始めてそれに
対する戻しが働くという受動的な制御であるため、どう
しても応答が遅くなる傾向があり、上記振動を充分に低
減することができないという問題点があった。
が0.01ミクロン程度にまでなってきているが、これを達
成するには極力振動を低減する必要がある。しかし上記
従来の除振台では、台が下がることにより始めてそれに
対する戻しが働くという受動的な制御であるため、どう
しても応答が遅くなる傾向があり、上記振動を充分に低
減することができないという問題点があった。
本発明はかかる課題を解決するためになされたもの
で、該移動部を伴う装置の重心移動に起因する徐振台全
体の振動を極力低減させるようにしたものである。
で、該移動部を伴う装置の重心移動に起因する徐振台全
体の振動を極力低減させるようにしたものである。
上記課題を解決するために本発明においては、移動部
を伴う装置を載せる台であってその支持部にクッション
部を有するとともに、該移動部の現在位置及び移動先位
置のそれぞれにおける該支持部に必要とされる各支持力
の差を求める手段と、該各支持力の差に応じて該クッシ
ョン部に対する与圧状態を変える手段とをそなえ、これ
によって予め該移動部の重心の移動に対応するように、
該クッション部への圧力補正が行われるように構成され
る。
を伴う装置を載せる台であってその支持部にクッション
部を有するとともに、該移動部の現在位置及び移動先位
置のそれぞれにおける該支持部に必要とされる各支持力
の差を求める手段と、該各支持力の差に応じて該クッシ
ョン部に対する与圧状態を変える手段とをそなえ、これ
によって予め該移動部の重心の移動に対応するように、
該クッション部への圧力補正が行われるように構成され
る。
一般にステージ移動においては、予め「現在位置」と
「目的位置」とが分っている。すなわち現在の重心の位
置と目的の位置に移動した後の重心の位置は予め分って
いる。そこで除振台の各クッション部の圧力を油圧等で
制御する予備圧搾機構と、該予備圧搾機構からの圧力を
ステージの現在位置と目的位置から割り出した重心移動
の変化に応じて補正するように制御する機構とによって
上記圧力補正を行えばよい。
「目的位置」とが分っている。すなわち現在の重心の位
置と目的の位置に移動した後の重心の位置は予め分って
いる。そこで除振台の各クッション部の圧力を油圧等で
制御する予備圧搾機構と、該予備圧搾機構からの圧力を
ステージの現在位置と目的位置から割り出した重心移動
の変化に応じて補正するように制御する機構とによって
上記圧力補正を行えばよい。
上記構成によれば、ステージ移動など予め予測のつく
重心移動を割り出して、予めそれに対応するように該ク
ッション部への圧力補正が行われるため、該移動を伴う
装置自身の重心移動による振動をも確実に除去すること
ができ、高精度の位置決めを行うことができる。
重心移動を割り出して、予めそれに対応するように該ク
ッション部への圧力補正が行われるため、該移動を伴う
装置自身の重心移動による振動をも確実に除去すること
ができ、高精度の位置決めを行うことができる。
第１図は本発明の１実施例としての除振台の構成を示
すもので、上記第３図と共通する部分には共通の符号が
付されている。
すもので、上記第３図と共通する部分には共通の符号が
付されている。
10は制御装置であって、該制御装置10に現在位置と目
的位置をデータとして与えると、該移動装置９（例えば
ステージ各ユニット）の重量より計算して該移動装置の
重心の移動の仕方が算出される。これによって該移動装
置の移動の際に、該除振台の傾きが起きないように、該
除振台のクッション部２に圧力を与えるように、該制御
装置10から油圧機構11に制御信号Ｃが送出される。これ
により該油圧機構11の油圧が制御されてピストン12の移
動を制御し、配管８を介してガスが送入されている圧力
室13のガス圧が調整され、それに応じて該クッション部
２に所定のガス圧が付与される。なお14は圧力計であ
り、該圧力室13の圧力を該圧力計14を介して該制御装置
10にフィードバック信号Ｆとして返送し、その結果に応
じて該ガス圧力の再補正を行うようにして、上記与圧系
の動作おくれを監視することもできる。
的位置をデータとして与えると、該移動装置９（例えば
ステージ各ユニット）の重量より計算して該移動装置の
重心の移動の仕方が算出される。これによって該移動装
置の移動の際に、該除振台の傾きが起きないように、該
除振台のクッション部２に圧力を与えるように、該制御
装置10から油圧機構11に制御信号Ｃが送出される。これ
により該油圧機構11の油圧が制御されてピストン12の移
動を制御し、配管８を介してガスが送入されている圧力
室13のガス圧が調整され、それに応じて該クッション部
２に所定のガス圧が付与される。なお14は圧力計であ
り、該圧力室13の圧力を該圧力計14を介して該制御装置
10にフィードバック信号Ｆとして返送し、その結果に応
じて該ガス圧力の再補正を行うようにして、上記与圧系
の動作おくれを監視することもできる。
第２図は、上記制御装置10の制御動作の手順を例示す
るもので、いま該除振台のｉ番目の脚部に必要な支持力
が関数fi（x,y）（ここでx,yは該移動装置の重心が位置
する座標を表すものとする）で表されるとして、先ずス
テップ１では該移動部の現在の座標位置（x0，y0）を該
関数に入力してfi（x0，y0）（ここでｉは例えば１乃至
４）を求める。なおこの値は通常前回のサイクルで求め
られている。次いでステップ２で、該移動部の次の移動
先の座標位置（x1，y1）を該関数入力してfi（x1，y1）
を求める。次いでステップ３で該移動部の現在位置と次
の移動位置とにおける、各脚部に必要な支持力の差をΔ
fi＝fi（x1，y1）−fi（x0，y0）として求める。このΔ
fiは該移動装置の重心の移動に伴って各脚部に付与すべ
き圧力差に対応するから、ステップ４で該圧力差Δfiに
応じて各脚部に付与すべき支持力（すなわち与圧系から
の与圧状態）を変化させる。なおこの際、各脚部に対応
する与圧系のおくれを考慮して、該圧力差の算出にあた
り所定の応答関数をとり込みむことも可能であり、この
ようにして上記制御装置へのフィードバックを省略する
こともできる。以上のようにして該制御装置による１サ
イクルの制御が終了し、該移動装置の移動に応じて該制
御サイクルが繰返し実行される。
るもので、いま該除振台のｉ番目の脚部に必要な支持力
が関数fi（x,y）（ここでx,yは該移動装置の重心が位置
する座標を表すものとする）で表されるとして、先ずス
テップ１では該移動部の現在の座標位置（x0，y0）を該
関数に入力してfi（x0，y0）（ここでｉは例えば１乃至
４）を求める。なおこの値は通常前回のサイクルで求め
られている。次いでステップ２で、該移動部の次の移動
先の座標位置（x1，y1）を該関数入力してfi（x1，y1）
を求める。次いでステップ３で該移動部の現在位置と次
の移動位置とにおける、各脚部に必要な支持力の差をΔ
fi＝fi（x1，y1）−fi（x0，y0）として求める。このΔ
fiは該移動装置の重心の移動に伴って各脚部に付与すべ
き圧力差に対応するから、ステップ４で該圧力差Δfiに
応じて各脚部に付与すべき支持力（すなわち与圧系から
の与圧状態）を変化させる。なおこの際、各脚部に対応
する与圧系のおくれを考慮して、該圧力差の算出にあた
り所定の応答関数をとり込みむことも可能であり、この
ようにして上記制御装置へのフィードバックを省略する
こともできる。以上のようにして該制御装置による１サ
イクルの制御が終了し、該移動装置の移動に応じて該制
御サイクルが繰返し実行される。
本発明によれば、ステージ移動など予めその動きが算
出できる移動部の移動に伴う振動要因を確実に除去する
ことができるので、該移動部の高精度な位置決めを行う
ことができる。したがって本発明の除振台を半導体デバ
イスの開発に不可欠な装置であるステッパや電子ビーム
露光装置などに適用することによって高品質の露光を行
うことができる。
出できる移動部の移動に伴う振動要因を確実に除去する
ことができるので、該移動部の高精度な位置決めを行う
ことができる。したがって本発明の除振台を半導体デバ
イスの開発に不可欠な装置であるステッパや電子ビーム
露光装置などに適用することによって高品質の露光を行
うことができる。
第１図は本発明の１実施例としての除振台の全体構成
図、 第２図は、該第１図の装置における制御装置の制御動作
手順をフローチャートで示す図、 第３図は、従来技術としての除振台の１例を示す図であ
る。 （符号の説明） １……除振台の台部、２……クッション部、３……固定
脚部、４……テコ部、７……バルブ部、９……移動装
置、10……制御装置、11……油圧機構、12……ピスト
ン、13……圧力室。
図、 第２図は、該第１図の装置における制御装置の制御動作
手順をフローチャートで示す図、 第３図は、従来技術としての除振台の１例を示す図であ
る。 （符号の説明） １……除振台の台部、２……クッション部、３……固定
脚部、４……テコ部、７……バルブ部、９……移動装
置、10……制御装置、11……油圧機構、12……ピスト
ン、13……圧力室。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｆ１６Ｆ 15/027 Ｆ１６Ｆ 15/027 15/04 15/04 Ａ (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F16F 15/00 - 15/04 B23Q 15/18,15/007,15/20 B25H 1/18
Claims (1)
- 【請求項１】移動部を伴う装置を載せる台であってその
支持部にクッション部を有するとともに、 該移動部の現在位置及び移動先位置のそれぞれにおける
該支持部に必要とされる各支持力の差を求める手段と、 該各支持力の差に応じて該クッション部に対する与圧状
態を変える手段とをそなえ、 これによって予め該移動部の重心の移動に対応するよう
に、該クッション部への圧力補正が行われることを特徴
とする除振台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4031989A JP2882414B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | 除振台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4031989A JP2882414B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | 除振台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02220427A JPH02220427A (ja) | 1990-09-03 |
| JP2882414B2 true JP2882414B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=12577293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4031989A Expired - Fee Related JP2882414B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | 除振台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2882414B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006266353A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Nabeya:Kk | アクティブ姿勢制御方法 |
| JP2006292147A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Kurashiki Kako Co Ltd | 気体ばね式除振装置 |
| JP2009298557A (ja) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Olympus Corp | 防振部材支持型直進フィーダ |
-
1989
- 1989-02-22 JP JP4031989A patent/JP2882414B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02220427A (ja) | 1990-09-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |