JPH02220427A - 除振台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 電子ビーム露光装置のような移動部を伴う装置を載せる
除振台に関し、 該装置の重心移動に起因する振動を確実に除去すること
を目的とし、 談合の支持部にクッション部を有し、かつ予め該移動部
の重心移動に対応するように該クッション部への圧力補
正を行う手段をそなえるように構成される。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、電子ビーム露光装置やステッパのような移動
部（例えばステージの移動）を伴う装置を載せる除振台
に関する。

〔従来の技術〕

一般に電子ビーム露光装置のように高精度の位置決めを
必要とする装置では、除振台により外部の振動を除去す
るように構成されている。

第３図は従来技術における除振台の１例を示すもので、
１は台部であって、該台部１には、上記電子ビーム露光
装置のような移動部（例えば移動ステージなど）を伴う
装置９が載置される。２は該台部１を支えるクッション
部、３は固定脚部であって例えば該台部１の四隅に設け
られる。該クッション部２には配管８を通してガスが送
入されるが、該配管８の途中に、テコの原理を応用した
バルブ部７が配設される。すなわち４はテコ部、５は該
テコの支点、６はテコ押えである。

このような構成によって、例えば該台部１が下がると該
テコ部４を介してバルブ部７内のバルブが開き、該バル
ブの開度に応じてガスを補給し、これにより該台部１の
下がりを戻すように作動する。

ところで上記電子ビーム露光装置などでは一定のフィー
ルドを露光する毎にステージ送りを行っており、かかる
ステージ移動に伴って装置の重心が移動する。

この場合、上述したようなテコを利用した受動的制御に
よる通常の除振台では、該装置の重心が移動した後に始
めてこれに応答するため応答速度が充分でなく、ステー
ジ移動のたびに除振台全体が捕れてしまう。

近年、上記したような露光装置に求められる位置精度が
０．０１ミクロン程度にまでなってきているが、これを
達成するには極力振動を低減する必要がある。しかし上
記従来の除振台では、台が下がることにより始めてそれ
に対する戻しが働くという受動的な制御であるため、ど
うしても応答が遅くなる傾向があり、上記振動を充分に
低減することができないという問題点があった。

〔発明が解決しようとする課題〕 本発明はかかる課題を解決するためになされたもので、
該移動部を伴う装置の重心移動に起因する除振台全体の
振動を極力低減させるようにしたものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するために本発明においては、移動部を
伴う装置を載せる台であってその支持部にクッション部
を有し、更に予め該移動部の重心移動に対応するように
該クッション部への圧力補正を行う手段をそなえるよう
に構成される。

一般にステージ移動においては、予め「現在位置」と「
目的位置」とが分っている。すなわち現在の重心の位置
と目的の位置に移動した後の重心の位置は予め分ってい
る。そこで除振台の各クッション部の圧力を油圧等で制
御する予備圧搾機構と、該予備圧搾機構からの圧力をス
テージの現在位置と目的位置から割り出した重心移動の
変化に応じて補正するように制御する機構とによって上
記圧力補正手段を構成するとよい。

〔作　用〕

上記構成によれば、ステージ移動など予め予測のつく重
心移動を割り出して、予めそれに対応するように該クッ
ション部への圧力補正が行われるため、該移動を伴う装
置自身の重心移動による振動をも確実に除去することが
でき、高精度の位置決めを行うことができる。

〔実施例〕

第１図は本発明の１実施例としての除振台の構成を示す
もので、上記第３図と共通する部分には共通の符号が付
されている。

１０は制御装置であって、該制御装置１０に現在位置と
目的位置をデータとして与えると、該移動装置９（例え
ばステージ各ユニット）の重量より計算して該移動装置
の重心の移動の仕方が算出される。これによって該移動
装置の移動の際に、該除振台の傾きが起きないように、
該除振台のクッション部２に圧力を与えるように、該制
御装置１０から油圧機構１１に制御信号Ｃが送出される
。

これにより該油圧機構１１の油圧が制御されてピストン
１２の移動を制御し、配管８を介してガスが送入されて
いる圧力室１３のガス圧が調整され、それに応じて該ク
ッション部２に所定のガス圧が付与される。なお１４は
圧力計であり、該圧力室１３の圧力を該圧力計１４を介
して該制御装置１０にフィードバック信号Ｆとして返送
し、その結果に応じて該ガス圧力の再補正を行うように
して、上記与圧系の動作おくれを監視することもできる
。

第２図は、上記制御装置１００制御動作の手順を例示す
るもので、いま該除振台のｉ番目の脚部に必要な支持力
が関数ｆｉ（ｘ、ｙ）（ここでｘ、ｙは該移動装置の重
心が位置する座標を表すものとする）で表されるとして
、先ずステップｌでは該移動部の現在の座標位置（Ｘｏ
　、　　Ｖａ）を該関数に入力してｆｌ（Ｘｏ　、　　
ｙｏ）　（ここで１は例えば１乃至４）を求める。なお
この値は通常前回のサイクルで求められている。次いで
ステップ２で、該移動部の次の移動先の座標位置（ｘ＋
　、ｙｔ）を該関数に入力してｆｌ（ｘ＋　、　　ｙｔ
）を求める。次いでステップ３で該移動部の現在位置と
次の移動位置とにおける、各脚部に必要な支持力の差を
Δｆｉ＝ｆ＋（ｘ＋　、ｙｔ）−ｆｉ（ｘｏ、ｙｏ）と
して求める。

このΔｆ１は該移動装置の重心の移動に伴って各脚部に
付与すべき圧力差に対応するから、ステップ４で該圧力
差Δｆｉ　に応じて各脚部に付与すべき支持力【すなわ
ち与圧系からの与圧状態）を変化させる。な右この際、
各脚部に対応する与圧系のおくれを考慮して、該圧力差
の算出にあたり所定の応答関数をとり込みむことも可能
であり、このようにして上記制御装置へのフィードバッ
クを省略することもできる。以上のようにして該制御装
置による１サイクルの制御が終了し、該移動装置の移動
に応じて該制御サイクルが繰返し実行される。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ステージ移動など予めその動きが算出
できる移動部の移動に伴う振動要因を確実に除去するこ
とができるので、該移動部の高精度な位置決めを行うこ
とができる。したがって本発明の除振台を半導体デバイ
スの開発に不可欠な装置であるステッパや電子ビーム露
光装置などに適用することによって高品質の露光を行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の１実施例としての除振台の全体構成
図、 第２図は、該第１図の装置にふける制御装置の制御動作
手順をフローチャートで示す図、第３図は、従来技術と
しての除振台の１例を示す図である。 （符号の説明） ｌ・・・除振台の台部、　　　２・・・クツシト２部、
３・・・固定脚部、　　　　　４・・・テコ部、７・・
・バルブ部、　　　　　９・・・移動装置、１０・・・
制御装置、 １２・・・ピストン、 １１・・・油圧機構、 １３・・・圧力室。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、移動部を伴う装置を載せる台であってその支持部に
   クッション部を有し、かつ予め該移動部の重心移動に対
   応するように該クッション部への圧力補正を行う手段を
   そなえることを特徴とする除振台。