JP3281222B2 - 移動ステージ制御装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は重力方向に移動可能に設
けられた移動ステージの位置を制御する移動ステージ制
御装置に関し、特に、精密な移動精度を必要とする切削
機、研削機、研磨機等の精密加工機および３次元形状測
定器に使用するものに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の重力方向に移動する移動ステージ
の制御装置の構成を図３に示す。この装置は、重力方向
１１７に可動な移動ステージ１０１を移動して位置決め
制御を行う位置制御部と、ステージ１０１の自重を補償
する圧力制御部とを備え、これらが独立した制御を行う
ものである。

【０００３】位置制御部は、移動ステージ１０１を駆動
するボールネジ３０２、ボールナット３０１およびモー
タ３０３と、移動ステージ１０１の位置を検出する反射
ミラー１０９および測長器１１１と、移動ステージの位
置を指令する位置指令装置１１８と、反射ミラー１０９
および測長器１１１で検出した移動ステージ１０１の位
置と位置指令装置１１８からの位置指令とを比較演算
し、モータ用アンプ１２０を介してモータ３０３に対す
る推力指令を出力する制御演算回路３１０とを有する。

【０００４】圧力制御部は、移動ステージ１０１の重量
をバランスさせる推力を発生する流体を用いたシリンダ
１０６と、シリンダ１０６内の圧力を検出する圧力セン
サ１０８と、移動ステージ１０１の重量に対し、シリン
ダ１０６による推力がバランスする圧力値を指令する圧
力指令装置３１１と、この圧力指令値と圧力センサ１０
８の出力を比較し、圧力補正値を出力する圧力制御回路
３１２と、圧力補正値に基づきシリンダ１０６内の圧力
を操作する圧力制御弁１２３とを有する。

【０００５】この装置はまた、ステージ可動部の重量測
定機構を備え、この機構は、ステージ可動部下部に配置
した荷重センサ３０６と、これをステージ可動範囲内に
おいて移動させるための移動機構（ガイド３０７、ボー
ルネジ３０４、ボールナット３０５、モータ３０９）か
らなる。

【０００６】移動機構はステージ可動部の重量測定時に
荷重測定回路３１３がモータ用アンプ３１４を介してモ
ータ３０９を駆動することで荷重センサ３０６を、ショ
ック吸収ダンパ１１４ｂがステージ１０１に当たらない
位置へ移動する。荷重センサ３０６は、ここでステージ
可動部重量を測定し、その結果を荷重測定回路３１３が
記憶し、圧力指令装置３１１に送出する。

【０００７】ステージ駆動時には、圧力指令装置３１１
は測定したステージ可動部重量と平衡するシリンダ１０
６の推力を指令し、この指令値と圧力センサ１０８の出
力とに基づいて圧力制御装置３１２は圧力制御弁用アン
プ１２２および圧力制御弁１２３を介してシリンダ１０
６内の空気１０７の圧力を制御し、移動ステージ１０１
の重量補償を行う。

【０００８】

【発明が解決しようとしている課題】この従来例では、
ステージ可動部の重量を測定するために荷重センサ３０
６が必要であり、この荷重センサ３０６は重力補償機構
の精度を上げるためには高い分解能を有する必要がある
が、反面、このセンサ３０６はステージ可動部の重量を
測定する必要があるので大きな荷重を測定しなければな
らない。したがって、センサ３０６としては、ダイナミ
ックレンジの広い高価なものを用いる必要がある。

【０００９】また、荷重センサ３０６は経年変化または
事故等で狂う場合があるが、この場合にはステージ重量
が正しく測定されないため、重力補償が正しく行われな
い。さらに、通常、移動ステージ１０１のガイド両端に
は万が一、ステージ１０１が暴走した際に、ステージ１
０１が衝突による衝撃を機械的に吸収するためのショッ
ク吸収ダンパ１１４ａ，１１４ｂを配置する。しかし、
従来例においてはステージ重量を測定する際には、ステ
ージ１０１がショック吸収ダンパ１１４ａ，１１４ｂに
接触すると正確なステージ重量が測定できず問題とな
る。またしかし、ショック吸収ダンパ１１４ａ，１１４
ｂを配置しない場合は、ステージ１０１が駆動中に制御
がはずれ、落下した場合には荷重センサ３０６を破損し
てしまうことがある。

【００１０】これを防止するには荷重センサ３０６また
はショック吸収ダンパ１１４ａ，１１４ｂを可動式と
し、ステージ重量測定時は荷重センサ３０６が、それ以
外のステージ稼働時にはショック吸収ダンパ１１４ａ，
１１４ｂがステージ可動部に接触するような機構が別途
必要となる。

【００１１】また、この従来例のようにボールネジ３０
１とボールナット３０２および回転モータ３０３を利用
した場合には、ボールネジ３０１およびボールナット３
０２の部分が減速機構となり、また回転モータ３０３と
ボールネジ３０１の接続部分に減速機を配置できるの
で、重量補償のアンバランス分をボールネジ３０１と回
転モータ３０３の移動機構で補正する必要が生じても減
速による効果でモータ３０３の発熱は小さく比較的問題
が少ない。しかし、本発明のように高速化、高精度化の
ためにリニアモータを用いた場合には、減速機構を使用
できないので重量補償の誤差はそのままリニアモータの
発熱の問題となる。よって、上述の重力補償の精度に関
する問題の影響がリニアモータを利用した場合にはさら
に大きくなり、従来例のようなステージの重力補償手段
ではリニアモータの利用は問題である。

【００１２】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、移動ステージ制御装置において、簡便な構
成により、装置の高速化、高精度化を図ることにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明の移動ステージ制御装置は、重力方向に移動可能
に設けられた移動ステージ、この移動ステージに推力を
付与するリニアモータ、前記移動ステージの位置を検出
する位置検出手段、この位置検出手段からの検出結果を
フィードバック信号として前記リニアモータを制御する
ことにより前記移動ステージの位置を制御する位置制御
手段、前記移動ステージに圧力により推力を付与するシ
リンダ、ならびに、前記移動ステージの重量とバランス
する推力を前記移動ステージに付与し、前記移動ステー
ジの重量補償をすべく前記圧力を制御する圧力制御手
段、を備える移動ステージ制御装置であって、前記移動
ステージ制御装置は、前記移動ステージを目標位置に移
動する際、前記位置制御手段が前記リニアモータを駆動
して前記移動ステージに推力を与えて前記移動ステージ
を前記目標位置まで移動させたのち前記シリンダにより
前記移動ステージの重量補償を行うように、前記圧力制
御手段により前記シリンダの圧力を制御することを特徴
とする。

【００１４】

【作用】 リニアモータを用いて移動ステージを重力方向
に位置決めする場合、移動ステージ停止時においてもリ
ニアモータに負荷がかかりリニアモータが発熱してしま
い、その発熱の影響で駆動精度が悪化したり、重力補償
精度が低下してしまったりする。本発明では、移動ステ
ージを移動させる際には、リニアモータにより移動ステ
ージを移動させ、停止時には、圧力により推力を付与す
るシリンダを用いて移動ステージの重量補償を行う。こ
れにより、リニアモータによるステージ移動の高速化、
高精度化というメリットを保ちつつ、リニアモータを用
いる際に発生する発熱の問題を解決することができる。

【００１５】本発明の好ましい実施の形態において、位
置制御手段は、前記フィードバック信号に基づいて圧力
制御手段に圧力指令信号を付与して移動ステージをシリ
ンダのみにより所定位置に位置決めする。そのときの、
シリンダの圧力は丁度、移動ステージの重量と、シリン
ダによる推力とがバランスした状態となっている。した
がって、このときの圧力指令信号の値を記憶し、その
後、それに基づいてシリンダを制御することにより、常
に、前記のバランス状態が維持される。すなわち、重量
補償が行われる。したがって、別途にステージ可動部の
重量を測定する必要がなく、よってステージ可動部重量
を測定する荷重センサが必要ない。また、荷重センサを
配する必要がないため、荷重センサの衝突による損傷や
経年変化等による狂い問題を心配する必要がない。ま
た、ステージ下部に荷重センサを配する必要がないた
め、ステージ落下事故時を想定した機械的なショック吸
収ダンパを容易に配置することができ、ショック吸収ダ
ンパの移動機構は必要ない。

【００１６】さらに、シリンダのみによる位置決め時に
おける前記位置制御手段による制御をＰＩＤ制御とし、
記憶する信号値をそのＰＩＤ制御におけるＩの積分成分
とすることによって、ステージ可動部重量とシリンダ推
力とが平衡する推力を検出する動作において、シリンダ
を利用した位置制御で外乱による影響が排除され、さら
に正確にステージ可動部重量が測定され、装置駆動時の
シリンダ推力とステージ可動部重量との平衡が誤差無く
行われる。また、前記移動ステージが移動する際、前記
圧力制御手段の前記移動ステージの重量補償の応答遅れ
による誤差を補うために、前記リニアモータが一時的に
前記移動ステージの重量補償を行いつつ前記移動ステー
ジに推力を与えるように、前記位置制御手段が前記リニ
アモータを駆動するようにしても良い。

【００１７】

【実施例】図１は本発明の第１の実施例に係る移動ステ
ージ制御装置の構成を示すブロック図である。図３のも
のに対応する要素には、図３のものと同じ番号を付して
ある。この装置において、移動ステージ１０１は可動方
向１１７以外の方向への動きが拘束されており、可動方
向１１７に摩擦の発生しないエアベアリングを利用した
ステージガイド（支持部１０２ａ，１０２ｂおよび可動
部１０３ａ，１０３ｂ）で支持されている。この装置
は、移動ステージ１０１の位置決め制御を行う位置制御
部と移動ステージ１０１にかかる重力を補償するための
重力補償制御部を備える。

【００１８】位置決め制御部は、移動ステージ１０１を
駆動する駆動手段であるリニアモータを有し、これは非
接触なものであり、可動子である磁石部１０４とコイル
部１０５から構成されており、磁石部１０４は移動ステ
ージ１０１に固定され、コイル部１０５に電流を与える
ことによりステージ１０１に可動方向１１７の推力を与
える。位置決め制御部１２４は、また、位置検出手段を
有し、これは反射鏡１０９は移動ステージ１０１に固定
され、レーザ測長器１１１は反射鏡１０９からの反射に
よって移動ステージ１０１の可動方向１１７の位置を測
定する。次に、装置起動時の動作について説明する。装
置起動時においては、移動ステージ１０１には推力が与
えられず、移動ステージ１０１は重力によって着地して
いる状態であり、移動ステージ１０１に固定された部材
１１３が下端のショック吸収ダンパ１０４ｂに接触して
停止している。この状態で制御演算装置１１９は第２の
推力発生機構であるシリンダ１０６を用いて位置制御を
行うため、レーザ測長器１１１から現在位置を読み込
み、これを初期の目標位置としてシリンダ１０６を用い
た位置制御を開始する。

【００１９】制御演算装置１１９はレーザ測長器１１１
で測定された移動ステージ１０１の現在位置をフィード
バック信号とし、与えられた前記目標位置と比較した制
御の演算例えばＰＩＤの制御演算を行い、シリンダ１０
６を用いた位置決め制御のための推力指令値を出力す
る。

【００２０】シリンダ１０６の圧力制御演算を行う圧力
制御装置１２１は、位置決め制御のための推力指令値に
対応する推力をシリンダ１０６で発生するようにシリン
ダ１０６内の気体圧力を制御する。圧力制御装置１２１
は、シリンダ１０６内の気体である空気１０７の圧力を
圧力検出手段である圧力センサ１０８で検出し、これを
フィードバック信号として制御演算例えばＰＩＤの制御
演算を行う。そして圧力制御装置１２１は圧力制御弁用
アンプ１２２を介して圧力制御弁１２３を操作すること
で指令値に対応する推力をシリンダ１０６によって発生
する。一方、この時、第１の推力発生機構であるリニア
モータ１０４，１０５の推力指令はゼロとして推力を発
生させない。

【００２１】次に、制御演算装置１１９は移動ステージ
１０１の目標位置を移動ステージ１０１が着地している
位置（移動ステージ１０１に固定された部材１１３がシ
ョック吸収ダンパ１１４ｂに接触して停止している位
置）から、移動ステージ１０１を浮上させる位置に変更
し、移動ステージ１０１を位置決め制御によって移動さ
せる。すなわち、制御演算装置１１９は目標位置を変更
して、移動ステージ１０１を、シリンダ１０６の推力に
よりショック吸収ダンパ１１４ｂから離れた位置まで移
動する。制御演算装置１１９は移動ステージ１０１がシ
ョック吸収ダンパ１１４ｂから離れ、移動ステージ１０
１の重量がシリンダ１０６の推力のみで支えられる位置
まで移動した後、移動ステージ１０１の移動を停止し
て、その位置で位置決め制御を続ける。

【００２２】このシリンダ１０６を用いた位置決め制御
による浮上状態で、制御演算装置１１９はＰＩＤの制御
演算を行い、位置決めが完了する。位置決めは、例えば
移動ステージ１０１の目標位置との位置偏差が数１０ミ
クロン以内に収束したことをもって完了するものとす
る。位置決め完了後、位置決め制御を続けるシリンダ１
０６が発生する推力は、ＤＣ成分とＡＣ成分に分離され
る。ＤＣ成分は搭載する被加工物１１６等を含む移動ス
テージ１０１の重量と平衡する推力であり、ＡＣ成分は
外部からの外乱（移動ステージ装置以外で発生し装置に
伝わる振動）に対する制御の推力となる。この外乱成分
による影響を消去するため、本実施例においては、制御
演算装置１１９で演算された演算結果のＩ成分の積分値
をステージ可動部の重量と平衡する推力値として記憶す
る。Ｉ成分のみを取り出す理由は、Ｉ成分の計算はロー
パスフィルタとなり、ＤＣ成分を取り出す計算となるた
めであり、このＩ成分を用いれば、外乱の影響を消去す
るために余分なフィルタ計算をする必要が無いためであ
る。

【００２３】本実施例のステージ制御装置ではステージ
可動部上に被加工物１１６および被加工物取り付け治具
等の重量を変更する毎に装置起動動作を行うので、被加
工物１１６の乗せ換え等でステージ可動部の重量が変化
しても重量の補正は必ず行われる。

【００２４】次に、装置起動時以外の移動ステージ１０
１の移動時および位置決め時の動作を説明する。装置起
動動作が終了した後、制御演算装置１１９は装置起動動
作で記憶したシリンダ１０６に対する指令値（ＤＣ成
分）を一定値とし、変更を停止する。よってシリンダ１
０６は移動ステージ１０１の重量と平衡する推力を発生
し続け、移動ステージ１０１の重量を補償する推力発生
機構となる。

【００２５】一方、この時より制御演算装置１１９は第
１の推力発生機構であるリニアモータ１０４，１０５を
用いた移動ステージ１０１の位置決め制御を開始する。
制御演算装置１１９はレーザ測長器１１１によって検出
された移動ステージ１０１の位置をフィードバック信号
として、第１の推力発生手段であるリニアモータ１０
４，１０５を用いた移動ステージ１０１の位置決め制御
を行うための演算を行う。演算された推力指令値はモー
タ用アンプ１２０において推力指令に対応した指令電流
とされ、リニアモータのコイル部１０５に供給される。
これによりコイル部１０５は、リニアモータ磁石１０４
に対して推力を発生し、ステージ１０１の位置決め制御
を行う。この時、移動ステージ１０１の可動部重量はシ
リンダ１０６によって支えられている。よってリニアモ
ータ１０４，１０５は、外乱（装置以外の装置から伝わ
る振動）による移動ステージ１０１の揺れを押さえるた
め以外の推力を発生しない。また、シリンダ１０６を用
いた推力発生機構は流体を用いた制御であるため応答周
波数（例えばＤＣ〜十数Ｈｚ）が低く、外乱によって移
動ステージ１０１が微少（例えば数ｎｍ〜数μｍ）に揺
れる場合にはほとんど応答せず、移動ステージ１０１は
この時、流体の膨張／圧縮による弱い空気バネで吊られ
ている状態となっている。

【００２６】次に、装置起動動作の終了後に位置指令装
置１１８の指令により移動ステージ１０１を大きく（数
ｍｍ〜数十ｃｍ）移動させる際には、位置指令装置１１
８の移動指令を受けた制御演算装置１１９は移動ステー
ジ１０１をリニアモータ１０４，１０５の推力によって
移動する。この時シリンダ１０６を用いた推力発生機構
において、移動ステージ１０１の移動によるシリンダ１
０６内の流体の膨張／圧縮が発生する。シリンダ１０６
を用いた推力発生機構は応答速度が遅いため、一時的に
移動ステージ１０１の重量補償に誤差が生じるが、この
誤差は周波数の遅い誤差成分であるため、リニアモータ
１０４，１０５を用いた位置決め動作によるこのような
誤差は結局、シリンダ１０６を用いた推力発生機構が外
乱として対応できる範囲内である。また、このように重
力補償に誤差が生じるため、一時的にリニアモータ１０
４，１０５が重力の補償を行うが、シリンダ１０６を用
いた推力機構が最終的には誤差を補正するのでリニアモ
ータ１０４，１０５の発熱は問題とはならない。

【００２７】図２は、本発明の第２の実施例を示す。第
１の実施例とは制御演算装置１１９と圧力制御装置１２
１を演算装置２０１に置き換えたことが異なる。演算装
置２０１は、制御演算装置１１９、圧力制御装置１２１
で行う制御演算を行なうプログラムを有しており、これ
により、第１の実施例と同じ作用を行なう。演算装置２
０１は、演算ＤＳＰまたはＲＩＳＣの演算装置であり、
演算装置２０１内において、並列処理で２つの独立した
演算である制御演算２０２、および圧力制御演算２０３
を行うことにより、第１の実施例と同じ作用を奏する。

【００２８】

【発明の効果】位置決め制御により移動ステージを重力
に逆らい可動範囲のある一点に保持する場合において、
重力補償制御部がない場合には、リニアモータはステー
ジ重量分の推力を常時出力し続ける結果、リニアモータ
は常に発熱し続ける。また、重力補償部を備えていても
重力補償部が正確にステージ可動部重量を支える推力を
発生しない場合においても、重力補償部の誤差分の推力
をリニアモータが支える推力を発生するので、リニアモ
ータは常時発熱し続ける。リニアモータが常時発熱し高
温になるとリニアモータの耐久性が損なわれるだけでな
く精密切削や３次元測地器のような非常に高精度が必要
な装置の場合にはこのリニアモータの発熱によってステ
ージの構成部材が膨張し精度が損なわれる。

【００２９】これに対し、本発明に従い重力補償を行う
場合には、装置起動時に必ずシリンダ部で正確にステー
ジ可動部の重量と平衡した推力を検出し、平衡が行われ
るため、シリンダがリニアモータのステージ重量分の負
荷を支える推力を発生し、リニアモータの推力は制御に
必要な分だけとなり、リニアモータの発熱を抑えること
ができる。

【００３０】また、本発明においてはステージ可動部の
重量に平衡するような推力を検出する方法は、起動動作
によって行われ、他にセンサを必要としないため、ステ
ージ可動部の重量を測定するための荷重センサ等の重量
測定用のセンサが必要ない。このため、従来必要であっ
た荷重センサの校正が必要なくなり、装置構成をシンプ
ルにすることができる。

【００３１】更に荷重センサを用いて測定を行うる場合
には荷重センサがステージ重量を支えるような構成をと
り、また重量測定時以外のステージ駆動時には移動ステ
ージの暴走や落下事故の際の損傷を防ぐためのショック
吸収ダンパがステージ下部に接触するように構成が必要
であり、荷重センサの移動機構が従来必要であった。し
かし、本発明においては荷重センサがないのでその必要
がなく装置をシンプルにすることができる。

【００３２】また、本発明の装置においては装置起動時
におけるシリンダ推力とステージ可動部重量とが平衡す
る値を検出する方法としてシリンダ推力を用いたステー
ジの位置決め動作時のシリンダ推力として記憶する方法
をとっているが、シリンダ推力によって位置決めをして
いる場合に外乱による影響でステージが微少に振動した
場合には、この外乱に対応する推力が含まれた値が記憶
され、この外乱への応答分が誤差となる。これを防ぐた
めには、移動ステージ可動部の重量（搭載する被加工
物、固定治具等を含む重量）と平衡する推力がＤＣ成分
であり、外乱の成分はＡＣ成分であることに着目し、シ
リンダへの推力指令を再度ローパスフィルタで計算し、
ＡＣ成分を除去する必要がある。しかし、再度ローパス
フィルタの計算を行うことは演算手段に制御以外の計算
による負担を更に付加することとなる。そこで本発明で
は、ＰＩＤの制御演算におけるＩの演算がローパスフィ
ルタの効果を持つことに着目し、Ｉ成分のみを取り出し
て記憶することによって、余分なフィルタ計算をする必
要を無くしながらも外乱の影響を除去することができ
る。

【００３３】本発明において、第１の推力発生手段とし
てリニアモータを用いた機構を利用する。これは、従来
例のようなボールネジとボールナットおよび回転モータ
による駆動機構を利用した方式で本発明のようなステー
ジ可動部重量の測定を行う場合には誤差が生じ易いため
である。装置起動時のシリンダを利用した位置決め動作
でステージ重量を測定しようとすると、ボールネジを利
用した駆動機構ではボールナットとの接触部の摩擦やボ
ールネジとボールナット部分における変速機構が負荷と
なるため、ステージ可動部重量の測定が困難であるが、
リニアモータ化によってステージ可動部重量の測定精度
を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施例に係る移動ステージ制
御装置の構成を示すブロック図である。

【図２】 本発明の第２の実施例に係る移動ステージ制
御装置の構成を示すブロック図である。

【図３】 従来例に係る移動ステージ制御装置の構成を
示すブロック図である。

【符号の説明】

１０１：移動ステージ、１０２ａ，１０２ｂ：エアベア
リング（ガイド部）、１０３ａ，１０３ｂ：エアベアリ
ング（可動部）、１０４：リニアモータ可動磁石、１０
５：リニアモータコイル、１０６：エアシリンダ、１０
７：エアシリンダ内の空気、１０８：圧力センサ、１０
９：反射ミラー、１１０：コーナーミラー、１１１：レ
ーザ測長器、１１２：測長レーザ光、１１３：ステージ
に取り付けた部材（リミット機構）、１１４ａ，１１４
ｂ：ショック吸収ダンパ（リミット機構）、１１５：被
加工物取り付け治具、１１６：被加工物、１１７：ステ
ージ移動方向、１１８：位置指令装置、１１９：制御演
算装置、１２０：モータ用アンプ、１２１：圧力制御装
置、１２２：圧力制御弁用アンプ、１２３：圧力制御
弁、１２４：位置決め制御部、１２５：圧力補償制御
部、２０１：演算装置、２０２：制御演算、２０３：圧
力演算、３０１：ボールナット、３０２：ボールネジ、
３０３：回転モータ、３０４：ボールネジ、３０５：ボ
ールナット、３０６：荷重センサ、３０７：リニアガイ
ド（可動部）、３０８：リニアガイド（ガイド部）、３
０９：回転モータ、３１０：制御演算回路、３１１：圧
力指令装置、３１２：圧力制御回路、３１３：荷重測定
回路、３１４：圧力制御部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G05D 3/00 - 3/20 B23Q 15/00 - 15/28 H01L 21/68

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 重力方向に移動可能に設けられた移動ス
   テージ、前記 移動ステージに推力を付与するリニアモータ、 前記移動ステージの位置を検出する位置検出手段、前記位置検出手段からの検出結果 をフィードバック信号
   として前記リニアモータを制御することにより前記移動
   ステージの位置を制御する位置制御手段、 前記移動ステージに圧力により推力を付与するシリン
   ダ、ならびに、 前記移動ステージの重量とバランスする推力を前記移動
   ステージに付与し、前記移動ステージの重量補償をすべ
   く前記圧力を制御する圧力制御手段、 を備える移動ステージ制御装置であって、前記移動ステージ制御装置は、前記移動ステージを目標
   位置に移動する際、 前記位置制御手段が前記リニアモータを駆動して前記移
   動ステージに推力を与えて前記 移動ステージを前記目標
   位置まで移動させたのち前記シリンダにより前記移動ス
   テージの重量補償を行うように、前記圧力制御手段によ
   り前記シリンダの圧力を制御することを特徴とする移動
   ステージ制御装置。
2. 【請求項２】 前記位置制御手段は、前記フィードバッ
   ク信号に基づいて前記圧力制御手段に圧力指令信号を付
   与して前記移動ステージを前記シリンダのみにより所定
   位置に位置決めするとともに、位置決め後の前記圧力指
   令信号の値を記憶し、その後、前記リニアモータを併用
   して位置決めする際は、その記憶した値に基づいて前記
   圧力制御手段を制御することを特徴とする請求項１記載
   の移動ステージ制御装置。
3. 【請求項３】 前記シリンダのみによる位置決め時にお
   ける前記位置制御手段による制御はＰＩＤ制御であり、
   前記記憶される信号値はそのＰＩＤ制御におけるＩの積
   分成分であることを特徴とする請求項２記載の移動ステ
   ージ制御装置。
4. 【請求項４】 前記移動ステージが移動する際、前記圧
   力制御手段の前記移動ステージの重量補償の応答遅れに
   よる誤差を補うために、前記リニアモータが一時的に前
   記移動ステージの重量補償を行いつつ前記移動ステージ
   に推力を与えるように、前記位置制御手段が前記リニア
   モータを駆動することを特徴とする請 求項１乃至３いず
   れか１項記載の移動ステージ制御装置。