JP2000163130A - 自重補償装置 - Google Patents
自重補償装置Info
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- JP2000163130A JP2000163130A JP10339512A JP33951298A JP2000163130A JP 2000163130 A JP2000163130 A JP 2000163130A JP 10339512 A JP10339512 A JP 10339512A JP 33951298 A JP33951298 A JP 33951298A JP 2000163130 A JP2000163130 A JP 2000163130A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ステージをバランス良く自重補償するための
自重補償装置を提供する。 【解決手段】 本発明の自重補償装置は、目的物を保持
し重力方向に移動可能なステージと、該ステージを該重
力方向に支持する複数の自重補償機構と、該ステージに
推力を付与する複数の推力発生機構と、該ステージの該
重力方向の位置と該重力方向と直交する方向を軸とする
回転の傾きとを計測する検出器とを有し、該ステージの
目標位置と該検出器の計測値から位置決め誤差を判定
し、該位置決め誤差が所定の範囲以上の場合は該自重補
償機構により該ステージを駆動し、該位置決め誤差が該
所定の範囲以下の場合は該推力発生機構により該ステー
ジを駆動し、ステージの駆動ストローク全体に渡って、
ステージの重力方向および２方向回りの傾きを制御す
る。また、ステージを予め駆動することにより、高速な
位置決めを行うことができる。
自重補償装置を提供する。 【解決手段】 本発明の自重補償装置は、目的物を保持
し重力方向に移動可能なステージと、該ステージを該重
力方向に支持する複数の自重補償機構と、該ステージに
推力を付与する複数の推力発生機構と、該ステージの該
重力方向の位置と該重力方向と直交する方向を軸とする
回転の傾きとを計測する検出器とを有し、該ステージの
目標位置と該検出器の計測値から位置決め誤差を判定
し、該位置決め誤差が所定の範囲以上の場合は該自重補
償機構により該ステージを駆動し、該位置決め誤差が該
所定の範囲以下の場合は該推力発生機構により該ステー
ジを駆動し、ステージの駆動ストローク全体に渡って、
ステージの重力方向および２方向回りの傾きを制御す
る。また、ステージを予め駆動することにより、高速な
位置決めを行うことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、目的物を搭載した
ステージの自重補償機構に関し、特に、各種工作機械等
に使用され重力方向に移動可能な位置決め装置に用いら
れる自重補償機構に関する。
ステージの自重補償機構に関し、特に、各種工作機械等
に使用され重力方向に移動可能な位置決め装置に用いら
れる自重補償機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来重力方向に移動する位置決
め装置に用いられるシリンダを用いた重力補償機構を示
している。
め装置に用いられるシリンダを用いた重力補償機構を示
している。
【０００３】同図において、４０１は、重力方向に移動
可能なステージである。４０２は、ステージに取り付け
られたステージ可動部４０３を重力方向に支持するステ
ージガイドである。ステージ４０１を駆動するリニアモ
ータは、可動子４０４と固定部４０５を有しており、固
定部４０５のコイル部に電流が流れることにより、ステ
ージ４０１が重力方向に推力を受ける。４０６はステー
ジの重力補償を行うためのシリンダであり、シリンダ４
０６の推力によりステージ４０１は重力方向に移動可能
である。
可能なステージである。４０２は、ステージに取り付け
られたステージ可動部４０３を重力方向に支持するステ
ージガイドである。ステージ４０１を駆動するリニアモ
ータは、可動子４０４と固定部４０５を有しており、固
定部４０５のコイル部に電流が流れることにより、ステ
ージ４０１が重力方向に推力を受ける。４０６はステー
ジの重力補償を行うためのシリンダであり、シリンダ４
０６の推力によりステージ４０１は重力方向に移動可能
である。
【０００４】ステージ４０１の位置測定は、ステージ４
０１に設けられた反射鏡４０９とレーザ測長器４１１を
用いて行う。
０１に設けられた反射鏡４０９とレーザ測長器４１１を
用いて行う。
【０００５】ステージ４０１の位置制御は、レーザ測長
器４１１で測定された計測結果をフィードバック信号と
し、与えられた目標位置と比較した制御演算を行い、シ
リンダ４０６を用いた位置決め制御の推力指令を出力す
る。
器４１１で測定された計測結果をフィードバック信号と
し、与えられた目標位置と比較した制御演算を行い、シ
リンダ４０６を用いた位置決め制御の推力指令を出力す
る。
【０００６】シリンダ４０６の圧力制御演算を行う圧力
制御装置４２１は、位置決め制御のための推力指令値に
対応する推力をシリンダ４０６内の気体４０７の圧力を
圧力検出手段である圧力センサ４０８で検出し、これを
フィードバック信号として制御演算を行う。ステージ４
０１がシリンダ４０６による移動を停止した後は、シリ
ンダ４０６によってステージ４０１の自重を補償しなが
ら、リニアモータ４０４・４０５による位置決め制御を
行う。
制御装置４２１は、位置決め制御のための推力指令値に
対応する推力をシリンダ４０６内の気体４０７の圧力を
圧力検出手段である圧力センサ４０８で検出し、これを
フィードバック信号として制御演算を行う。ステージ４
０１がシリンダ４０６による移動を停止した後は、シリ
ンダ４０６によってステージ４０１の自重を補償しなが
ら、リニアモータ４０４・４０５による位置決め制御を
行う。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この従来例では、ステ
ージの１点にて自重を補償していた。しかし、従来の方
式では、ステージ上に搭載する被加工物などをシリンダ
の発生する推力位置に合わせて搭載しないと、ステージ
にモーメント力がかかるようなアンバランスが生じてし
まう。特に、ステージの重力に対する搭載物の重量の比
率が高くなると、アンバランスの影響が大きくなる。こ
の対策として従来は、１）ステージ自体の重量を大きく
する、２）搭載物の重量を大幅に小さくする、等の制限
をしていた。
ージの１点にて自重を補償していた。しかし、従来の方
式では、ステージ上に搭載する被加工物などをシリンダ
の発生する推力位置に合わせて搭載しないと、ステージ
にモーメント力がかかるようなアンバランスが生じてし
まう。特に、ステージの重力に対する搭載物の重量の比
率が高くなると、アンバランスの影響が大きくなる。こ
の対策として従来は、１）ステージ自体の重量を大きく
する、２）搭載物の重量を大幅に小さくする、等の制限
をしていた。
【０００８】本発明は、高速高精度に位置決めするた
め、ステージをバランス良く自重補償するための自重補
償装置を提供することを目的とする。
め、ステージをバランス良く自重補償するための自重補
償装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記従来の構成を改善す
るための本発明の自重補償装置は、目的物を保持し重力
方向に移動可能なステージと、該ステージを該重力方向
に支持する複数の自重補償機構と、該ステージに推力を
付与する複数の推力発生機構と、該ステージの該重力方
向の位置と該重力方向と直交する方向を軸とする回転の
傾きとを計測する検出器とを有し、該ステージの目標位
置と該検出器の計測値から位置決め誤差を判定し、該位
置決め誤差が所定の範囲以上の場合は該自重補償機構に
より該ステージを駆動し、該位置決め誤差が該所定の範
囲以下の場合は該推力発生機構により該ステージを駆動
することを特徴とする。
るための本発明の自重補償装置は、目的物を保持し重力
方向に移動可能なステージと、該ステージを該重力方向
に支持する複数の自重補償機構と、該ステージに推力を
付与する複数の推力発生機構と、該ステージの該重力方
向の位置と該重力方向と直交する方向を軸とする回転の
傾きとを計測する検出器とを有し、該ステージの目標位
置と該検出器の計測値から位置決め誤差を判定し、該位
置決め誤差が所定の範囲以上の場合は該自重補償機構に
より該ステージを駆動し、該位置決め誤差が該所定の範
囲以下の場合は該推力発生機構により該ステージを駆動
することを特徴とする。
【００１０】前記自重補償機構は、シリンダ機構を有す
ることが望ましく、また、前記推力発生機構は、リニア
モータを有することが望ましい。
ることが望ましく、また、前記推力発生機構は、リニア
モータを有することが望ましい。
【００１１】また、前記ステージに保持する前記目的物
の情報に基づいて、前記自重補償機構と前記推力発生機
構のうち少なくとも一方を予め駆動することが望まし
い。
の情報に基づいて、前記自重補償機構と前記推力発生機
構のうち少なくとも一方を予め駆動することが望まし
い。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１に本発明の実施形態である重
力補償装置の構成を示す。
力補償装置の構成を示す。
【００１３】同図において、１０１ａ、１０１ｂはガイ
ドであり、１０２はステージであり、１０３ａ〜ｄは位
置決め用に推力を発生するためのリニアモータである。
１０４ａ〜ｄはステージ１０２の自重を補償のためのシ
リンダである。１０５ａ〜ｄはシリンダ内の制御圧力を
設定する圧力設定器、１０６ａ〜ｄは圧力誤差を計算す
るための減算器、１０７ａ〜ｄは圧力のフィードバック
制御系を安定化させるためのＰＩＤ補償器に代表される
圧力制御演算装置、１０８ａ〜ｄはシリンダへ供給する
ためのサーボ弁を駆動するための駆動装置、１０９ａ〜
ｄはシリンダに供給する流体を制御するためのサーボ
弁、１１０ａ〜ｄはシリンダ内の流体の圧力を検出する
圧力センサ、１１１ａ〜ｄは位置決め制御用に設けられ
た位置検出器のためのターゲット、１１２ａ〜ｄは位置
決め制御用に設けられた位置検出器、１１３は位置検出
で検出した信号から重力方向の位置（Ｚ）とＸ軸回りの
傾き（θｘ）とＹ軸回りの傾き（θｙ）とを計算する座
標変換器、１１４ａ〜ｃは位置偏差を計算するための減
算器、１１５ａ〜ｃは位置フィードバック系を安定化さ
せるための位置制御演算装置、１１６は３つの位置制御
補償器の処理結果を４本のシリンダの制御圧力に変換す
るための推力変換器、１１７はシリンダの制御圧力の設
定の更新を停止するためのスイッチ、１１８は位置フィ
ードバック制御系の３つの偏差信号から位置決め誤差の
判定を行うための位置決め判定器である。
ドであり、１０２はステージであり、１０３ａ〜ｄは位
置決め用に推力を発生するためのリニアモータである。
１０４ａ〜ｄはステージ１０２の自重を補償のためのシ
リンダである。１０５ａ〜ｄはシリンダ内の制御圧力を
設定する圧力設定器、１０６ａ〜ｄは圧力誤差を計算す
るための減算器、１０７ａ〜ｄは圧力のフィードバック
制御系を安定化させるためのＰＩＤ補償器に代表される
圧力制御演算装置、１０８ａ〜ｄはシリンダへ供給する
ためのサーボ弁を駆動するための駆動装置、１０９ａ〜
ｄはシリンダに供給する流体を制御するためのサーボ
弁、１１０ａ〜ｄはシリンダ内の流体の圧力を検出する
圧力センサ、１１１ａ〜ｄは位置決め制御用に設けられ
た位置検出器のためのターゲット、１１２ａ〜ｄは位置
決め制御用に設けられた位置検出器、１１３は位置検出
で検出した信号から重力方向の位置（Ｚ）とＸ軸回りの
傾き（θｘ）とＹ軸回りの傾き（θｙ）とを計算する座
標変換器、１１４ａ〜ｃは位置偏差を計算するための減
算器、１１５ａ〜ｃは位置フィードバック系を安定化さ
せるための位置制御演算装置、１１６は３つの位置制御
補償器の処理結果を４本のシリンダの制御圧力に変換す
るための推力変換器、１１７はシリンダの制御圧力の設
定の更新を停止するためのスイッチ、１１８は位置フィ
ードバック制御系の３つの偏差信号から位置決め誤差の
判定を行うための位置決め判定器である。
【００１４】１０４ａ〜ｄの４本のシリンダ内の流体圧
力は、１０６ａ〜ｄの減算器と１０７ａ〜ｄの圧力制御
演算装置と１０８ａ〜ｄのサーボ弁駆動装置と１０９ａ
〜ｄの流体制御用サーボ弁と１１０ａ〜ｄの圧力センサ
ーとを有するフィードバック制御系により、１０５ａ〜
ｄの目標圧力設定器で設定された圧力に制御される。減
算器１０６によって、１０５の目標圧力設定器で設定さ
れた圧力指令と、１１０の圧力センサで検出されたシリ
ンダ内の圧力との差が計算され、圧力誤差指令となって
圧力制御演算装置１０７に入力される。圧力制御演算装
置１０７は、圧力誤差をなくすための流体制御用サーボ
弁１０９の操作信号を出力する。出力された操作信号
は、サーボ弁駆動装置によって増幅され、流体制御用サ
ーボ弁１０９を駆動し、シリンダ１０４内の圧力を目標
圧力設定器で設定された圧力に制御する。
力は、１０６ａ〜ｄの減算器と１０７ａ〜ｄの圧力制御
演算装置と１０８ａ〜ｄのサーボ弁駆動装置と１０９ａ
〜ｄの流体制御用サーボ弁と１１０ａ〜ｄの圧力センサ
ーとを有するフィードバック制御系により、１０５ａ〜
ｄの目標圧力設定器で設定された圧力に制御される。減
算器１０６によって、１０５の目標圧力設定器で設定さ
れた圧力指令と、１１０の圧力センサで検出されたシリ
ンダ内の圧力との差が計算され、圧力誤差指令となって
圧力制御演算装置１０７に入力される。圧力制御演算装
置１０７は、圧力誤差をなくすための流体制御用サーボ
弁１０９の操作信号を出力する。出力された操作信号
は、サーボ弁駆動装置によって増幅され、流体制御用サ
ーボ弁１０９を駆動し、シリンダ１０４内の圧力を目標
圧力設定器で設定された圧力に制御する。
【００１５】ステージ１０２に新たに搭載されるものが
なければ、１０５ａ〜ｄの設定制御圧は常に一定値で良
い。しかし、加工機として利用した場合、被加工物や工
具等を新たに搭載するので、１０５ａ〜ｄの目標圧力設
定器で設定する制御圧力を変更しなければならない。
なければ、１０５ａ〜ｄの設定制御圧は常に一定値で良
い。しかし、加工機として利用した場合、被加工物や工
具等を新たに搭載するので、１０５ａ〜ｄの目標圧力設
定器で設定する制御圧力を変更しなければならない。
【００１６】そこで、本発明では、位置決め制御用に設
けられている位置検出器の位置信号（Ｚ１、Ｚ２、Ｚ
３、Ｚ４）から１１２のステージのＺ方向（重力方向）
の位置（Ｚ）とＸ軸回りの傾き（θｘ）とＹ軸回りの傾
き（θｙ）を計算し、この計算によって求められた位置
（Ｚ）と２つの傾き（θｘ、θｙ）を任意の設定値に制
御するような位置フィードバック系を設け、シリンダ１
０４ａ〜ｄ内の制御圧力を変更することで位置フィード
バック系に生じる誤差を除去する。位置フィードバック
系の誤差がなくなったときのシリンダ内の制御圧力は、
被加工物もしくは工具等が新たに搭載された状態でのバ
ランス圧に設定されているので、位置決め判定器１１８
において位置決め誤差が設定値以内に入ったかどうかを
判定し、設定値以内の場合はシリンダの制御圧力を保持
する。
けられている位置検出器の位置信号（Ｚ１、Ｚ２、Ｚ
３、Ｚ４）から１１２のステージのＺ方向（重力方向）
の位置（Ｚ）とＸ軸回りの傾き（θｘ）とＹ軸回りの傾
き（θｙ）を計算し、この計算によって求められた位置
（Ｚ）と２つの傾き（θｘ、θｙ）を任意の設定値に制
御するような位置フィードバック系を設け、シリンダ１
０４ａ〜ｄ内の制御圧力を変更することで位置フィード
バック系に生じる誤差を除去する。位置フィードバック
系の誤差がなくなったときのシリンダ内の制御圧力は、
被加工物もしくは工具等が新たに搭載された状態でのバ
ランス圧に設定されているので、位置決め判定器１１８
において位置決め誤差が設定値以内に入ったかどうかを
判定し、設定値以内の場合はシリンダの制御圧力を保持
する。
【００１７】ステージに取り付けられた１１１ａ〜ｄの
位置検出ターゲットのＺ方向の位置を１１２ａ〜ｄのレ
ーザ測長器に代表されるような位置検出器で検出する。
検出した位置信号（Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３、Ｚ４）から位置
座標変換器１１３によって、４つの位置検出器で検出し
たＺ方向の位置（Ｚ）の平均値と図１上の座標軸におけ
るＸ方向およびＹ方向の軸回りの傾き（θｘ、θｙ）を
計算する。誤差を１１４の減算器により、計算された位
置信号と２つの傾き信号と、設定されていたＺ方向の目
標位置信号（ＵＺ）と目標の傾き信号（Ｕθｘ、Ｕθ
ｙ）との誤差が求められる。計算された誤差信号は、位
置制御演算装置１１５と推力変換器１１６によって、誤
差を無くすための各シリンダ内の流体圧力指令値に変換
される。変換されたシリンダ内の流体圧力指令値は、１
１７のスイッチを介して、目標圧力設定器１０５に送ら
れる。シリンダの圧力制御系は、新たに送られてきた圧
力指令にしたがって、シリンダ内の圧力を制御する。
位置検出ターゲットのＺ方向の位置を１１２ａ〜ｄのレ
ーザ測長器に代表されるような位置検出器で検出する。
検出した位置信号（Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３、Ｚ４）から位置
座標変換器１１３によって、４つの位置検出器で検出し
たＺ方向の位置（Ｚ）の平均値と図１上の座標軸におけ
るＸ方向およびＹ方向の軸回りの傾き（θｘ、θｙ）を
計算する。誤差を１１４の減算器により、計算された位
置信号と２つの傾き信号と、設定されていたＺ方向の目
標位置信号（ＵＺ）と目標の傾き信号（Ｕθｘ、Ｕθ
ｙ）との誤差が求められる。計算された誤差信号は、位
置制御演算装置１１５と推力変換器１１６によって、誤
差を無くすための各シリンダ内の流体圧力指令値に変換
される。変換されたシリンダ内の流体圧力指令値は、１
１７のスイッチを介して、目標圧力設定器１０５に送ら
れる。シリンダの圧力制御系は、新たに送られてきた圧
力指令にしたがって、シリンダ内の圧力を制御する。
【００１８】スイッチ１１７は、シリンダへの目標設定
圧力を更新するのを停止する役割を果たすためにあり、
その動作は位置制御フィードバック系に設けられた位置
決め判定器１１８によって操作される。位置決め判定器
１１８は、位置制御フィードバック系で計算されるＺ方
向の位置とＸ方向およびＹ方向回りの傾きの誤差が位置
決め判定器内で設定されている値以下になっているとき
に、スイッチ１１７をオフにして目標圧力の更新を停止
する。
圧力を更新するのを停止する役割を果たすためにあり、
その動作は位置制御フィードバック系に設けられた位置
決め判定器１１８によって操作される。位置決め判定器
１１８は、位置制御フィードバック系で計算されるＺ方
向の位置とＸ方向およびＹ方向回りの傾きの誤差が位置
決め判定器内で設定されている値以下になっているとき
に、スイッチ１１７をオフにして目標圧力の更新を停止
する。
【００１９】以上のような制御により、位置制御フィー
ドバック系における位置と傾きの誤差がない状態は、シ
リンダ内の圧力によってステージがバランスされている
状態になっている。
ドバック系における位置と傾きの誤差がない状態は、シ
リンダ内の圧力によってステージがバランスされている
状態になっている。
【００２０】位置制御フィードバック系にＺ方向の位置
（Ｚ）だけでなく、Ｘ方向およびＹ方向回りの傾き（θ
ｘ、θｙ）を加えることで、ステージ１０２に保持され
た被加工物や工具によっておこる重量変化に対するＺ方
向の推力補償だけでなく、被加工物や工具の取り付け位
置によってステージに加わるモーメント力まで補償でき
る。
（Ｚ）だけでなく、Ｘ方向およびＹ方向回りの傾き（θ
ｘ、θｙ）を加えることで、ステージ１０２に保持され
た被加工物や工具によっておこる重量変化に対するＺ方
向の推力補償だけでなく、被加工物や工具の取り付け位
置によってステージに加わるモーメント力まで補償でき
る。
【００２１】以上説明したように、本発明の実施形態に
よれば、ステージの重力補償用に４本のシリンダを配置
し、４本のシリンダの流体圧力を独立に制御するととも
に、位置決め制御に設けられた４個の位置検出器からス
テージの重力方向の位置と、重力方向（Ｚ方向）に対し
て直交する２方向回りの傾き（θｘ、θｙ）とを制御す
る位置フィードバック制御系を設け、位置フィードバッ
ク系の誤差をシリンダ内の制御圧力変更することで制御
する。そして、位置フィードバック系の誤差が設定値以
下になったときのシリンダ内の制御圧力をバランス圧と
して保持することで、ステージの重量変動によって生じ
る重力方向の推力補償およびステージに加わるモーメン
ト力を補償する。
よれば、ステージの重力補償用に４本のシリンダを配置
し、４本のシリンダの流体圧力を独立に制御するととも
に、位置決め制御に設けられた４個の位置検出器からス
テージの重力方向の位置と、重力方向（Ｚ方向）に対し
て直交する２方向回りの傾き（θｘ、θｙ）とを制御す
る位置フィードバック制御系を設け、位置フィードバッ
ク系の誤差をシリンダ内の制御圧力変更することで制御
する。そして、位置フィードバック系の誤差が設定値以
下になったときのシリンダ内の制御圧力をバランス圧と
して保持することで、ステージの重量変動によって生じ
る重力方向の推力補償およびステージに加わるモーメン
ト力を補償する。
【００２２】なお、本発明の実施形態によれば、シリン
ダとリニアモータとも４個づつ配置されているが、これ
に限るものではなく、それぞれ３個以上あれば、ステー
ジの重力方向の位置と、重力方向（Ｚ方向）に対して直
交する２方向回りの傾き（θｘ、θｙ）とを制御するこ
とができる。
ダとリニアモータとも４個づつ配置されているが、これ
に限るものではなく、それぞれ３個以上あれば、ステー
ジの重力方向の位置と、重力方向（Ｚ方向）に対して直
交する２方向回りの傾き（θｘ、θｙ）とを制御するこ
とができる。
【００２３】また、上述の実施形態では、位置フィード
バック系により被加工物や工具の取り付け時の重量変化
・モーメント変化の補償を行っているが、新規に搭載さ
れる被加工物や工具等は加工対象や加工プロセスに依存
しており、その条件は最初から定められているので、加
工対象や加工プロセス等の情報をフィードフォワードで
目標圧力設定器に入力するようにし、この入力情報とフ
ィードフォワード系からの信号に基づいてシリンダ内の
圧力を制御するようにしてもよい。
バック系により被加工物や工具の取り付け時の重量変化
・モーメント変化の補償を行っているが、新規に搭載さ
れる被加工物や工具等は加工対象や加工プロセスに依存
しており、その条件は最初から定められているので、加
工対象や加工プロセス等の情報をフィードフォワードで
目標圧力設定器に入力するようにし、この入力情報とフ
ィードフォワード系からの信号に基づいてシリンダ内の
圧力を制御するようにしてもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明の請求項１記載の自重補償装置に
よれば、ステージの駆動ストローク全体に渡って、ステ
ージの重力方向および２方向回りの傾きを制御すること
ができる。
よれば、ステージの駆動ストローク全体に渡って、ステ
ージの重力方向および２方向回りの傾きを制御すること
ができる。
【００２５】また、請求項４記載の自重補償装置によれ
ば、ステージを予め駆動することにより、高速な位置決
めを行うことができる。
ば、ステージを予め駆動することにより、高速な位置決
めを行うことができる。
【図１】本発明の重力補償装置の構成図
【図２】従来の重力補償装置の構成図
１０１ ガイド １０２ ステージ １０３ リニアモータ １０４ シリンダ １０５ 目標圧力設定器 １０６ 減算器 １０７ 圧力制御演算装置 １０８ サーボ弁駆動装置 １０９ サーボ弁 １１０ 圧力センサ １１１ ターゲット １１２ 位置検出器 １１３ 位置座標変換器 １１４ 減算器 １１５ 位置制御演算器 １１６ 推力変換器 １１７ スイッチ １１８ 位置決め判定器 １１９ 位置制御系
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０５Ｄ 3/12 Ｂ２３Ｑ 1/14 Ｂ Ｆターム(参考） 3C001 SB06 TA01 TB06 TD01 3C036 HH04 3C048 AA01 BB20 BC02 DD01 DD26 EE08 5H303 AA01 BB01 BB09 BB11 BB14 BB17 CC03 DD04 DD07 EE01 EE03 EE07 FF04 GG11 HH02 HH07 KK02 KK03 KK04 LL01 MM05 QQ02 QQ06
Claims (4)
- 【請求項１】 目的物を保持し、重力方向に移動可能な
ステージと、 該ステージを該重力方向に支持する複数の自重補償機構
と、 該ステージに推力を付与する複数の推力発生機構と、 該ステージの該重力方向の位置と、該重力方向と直交す
る方向を軸とする回転の傾きとを計測する検出器とを有
し、 該ステージの目標位置と該検出器の計測値から位置決め
誤差を判定し、該位置決め誤差が所定の範囲以上の場合
は該自重補償機構により該ステージを駆動し、該位置決
め誤差が該所定の範囲以下の場合は該推力発生機構によ
り該ステージを駆動することを特徴とする自重補償装
置。 - 【請求項２】 前記自重補償機構は、シリンダ機構を有
することを特徴とする請求項１記載の自重補償装置。 - 【請求項３】 前記推力発生機構は、リニアモータを有
することを特徴とする請求項１または２記載の自重補償
装置。 - 【請求項４】 前記ステージに保持する前記目的物の情
報に基づいて、前記自重補償機構と前記推力発生機構の
うち少なくとも一方を予め駆動することを特徴とする請
求項１〜３いずれか記載の自重補償装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10339512A JP2000163130A (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 自重補償装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10339512A JP2000163130A (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 自重補償装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000163130A true JP2000163130A (ja) | 2000-06-16 |
Family
ID=18328191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10339512A Withdrawn JP2000163130A (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 自重補償装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000163130A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100716050B1 (ko) * | 2005-02-21 | 2007-05-08 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 스테이지장치 및 갠트리형 스테이지장치 및 스테이지장치의제어방법 |
| CN108263646A (zh) * | 2018-03-21 | 2018-07-10 | 天津航天机电设备研究所 | 一种多级耦合式重力补偿装置 |
| CN112548073A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-03-26 | 合肥江淮铸造有限责任公司 | 发动机铝合金缸体金属型低压铸造定位装置 |
-
1998
- 1998-11-30 JP JP10339512A patent/JP2000163130A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100716050B1 (ko) * | 2005-02-21 | 2007-05-08 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 스테이지장치 및 갠트리형 스테이지장치 및 스테이지장치의제어방법 |
| CN108263646A (zh) * | 2018-03-21 | 2018-07-10 | 天津航天机电设备研究所 | 一种多级耦合式重力补偿装置 |
| CN108263646B (zh) * | 2018-03-21 | 2024-01-16 | 天津航天机电设备研究所 | 一种多级耦合式重力补偿装置 |
| CN112548073A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-03-26 | 合肥江淮铸造有限责任公司 | 发动机铝合金缸体金属型低压铸造定位装置 |
| CN112548073B (zh) * | 2020-12-25 | 2022-02-25 | 合肥江淮铸造有限责任公司 | 发动机铝合金缸体金属型低压铸造定位装置 |
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