JP2868958B2 - 純水加温装置 - Google Patents
純水加温装置Info
- Publication number
- JP2868958B2 JP2868958B2 JP4233064A JP23306492A JP2868958B2 JP 2868958 B2 JP2868958 B2 JP 2868958B2 JP 4233064 A JP4233064 A JP 4233064A JP 23306492 A JP23306492 A JP 23306492A JP 2868958 B2 JP2868958 B2 JP 2868958B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pure water
- water tank
- heating
- heating water
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造工程等に
用いる純水加温装置に関するものである。
用いる純水加温装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、純水の加温装置は、透明
の石英ガラスやテフロン等の材料で構成しているため、
原材料のコストや加工精度等から高価格の装置となって
いる。図７は、従来の純水加温装置の縦断面図であっ
て、図示のように、加温水槽２１のボディー２２と、こ
のボディー２２内に装着された複数のヒータ挿入パイプ
２３とにより構成されている。この構成にあっては、ボ
ディー２２は、加温水槽２１の設置面に対し平行となる
ように設置されており、かつ各ヒータ挿入パイプ２３も
それぞれ設置面に対し平行となるように装着されてい
る。このため、純水の加温中に発生した気泡がボディー
２２内に滞留し、各ヒータ挿入パイプ２３の外面に纏わ
り付いたり、流路を閉塞したりすることになる。この結
果、純水の加温において、気泡の纏わりによる温度むら
を起こしたり、流路閉塞により流路抵抗が増大して加温
水槽２１を破壊することもある。また、図示のように、
純水入口管２４と純水出口管２５をそれぞれボディー２
２の周面に設けざるを得ないため、加工が非常に難しい
ものとなっている。さらには、加温水槽２１を上下に直
列に配設する場合は、比較的長尺の連結管２６を必要と
するためコストが高く、かつ配管構造が複雑となってコ
ンパクトな構成とはなっていない。
の石英ガラスやテフロン等の材料で構成しているため、
原材料のコストや加工精度等から高価格の装置となって
いる。図７は、従来の純水加温装置の縦断面図であっ
て、図示のように、加温水槽２１のボディー２２と、こ
のボディー２２内に装着された複数のヒータ挿入パイプ
２３とにより構成されている。この構成にあっては、ボ
ディー２２は、加温水槽２１の設置面に対し平行となる
ように設置されており、かつ各ヒータ挿入パイプ２３も
それぞれ設置面に対し平行となるように装着されてい
る。このため、純水の加温中に発生した気泡がボディー
２２内に滞留し、各ヒータ挿入パイプ２３の外面に纏わ
り付いたり、流路を閉塞したりすることになる。この結
果、純水の加温において、気泡の纏わりによる温度むら
を起こしたり、流路閉塞により流路抵抗が増大して加温
水槽２１を破壊することもある。また、図示のように、
純水入口管２４と純水出口管２５をそれぞれボディー２
２の周面に設けざるを得ないため、加工が非常に難しい
ものとなっている。さらには、加温水槽２１を上下に直
列に配設する場合は、比較的長尺の連結管２６を必要と
するためコストが高く、かつ配管構造が複雑となってコ
ンパクトな構成とはなっていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、前記問題
点に鑑み、気泡の発生に対処することができ、温度むら
を生じることなく、しかも安全で、かつ低コストの純水
加温装置を提供することを目的とするものである。
点に鑑み、気泡の発生に対処することができ、温度むら
を生じることなく、しかも安全で、かつ低コストの純水
加温装置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明
は、円筒状のボディーを設置面に対し下流側へ向かって
上り勾配となるように傾斜設置するとともに、該ボディ
ーの両端部を設置面に対し垂直となるようにそれぞれ形
成し、前記ボディーの上流側端部を上流側端面部材で封
着するとともに、前記ボディーの下流側端部を下流側端
面部材で封着し、この両端面部材と直交するように前記
ボディー内に複数のヒータ挿入パイプをそれぞれ挿入す
るとともに、該各ヒータ挿入パイプの両端部を前記両端
面部材にそれぞれ固着し、前記上流側端面部材の下部外
縁部に純水入口管を設けるとともに、前記下流側端面部
材の上部外縁部に純水出口管を設けたことを特徴として
おり、また請求項２に記載の発明は、円筒状のボディー
を設置面に対し下流側へ向かって上り勾配となるように
傾斜設置するとともに、該ボディーの両端部を設置面に
対し垂直となるようにそれぞれ形成し、前記ボディーの
上流側端部を上流側端面部材で封着するとともに、前記
ボディーの下流側端部を下流側端面部材で封着し、この
両端面部材と直交するように前記ボディー内に複数のヒ
ータ挿入パイプをそれぞれ挿入するとともに、該各ヒー
タ挿入パイプの両端部を前記両端面部材にそれぞれ固着
して加温水槽を構成し、該加温水槽を上下に配置してな
る純水加温装置において、下段に配設した下段加温水槽
の上流側端面部材の下部外縁部に純水入口管を設けると
ともに、該下段加温水槽の下流側でかつ当該下段加温水
槽の下流側端面部材に近接した位置の周面頂部に出口孔
を形成し、上段に配設した上段加温水槽の上流側でかつ
当該上段加温水槽の上流側端面部材に近接した位置の周
面底部に入口孔を形成するとともに、該上段加温水槽の
下流側端面部材の上部外縁部に純水出口管を設け、さら
に前記出口孔と前記入口孔とを連結管を介して接続した
たことを特徴としている。
解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明
は、円筒状のボディーを設置面に対し下流側へ向かって
上り勾配となるように傾斜設置するとともに、該ボディ
ーの両端部を設置面に対し垂直となるようにそれぞれ形
成し、前記ボディーの上流側端部を上流側端面部材で封
着するとともに、前記ボディーの下流側端部を下流側端
面部材で封着し、この両端面部材と直交するように前記
ボディー内に複数のヒータ挿入パイプをそれぞれ挿入す
るとともに、該各ヒータ挿入パイプの両端部を前記両端
面部材にそれぞれ固着し、前記上流側端面部材の下部外
縁部に純水入口管を設けるとともに、前記下流側端面部
材の上部外縁部に純水出口管を設けたことを特徴として
おり、また請求項２に記載の発明は、円筒状のボディー
を設置面に対し下流側へ向かって上り勾配となるように
傾斜設置するとともに、該ボディーの両端部を設置面に
対し垂直となるようにそれぞれ形成し、前記ボディーの
上流側端部を上流側端面部材で封着するとともに、前記
ボディーの下流側端部を下流側端面部材で封着し、この
両端面部材と直交するように前記ボディー内に複数のヒ
ータ挿入パイプをそれぞれ挿入するとともに、該各ヒー
タ挿入パイプの両端部を前記両端面部材にそれぞれ固着
して加温水槽を構成し、該加温水槽を上下に配置してな
る純水加温装置において、下段に配設した下段加温水槽
の上流側端面部材の下部外縁部に純水入口管を設けると
ともに、該下段加温水槽の下流側でかつ当該下段加温水
槽の下流側端面部材に近接した位置の周面頂部に出口孔
を形成し、上段に配設した上段加温水槽の上流側でかつ
当該上段加温水槽の上流側端面部材に近接した位置の周
面底部に入口孔を形成するとともに、該上段加温水槽の
下流側端面部材の上部外縁部に純水出口管を設け、さら
に前記出口孔と前記入口孔とを連結管を介して接続した
たことを特徴としている。
【０００５】
【作用】この発明によれば、加温水槽内で加温された純
水は、下流側端面部材の上部外縁部に設けた純水出口管
に向かって流れるが、加温水槽の下流側へ向かって上り
勾配となっているので、気泡同士が接触し合体しながら
流れる。したがって、気泡がヒータ挿入パイプに纏わり
付いたり、滞留すること等がなく、加温水槽および純水
出口管内で気泡による支障が発生することがなく、また
温度むらも発生しない。
水は、下流側端面部材の上部外縁部に設けた純水出口管
に向かって流れるが、加温水槽の下流側へ向かって上り
勾配となっているので、気泡同士が接触し合体しながら
流れる。したがって、気泡がヒータ挿入パイプに纏わり
付いたり、滞留すること等がなく、加温水槽および純水
出口管内で気泡による支障が発生することがなく、また
温度むらも発生しない。
【０００６】
【実施例】以下、この発明の具体的実施例を図面に基づ
いて詳細に説明する。図１は、この発明の第一実施例の
縦断面図である。また、図２は、図１の右側面図であ
り、図３は、図１の左側面図である。
いて詳細に説明する。図１は、この発明の第一実施例の
縦断面図である。また、図２は、図１の右側面図であ
り、図３は、図１の左側面図である。
【０００７】図１において、この発明に係る純水加温装
置は、適宜な加熱手段を内装することができるようにし
た加温水槽１により構成されており、この加温水槽１
は、純水の加温と云う観点から、以下に述べる構成部材
にはすべて透明な石英ガラスが用いられている。
置は、適宜な加熱手段を内装することができるようにし
た加温水槽１により構成されており、この加温水槽１
は、純水の加温と云う観点から、以下に述べる構成部材
にはすべて透明な石英ガラスが用いられている。
【０００８】さて、前記加温水槽１は、長手方向に所定
の長さを有する円筒状のボディー２により構成されてい
る。このボディー２は、前記加温水槽１を設置した際、
純水加温装置全体の設置面に対して、下流側へ向かって
上り勾配となるように傾斜設置されている。すなわち、
このボディー２は、水平に配置されるものではなく、そ
の長手方向において下流側が少し上方へ持ち上げられた
状態となっている。したがって、ボディー２の円筒線
（すなわち、長手方向の軸線）は、水平面（すなわち、
純水加温装置全体の設置面）に対して、下流側へ向かっ
て所定の勾配（この実施例においては約１．５°）をも
って傾斜していることになる。
の長さを有する円筒状のボディー２により構成されてい
る。このボディー２は、前記加温水槽１を設置した際、
純水加温装置全体の設置面に対して、下流側へ向かって
上り勾配となるように傾斜設置されている。すなわち、
このボディー２は、水平に配置されるものではなく、そ
の長手方向において下流側が少し上方へ持ち上げられた
状態となっている。したがって、ボディー２の円筒線
（すなわち、長手方向の軸線）は、水平面（すなわち、
純水加温装置全体の設置面）に対して、下流側へ向かっ
て所定の勾配（この実施例においては約１．５°）をも
って傾斜していることになる。
【０００９】そして、前記ボディー２の両端部は、前記
設置面に対して、垂直となるようにそれぞれ形成されて
いる。すなわち、両端部は斜めに切断されていることに
なる。このように形成された両端部において、まずその
上流側端部（図１の左側）は、上流側端面部材３で封着
されており、またその下流側端部（図１の右側）は、下
流側端面部材４で封着されている。この点において、両
端面部材３，４は、前記設置面（すなわち、水平面）に
対してそれぞれ垂直面を形成することになる。
設置面に対して、垂直となるようにそれぞれ形成されて
いる。すなわち、両端部は斜めに切断されていることに
なる。このように形成された両端部において、まずその
上流側端部（図１の左側）は、上流側端面部材３で封着
されており、またその下流側端部（図１の右側）は、下
流側端面部材４で封着されている。この点において、両
端面部材３，４は、前記設置面（すなわち、水平面）に
対してそれぞれ垂直面を形成することになる。
【００１０】そして、前記両端面部材３，４により、そ
の両端部を封着されたボディー２内には、複数本のヒー
タ挿入パイプ５，５，…が挿入されている（この実施例
においては、６本のヒータ挿入パイプ５が挿入されてい
る。図２および図３参照）。この各ヒータ挿入パイプ５
は、前記両端面部材３，４と直交するように挿入されて
おり、それぞれの両端部は、前記両端面部材３，４に固
着された状態でそれぞれ装着されている。この点におい
て、各ヒータ挿入パイプ５は、前記ボディー２内に水平
状態でそれぞれ装着されていることになる。
の両端部を封着されたボディー２内には、複数本のヒー
タ挿入パイプ５，５，…が挿入されている（この実施例
においては、６本のヒータ挿入パイプ５が挿入されてい
る。図２および図３参照）。この各ヒータ挿入パイプ５
は、前記両端面部材３，４と直交するように挿入されて
おり、それぞれの両端部は、前記両端面部材３，４に固
着された状態でそれぞれ装着されている。この点におい
て、各ヒータ挿入パイプ５は、前記ボディー２内に水平
状態でそれぞれ装着されていることになる。
【００１１】ところで、前記各ヒータ挿入パイプ５は、
傾斜設置された前記ボディー２内において水平に装着さ
れているため、前記上流側端面部材３側にあっては、図
３に示すように、前記上流側端面部材３に対して上部位
置へ若干偏った状態で装着されているため、前記上流側
端面部材３にあっては、その下部の外縁部にスペース的
に余裕部分が形成される。そこで、この余裕部分に純水
入口管６を設けている。また、前記下流側端面部材４側
にあっても、図２に示すように、前記各ヒータ挿入パイ
プ５は前記下流側端面部材４に対して下部位置へ若干偏
った状態で装着されているため、前記下流側端面部材４
にあっては、その上部の外縁部にスペース的に余裕部分
が形成される。そこで、この余裕部分に純水出口管７を
設けている。
傾斜設置された前記ボディー２内において水平に装着さ
れているため、前記上流側端面部材３側にあっては、図
３に示すように、前記上流側端面部材３に対して上部位
置へ若干偏った状態で装着されているため、前記上流側
端面部材３にあっては、その下部の外縁部にスペース的
に余裕部分が形成される。そこで、この余裕部分に純水
入口管６を設けている。また、前記下流側端面部材４側
にあっても、図２に示すように、前記各ヒータ挿入パイ
プ５は前記下流側端面部材４に対して下部位置へ若干偏
った状態で装着されているため、前記下流側端面部材４
にあっては、その上部の外縁部にスペース的に余裕部分
が形成される。そこで、この余裕部分に純水出口管７を
設けている。
【００１２】なお、この発明に係る純水加温装置は、前
記加温水槽１のほかに、図示および詳細な説明は省略す
るが、純水供給ライン，取水ライン，貯水タンク，配水
ライン，加熱部材等により構成されている。
記加温水槽１のほかに、図示および詳細な説明は省略す
るが、純水供給ライン，取水ライン，貯水タンク，配水
ライン，加熱部材等により構成されている。
【００１３】ここで、前記構成による作用について説明
する。まず、純水供給ライン（図示省略）から純水入口
管６を介して加温水槽１内に流入した純水は、６本のヒ
ータ挿入パイプ５内に挿入した加熱部材，たとえばハロ
ゲンランプ等により加熱され、昇温しながら下流側の純
水出口管７に向かって流れる。純水出口管７に到達した
純水は、純水出口管７に接続してある取水ライン（図示
省略）を介して貯水タンク（図示省略）へ流入する。そ
して、半導体製造工程等に洗浄水として配水ライン（図
示省略）を介して所定温度の純水として供給される。
する。まず、純水供給ライン（図示省略）から純水入口
管６を介して加温水槽１内に流入した純水は、６本のヒ
ータ挿入パイプ５内に挿入した加熱部材，たとえばハロ
ゲンランプ等により加熱され、昇温しながら下流側の純
水出口管７に向かって流れる。純水出口管７に到達した
純水は、純水出口管７に接続してある取水ライン（図示
省略）を介して貯水タンク（図示省略）へ流入する。そ
して、半導体製造工程等に洗浄水として配水ライン（図
示省略）を介して所定温度の純水として供給される。
【００１４】ここにおいて、加温水槽１，すなわちボデ
ィー２は、下流側へ向かって上り勾配に傾斜配置してあ
るので、昇温時に発生する気泡は、ボディー２内におい
て、上方に位置するヒータ挿入パイプ５とボディー２の
内部頂面との間に集まって浮上する。すなわち、気泡
は、各ヒータ挿入パイプ５に纏わり付くことなく浮上
し、そして浮上した気泡は、ボディー２が上り勾配とな
っているので、内部頂面の内壁に沿ってスムーズに流れ
る。したがって、加温水槽１内および純水出口管７内で
の気泡による支障はなく、温度むらも発生しない。
ィー２は、下流側へ向かって上り勾配に傾斜配置してあ
るので、昇温時に発生する気泡は、ボディー２内におい
て、上方に位置するヒータ挿入パイプ５とボディー２の
内部頂面との間に集まって浮上する。すなわち、気泡
は、各ヒータ挿入パイプ５に纏わり付くことなく浮上
し、そして浮上した気泡は、ボディー２が上り勾配とな
っているので、内部頂面の内壁に沿ってスムーズに流れ
る。したがって、加温水槽１内および純水出口管７内で
の気泡による支障はなく、温度むらも発生しない。
【００１５】つぎに、前記第一実施例に代わる第二実施
例を図４〜図６に基づいて詳細に説明する。以下の説明
においては、前記第一実施例において説明した部材と同
一の部材には同一符号を付し、詳細な説明は省略する。
例を図４〜図６に基づいて詳細に説明する。以下の説明
においては、前記第一実施例において説明した部材と同
一の部材には同一符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００１６】この発明の第二実施例を示す図４は、２個
の加温水槽を上下に配設した一体型純水加温装置の概略
説明図である。また、図５は、図４における要部の縦断
面図であり、図６は、図５の右側面図である。
の加温水槽を上下に配設した一体型純水加温装置の概略
説明図である。また、図５は、図４における要部の縦断
面図であり、図６は、図５の右側面図である。
【００１７】さて、図４に示す第二実施例において、上
下に配設される各加温水槽は、前記第一実施例において
説明した加温水槽１とほぼ同一に構成されており、下段
に配設された下段加温水槽１ａと上段に配設された上段
加温水槽１ｂとを連結したものとして実現される。すな
わち、下段加温水槽１ａと上段加温水槽１ｂは、ともに
下流側へ向かって上り勾配となるように傾斜設置されて
いる。そして、下段加温水槽１ａは、まずその上流側に
あっては、上流側端面部材３ａの下部外縁部における余
裕部分に純水入口管６が設けられており、またその下流
側にあっては、下流側端面部材４ａに近接した位置にお
いて、その周面の頂部に出口孔８が形成されている。一
方、上段加温水槽１ｂは、まずその上流側にあっては、
上流側端面部材３ｂに近接した位置において、その周面
の底部に入口孔９が形成されており、またその下流側に
あっては、下流側端面部材４ｂの上部外縁部における余
裕部分に純水出口管７が設けられている。さらに、下段
加温水槽１ａの出口孔８と上段加温水槽１ｂの入口孔９
とは、連結管１０を介して接続されており、この接続に
より上下の両加温水槽１ａ，１ｂが連通する構成となっ
ている。この接続に際しては、ステー１１を用いて上下
の両加温水槽１ａ，１ｂを固着するとともに、上下の両
加温水槽１ａ，１ｂの各端面部材３ａ，３ｂ，４ａ，４
ｂが前記設置面に対して、それぞれ垂直となるように構
成している。
下に配設される各加温水槽は、前記第一実施例において
説明した加温水槽１とほぼ同一に構成されており、下段
に配設された下段加温水槽１ａと上段に配設された上段
加温水槽１ｂとを連結したものとして実現される。すな
わち、下段加温水槽１ａと上段加温水槽１ｂは、ともに
下流側へ向かって上り勾配となるように傾斜設置されて
いる。そして、下段加温水槽１ａは、まずその上流側に
あっては、上流側端面部材３ａの下部外縁部における余
裕部分に純水入口管６が設けられており、またその下流
側にあっては、下流側端面部材４ａに近接した位置にお
いて、その周面の頂部に出口孔８が形成されている。一
方、上段加温水槽１ｂは、まずその上流側にあっては、
上流側端面部材３ｂに近接した位置において、その周面
の底部に入口孔９が形成されており、またその下流側に
あっては、下流側端面部材４ｂの上部外縁部における余
裕部分に純水出口管７が設けられている。さらに、下段
加温水槽１ａの出口孔８と上段加温水槽１ｂの入口孔９
とは、連結管１０を介して接続されており、この接続に
より上下の両加温水槽１ａ，１ｂが連通する構成となっ
ている。この接続に際しては、ステー１１を用いて上下
の両加温水槽１ａ，１ｂを固着するとともに、上下の両
加温水槽１ａ，１ｂの各端面部材３ａ，３ｂ，４ａ，４
ｂが前記設置面に対して、それぞれ垂直となるように構
成している。
【００１８】そして、前記のように上下２段に構成され
た加温水槽１は、一体型純水加温装置として、図４に示
すように、システムとしての各種機器や配管ライン等が
接続されている。すなわち、前記純水入口管６には純水
供給ライン１３が接続されているとともに、前記純水出
口管７には温度センサ１６を備えた取水ライン１４が接
続されている。そして、この取水ライン１４は、加温純
水を貯留する貯水タンク１２と接続しており、この貯水
タンク１２には、半導体製造工程等における洗浄水とし
て供給する配水ライン１５が接続されている。
た加温水槽１は、一体型純水加温装置として、図４に示
すように、システムとしての各種機器や配管ライン等が
接続されている。すなわち、前記純水入口管６には純水
供給ライン１３が接続されているとともに、前記純水出
口管７には温度センサ１６を備えた取水ライン１４が接
続されている。そして、この取水ライン１４は、加温純
水を貯留する貯水タンク１２と接続しており、この貯水
タンク１２には、半導体製造工程等における洗浄水とし
て供給する配水ライン１５が接続されている。
【００１９】ここで、前記第二実施例の構成による作用
について説明する。図４に示すように、純水供給ライン
１３から純水入口管６を介して下段加温水槽１ａ内に流
入した純水は、複数の加熱手段（図示省略）により加熱
され、昇温しながら連結管１０を介して上段加温水槽１
ｂ内へ流入する。そして、上段加温水槽１ｂ内でさらに
加熱され、所定温度（７５℃〜８５℃）に加温された純
水は、上段加温水槽１ｂの純水出口管７から取水ライン
１４へ流出し、この取水ライン１４に設けられた温度セ
ンサ１６で検温され、貯水タンク１２内へ流入する。こ
こにおいて、前記上下の両加温水槽１ａ，１ｂは、それ
ぞれ下流側へ向かって上り勾配となるように傾斜設置さ
れているので、前記第一実施例と同様、気泡による支障
はなく、温度むらも発生しない。また、前記温度センサ
１６は、前記取水ライン１４を流通する純水の温度を検
出し、その検出値を制御装置（図示省略）へ出力する。
この出力値に基づいて、制御装置は前記加熱手段を調整
し、前記貯水タンク１２内に貯留される純水が所定温度
になるように制御する。
について説明する。図４に示すように、純水供給ライン
１３から純水入口管６を介して下段加温水槽１ａ内に流
入した純水は、複数の加熱手段（図示省略）により加熱
され、昇温しながら連結管１０を介して上段加温水槽１
ｂ内へ流入する。そして、上段加温水槽１ｂ内でさらに
加熱され、所定温度（７５℃〜８５℃）に加温された純
水は、上段加温水槽１ｂの純水出口管７から取水ライン
１４へ流出し、この取水ライン１４に設けられた温度セ
ンサ１６で検温され、貯水タンク１２内へ流入する。こ
こにおいて、前記上下の両加温水槽１ａ，１ｂは、それ
ぞれ下流側へ向かって上り勾配となるように傾斜設置さ
れているので、前記第一実施例と同様、気泡による支障
はなく、温度むらも発生しない。また、前記温度センサ
１６は、前記取水ライン１４を流通する純水の温度を検
出し、その検出値を制御装置（図示省略）へ出力する。
この出力値に基づいて、制御装置は前記加熱手段を調整
し、前記貯水タンク１２内に貯留される純水が所定温度
になるように制御する。
【００２０】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、気泡
の流出が円滑になり、かつ温度むらもなくなり、スムー
ズに純水を所定温度に加温することができる。また、加
温水槽を傾斜設置するとともに、ヒータ挿入パイプを水
平に装着したので、両端面部材にスペース的な余裕部分
が形成され、純水入口管と純水出口管の取付け加工が容
易となる。さらに、一体型の純水加温装置にあっては、
簡単な連結管のみにより接続することができ、複雑な配
管構造が不要となり、コンパクト化を実現できるととも
に、製造コストの低減化を図ることができる。
の流出が円滑になり、かつ温度むらもなくなり、スムー
ズに純水を所定温度に加温することができる。また、加
温水槽を傾斜設置するとともに、ヒータ挿入パイプを水
平に装着したので、両端面部材にスペース的な余裕部分
が形成され、純水入口管と純水出口管の取付け加工が容
易となる。さらに、一体型の純水加温装置にあっては、
簡単な連結管のみにより接続することができ、複雑な配
管構造が不要となり、コンパクト化を実現できるととも
に、製造コストの低減化を図ることができる。
【図１】この発明の第一実施例を示す縦断面図である。
【図２】図１の右側面図である。
【図３】図１の左側面図である。
【図４】この発明の第二実施例を示す概略説明図であ
る。
る。
【図５】図４の要部の縦断面図である。
【図６】図５の右側面図である。
【図７】従来の加温水槽の縦断面図である。
１…加温水槽 １ａ…下段加温水槽 １ｂ…上段加温水槽 ２…ボディー ３…上流側端面部材 ３ａ…上流側端面部材 ３ｂ…上流側端面部材 ４…下流側端面部材 ４ａ…下流側端面部材 ４ｂ…下流側端面部材 ５…ヒータ挿入パイプ ６…純水入口管 ７…純水出口管 ８…出口孔 ９…入口孔 １０…連結管
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−75439（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−23748（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−294740（ＪＰ，Ａ) 実公 昭40−712（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F24H 1/10
Claims (2)
- 【請求項１】 円筒状のボディー２を設置面に対し下流
側へ向かって上り勾配となるように傾斜設置するととも
に、該ボディー２の両端部を設置面に対し垂直となるよ
うにそれぞれ形成し、前記ボディー２の上流側端部を上
流側端面部材３で封着するとともに、前記ボディー２の
下流側端部を下流側端面部材４で封着し、この両端面部
材３，４と直交するように前記ボディー２内に複数のヒ
ータ挿入パイプ５をそれぞれ挿入するとともに、該各ヒ
ータ挿入パイプ５の両端部を前記両端面部材３，４にそ
れぞれ固着し、前記上流側端面部材３の下部外縁部に純
水入口管６を設けるとともに、前記下流側端面部材４の
上部外縁部に純水出口管７を設けたことを特徴とする純
水加温装置。 - 【請求項２】 円筒状のボディー２を設置面に対し下流
側へ向かって上り勾配となるように傾斜設置するととも
に、該ボディー２の両端部を設置面に対し垂直となるよ
うにそれぞれ形成し、前記ボディー２の上流側端部を上
流側端面部材３で封着するとともに、前記ボディー２の
下流側端部を下流側端面部材４で封着し、この両端面部
材３，４と直交するように前記ボディー２内に複数のヒ
ータ挿入パイプ５をそれぞれ挿入するとともに、該各ヒ
ータ挿入パイプ５の両端部を前記両端面部材３，４にそ
れぞれ固着して加温水槽１を構成し、該加温水槽１を上
下に配置してなる純水加温装置において、下段に配設し
た下段加温水槽１ａの上流側端面部材３ａの下部外縁部
に純水入口管６を設けるとともに、該下段加温水槽１ａ
の下流側でかつ当該下段加温水槽１ａの下流側端面部材
４ａに近接した位置の周面頂部に出口孔８を形成し、上
段に配設した上段加温水槽１ｂの上流側でかつ当該上段
加温水槽１ｂの上流側端面部材３ｂに近接した位置の周
面底部に入口孔９を形成するとともに、該上段加温水槽
１ｂの下流側端面部材４ｂの上部外縁部に純水出口管７
を設け、さらに前記出口孔８と前記入口孔９とを連結管
１０を介して接続したたことを特徴とする純水加温装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4233064A JP2868958B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 純水加温装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4233064A JP2868958B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 純水加温装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0674557A JPH0674557A (ja) | 1994-03-15 |
| JP2868958B2 true JP2868958B2 (ja) | 1999-03-10 |
Family
ID=16949239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4233064A Expired - Fee Related JP2868958B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 純水加温装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2868958B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101378812B1 (ko) * | 2010-05-20 | 2014-03-27 | 오현오 | 온수생성공급장치 |
| KR101739807B1 (ko) * | 2016-07-19 | 2017-05-26 | ㈜디에스에이치 | 유체가열 장치 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001087698A (ja) * | 1999-09-22 | 2001-04-03 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | カーテンコータ用カラー脱泡装置 |
| JP5132392B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2013-01-30 | ニチアス株式会社 | ランプ及び加熱装置 |
| JP2009264646A (ja) * | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Nippon Denka Koki Kk | 液体加熱装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS40712Y1 (ja) * | 1961-11-01 | 1965-01-11 | ||
| ZA843094B (en) * | 1983-05-04 | 1984-12-24 | Albert G Lemmons | A method and apparatus for heating liquid |
| JPS6375439A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-05 | Toho Kasei Kk | 流体加熱器 |
-
1992
- 1992-08-07 JP JP4233064A patent/JP2868958B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101378812B1 (ko) * | 2010-05-20 | 2014-03-27 | 오현오 | 온수생성공급장치 |
| KR101739807B1 (ko) * | 2016-07-19 | 2017-05-26 | ㈜디에스에이치 | 유체가열 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0674557A (ja) | 1994-03-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| AU687581B2 (en) | Cartridge heater system | |
| US3868945A (en) | Solar heater for swimming pools | |
| US2167576A (en) | Solar heater | |
| JP2868958B2 (ja) | 純水加温装置 | |
| FI68462C (fi) | Radiator | |
| US3568658A (en) | Submersible water heater | |
| US5433379A (en) | Dual tank water heating system | |
| JP2000304353A (ja) | 液体加熱装置 | |
| GB1518789A (en) | Hot water storage and apparatus therefor | |
| JPH0378537B2 (ja) | ||
| EP0138682A3 (fr) | Dispositif permettant le stockage thermique à partir de deux sources énergétiques, et installation utilisant un tel dispositif | |
| CN210154074U (zh) | 一种快速热水器 | |
| CN209165537U (zh) | 玻璃热管式太阳能复合电蓄热采暖锅炉及其热水系统 | |
| JP2505411Y2 (ja) | 貯湯式給湯装置 | |
| JPS625045A (ja) | 流体昇温装置 | |
| JP3147449B2 (ja) | 即時給湯装置 | |
| JPS5811546B2 (ja) | タイヨウネツオンスイキノ ホジヨカネツソウチ | |
| JPS62141459A (ja) | 超純水加熱器 | |
| EP0599525B1 (en) | Gas sensor | |
| JPH07318165A (ja) | 純水加温装置 | |
| SU1260646A1 (ru) | Солнечный водонагреватель | |
| JPH09149734A (ja) | 温室内の加温装置 | |
| JPS58502107A (ja) | 液体を太陽熱により加熱する装置 | |
| JPS6059367B2 (ja) | 表面取水装置 | |
| JPS58153044A (ja) | 太陽熱温水器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |