JPH07318165A - 純水加温装置 - Google Patents
純水加温装置Info
- Publication number
- JPH07318165A JPH07318165A JP13133594A JP13133594A JPH07318165A JP H07318165 A JPH07318165 A JP H07318165A JP 13133594 A JP13133594 A JP 13133594A JP 13133594 A JP13133594 A JP 13133594A JP H07318165 A JPH07318165 A JP H07318165A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pure water
- heating
- water supply
- flow rate
- heating tank
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の加温槽を備えた純水加温装置におい
て、各加温槽の温度調整を容易にするとともに配管費用
を低減する。 【構成】 純水供給源１と洗浄装置２との間を純水供給
路３で接続し、この純水供給路３中に複数の加温槽４を
並列に接続し、それぞれの加温槽４の入口側に流量調整
機構５を設けるとともに、出口側に温度センサ６を設け
た構成。
て、各加温槽の温度調整を容易にするとともに配管費用
を低減する。 【構成】 純水供給源１と洗浄装置２との間を純水供給
路３で接続し、この純水供給路３中に複数の加温槽４を
並列に接続し、それぞれの加温槽４の入口側に流量調整
機構５を設けるとともに、出口側に温度センサ６を設け
た構成。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造工程等に
用いる純水加温装置に関するものである。
用いる純水加温装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、純水の加温装置は透明の
石英ガラスやテフロン等の材料で構成しているため、原
材料のコストや加工難度等から高価格の装置となってい
る。図６は、従来の純水加温装置の説明図であって、図
示のように、純水供給源１１と洗浄装置１２との間を純
水供給路１３で接続し、この純水供給路１３中に複数の
加温槽１４を直列に接続し、それぞれの加温槽１４の出
口側に温度センサ１５を設けている。前記加温槽１４の
加熱手段は、図示省略のヒーター挿入パイプ内に、例え
ばハロゲンランプ等を挿入している。尚、通常容量の大
きい純水加温装置を得る為には、耐圧とヒータ容量の制
約から複数の加温槽を組み合わせて使用しているが、従
来は直列に接続するものしかなかった。
石英ガラスやテフロン等の材料で構成しているため、原
材料のコストや加工難度等から高価格の装置となってい
る。図６は、従来の純水加温装置の説明図であって、図
示のように、純水供給源１１と洗浄装置１２との間を純
水供給路１３で接続し、この純水供給路１３中に複数の
加温槽１４を直列に接続し、それぞれの加温槽１４の出
口側に温度センサ１５を設けている。前記加温槽１４の
加熱手段は、図示省略のヒーター挿入パイプ内に、例え
ばハロゲンランプ等を挿入している。尚、通常容量の大
きい純水加温装置を得る為には、耐圧とヒータ容量の制
約から複数の加温槽を組み合わせて使用しているが、従
来は直列に接続するものしかなかった。
【０００３】ところで、前記純水加温装置での純水の加
熱は、前記純水供給源１１より所定流量の純水を純水供
給路１３を介して複数の加温槽１４内を順次流通させて
図７に示すように、それぞれの加温槽４の出口で所定温
度になるように前記加熱手段を調整している。即ち、Ｎ
Ｏ．１加温槽出口では２０℃に、ＮＯ．２では４０℃、
ＮＯ．３の最終出口において所定温度の６０℃になるよ
うに加熱する。
熱は、前記純水供給源１１より所定流量の純水を純水供
給路１３を介して複数の加温槽１４内を順次流通させて
図７に示すように、それぞれの加温槽４の出口で所定温
度になるように前記加熱手段を調整している。即ち、Ｎ
Ｏ．１加温槽出口では２０℃に、ＮＯ．２では４０℃、
ＮＯ．３の最終出口において所定温度の６０℃になるよ
うに加熱する。
【０００４】しかしながら、複数の加温槽１４を直列に
接続しているため、それぞれの加温槽１４出口温度を検
知する温度センサ１５を設けて調整しているが、各加温
槽１４の入口から出口に向って純水温度が上昇し、各設
定温度は各加温槽の加熱能力に応じて段階的な温度を設
定する必要から各加温槽の温度設定は計算を伴うめんど
うな作業である。また、純水供給路１３に加温槽１４を
直列に接続し純水流量を大きくしているため、配管部材
は通水時の圧力損失を少なくする必要から大口径のもの
を使用している。したがって、前述のように不純物の少
ない材料（例えばテフロン等）であるからより大口径の
ものほど高価なものとなっている。
接続しているため、それぞれの加温槽１４出口温度を検
知する温度センサ１５を設けて調整しているが、各加温
槽１４の入口から出口に向って純水温度が上昇し、各設
定温度は各加温槽の加熱能力に応じて段階的な温度を設
定する必要から各加温槽の温度設定は計算を伴うめんど
うな作業である。また、純水供給路１３に加温槽１４を
直列に接続し純水流量を大きくしているため、配管部材
は通水時の圧力損失を少なくする必要から大口径のもの
を使用している。したがって、前述のように不純物の少
ない材料（例えばテフロン等）であるからより大口径の
ものほど高価なものとなっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、前記問題
点に鑑み、加温槽の温度調整が容易でしかも小口径の配
管を使用する低コストの純水加温装置を提供することを
目的とするものである。
点に鑑み、加温槽の温度調整が容易でしかも小口径の配
管を使用する低コストの純水加温装置を提供することを
目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記問題を
解決するためになされたものであって、請求項１の発明
は、純水供給源と洗浄装置との間を純水供給路で接続
し、この純水供給路中に複数の加温槽を並列に接続し、
それぞれの加温槽の入口側に流量調整機構を設けるとと
もに、出口側に温度センサを設けたことを特徴とし、請
求項２の発明は、純水供給源と洗浄装置との間を純水供
給路で接続し、この純水供給路中に複数の加温槽を並列
に接続し、それぞれの加温槽の出口側に流量調整機構と
温度センサを設けたことを特徴としている。
解決するためになされたものであって、請求項１の発明
は、純水供給源と洗浄装置との間を純水供給路で接続
し、この純水供給路中に複数の加温槽を並列に接続し、
それぞれの加温槽の入口側に流量調整機構を設けるとと
もに、出口側に温度センサを設けたことを特徴とし、請
求項２の発明は、純水供給源と洗浄装置との間を純水供
給路で接続し、この純水供給路中に複数の加温槽を並列
に接続し、それぞれの加温槽の出口側に流量調整機構と
温度センサを設けたことを特徴としている。
【０００７】
【作用】この発明によれば、純水供給路に並列に接続し
たそれぞれの加温槽に設けた流量調整機構によって、所
定流量の純水が均一に各加温槽内に流入する。そして、
各加温槽から出る純水の温度を温度センサによって検知
する。
たそれぞれの加温槽に設けた流量調整機構によって、所
定流量の純水が均一に各加温槽内に流入する。そして、
各加温槽から出る純水の温度を温度センサによって検知
する。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１は、この発明を実施した純水加温装
置の構成を示す説明図であって、１は純水供給源、２は
洗浄装置で前記純水供給源１との間を純水供給路３で接
続し、この純水供給路３中にそれぞれ加熱手段（例えば
ハロゲンランプ）を備えた複数の加温槽４ａ、４ｂ、４
ｃを並列に接続している。この各加温槽４ａ、４ｂ、４
ｃのそれぞれの入口側に流量調整機構としてオリフィス
５ａ、５ｂ、５ｃを設けており、また、それぞれの出口
側に温度センサ６ａ、６ｂ、６ｃを設けている。尚、こ
の各温度センサ６ａ、６ｂ、６ｃは、図示省略の制御器
へ回線（図示省略）を介して接続してあって、前記加熱
手段の温度調整を行なうようにしている。
細に説明する。図１は、この発明を実施した純水加温装
置の構成を示す説明図であって、１は純水供給源、２は
洗浄装置で前記純水供給源１との間を純水供給路３で接
続し、この純水供給路３中にそれぞれ加熱手段（例えば
ハロゲンランプ）を備えた複数の加温槽４ａ、４ｂ、４
ｃを並列に接続している。この各加温槽４ａ、４ｂ、４
ｃのそれぞれの入口側に流量調整機構としてオリフィス
５ａ、５ｂ、５ｃを設けており、また、それぞれの出口
側に温度センサ６ａ、６ｂ、６ｃを設けている。尚、こ
の各温度センサ６ａ、６ｂ、６ｃは、図示省略の制御器
へ回線（図示省略）を介して接続してあって、前記加熱
手段の温度調整を行なうようにしている。
【０００９】図２は、前記加温槽４の縦断面図、図３は
左側面図、図４は右側面図である。前記加温槽４は、円
筒のボディー４ａ、上流側端面部材４ｂ、下流側端面部
材４ｃおよび複数のヒーター挿入パイプ４ｄ並びに純水
入口４ｅと純水出口４ｆを開口した構成となっている。
この加温槽４の前記構成部材は、すべて透明の石英ガラ
スを用いている。前記ボディー４ａは、円筒線に対して
所定長さに両端を斜めに切断してあって、この両端面の
上流側（図２の左側）に上流側端面部材４ｂを、下流側
（図２の右側）に下流側端面部材４ｃをそれぞれ封着
し、この両端面部材４ｂ、４ｃが垂直になるように配設
する。即ち、ボディー４ａの円筒線は水平に対し下流側
に向って所定の勾配（この実施例では約１．５°）を付
けたことになる。そして、前記上流側端面部材４ｂと下
流側端面部材４ｃとの間に、図３〜図４に示すように、
６本のヒーター挿入パイプ４ｄを両端面部材４ｂ、４ｃ
に対して直交するように挿設し、上流側端面部材４ｂの
下部に純水入口４ｅを、下流側端面部材４ｃの上部に純
水出口４ｆを開口して加温槽４を形成している。そし
て、前記純水入口４ｅと純水出口４ｆに前記純水供給路
３をそれぞれ接続している。
左側面図、図４は右側面図である。前記加温槽４は、円
筒のボディー４ａ、上流側端面部材４ｂ、下流側端面部
材４ｃおよび複数のヒーター挿入パイプ４ｄ並びに純水
入口４ｅと純水出口４ｆを開口した構成となっている。
この加温槽４の前記構成部材は、すべて透明の石英ガラ
スを用いている。前記ボディー４ａは、円筒線に対して
所定長さに両端を斜めに切断してあって、この両端面の
上流側（図２の左側）に上流側端面部材４ｂを、下流側
（図２の右側）に下流側端面部材４ｃをそれぞれ封着
し、この両端面部材４ｂ、４ｃが垂直になるように配設
する。即ち、ボディー４ａの円筒線は水平に対し下流側
に向って所定の勾配（この実施例では約１．５°）を付
けたことになる。そして、前記上流側端面部材４ｂと下
流側端面部材４ｃとの間に、図３〜図４に示すように、
６本のヒーター挿入パイプ４ｄを両端面部材４ｂ、４ｃ
に対して直交するように挿設し、上流側端面部材４ｂの
下部に純水入口４ｅを、下流側端面部材４ｃの上部に純
水出口４ｆを開口して加温槽４を形成している。そし
て、前記純水入口４ｅと純水出口４ｆに前記純水供給路
３をそれぞれ接続している。
【００１０】前記供給路３中に複数の加温槽４を並列に
接続することによって、各加温槽４内に流入する純水の
流量は流量圧損のため均一にならないため、各加温槽４
の入口側に流量調整機構５を設けている。この実施例に
おいては、前記加温槽４の入口側に設けた流量調整機構
のオリフィス５は、前記純水供給路３の下流に向うほど
流量圧損が少なくなる。即ち、前記加温槽４ａ、４ｂ、
４ｃに均一流量の純水を供給するには、流量圧損の大き
いオリフィス５ａには抵抗の少ないものを用い、オリフ
ィス５ｂ、５ｃには、順次５ａよりも抵抗の大きいオリ
フィスを用いて加温槽へ供給する純水の流量が均一にな
るようにしている。
接続することによって、各加温槽４内に流入する純水の
流量は流量圧損のため均一にならないため、各加温槽４
の入口側に流量調整機構５を設けている。この実施例に
おいては、前記加温槽４の入口側に設けた流量調整機構
のオリフィス５は、前記純水供給路３の下流に向うほど
流量圧損が少なくなる。即ち、前記加温槽４ａ、４ｂ、
４ｃに均一流量の純水を供給するには、流量圧損の大き
いオリフィス５ａには抵抗の少ないものを用い、オリフ
ィス５ｂ、５ｃには、順次５ａよりも抵抗の大きいオリ
フィスを用いて加温槽へ供給する純水の流量が均一にな
るようにしている。
【００１１】次に、この発明の作用について説明する。
純水供給源１より純水供給路３を介して所定流量の純水
を供給し、純水供給路３の途中より加温槽４ａ、４ｂ、
４ｃ内にオリフィス５ａ、５ｂ、５ｃを介してそれぞれ
所定流量の純水を均一に供給する。前記加温槽４ａ、４
ｂ、４ｃ内に流入した純水は、前記６本のヒーター挿入
パイプ４ｄ内に挿入した加熱手段、例えばハロゲンラン
プ（図示省略）等により加熱され、昇温しながら下流側
の純水出口４ｆより純水供給路３内に流入し前記洗浄装
置２に供給される。尚、各加温槽４ａ、４ｂ、４ｃ内で
加熱された純水温度は、前記出口側純水供給路３に設け
た各温度センサ６ａ、６ｂ、６ｃで検知し、所定温度に
なるように前記加熱手段を制御器（図示省略）を介して
調整する。
純水供給源１より純水供給路３を介して所定流量の純水
を供給し、純水供給路３の途中より加温槽４ａ、４ｂ、
４ｃ内にオリフィス５ａ、５ｂ、５ｃを介してそれぞれ
所定流量の純水を均一に供給する。前記加温槽４ａ、４
ｂ、４ｃ内に流入した純水は、前記６本のヒーター挿入
パイプ４ｄ内に挿入した加熱手段、例えばハロゲンラン
プ（図示省略）等により加熱され、昇温しながら下流側
の純水出口４ｆより純水供給路３内に流入し前記洗浄装
置２に供給される。尚、各加温槽４ａ、４ｂ、４ｃ内で
加熱された純水温度は、前記出口側純水供給路３に設け
た各温度センサ６ａ、６ｂ、６ｃで検知し、所定温度に
なるように前記加熱手段を制御器（図示省略）を介して
調整する。
【００１２】次に、図１に示す実施例にかわる実施例を
図５に基づいて説明する。尚、図１の実施例と同一部材
については同一番号を付し、重複する説明は省略する。
図５に示す実施例は、図示の如く、純水供給路３中に加
温槽４ａ、４ｂ、４ｃを並列に接続し、それぞれの加温
槽４ａ、４ｂ、４ｃの出口側に流量調整機構として、オ
リフィス５ａ、５ｂ、５ｃと温度センサ６ａ、６ｂ、６
ｃを設けた構成となっている。この実施例では、各加温
槽４ａ、４ｂ、４ｃ内から流出する加温された純水の流
量を均一化するため、各加温槽４ａ、４ｂ、４ｃの出口
側に所定のオリフィス５ａ、５ｂ、５ｃを設けたもので
ある。尚、以上説明したもの以外は、前述の図１に示し
た実施例と同様であるので説明を省略する。
図５に基づいて説明する。尚、図１の実施例と同一部材
については同一番号を付し、重複する説明は省略する。
図５に示す実施例は、図示の如く、純水供給路３中に加
温槽４ａ、４ｂ、４ｃを並列に接続し、それぞれの加温
槽４ａ、４ｂ、４ｃの出口側に流量調整機構として、オ
リフィス５ａ、５ｂ、５ｃと温度センサ６ａ、６ｂ、６
ｃを設けた構成となっている。この実施例では、各加温
槽４ａ、４ｂ、４ｃ内から流出する加温された純水の流
量を均一化するため、各加温槽４ａ、４ｂ、４ｃの出口
側に所定のオリフィス５ａ、５ｂ、５ｃを設けたもので
ある。尚、以上説明したもの以外は、前述の図１に示し
た実施例と同様であるので説明を省略する。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明は、純水
供給路中に複数の加温槽を並列に接続し、それぞれの加
温槽の入口側に流量調整機構を設けるとともに、出口側
に温度センサを設けた構成の純水加温装置としたので、
従来の純水供給路に複数の加温槽を直列に接続したもの
に比し、各加温槽の純水出口温度は、それぞれの希望出
口温度に設定すればよく調整が非常に容易となる。さら
に、並列配管としたために、各加温槽内を流れる水量は
分散されるので配管口径を小さくすることができる。し
たがって、各加温槽と純水供給路を接続する配管費用を
低減することができる。
供給路中に複数の加温槽を並列に接続し、それぞれの加
温槽の入口側に流量調整機構を設けるとともに、出口側
に温度センサを設けた構成の純水加温装置としたので、
従来の純水供給路に複数の加温槽を直列に接続したもの
に比し、各加温槽の純水出口温度は、それぞれの希望出
口温度に設定すればよく調整が非常に容易となる。さら
に、並列配管としたために、各加温槽内を流れる水量は
分散されるので配管口径を小さくすることができる。し
たがって、各加温槽と純水供給路を接続する配管費用を
低減することができる。
【図１】この発明を実施した純水加温装置の構成を示す
説明図である。
説明図である。
【図２】図１の純水加温装置の加温槽の縦断面図であ
る。
る。
【図３】図２の左側面図である。
【図４】図２の右側面図である。
【図５】図１の実施例にかわる純水加温装置の構成を示
す説明図である。
す説明図である。
【図６】従来の純水加温装置の構成を示す説明図であ
る。
る。
【図７】図６の純水加温装置の各加温槽出口における、
純水温度の推移を示す線図である。
純水温度の推移を示す線図である。
１ 純水供給源 ２ 洗浄装置 ３ 純水供給路 ４ 加温槽 ５ 流量調整機構（オリフィス） ６ 温度センサ
Claims (2)
- 【請求項１】 純水供給源１と洗浄装置２との間を純水
供給路３で接続し、この純水供給路３中に複数の加温槽
４を並列に接続し、それぞれの加温槽４の入口側に流量
調整機構５を設けるとともに、出口側に温度センサ６を
設けたことを特徴とする純水加温装置。 - 【請求項２】 純水供給源１と洗浄装置２との間を純水
供給路３で接続し、この純水供給路３中に複数の加温槽
４を並列に接続し、それぞれの加温槽４の出口側に流量
調整機構５と温度センサ６を設けたことを特徴とする純
水加温装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13133594A JPH07318165A (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 純水加温装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13133594A JPH07318165A (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 純水加温装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07318165A true JPH07318165A (ja) | 1995-12-08 |
Family
ID=15055543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13133594A Pending JPH07318165A (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 純水加温装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07318165A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019511090A (ja) * | 2016-03-02 | 2019-04-18 | ワットロー・エレクトリック・マニュファクチャリング・カンパニー | ヒータシステム |
-
1994
- 1994-05-20 JP JP13133594A patent/JPH07318165A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019511090A (ja) * | 2016-03-02 | 2019-04-18 | ワットロー・エレクトリック・マニュファクチャリング・カンパニー | ヒータシステム |
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