JP3219029B2 - 純水加温装置 - Google Patents
純水加温装置Info
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- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造工程
等に用いる純水加温装置に関するものである。
等に用いる純水加温装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造工程等に用いる純水加
温装置は、図６に示すように、純水供給源２１と負荷２
２との間を純水供給路２３で接続し、加熱手段（図示省
略）を備えた複数の加温槽２４，２４，…を前記純水供
給路２３に直列に設けている。前記加熱手段は、複数の
ヒーター挿入パイプ内に、たとえばハロゲンランプ等を
それぞれ挿入した構成となっている。ところで、前記負
荷２２から異なる温度の純水が要求されることがある
が、前記構成の純水加温装置では複数の異なる温度の純
水の供給には対応することができない。
温装置は、図６に示すように、純水供給源２１と負荷２
２との間を純水供給路２３で接続し、加熱手段（図示省
略）を備えた複数の加温槽２４，２４，…を前記純水供
給路２３に直列に設けている。前記加熱手段は、複数の
ヒーター挿入パイプ内に、たとえばハロゲンランプ等を
それぞれ挿入した構成となっている。ところで、前記負
荷２２から異なる温度の純水が要求されることがある
が、前記構成の純水加温装置では複数の異なる温度の純
水の供給には対応することができない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明が解決しよう
とする課題は、負荷が要求する異なる温度の純水供給に
対応することができる純水加温装置を提供することであ
る。
とする課題は、負荷が要求する異なる温度の純水供給に
対応することができる純水加温装置を提供することであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明
は、純水供給源と負荷との間を純水供給ラインで接続
し、温度センサを備えた複数の加温槽を前記純水供給ラ
インに直列に設けた構成の純水加温装置において、前記
各加温槽同士を接続する第一純水供給ラインからそれぞ
れ分岐した分岐ラインを備え、最下流側に配置した加温
槽と前記負荷との間を接続する第二純水供給ラインに前
記各分岐ラインをそれぞれ接続し、前記各加温槽におけ
る設定温度を下流側のものほど高く設定するとともに、
要求純水温度に応じて上流側から所定数の前記各加温槽
に純水を流通させる構成としたことを特徴としている。
解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明
は、純水供給源と負荷との間を純水供給ラインで接続
し、温度センサを備えた複数の加温槽を前記純水供給ラ
インに直列に設けた構成の純水加温装置において、前記
各加温槽同士を接続する第一純水供給ラインからそれぞ
れ分岐した分岐ラインを備え、最下流側に配置した加温
槽と前記負荷との間を接続する第二純水供給ラインに前
記各分岐ラインをそれぞれ接続し、前記各加温槽におけ
る設定温度を下流側のものほど高く設定するとともに、
要求純水温度に応じて上流側から所定数の前記各加温槽
に純水を流通させる構成としたことを特徴としている。
【０００５】さらに、請求項２に記載の発明は、前記各
第一純水供給ライン４ｂに自動弁をそれぞれ設けるとと
もに、前記各分岐ラインに自動弁をそれぞれ設け、要求
純水温度に応じて前記各自動弁を制御することにより、
上流側から所定数の前記各加温槽７に純水を流通させる
構成としたことを特徴としている。
第一純水供給ライン４ｂに自動弁をそれぞれ設けるとと
もに、前記各分岐ラインに自動弁をそれぞれ設け、要求
純水温度に応じて前記各自動弁を制御することにより、
上流側から所定数の前記各加温槽７に純水を流通させる
構成としたことを特徴としている。
【０００６】
【発明の実施の形態】つぎに、この発明の実施の形態に
ついて説明する。この発明は、純水供給源と負荷との間
を流量調節弁を備えた純水供給ラインで接続し、加熱手
段と温度センサとをそれぞれ備えた複数（たとえば、３
個）の加温槽を前記純水供給ラインに直列に設け、この
各加温槽同士を接続する第一純水供給ラインにそれぞれ
自動弁を設けるとともに、最下流側に配置された加温槽
以外の各加温槽の出口側に自動弁を備えた分岐ラインを
それぞれ設け、前記最下流側に配置された加温槽と前記
負荷との間を接続する第二純水供給ラインに前記各分岐
ラインを接続した構成の純水加温装置において実現され
る。この純水加温装置は、さらに前記流量調節弁，前記
各加熱手段，前記温度センサおよび前記各自動弁を信号
線を介して制御器にそれぞれ接続している。
ついて説明する。この発明は、純水供給源と負荷との間
を流量調節弁を備えた純水供給ラインで接続し、加熱手
段と温度センサとをそれぞれ備えた複数（たとえば、３
個）の加温槽を前記純水供給ラインに直列に設け、この
各加温槽同士を接続する第一純水供給ラインにそれぞれ
自動弁を設けるとともに、最下流側に配置された加温槽
以外の各加温槽の出口側に自動弁を備えた分岐ラインを
それぞれ設け、前記最下流側に配置された加温槽と前記
負荷との間を接続する第二純水供給ラインに前記各分岐
ラインを接続した構成の純水加温装置において実現され
る。この純水加温装置は、さらに前記流量調節弁，前記
各加熱手段，前記温度センサおよび前記各自動弁を信号
線を介して制御器にそれぞれ接続している。
【０００７】前記各加温槽は、透明の石英ガラスで円筒
状のボディーを形成し、両端部は、端面部材でそれぞれ
封着している。そして、このボディーの上流側外周面に
純水入口を開口し、また下流側外周面に純水出口を開口
し、それぞれ前記純水供給ラインに接続している。そし
て、前記両端面部材を介して複数（たとえば、６本）の
ヒーター挿入パイプを前記ボディー内に設けた構成とな
っている。また、前記各加熱手段は、前記各ヒーター挿
入パイプ内に、たとえばハロゲンランプ（１本当り４k
w）を挿入したものである。
状のボディーを形成し、両端部は、端面部材でそれぞれ
封着している。そして、このボディーの上流側外周面に
純水入口を開口し、また下流側外周面に純水出口を開口
し、それぞれ前記純水供給ラインに接続している。そし
て、前記両端面部材を介して複数（たとえば、６本）の
ヒーター挿入パイプを前記ボディー内に設けた構成とな
っている。また、前記各加熱手段は、前記各ヒーター挿
入パイプ内に、たとえばハロゲンランプ（１本当り４k
w）を挿入したものである。
【０００８】前記純水加温装置の通常運転時は、前記負
荷へ供給する純水温度を，たとえば８０℃に設定し、前
記純水供給ラインの最上流側に配置された加温槽の出口
温度が４０℃になるように，またつぎの加温槽の出口温
度が６０℃になるように，さらに最下流側の加温槽の出
口温度が設定純水温度の８０℃になるように、前記各温
度センサからの検出値に基づいて各加熱手段をそれぞれ
制御している。すなわち、前記各加温槽における加熱用
の設定温度は、下流側のものほど高く設定されている。
また、前記各加熱手段の加熱量の最大値における純水の
最大流量は予め設定されており、この設定値に基づいて
前記流量調節弁で純水の流量を制御するようにしてい
る。
荷へ供給する純水温度を，たとえば８０℃に設定し、前
記純水供給ラインの最上流側に配置された加温槽の出口
温度が４０℃になるように，またつぎの加温槽の出口温
度が６０℃になるように，さらに最下流側の加温槽の出
口温度が設定純水温度の８０℃になるように、前記各温
度センサからの検出値に基づいて各加熱手段をそれぞれ
制御している。すなわち、前記各加温槽における加熱用
の設定温度は、下流側のものほど高く設定されている。
また、前記各加熱手段の加熱量の最大値における純水の
最大流量は予め設定されており、この設定値に基づいて
前記流量調節弁で純水の流量を制御するようにしてい
る。
【０００９】前記純水加温装置によれば、たとえば前記
負荷からの要求純水温度が４５℃の場合は、最上流側に
配置された加温槽の出口温度を４５℃に設定し、この加
温槽のみの運転とする。すなわち、前記最上流側に配置
された加温槽以外の加温槽の運転を停止する（前記加熱
手段をオフ（ＯＦＦ）とする）とともに、前記最上流側
に配置された加温槽と、つぎに配置された加温槽とを接
続した前記第一純水供給ラインに設けた自動弁を閉弁す
る。そして、前記最上流側に配置した加温槽の出口側に
接続した分岐ラインの自動弁を開弁することにより、所
定温度の純水を前記負荷へ供給することができる。した
がって、前記純水加温装置は、要求純水温度に応じて前
記各自動弁を制御することにより、上流側から所定数の
前記各加 温槽に純水を流通させる構成となっている。
負荷からの要求純水温度が４５℃の場合は、最上流側に
配置された加温槽の出口温度を４５℃に設定し、この加
温槽のみの運転とする。すなわち、前記最上流側に配置
された加温槽以外の加温槽の運転を停止する（前記加熱
手段をオフ（ＯＦＦ）とする）とともに、前記最上流側
に配置された加温槽と、つぎに配置された加温槽とを接
続した前記第一純水供給ラインに設けた自動弁を閉弁す
る。そして、前記最上流側に配置した加温槽の出口側に
接続した分岐ラインの自動弁を開弁することにより、所
定温度の純水を前記負荷へ供給することができる。した
がって、前記純水加温装置は、要求純水温度に応じて前
記各自動弁を制御することにより、上流側から所定数の
前記各加 温槽に純水を流通させる構成となっている。
【００１０】以上のように、前記各第一純水供給ライン
に設けた自動弁と、前記各分岐ラインに設けた自動弁を
制御することにより、前記負荷から要求される異なる温
度の純水の供給に対応することができる。
に設けた自動弁と、前記各分岐ラインに設けた自動弁を
制御することにより、前記負荷から要求される異なる温
度の純水の供給に対応することができる。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の具体的実施例を図面に基づ
いて詳細に説明する。図１は、この発明に係る純水加温
装置の構成を概略的に示す説明図である。
いて詳細に説明する。図１は、この発明に係る純水加温
装置の構成を概略的に示す説明図である。
【００１２】図１において、純水供給源１と負荷２との
間を純水供給ライン４で接続し、温度センサ５と加熱手
段６（図２参照）を備えた複数（この実施例ではＮｏ．
１，Ｎｏ．２およびＮｏ．３の３個）の加温槽７，７，
…を前記純水供給ライン４に直列に設け（以下、Ｎｏ．
１の加温槽７を「第一加温槽７」と云い、Ｎｏ．２の加
温槽７を「第二加温槽７」と云い、Ｎｏ．３の加温槽７
を「第三加温槽７」と云う。）、この各加温槽７同士を
接続する第一純水供給ライン４ｂ，４ｂにそれぞれ第
一，第二自動弁８，９を設けている。そして、前記第一
加温槽７および前記第二加温槽７の出口側に第三，第四
自動弁１０，１１を備えた第一，第二分岐ライン１２，
１３をそれぞれ設け、前記第三加温槽７と前記負荷２と
の間を接続する第二純水供給ライン４ｃに前記各分岐ラ
イン１２，１３をそれぞれ接続した構成としている。ま
た、前記純水供給源１と前記第一加温槽７との間の第三
純水供給ライン４ａに流量調節弁３を設けている。そし
て、前記流量調節弁３，前記各加熱手段６，前記各温度
センサ５および前記各自動弁８，９，１０，１１は信号
線（図示省略）を介して制御器（図示省略）にそれぞれ
接続されている。
間を純水供給ライン４で接続し、温度センサ５と加熱手
段６（図２参照）を備えた複数（この実施例ではＮｏ．
１，Ｎｏ．２およびＮｏ．３の３個）の加温槽７，７，
…を前記純水供給ライン４に直列に設け（以下、Ｎｏ．
１の加温槽７を「第一加温槽７」と云い、Ｎｏ．２の加
温槽７を「第二加温槽７」と云い、Ｎｏ．３の加温槽７
を「第三加温槽７」と云う。）、この各加温槽７同士を
接続する第一純水供給ライン４ｂ，４ｂにそれぞれ第
一，第二自動弁８，９を設けている。そして、前記第一
加温槽７および前記第二加温槽７の出口側に第三，第四
自動弁１０，１１を備えた第一，第二分岐ライン１２，
１３をそれぞれ設け、前記第三加温槽７と前記負荷２と
の間を接続する第二純水供給ライン４ｃに前記各分岐ラ
イン１２，１３をそれぞれ接続した構成としている。ま
た、前記純水供給源１と前記第一加温槽７との間の第三
純水供給ライン４ａに流量調節弁３を設けている。そし
て、前記流量調節弁３，前記各加熱手段６，前記各温度
センサ５および前記各自動弁８，９，１０，１１は信号
線（図示省略）を介して制御器（図示省略）にそれぞれ
接続されている。
【００１３】つぎに、前記各加温槽７の構成について説
明する。図２は、前記各加温槽７の縦断面図であり、ま
た図３は左側面図であり、さらに図４は右側面図であ
る。前記各加温槽７は、図２に示すように、長手方向に
所定の長さを有する円筒状のボディー１４により構成さ
れている。このボディー１４の両端部は、前記ボディー
１４の母線に対して、垂直となるようにそれぞれ形成さ
れている。このように形成された両端部において、まず
その上流側端部（図２の左側）は、上流側端面部材１５
で封着されており、またその下流側端部（図２の右側）
は、下流側端面部材１６で封着されている。
明する。図２は、前記各加温槽７の縦断面図であり、ま
た図３は左側面図であり、さらに図４は右側面図であ
る。前記各加温槽７は、図２に示すように、長手方向に
所定の長さを有する円筒状のボディー１４により構成さ
れている。このボディー１４の両端部は、前記ボディー
１４の母線に対して、垂直となるようにそれぞれ形成さ
れている。このように形成された両端部において、まず
その上流側端部（図２の左側）は、上流側端面部材１５
で封着されており、またその下流側端部（図２の右側）
は、下流側端面部材１６で封着されている。
【００１４】そして、前記両端面部材１５，１６によ
り、その両端面を封着された前記ボディー１４内には、
複数本のヒーター挿入パイプ１７，１７，…が挿入され
ている（この実施例においては、６本のヒーター挿入パ
イプ１７が挿入されている。図３および図４参照）。こ
の各ヒーター挿入パイプ１７は、前記両端面部材１５，
１６と直交するように挿入されており、それぞれの両端
部は、前記両端面部材１５，１６に固着された状態でそ
れぞれ装着されている。この点において、前記各ヒータ
ー挿入パイプ１７は、前記ボディー１４の母線と平行状
態でそれぞれ装着されていることになる。
り、その両端面を封着された前記ボディー１４内には、
複数本のヒーター挿入パイプ１７，１７，…が挿入され
ている（この実施例においては、６本のヒーター挿入パ
イプ１７が挿入されている。図３および図４参照）。こ
の各ヒーター挿入パイプ１７は、前記両端面部材１５，
１６と直交するように挿入されており、それぞれの両端
部は、前記両端面部材１５，１６に固着された状態でそ
れぞれ装着されている。この点において、前記各ヒータ
ー挿入パイプ１７は、前記ボディー１４の母線と平行状
態でそれぞれ装着されていることになる。
【００１５】前記ボディー１４の上流側端部の下部外周
面近傍に純水入口管１８を設けている。また、前記ボデ
ィー１４の下流側端部の上部外周面近傍に純水出口管１
９を設けている。そして、前記純水入口管１８および前
記純水出口管１９は、前記純水供給ライン４にそれぞれ
接続されている。ここで、前記ボディー１４，前記両端
面部材１５，１６，前記各ヒーター挿入パイプ１７，前
記純水入口管１８および前記純水出口管１９を一体成形
とすることも実施に応じて好適である。
面近傍に純水入口管１８を設けている。また、前記ボデ
ィー１４の下流側端部の上部外周面近傍に純水出口管１
９を設けている。そして、前記純水入口管１８および前
記純水出口管１９は、前記純水供給ライン４にそれぞれ
接続されている。ここで、前記ボディー１４，前記両端
面部材１５，１６，前記各ヒーター挿入パイプ１７，前
記純水入口管１８および前記純水出口管１９を一体成形
とすることも実施に応じて好適である。
【００１６】前記各加熱手段６は、前記各ヒーター挿入
パイプ１７内に、たとえばハロゲンランプ（たとえば、
１本当り４kw）が挿入してあり、この各ハロゲンランプ
のオンオフ制御は、前記信号線（図示省略）を介して前
記制御器（図示省略）で制御するようにしている。
パイプ１７内に、たとえばハロゲンランプ（たとえば、
１本当り４kw）が挿入してあり、この各ハロゲンランプ
のオンオフ制御は、前記信号線（図示省略）を介して前
記制御器（図示省略）で制御するようにしている。
【００１７】前記構成の純水加温装置の通常運転は、前
記負荷２へ供給する純水温度を，たとえば８０℃に設定
する。また、前記第一加温槽７の出口温度を４０℃に設
定し、つぎの前記第二加温槽７の出口温度を６０℃に設
定し、さらに前記第三加温槽７の出口温度を設定純水温
度の８０℃に設定する。そして、前記各温度センサ５か
らの検出値に基づいて前記各加熱手段６をそれぞれ制御
し、所定温度の純水を供給する。一方、前記純水供給源
１からの純水供給流量は、その最大流量が、前記各加熱
手段６の加熱量が最大値（６本×４kw＝２４kw，前記加
温槽７が３個で２４kw×３＝７２kw）のとき、１８リッ
トル／分としている。
記負荷２へ供給する純水温度を，たとえば８０℃に設定
する。また、前記第一加温槽７の出口温度を４０℃に設
定し、つぎの前記第二加温槽７の出口温度を６０℃に設
定し、さらに前記第三加温槽７の出口温度を設定純水温
度の８０℃に設定する。そして、前記各温度センサ５か
らの検出値に基づいて前記各加熱手段６をそれぞれ制御
し、所定温度の純水を供給する。一方、前記純水供給源
１からの純水供給流量は、その最大流量が、前記各加熱
手段６の加熱量が最大値（６本×４kw＝２４kw，前記加
温槽７が３個で２４kw×３＝７２kw）のとき、１８リッ
トル／分としている。
【００１８】前記構成によれば、たとえば前記負荷２か
らの要求純水温度が４５℃の場合は、図５に示すよう
に、前記第一加温槽７の出口温度を４５℃に設定し、前
記第一加温槽７のみを運転する。すなわち、前記第一加
温槽７以外の前記第二加温槽７および前記第三加温槽７
の運転を停止する（前記各加熱手段６をオフとする）と
ともに、前記第一純水供給ライン４ｂにおける前記第一
自動弁８を閉弁する。そして、前記第一加温槽７の出口
温度を前記温度センサ５が検出し、この検出信号に基づ
いて前記第一分岐ライン１２における前記第三自動弁１
０を開弁し、所定温度の純水を前記第二純水供給ライン
４ｃを介して前記負荷２へ供給する。また、前記負荷２
から要求される純水温度が４５℃以上の場合は、図５に
示すように、前記各加熱手段６と前記各自動弁８，９，
１０，１１とを制御することにより対応することができ
る。
らの要求純水温度が４５℃の場合は、図５に示すよう
に、前記第一加温槽７の出口温度を４５℃に設定し、前
記第一加温槽７のみを運転する。すなわち、前記第一加
温槽７以外の前記第二加温槽７および前記第三加温槽７
の運転を停止する（前記各加熱手段６をオフとする）と
ともに、前記第一純水供給ライン４ｂにおける前記第一
自動弁８を閉弁する。そして、前記第一加温槽７の出口
温度を前記温度センサ５が検出し、この検出信号に基づ
いて前記第一分岐ライン１２における前記第三自動弁１
０を開弁し、所定温度の純水を前記第二純水供給ライン
４ｃを介して前記負荷２へ供給する。また、前記負荷２
から要求される純水温度が４５℃以上の場合は、図５に
示すように、前記各加熱手段６と前記各自動弁８，９，
１０，１１とを制御することにより対応することができ
る。
【００１９】
【発明の効果】この発明によれば、負荷が要求する異な
る温度の純水供給に対応することができる。
る温度の純水供給に対応することができる。
【図１】この発明に係る純水加温装置の構成を概略的に
示す説明図である。
示す説明図である。
【図２】図１の加温槽を拡大して示す縦断面図である。
【図３】図２の左側面図である。
【図４】図２の右側面図である。
【図５】負荷の要求する純水温度に対応した各加温槽の
加熱手段のオンオフ（ＯＮ，ＯＦＦ）と各自動弁の開閉
状態を示す説明図である。
加熱手段のオンオフ（ＯＮ，ＯＦＦ）と各自動弁の開閉
状態を示す説明図である。
【図６】従来の純水加温装置の構成を概略的に示す説明
図である。
図である。
１ 純水供給源 ２ 負荷 ４ 純水供給ライン４ｂ 第一純水供給ライン ４ｃ 第二純水供給ライン ７ 加温槽 ８ 第一自動弁 ９ 第二自動弁 １０ 第三自動弁 １１ 第四自動弁 １２ 第一分岐ライン １３ 第二分岐ライン
Claims (2)
- 【請求項１】 純水供給源１と負荷２との間を純水供給
ライン４で接続し、温度センサ５を備えた複数の加温槽
７，７，…を前記純水供給ライン４に直列に設けた構成
の純水加温装置において、前記各加温槽７同士を接続す
る第一純水供給ライン４ｂ，４ｂ，…からそれぞれ分岐
した分岐ラインを備え、最下流側に配置した加温槽７と
前記負荷２との間を接続する第二純水供給ライン４ｃに
前記各分岐ラインをそれぞれ接続し、前記各加温槽７に
おける設定温度を下流側のものほど高く設定するととも
に、要求純水温度に応じて上流側から所定数の前記各加
温槽７に純水を流通させる構成としたことを特徴とする
純水加温装置。 - 【請求項２】 前記各第一純水供給ライン４ｂに自動弁
をそれぞれ設けるとともに、前記各分岐ラインに自動弁
をそれぞれ設け、要求純水温度に応じて前記各自動弁を
制御することにより、上流側から所定数の前記各加温槽
７に純水を流通させる構成としたことを特徴とする請求
項１に記載の純水加温装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24997197A JP3219029B2 (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 純水加温装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24997197A JP3219029B2 (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 純水加温装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1183173A JPH1183173A (ja) | 1999-03-26 |
| JP3219029B2 true JP3219029B2 (ja) | 2001-10-15 |
Family
ID=17200920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24997197A Expired - Fee Related JP3219029B2 (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 純水加温装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3219029B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102360757B1 (ko) * | 2019-12-27 | 2022-02-08 | 주식회사 디앤티 | 무독성 물티슈 자동 제조장치 |
| KR102370740B1 (ko) * | 2019-12-27 | 2022-03-03 | 주식회사 디앤티 | 무독성 물티슈 자동 제조장치 |
-
1997
- 1997-08-29 JP JP24997197A patent/JP3219029B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102360757B1 (ko) * | 2019-12-27 | 2022-02-08 | 주식회사 디앤티 | 무독성 물티슈 자동 제조장치 |
| KR102370740B1 (ko) * | 2019-12-27 | 2022-03-03 | 주식회사 디앤티 | 무독성 물티슈 자동 제조장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1183173A (ja) | 1999-03-26 |
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