JP2855704B2 - スルホール検査装置 - Google Patents
スルホール検査装置Info
- Publication number
- JP2855704B2 JP2855704B2 JP25915089A JP25915089A JP2855704B2 JP 2855704 B2 JP2855704 B2 JP 2855704B2 JP 25915089 A JP25915089 A JP 25915089A JP 25915089 A JP25915089 A JP 25915089A JP 2855704 B2 JP2855704 B2 JP 2855704B2
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- Japan
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- hole
- base
- light source
- vibrator
- light
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、スルホール検査装置、特にハイブリッドIC
等に使用される多層セラミックス基板の製造過程におい
て、グリーンシート上に形成されたスルホールを検査す
るスルホール検査装置に関する。
等に使用される多層セラミックス基板の製造過程におい
て、グリーンシート上に形成されたスルホールを検査す
るスルホール検査装置に関する。
従来の技術としては、例えばエレクトロ・パッケージ
・テクノロジーVol.4 No.12P80〜83に記載されている
スルホール検査装置がある。
・テクノロジーVol.4 No.12P80〜83に記載されている
スルホール検査装置がある。
第３図は、従来のスルホール検査装置の一例を示す斜
視図である。
視図である。
第３図に示すスルホール検査装置は、ベース１と、被
検査体であるワークを上面に固定するテーブル２と、ベ
ース１上に設けられかつテーブル２を一軸方向に案内す
るガイド３と、ガイド３に案内されたテーブル２を移動
するテーブル駆動機構４と、ベース１上に設けられた面
光源11と、ベース１上に面光源11からの光を受ける位置
に設けられたCCDラインセンサ12と、CCDラインセンサ12
の信号を処理する画像処理装置13と、テーブル駆動機構
４及び画像処理装置13を制御する制御装置10とを含んで
いる。
検査体であるワークを上面に固定するテーブル２と、ベ
ース１上に設けられかつテーブル２を一軸方向に案内す
るガイド３と、ガイド３に案内されたテーブル２を移動
するテーブル駆動機構４と、ベース１上に設けられた面
光源11と、ベース１上に面光源11からの光を受ける位置
に設けられたCCDラインセンサ12と、CCDラインセンサ12
の信号を処理する画像処理装置13と、テーブル駆動機構
４及び画像処理装置13を制御する制御装置10とを含んで
いる。
次に従来のスルホール検査装置をさらに詳しく説明す
る。
る。
第４図は、第３図に示す従来例の光学的配置関係を示
す断面図である。
す断面図である。
第４図において、ワークであるグリーンシート21に
は、積層焼成後多層セラミック基板として使用するため
に、導体の埋め込み用としてスルホール22が形成されて
いる。CCDラインセンサ12は、テーブル２の可動方向に
対して直交するようにテーブル２の上方向に配置され、
かつテーブル２の上面に固定された被検査体であるグリ
ーンシート21の検査エリアを視野に取れる位置に固定さ
れている。テーブル２が、テーブル駆動機構４により一
方向に駆動されると、グリーンシート21より下面に設け
られた面光源11より、スルホール22を透過して、透過光
がCCDラインセンサ12上に投影される。画像処理装置13
は、上述のデータをもとに、スルホールのテーブル２の
可動方向に対して直交する方向の位置を検出する。また
制御部11は、画像処理装置13およびテーブル駆動機構４
とのデータをもとにスルホール22のグリーンシート21に
対する平面上の位置データを得る。
は、積層焼成後多層セラミック基板として使用するため
に、導体の埋め込み用としてスルホール22が形成されて
いる。CCDラインセンサ12は、テーブル２の可動方向に
対して直交するようにテーブル２の上方向に配置され、
かつテーブル２の上面に固定された被検査体であるグリ
ーンシート21の検査エリアを視野に取れる位置に固定さ
れている。テーブル２が、テーブル駆動機構４により一
方向に駆動されると、グリーンシート21より下面に設け
られた面光源11より、スルホール22を透過して、透過光
がCCDラインセンサ12上に投影される。画像処理装置13
は、上述のデータをもとに、スルホールのテーブル２の
可動方向に対して直交する方向の位置を検出する。また
制御部11は、画像処理装置13およびテーブル駆動機構４
とのデータをもとにスルホール22のグリーンシート21に
対する平面上の位置データを得る。
上述した従来のスルホール検査装置は、面光源とCCD
ラインセンサによりスルホールデータを得る構造となっ
ているため、データの分解能は、CCDラインセンサの分
野能により一意的に決定し、データの細分化ができず、
光精度、高密度なスルホース検査ができないという欠点
があった。
ラインセンサによりスルホールデータを得る構造となっ
ているため、データの分解能は、CCDラインセンサの分
野能により一意的に決定し、データの細分化ができず、
光精度、高密度なスルホース検査ができないという欠点
があった。
本発明のスルホール検査装置は、ベースと、被検査体
であるワークを上面に固定するテーブルと、前記ベース
上に設けられかつ前記テーブルを一軸方向に案内するガ
イドと、前記ガイドに案内された前記テーブルを移動す
るテーブル駆動機構と、前記ベース上に設けられた平行
光源と、前記ベース上に前記平行光源からの光を受ける
位置に設けられ前記平行光源からの光を前記テーブルの
移動方向に対して直交方向にスキャニングする振動子
と、前記テーブルの上部にかつ前記振動子が一方の焦点
に位置するように設けられ前記振動子によりスキャニン
グされ前記ワークに設けられたスルホールを通った光を
他方の焦点に設けた光電変換素子に集光する楕円ミラー
と、前記光電変換素子から得られた信号を処理する信号
処理装置と、前記テーブル駆動機構を制御するとともに
前記信号処理装置からの信号を受け前記スルホールの位
置を検出する制御装置とを含んで構成される。
であるワークを上面に固定するテーブルと、前記ベース
上に設けられかつ前記テーブルを一軸方向に案内するガ
イドと、前記ガイドに案内された前記テーブルを移動す
るテーブル駆動機構と、前記ベース上に設けられた平行
光源と、前記ベース上に前記平行光源からの光を受ける
位置に設けられ前記平行光源からの光を前記テーブルの
移動方向に対して直交方向にスキャニングする振動子
と、前記テーブルの上部にかつ前記振動子が一方の焦点
に位置するように設けられ前記振動子によりスキャニン
グされ前記ワークに設けられたスルホールを通った光を
他方の焦点に設けた光電変換素子に集光する楕円ミラー
と、前記光電変換素子から得られた信号を処理する信号
処理装置と、前記テーブル駆動機構を制御するとともに
前記信号処理装置からの信号を受け前記スルホールの位
置を検出する制御装置とを含んで構成される。
次に本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示す斜視図である。
第１図に示すスルホール検査装置は、ベース１と、被
検査体であるワークを上面に固定するテーブル２と、ベ
ース１上に設けられかつテーブル２を一軸方向に案内す
るガイド３と、ガイド３に案内されたテーブル２を移動
するテーブル駆動機構４と、ベース１上に設けられた平
行光源５と、ベース１上に平行光源５からの光を受ける
位置に設けられ平行光源５からの光をテーブル２の移動
方向に対して直交方向にスキャニングする振動子６と、
テーブル２の上部に設けられ振動子６によりスキャニン
グされた光を集光する楕円ミラー７と、楕円ミラー８の
焦点に設けた光電変換素子８と、光電変換素子８から得
られた信号を処理する信号処理装置９と、テーブル駆動
機構４及び振動子６及び信号処理装置９を制御する制御
装置10とを含んで構成される。
検査体であるワークを上面に固定するテーブル２と、ベ
ース１上に設けられかつテーブル２を一軸方向に案内す
るガイド３と、ガイド３に案内されたテーブル２を移動
するテーブル駆動機構４と、ベース１上に設けられた平
行光源５と、ベース１上に平行光源５からの光を受ける
位置に設けられ平行光源５からの光をテーブル２の移動
方向に対して直交方向にスキャニングする振動子６と、
テーブル２の上部に設けられ振動子６によりスキャニン
グされた光を集光する楕円ミラー７と、楕円ミラー８の
焦点に設けた光電変換素子８と、光電変換素子８から得
られた信号を処理する信号処理装置９と、テーブル駆動
機構４及び振動子６及び信号処理装置９を制御する制御
装置10とを含んで構成される。
次に、本実施例の構成をさらに詳しく説明する。
第２図は、第１図に示す実施例の光学的配置関係を示
す断面図である。
す断面図である。
第２図において、ワークであるグリーンシート21に
は、積層焼成後多層セラミック基板として使用するため
に、導体の埋め込み用としてスルホール22が形成されて
いる。楕円ミラー７は、テーブル２の可動方向に対して
直交するようにテーブル２の上方向に配置され、かつテ
ーブル２の上面に固定された被検査体であるグリーンシ
ート21の検査エリアを覆い取れる位置に固定されてい
る。また、楕円ミラー７の焦点には、光電変換素子８が
配置される。さらに楕円ミラー７のもう一つの焦点に
は、平行光源５からの光をテーブル２の移動方向に対し
て直交方向にスキャニングする振動子６が配置される。
テーブル２が、テーブル駆動機構４により一方向に駆動
されると、グリーンシート21より下面に設けられた振動
子６によりスキャニングされた光がスルホール22を透過
して、楕円ミラー７により集光され、光電変換素子８に
投影される。信号処理装置９は、上述のデータおよび振
動子６のスキャニング信号をもとに、スルホールのテー
ブル２の可動方向に対して直交する方向の位置を検出す
る。また制御部10は、信号処理装置13およびテーブル駆
動機構４とのデータをもとにスルホール22のグリーンシ
ート21に対する平面上の位置データを得る。
は、積層焼成後多層セラミック基板として使用するため
に、導体の埋め込み用としてスルホール22が形成されて
いる。楕円ミラー７は、テーブル２の可動方向に対して
直交するようにテーブル２の上方向に配置され、かつテ
ーブル２の上面に固定された被検査体であるグリーンシ
ート21の検査エリアを覆い取れる位置に固定されてい
る。また、楕円ミラー７の焦点には、光電変換素子８が
配置される。さらに楕円ミラー７のもう一つの焦点に
は、平行光源５からの光をテーブル２の移動方向に対し
て直交方向にスキャニングする振動子６が配置される。
テーブル２が、テーブル駆動機構４により一方向に駆動
されると、グリーンシート21より下面に設けられた振動
子６によりスキャニングされた光がスルホール22を透過
して、楕円ミラー７により集光され、光電変換素子８に
投影される。信号処理装置９は、上述のデータおよび振
動子６のスキャニング信号をもとに、スルホールのテー
ブル２の可動方向に対して直交する方向の位置を検出す
る。また制御部10は、信号処理装置13およびテーブル駆
動機構４とのデータをもとにスルホール22のグリーンシ
ート21に対する平面上の位置データを得る。
本発明のスルホール検査装置は、光学系を面光源とCC
Dラインセンサにより構成する代わりに、平行光源と振
動子、楕円ミラー及び光電変換素子により構成すること
により、集光した光情報からスルホールデータを時系列
で得ることができるため、データの細分化が容易にでき
るので、高精度、高密度なスルホール検査ができるとい
う効果がある。
Dラインセンサにより構成する代わりに、平行光源と振
動子、楕円ミラー及び光電変換素子により構成すること
により、集光した光情報からスルホールデータを時系列
で得ることができるため、データの細分化が容易にでき
るので、高精度、高密度なスルホール検査ができるとい
う効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は第１
図に示す実施例の光学的配置関係を示す断面図、第３図
は従来のスルホール検査装置の一例を示す斜視図、第４
図は第３図に示すスルホール検査装置の光学的配置関係
を示す断面図である。 １……ベース、２……テーブル、３……ガイド、４……
テーブル駆動機構、５……平行光源、６……振動子、７
……楕円ミラー、８……光電変換素子、９……信号処理
装置、10……制御装置、11……面光源、12……CCDライ
ンセンサ、13……画像処理装置、21……グリーンシー
ト、22……スルホール。
図に示す実施例の光学的配置関係を示す断面図、第３図
は従来のスルホール検査装置の一例を示す斜視図、第４
図は第３図に示すスルホール検査装置の光学的配置関係
を示す断面図である。 １……ベース、２……テーブル、３……ガイド、４……
テーブル駆動機構、５……平行光源、６……振動子、７
……楕円ミラー、８……光電変換素子、９……信号処理
装置、10……制御装置、11……面光源、12……CCDライ
ンセンサ、13……画像処理装置、21……グリーンシー
ト、22……スルホール。
Claims (1)
- 【請求項１】ベースと、被検査体であるワークを上面に
固定するテーブルと、前記ベース上に設けられかつ前記
テーブルを一軸方向に案内するガイドと、前記ガイドに
案内された前記テーブルを移動するテーブル駆動機構
と、前記ベース上に設けられた平行光源と、前記ベース
上に前記平行光源からの光を受ける位置に設けられ前記
平行光源からの光を前記テーブルの移動方向に対して直
交方向にスキャニングする振動子と、前記テーブルの上
部にかつ前記振動子が一方の焦点に位置するように設け
られ前記振動子によりスキャニングされ前記ワークに設
けられたスルホールを通った光を他方の焦点に設けた光
電変換素子に集光する精円ミラーと、前記光電変換素子
から得られた信号を処理する信号処理装置と、前記テー
ブル駆動機構を制御するとともに前記信号処理装置から
の信号を受け前記スルホールの位置を検出する制御装置
とを含むことを特徴とするスルホール検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25915089A JP2855704B2 (ja) | 1989-10-03 | 1989-10-03 | スルホール検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25915089A JP2855704B2 (ja) | 1989-10-03 | 1989-10-03 | スルホール検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03120447A JPH03120447A (ja) | 1991-05-22 |
| JP2855704B2 true JP2855704B2 (ja) | 1999-02-10 |
Family
ID=17330032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25915089A Expired - Lifetime JP2855704B2 (ja) | 1989-10-03 | 1989-10-03 | スルホール検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2855704B2 (ja) |
-
1989
- 1989-10-03 JP JP25915089A patent/JP2855704B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03120447A (ja) | 1991-05-22 |
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