JPH03120447A - スルホール検査装置 - Google Patents
スルホール検査装置Info
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- JPH03120447A JPH03120447A JP25915089A JP25915089A JPH03120447A JP H03120447 A JPH03120447 A JP H03120447A JP 25915089 A JP25915089 A JP 25915089A JP 25915089 A JP25915089 A JP 25915089A JP H03120447 A JPH03120447 A JP H03120447A
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- holes
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、スルホール検査装置、特にハイブリッドＩＣ
に等に使用される多層セラミックス基板の製造過程にお
いて、グリーンシート上に形成されたスルホールを検査
するスルホール検査装置に関する。
に等に使用される多層セラミックス基板の製造過程にお
いて、グリーンシート上に形成されたスルホールを検査
するスルホール検査装置に関する。
従来の技術としては、例えばエレクトロ・パッケージ・
チク１０ジーＶｏ１．４ Ｎｏ 、 １２ Ｐ８０〜
８３に記載されているスルホール検査装置がある。
チク１０ジーＶｏ１．４ Ｎｏ 、 １２ Ｐ８０〜
８３に記載されているスルホール検査装置がある。
第３図は、従来のスルホール検査装置の一例を示す斜視
図である。
図である。
第３図に示すスルホール検査装置は、ベース１と、被検
査体であるワークを上面に固定するテープル２と、ベー
ス１上に設けられかつテーブル２を一軸方向に案内する
ガイド３と、ガイド３に案内されたテーブル２を移動す
るテーブル駆動機構４と、ベース１上に設けられた面光
源１１と、ベース１上に面光源１１からの光を受ける位
置に設けられたＣＣＤラインセンサ１２と、ＣＣＤライ
ンセンサ１２の信号を処理する画像処理装置１３と、テ
ーブル駆動ｖ１楕４及び画像処理装置１３を制御する制
御装置１０とを含んでいる。
査体であるワークを上面に固定するテープル２と、ベー
ス１上に設けられかつテーブル２を一軸方向に案内する
ガイド３と、ガイド３に案内されたテーブル２を移動す
るテーブル駆動機構４と、ベース１上に設けられた面光
源１１と、ベース１上に面光源１１からの光を受ける位
置に設けられたＣＣＤラインセンサ１２と、ＣＣＤライ
ンセンサ１２の信号を処理する画像処理装置１３と、テ
ーブル駆動ｖ１楕４及び画像処理装置１３を制御する制
御装置１０とを含んでいる。
次に従来のスルホール検査装置をさらに詳しく説明する
。
。
第４図は、第３図に示す従来例の光学的配置関係を示す
断面図である。
断面図である。
第４図において、ワークであるグリーンシート２１には
、積層焼成後多層セラミック基板として使用するために
、導体の埋め込み用としてスルホール２２が形成されて
いる。ＣＣＤラインセンサ１２は、テーブル２の可動方
向に対して直交するようにテーブル２の上方向に配置さ
れ、かつテーブル２の上面に固定された被検査体である
グリーンシート２１の検査エリアを視野に取れる位置に
固定されている。テーブル２が、テーブル駆動機構４に
より一方向に駆動されると、グリーンシート２１より下
面に設けられた面光源１１より、スルホール２２を透過
して、透過光がＣＣＤラインセンサ１２上に投影される
０画像処理袋２１３は、上述のデータをもとに、スルホ
ールのテーブル２の可動方向に対して直交する方向の位
置を検出する。また制御部１１は、画像処理装置１３お
よびテーブル駆動機構４とのデータをもとにスルホール
２２のグリーンシート２１に対する平面上の位置データ
を得る。
、積層焼成後多層セラミック基板として使用するために
、導体の埋め込み用としてスルホール２２が形成されて
いる。ＣＣＤラインセンサ１２は、テーブル２の可動方
向に対して直交するようにテーブル２の上方向に配置さ
れ、かつテーブル２の上面に固定された被検査体である
グリーンシート２１の検査エリアを視野に取れる位置に
固定されている。テーブル２が、テーブル駆動機構４に
より一方向に駆動されると、グリーンシート２１より下
面に設けられた面光源１１より、スルホール２２を透過
して、透過光がＣＣＤラインセンサ１２上に投影される
０画像処理袋２１３は、上述のデータをもとに、スルホ
ールのテーブル２の可動方向に対して直交する方向の位
置を検出する。また制御部１１は、画像処理装置１３お
よびテーブル駆動機構４とのデータをもとにスルホール
２２のグリーンシート２１に対する平面上の位置データ
を得る。
上述した従来のスルホール検査装置は、面光源とＣＣＤ
ラインセンサによりスルホールデータを得る構造となっ
ているため、データの分解能は、ＣＣＤラインセンサの
分解能により一意的に決定し、データの細分化ができず
、光精度、高密度なスルホース検査ができないという欠
点があった。
ラインセンサによりスルホールデータを得る構造となっ
ているため、データの分解能は、ＣＣＤラインセンサの
分解能により一意的に決定し、データの細分化ができず
、光精度、高密度なスルホース検査ができないという欠
点があった。
本発明のスルホール検査装置は、ベースと、被検査体で
あるワークを上面に固定するテーブルと、前記ベース上
に設けられかつ前記テーブルを一軸方向に案内するガイ
ドと、前記ガイドに案内された前記テーブルを移動する
テーブル駆動機構と、前記ベース上に設けられた平行光
源と、前記ベース上に前記平行光源からの光を受ける位
置に設けられ前記平行光源からの光を前記テーブルの移
動方向に対して直交方向にスキャニングする振動子と、
前記テーブルの上部に設けられ前記振動子によりスキャ
ニングされ前記ワークに設けられたスルホールを通った
光を焦点に設けた光電変換素子に集光する楕円ミラーと
、前記光電変換素子から得られた信号を処理する信号処
理装置と、前記テーブル駆動機構を制御するとともに前
記信号処理装置からの信号を受け前記スルホールの位置
を検出する制御装置とを含んで構成される。
あるワークを上面に固定するテーブルと、前記ベース上
に設けられかつ前記テーブルを一軸方向に案内するガイ
ドと、前記ガイドに案内された前記テーブルを移動する
テーブル駆動機構と、前記ベース上に設けられた平行光
源と、前記ベース上に前記平行光源からの光を受ける位
置に設けられ前記平行光源からの光を前記テーブルの移
動方向に対して直交方向にスキャニングする振動子と、
前記テーブルの上部に設けられ前記振動子によりスキャ
ニングされ前記ワークに設けられたスルホールを通った
光を焦点に設けた光電変換素子に集光する楕円ミラーと
、前記光電変換素子から得られた信号を処理する信号処
理装置と、前記テーブル駆動機構を制御するとともに前
記信号処理装置からの信号を受け前記スルホールの位置
を検出する制御装置とを含んで構成される。
次に本発明の実施例について、図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
第１図は、本発明の一実施例を示す斜視図である。
第１図に示すスルホール検査装置は、ベース１と、被検
査体であるワークを上面に固定するテーブル２と、ベー
ス１上に設けられかつテーブル２を一軸方向に案内する
ガイド３と、ガイド３に案内されたテーブル２を移動す
るテーブル駆動機構４と、ベース１上に設けられた平行
光源５と、ベース１上番こ平行光源５からの光を受ける
位置に設けられ平行光源５からの光をテーブル２の移動
方向に対して直交方向にスキャニング振動子６と、テー
ブル２の上部に設けられ振動子６によりスキャニングさ
れた光を集光する楕円ミラー７と、楕円ミラー８の焦点
に設けた光電変換素子８と、光電変換素子８から得られ
た信号を処理する信号処理装置ｆｆ１９と、テーブル駆
動機構４及び振動子６及び信号処理装置９を制御する制
御装置１０とを含んで構成される。
査体であるワークを上面に固定するテーブル２と、ベー
ス１上に設けられかつテーブル２を一軸方向に案内する
ガイド３と、ガイド３に案内されたテーブル２を移動す
るテーブル駆動機構４と、ベース１上に設けられた平行
光源５と、ベース１上番こ平行光源５からの光を受ける
位置に設けられ平行光源５からの光をテーブル２の移動
方向に対して直交方向にスキャニング振動子６と、テー
ブル２の上部に設けられ振動子６によりスキャニングさ
れた光を集光する楕円ミラー７と、楕円ミラー８の焦点
に設けた光電変換素子８と、光電変換素子８から得られ
た信号を処理する信号処理装置ｆｆ１９と、テーブル駆
動機構４及び振動子６及び信号処理装置９を制御する制
御装置１０とを含んで構成される。
次に、本実施例の構成をさらに詳しく説明する。
第２図は、第１図に示す実施例の光学的配置関係を示す
断面図である。
断面図である。
第２図において、ワークであるグリーンシート２１には
、積層焼成後多層セラミック基板として使用するために
、導体の埋め込み用としてスルホール２２が形成されて
いる。楕円ミラー７は、テーブル２の可動方向に対して
直交するようにテーブル２の上方向に配置され、かつテ
ーブル２の上面に固定された被検査体であるグリーンシ
ート２１の検査エリアを覆い取れる位置に固定されてい
る。また、楕円ミラー７の焦点には、光電変換素子８が
配置される。さらに楕円ミラー７のもう一つの焦点には
、平行光源５からの光をテーブル２の移動方向に対して
直交方向にスキャニングする振動子６が配置される。テ
ーブル２が、テーブル駆動機構４により一方向に駆動さ
れると、グリーンシート２１より下面に設けられた振動
子６によりスキャニングされた光がスルホール２２を透
過して、楕円ミラー７により集光され、光電変換素子８
に投影される。信号処理装置９は、上述のデータおよび
振動子６のスキャニング信号をもとに、スルホールのテ
ーブル２の可動方向に対して直交する方向の位置を検出
する。また制御部１０は、信号処理装置１３およびテー
プ駆動機構４とのデータをもとにスルホール２２のグリ
ーンシート２１に対する平面上の位置データを得る。
、積層焼成後多層セラミック基板として使用するために
、導体の埋め込み用としてスルホール２２が形成されて
いる。楕円ミラー７は、テーブル２の可動方向に対して
直交するようにテーブル２の上方向に配置され、かつテ
ーブル２の上面に固定された被検査体であるグリーンシ
ート２１の検査エリアを覆い取れる位置に固定されてい
る。また、楕円ミラー７の焦点には、光電変換素子８が
配置される。さらに楕円ミラー７のもう一つの焦点には
、平行光源５からの光をテーブル２の移動方向に対して
直交方向にスキャニングする振動子６が配置される。テ
ーブル２が、テーブル駆動機構４により一方向に駆動さ
れると、グリーンシート２１より下面に設けられた振動
子６によりスキャニングされた光がスルホール２２を透
過して、楕円ミラー７により集光され、光電変換素子８
に投影される。信号処理装置９は、上述のデータおよび
振動子６のスキャニング信号をもとに、スルホールのテ
ーブル２の可動方向に対して直交する方向の位置を検出
する。また制御部１０は、信号処理装置１３およびテー
プ駆動機構４とのデータをもとにスルホール２２のグリ
ーンシート２１に対する平面上の位置データを得る。
本発明のスルホール検査装置は、光学系を面光源とＣＣ
Ｄラインセンサにより構成する代わりに、平行光源と振
動子、楕円ミラー及び光電変換素子により構成すること
により、集光した光情報からスルホールデータを時系列
で得ることができるため、データの細分化が容易にでき
るので、高精度、高密度なスルホール検査ができるとい
う効果がある。
Ｄラインセンサにより構成する代わりに、平行光源と振
動子、楕円ミラー及び光電変換素子により構成すること
により、集光した光情報からスルホールデータを時系列
で得ることができるため、データの細分化が容易にでき
るので、高精度、高密度なスルホール検査ができるとい
う効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は第１
図に示す実施例の光学的配置関係を示す断面図、第３図
は従来のスルホール検査装置の一例を示す斜視図、第４
図は第３図に示すスルホール検査装置の光学的配置関係
を示す断面図である。 １・・・ベース、２・・・テーブル、３・・・ガイド、
４・・・テーブル駆動機構、５・・・平行光源、６・・
・振動子、７・・・楕円ミラー、８・・・光電変換素子
、９・・・信号処理装置、１０・・・制御装置、１１・
・・面光源、１２・・・ＣＣＤラインセンサ、１３・・
・画像処理装置、２１・・・グリーンシート、２２・・
・スルホール。 琳明 匣
図に示す実施例の光学的配置関係を示す断面図、第３図
は従来のスルホール検査装置の一例を示す斜視図、第４
図は第３図に示すスルホール検査装置の光学的配置関係
を示す断面図である。 １・・・ベース、２・・・テーブル、３・・・ガイド、
４・・・テーブル駆動機構、５・・・平行光源、６・・
・振動子、７・・・楕円ミラー、８・・・光電変換素子
、９・・・信号処理装置、１０・・・制御装置、１１・
・・面光源、１２・・・ＣＣＤラインセンサ、１３・・
・画像処理装置、２１・・・グリーンシート、２２・・
・スルホール。 琳明 匣
Claims (1)
- ベースと、被検査体であるワークを上面に固定するテ
ーブルと、前記ベース上に設けられかつ前記テーブルを
一軸方向に案内するガイドと、前記ガイドに案内された
前記テーブルを移動するテーブル駆動機構と、前記ベー
ス上に設けられた平行光源と、前記ベース上に前記平行
光源からの光を受ける位置に設けられ前記平行光源から
の光を前記テーブルの移動方向に対して直交方向にスキ
ャニングする振動子と、前記テーブルの上部に設けられ
前記振動子によりスキャニングされ前記ワークに設けら
れたスルホールを通った光を焦点に設けた光電変換素子
に集光する楕円ミラーと、前記光電変換素子から得られ
た信号を処理する信号処理装置と、前記テーブル駆動機
構を制御するとともに前記信号処理装置からの信号を受
け前記スルホールの位置を検出する制御装置とを含むこ
とを特徴とするスルホール検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25915089A JP2855704B2 (ja) | 1989-10-03 | 1989-10-03 | スルホール検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25915089A JP2855704B2 (ja) | 1989-10-03 | 1989-10-03 | スルホール検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03120447A true JPH03120447A (ja) | 1991-05-22 |
| JP2855704B2 JP2855704B2 (ja) | 1999-02-10 |
Family
ID=17330032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25915089A Expired - Lifetime JP2855704B2 (ja) | 1989-10-03 | 1989-10-03 | スルホール検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2855704B2 (ja) |
-
1989
- 1989-10-03 JP JP25915089A patent/JP2855704B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2855704B2 (ja) | 1999-02-10 |
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