JP2845766B2 - ウエーハ収納箱搬送装置 - Google Patents
ウエーハ収納箱搬送装置Info
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- JP2845766B2 JP2845766B2 JP7013121A JP1312195A JP2845766B2 JP 2845766 B2 JP2845766 B2 JP 2845766B2 JP 7013121 A JP7013121 A JP 7013121A JP 1312195 A JP1312195 A JP 1312195A JP 2845766 B2 JP2845766 B2 JP 2845766B2
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- vehicle body
- stator
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/60—Electric or hybrid propulsion means for production processes
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体工場におけるウ
ェーハの複数枚を収納するウエーハ収納箱を搬送するウ
エーハ収納箱搬送装置に関する。
ェーハの複数枚を収納するウエーハ収納箱を搬送するウ
エーハ収納箱搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のウエーハ収納箱搬送装置
はリニアモータで車体をレール上を走行させ籠に積載し
たウエーハ収納箱を搬送し、半導体製造設備のある各ス
テーションにウエーハ収納箱の受け渡しを行なってい
た。そして、割れ欠けが生じやすい脆弱なウエーハを搬
送するので、車体の走行制御やウエーハ収納箱の積載方
法などに種々の工夫改善が試みがなされてきた。
はリニアモータで車体をレール上を走行させ籠に積載し
たウエーハ収納箱を搬送し、半導体製造設備のある各ス
テーションにウエーハ収納箱の受け渡しを行なってい
た。そして、割れ欠けが生じやすい脆弱なウエーハを搬
送するので、車体の走行制御やウエーハ収納箱の積載方
法などに種々の工夫改善が試みがなされてきた。
【０００３】図５（ａ）および（ｂ）は従来のウエーハ
収納箱搬送装置の一例を示す平面図およびＣＣ断面図で
ある。従来、このウエーハ収納箱搬送装置は、図５に示
すように、搬送経路に沿って配設される二本のレール２
５上をローラ２６で走行する車体２１と、この車体２１
の片側にあるオイルダンパ２４の旋回軸２７に吊下げら
れる籠２３と、車体２１の下側に取付けられているとと
もに二本のレール２５の間に搬送経路に沿って所定の間
隔で配置されるリニアモータの固定子２２ｂと作用し推
力を得る可動子２２ａとを備えている。
収納箱搬送装置の一例を示す平面図およびＣＣ断面図で
ある。従来、このウエーハ収納箱搬送装置は、図５に示
すように、搬送経路に沿って配設される二本のレール２
５上をローラ２６で走行する車体２１と、この車体２１
の片側にあるオイルダンパ２４の旋回軸２７に吊下げら
れる籠２３と、車体２１の下側に取付けられているとと
もに二本のレール２５の間に搬送経路に沿って所定の間
隔で配置されるリニアモータの固定子２２ｂと作用し推
力を得る可動子２２ａとを備えている。
【０００４】ここで、リニアモータとしてはインダクシ
ョンリニアモータが用いられており、２次導体である可
動子２２ａには導電板が使用され、１次鉄心と三相巻線
とで構成される固定子２２ｂが用いられている。
ョンリニアモータが用いられており、２次導体である可
動子２２ａには導電板が使用され、１次鉄心と三相巻線
とで構成される固定子２２ｂが用いられている。
【０００５】図６は工場内でのウエーハ収納箱搬送装置
の搬送経路を示す図である。図５のウエーハ収納箱搬送
装置は、図６の搬送経路を経て籠２３内にウエーハ収納
箱２８を入れ、搬送経路にあるステーションに停止し、
ウエーハ収納箱２８の受け渡しを行なっていた。また、
２本のレール２５と所定の間隔で配置される固定子２２
ｂとで構成される搬送経路は、１階から２階あるいは３
階といった垂直に上がる場合もあり、同一階内を縦横に
伸びて屈曲したコーナ部をもっている場合もある。この
ような曲りくねった搬送経路でも籠２３はウエーハ収納
箱２８を水平に保つために旋回軸２７で自在に旋回して
バランスを保っていた。また、籠２３が旋回するときの
振れ過ぎ及び衝撃を緩和するためにオイルダンパ２４が
備えられていた。
の搬送経路を示す図である。図５のウエーハ収納箱搬送
装置は、図６の搬送経路を経て籠２３内にウエーハ収納
箱２８を入れ、搬送経路にあるステーションに停止し、
ウエーハ収納箱２８の受け渡しを行なっていた。また、
２本のレール２５と所定の間隔で配置される固定子２２
ｂとで構成される搬送経路は、１階から２階あるいは３
階といった垂直に上がる場合もあり、同一階内を縦横に
伸びて屈曲したコーナ部をもっている場合もある。この
ような曲りくねった搬送経路でも籠２３はウエーハ収納
箱２８を水平に保つために旋回軸２７で自在に旋回して
バランスを保っていた。また、籠２３が旋回するときの
振れ過ぎ及び衝撃を緩和するためにオイルダンパ２４が
備えられていた。
【０００６】図７（ａ）および（ｂ）は図５のウエーハ
収納箱搬送装置の動作を説明するための搬送装置の位置
を示す図（ａ）および搬送装置の各位置における速度と
推力を示すグラフ（ｂ）である。次に、図５のウエーハ
収納箱搬送装置の動作について説明する。まず、図７
（ａ）のように、ウエーハ収納箱搬送装置がレール上を
走行し、レール上の固定子２２ｂに搬送装置の可動子２
が近ずくにつれて可動子２２ａと固定子２２ｂの間に発
生する印加推力により搬送装置は直線的に速度を増加さ
せ進行方向に移動する。そして、固定子２２ｂと可動子
２２ａが重なり面積が一定以上に達すると推力が一定に
なり、重なり面積が減少すると推力は減少し、可動子２
２ａと固定子２２ｂが離れると推力が無くなりウエーハ
収納箱搬送装置は速度が減少し惰送状態の移動になる。
収納箱搬送装置の動作を説明するための搬送装置の位置
を示す図（ａ）および搬送装置の各位置における速度と
推力を示すグラフ（ｂ）である。次に、図５のウエーハ
収納箱搬送装置の動作について説明する。まず、図７
（ａ）のように、ウエーハ収納箱搬送装置がレール上を
走行し、レール上の固定子２２ｂに搬送装置の可動子２
が近ずくにつれて可動子２２ａと固定子２２ｂの間に発
生する印加推力により搬送装置は直線的に速度を増加さ
せ進行方向に移動する。そして、固定子２２ｂと可動子
２２ａが重なり面積が一定以上に達すると推力が一定に
なり、重なり面積が減少すると推力は減少し、可動子２
２ａと固定子２２ｂが離れると推力が無くなりウエーハ
収納箱搬送装置は速度が減少し惰送状態の移動になる。
【０００７】このように、ウエーハ収納箱搬送装置は固
定子２２ｂの前後で加速および減速され、固定子２２ｂ
の間では惰走し、再び固定子２２ｂ前後で加速および減
速を繰り返して進行方向へ移動していた。
定子２２ｂの前後で加速および減速され、固定子２２ｂ
の間では惰走し、再び固定子２２ｂ前後で加速および減
速を繰り返して進行方向へ移動していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウエー
ハ収納箱搬送装置は、図７（ａ）に示すように、可動子
２２ａの長さが固定子２２ｂが配置される間隔、すなわ
ち、ピッチＰより短いため、図６（ｂ）に示すように、
搬送装置が加速（制御）と惰走（無制御）を繰り返し、
搬送装置の搬送の際に車体が脈動していた。そのため、
図４のガゴ２３に入れたウエーハ収納箱２８が振動し、
ウエーハ収納箱２８内のウエーハにチッピングの発生や
ゴミが付着するという問題があった。
ハ収納箱搬送装置は、図７（ａ）に示すように、可動子
２２ａの長さが固定子２２ｂが配置される間隔、すなわ
ち、ピッチＰより短いため、図６（ｂ）に示すように、
搬送装置が加速（制御）と惰走（無制御）を繰り返し、
搬送装置の搬送の際に車体が脈動していた。そのため、
図４のガゴ２３に入れたウエーハ収納箱２８が振動し、
ウエーハ収納箱２８内のウエーハにチッピングの発生や
ゴミが付着するという問題があった。
【０００９】また、停電等の要因により搬送装置が固定
子３上（印加推力の発生する範囲）に停止しなかった場
合、ウエーハ収納箱搬送装置を復旧するためには、人間
が停止した搬送装置のところまでいき復旧しなければな
らず、復旧に工数および時間がかかるという欠点があっ
た。
子３上（印加推力の発生する範囲）に停止しなかった場
合、ウエーハ収納箱搬送装置を復旧するためには、人間
が停止した搬送装置のところまでいき復旧しなければな
らず、復旧に工数および時間がかかるという欠点があっ
た。
【００１０】ここで、この停電時から復帰するまでのロ
スや脈動を無くすために、固定子３のピッチ間隔Ｐより
可動子２の長さを長くすることが考えられるが、停電時
には必ず固定子上に停止し走行時の脈動が無くなるもの
の、搬送経路の屈曲したレールの曲線部では、可動子と
固定子とが離れ可動子が固定子を覆わなくなり、推力が
得られず曲れないという問題がある。
スや脈動を無くすために、固定子３のピッチ間隔Ｐより
可動子２の長さを長くすることが考えられるが、停電時
には必ず固定子上に停止し走行時の脈動が無くなるもの
の、搬送経路の屈曲したレールの曲線部では、可動子と
固定子とが離れ可動子が固定子を覆わなくなり、推力が
得られず曲れないという問題がある。
【００１１】従って、本発明の目的は、ウエーハ収納箱
に脈動を与えることなくウエーハのチッピングの発生や
ゴミの付着の低減し、かつ停電時の復旧のための工数お
よび時間のロスを無くし極めて円滑にレールの曲線部を
走行しウエーハ収納箱を搬送できるウェーハ収納箱搬送
装置を提供することにある。
に脈動を与えることなくウエーハのチッピングの発生や
ゴミの付着の低減し、かつ停電時の復旧のための工数お
よび時間のロスを無くし極めて円滑にレールの曲線部を
走行しウエーハ収納箱を搬送できるウェーハ収納箱搬送
装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、搬送経
路に沿って所定の間隔で配置されているリニアインダク
ションモータの三相巻線と一次鉄心とで構成される固定
子と、前記搬送経路に沿い前記固定子の両側に配置され
る二本のレール上を走行するとともに上下左右に曲る前
記レールを走行し得る旋回自在のスイーベルジョイント
で連結される少なくとも三つの車体と、前記固定子の少
なくとも二つを覆うことのできる総長さを有するととも
に前記スイーベルジョイント部を含む前記車体のそれぞ
れの長さに分割して該車体の下部に設けられる前記リニ
アインダクションモータの二次導体板である可動子と、
前記レールを含む面と平行な面内での前記可動子の動き
を規制しないで前記車体に前記可動子を回転自在ピンを
介して取付ける支持板と、前記車体の走行時の振動およ
び衝撃を吸収するダンパと自重で旋回し平衡を保つ旋回
軸を介して前記車体のいずれかに吊下げられるとともに
ウェーハ収納箱を乗せる篭とを備えるウェーハ収納箱搬
送装置である。
路に沿って所定の間隔で配置されているリニアインダク
ションモータの三相巻線と一次鉄心とで構成される固定
子と、前記搬送経路に沿い前記固定子の両側に配置され
る二本のレール上を走行するとともに上下左右に曲る前
記レールを走行し得る旋回自在のスイーベルジョイント
で連結される少なくとも三つの車体と、前記固定子の少
なくとも二つを覆うことのできる総長さを有するととも
に前記スイーベルジョイント部を含む前記車体のそれぞ
れの長さに分割して該車体の下部に設けられる前記リニ
アインダクションモータの二次導体板である可動子と、
前記レールを含む面と平行な面内での前記可動子の動き
を規制しないで前記車体に前記可動子を回転自在ピンを
介して取付ける支持板と、前記車体の走行時の振動およ
び衝撃を吸収するダンパと自重で旋回し平衡を保つ旋回
軸を介して前記車体のいずれかに吊下げられるとともに
ウェーハ収納箱を乗せる篭とを備えるウェーハ収納箱搬
送装置である。
【００１３】また、前記可動子がアルミニウム板である
ことが望ましい。
ことが望ましい。
【００１４】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１５】図１（ａ）〜（ｃ）は本発明のウエーハ収
納箱搬送装置の一実施例を示す平面図およびＡＡ断面図
（ｂ）並びにＢＢ断面図（ｃ）、図２（ａ）〜（ｃ）は
図１のウエーハ収納箱搬送装置の可動子の上面図、部分
断面側面図および背面図である。
納箱搬送装置の一実施例を示す平面図およびＡＡ断面図
（ｂ）並びにＢＢ断面図（ｃ）、図２（ａ）〜（ｃ）は
図１のウエーハ収納箱搬送装置の可動子の上面図、部分
断面側面図および背面図である。
【００１６】このウエーハ収納箱搬送装置は、図１およ
び図２に示すように、二本のレール２５の間に所定の間
隔で配置されるリニアインダクションモータの１次鉄心
と三相巻線とで構成される固定子３と、二本のレール２
５上をローラ１１で走行するとともに曲るレール部分を
走行し得る旋回自在のスイーベルジョイント４，５で連
結される三つの車体１と、固定子３の少なくとも二つ覆
うことができる総長さを有するとともにスイーベルジョ
イント部６，７を含む車体１のそれぞれの長さに分割し
て車体１に取付けられるリニアインダクションモータの
２次導電板である可動子２ａ〜２ｅと、車体の走行時の
振動および衝撃を吸収するオイルダンパ８と自重で旋回
し平衡を保つ旋回軸９とを介して車体１のいずれかに吊
下げられウエーハ収納箱２８を乗せる籠１０とを備えて
いる。
び図２に示すように、二本のレール２５の間に所定の間
隔で配置されるリニアインダクションモータの１次鉄心
と三相巻線とで構成される固定子３と、二本のレール２
５上をローラ１１で走行するとともに曲るレール部分を
走行し得る旋回自在のスイーベルジョイント４，５で連
結される三つの車体１と、固定子３の少なくとも二つ覆
うことができる総長さを有するとともにスイーベルジョ
イント部６，７を含む車体１のそれぞれの長さに分割し
て車体１に取付けられるリニアインダクションモータの
２次導電板である可動子２ａ〜２ｅと、車体の走行時の
振動および衝撃を吸収するオイルダンパ８と自重で旋回
し平衡を保つ旋回軸９とを介して車体１のいずれかに吊
下げられウエーハ収納箱２８を乗せる籠１０とを備えて
いる。
【００１７】車体１はここでは三つに分割されている
が、四つあるいは五つに分割してもよい。この分割され
る数はレールの曲り部の曲率半径で決められる。また、
これら車体１は、可動子２ａ〜２ｅを回転自在ピン１４
を介して支持する支持板１２と、枠１３と、枠１３から
伸びローラ１１の軸受を保持する足部１５とを備えてい
る。また、後述するが、それぞれの車体１がレールの曲
り部を回るとき、回転自在ピンを介して可動子２ａ，２
ｂ，２ｃを取付ける支持板１２とこの支持板１２を支え
る枠１３とが互いにレール２５と平行面内で動きを規制
しないようにしてある。
が、四つあるいは五つに分割してもよい。この分割され
る数はレールの曲り部の曲率半径で決められる。また、
これら車体１は、可動子２ａ〜２ｅを回転自在ピン１４
を介して支持する支持板１２と、枠１３と、枠１３から
伸びローラ１１の軸受を保持する足部１５とを備えてい
る。また、後述するが、それぞれの車体１がレールの曲
り部を回るとき、回転自在ピンを介して可動子２ａ，２
ｂ，２ｃを取付ける支持板１２とこの支持板１２を支え
る枠１３とが互いにレール２５と平行面内で動きを規制
しないようにしてある。
【００１８】可動子２ａ〜２ｅは、スイーベルジョイン
トピンおよび軸受を除いては導電性で軽量なアルミニウ
ム板材から切り出して製作される。また、固定子３は．
三相巻線と１次鉄心とで構成されている。
トピンおよび軸受を除いては導電性で軽量なアルミニウ
ム板材から切り出して製作される。また、固定子３は．
三相巻線と１次鉄心とで構成されている。
【００１９】また、従来と同じように、真中の車体１に
はウエーハ収納箱２８を乗せる籠１０を水平に保つため
の旋回軸９と籠１０が揺動するときの振れ過ぎ及び衝撃
を緩和するためにオイルダンパ８とが取付けられてい
る。
はウエーハ収納箱２８を乗せる籠１０を水平に保つため
の旋回軸９と籠１０が揺動するときの振れ過ぎ及び衝撃
を緩和するためにオイルダンパ８とが取付けられてい
る。
【００２０】図３（ａ）〜（ｃ）は図１のウエーハ収納
箱搬送装置の動作を説明するための搬送装置の位置を示
す図（ａ）および搬送装置の各位置における速度（ｂ）
と推力（ｃ）を示すグラフである。このウエーハ収納箱
搬送装置の可動子２ａ〜２ｅの総長さＬは、図３（ａ）
に示すように、所定ピッチ間隔Ｐで配置された固定子３
の２個を覆う長さをもっている。
箱搬送装置の動作を説明するための搬送装置の位置を示
す図（ａ）および搬送装置の各位置における速度（ｂ）
と推力（ｃ）を示すグラフである。このウエーハ収納箱
搬送装置の可動子２ａ〜２ｅの総長さＬは、図３（ａ）
に示すように、所定ピッチ間隔Ｐで配置された固定子３
の２個を覆う長さをもっている。
【００２１】このように２個の固定子３を覆うように可
動子２ａ〜２ｅの総和長さにすれば、車体１が得られる
推力は、図３（ａ）に示すように、進行方向に従って固
定子３に順次電流を流せば、初段の固定子３によって推
力を得て車体１は所定の速度で立ち上り、図３（ｂ）の
ように、最大推力で一定の速度に達する。そして、初段
の固定子３への電流供給を停止し推力が減じても、可動
子２ａ〜２ｅに覆われ始る次段の固定子３に電流が供給
され推力が直ちに増加し速度を減ずることなく一定に維
持される。
動子２ａ〜２ｅの総和長さにすれば、車体１が得られる
推力は、図３（ａ）に示すように、進行方向に従って固
定子３に順次電流を流せば、初段の固定子３によって推
力を得て車体１は所定の速度で立ち上り、図３（ｂ）の
ように、最大推力で一定の速度に達する。そして、初段
の固定子３への電流供給を停止し推力が減じても、可動
子２ａ〜２ｅに覆われ始る次段の固定子３に電流が供給
され推力が直ちに増加し速度を減ずることなく一定に維
持される。
【００２２】このように、走行中に速度が一定であるこ
とは車体１は脈動しない。そして、脈動によるウエーハ
のチッピングやゴミの付着も起らない。また、停電時に
も、必ず、可動子２ａ〜２ｅは一個以上の固定子３を覆
うことになり、ロス時間なしに直に再起動できる。
とは車体１は脈動しない。そして、脈動によるウエーハ
のチッピングやゴミの付着も起らない。また、停電時に
も、必ず、可動子２ａ〜２ｅは一個以上の固定子３を覆
うことになり、ロス時間なしに直に再起動できる。
【００２３】図４はレールの曲り部を走行する状態の図
１のウエーハ収納箱搬送装置を示す平面図である。ウエ
ーハ収納箱搬送装置がレールの曲り部分を走行するとき
は、図４に示すように、三つに分割された車体は、それ
ぞれの可動子２ａ〜２ｅと固定子３との推力とレールと
ローラの規制とによりレール２５の曲り部の曲率半径の
接線方向に傾むきながら走行する。
１のウエーハ収納箱搬送装置を示す平面図である。ウエ
ーハ収納箱搬送装置がレールの曲り部分を走行するとき
は、図４に示すように、三つに分割された車体は、それ
ぞれの可動子２ａ〜２ｅと固定子３との推力とレールと
ローラの規制とによりレール２５の曲り部の曲率半径の
接線方向に傾むきながら走行する。
【００２４】また、二つの固定子３は常に可動子２ａ〜
２ｅで覆われており、直線走行の場合と同じように、停
電時から直に復帰できる。さらに、このレールの曲り部
をそれぞれの車体が回るとき、回転自在ピン１４を介し
て可動子２ａ，２ｂ，２ｃを支持する支持板１２のそれ
ぞれが、推力の作用でレールの曲り部の外側部は互いに
開き内側部は互いに近くなる動きをしても、枠の溝内を
支持板１２が自由に動き枠に力を与えない。この結果、
枠の一部から吊された籠のウエーハ収納箱に車体が曲る
とき起き得る振動あるいは衝撃を伝えることがなくな
る。
２ｅで覆われており、直線走行の場合と同じように、停
電時から直に復帰できる。さらに、このレールの曲り部
をそれぞれの車体が回るとき、回転自在ピン１４を介し
て可動子２ａ，２ｂ，２ｃを支持する支持板１２のそれ
ぞれが、推力の作用でレールの曲り部の外側部は互いに
開き内側部は互いに近くなる動きをしても、枠の溝内を
支持板１２が自由に動き枠に力を与えない。この結果、
枠の一部から吊された籠のウエーハ収納箱に車体が曲る
とき起き得る振動あるいは衝撃を伝えることがなくな
る。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、少なくと
も三つの複数の車体に分割し、それぞれの車体を旋回自
在のスィーベルジョイントで連結し、可動子が常時少な
くとも二つの固定子を覆うような長さにすることによっ
て、走行時の車体の脈動を無くしウエーハ収納箱のウエ
ーハにチッピングやゴミの付着が無くなるという効果が
ある。また、停電時からの復帰も直にできる効果があ
る。
も三つの複数の車体に分割し、それぞれの車体を旋回自
在のスィーベルジョイントで連結し、可動子が常時少な
くとも二つの固定子を覆うような長さにすることによっ
て、走行時の車体の脈動を無くしウエーハ収納箱のウエ
ーハにチッピングやゴミの付着が無くなるという効果が
ある。また、停電時からの復帰も直にできる効果があ
る。
【００２６】さらに、分割された車体にそれぞれ可動子
を回転自在に取付けることによって、曲線部分を含む３
次元のレールを円滑に走行できるという効果を有する。
を回転自在に取付けることによって、曲線部分を含む３
次元のレールを円滑に走行できるという効果を有する。
【図１】本発明のウエーハ収納箱搬送装置の一実施例を
示す平面図およびＡＡ断面図（ｂ）並びにＢＢ断面図
（ｃ）である。
示す平面図およびＡＡ断面図（ｂ）並びにＢＢ断面図
（ｃ）である。
【図２】図１のウエーハ収納箱搬送装置の可動子の上面
図、部分断面側面図および背面図である。
図、部分断面側面図および背面図である。
【図３】図１のウエーハ収納箱搬送装置の動作を説明す
るための搬送装置の位置を示す図（ａ）および搬送装置
の各位置における速度（ｂ）と推力（ｃ）を示すグラフ
である。
るための搬送装置の位置を示す図（ａ）および搬送装置
の各位置における速度（ｂ）と推力（ｃ）を示すグラフ
である。
【図４】レールの曲り部を走行する状態の図１のウエー
ハ収納箱搬送装置を示す平面図である。
ハ収納箱搬送装置を示す平面図である。
【図５】従来のウエーハ収納箱搬送装置の一例を示す平
面図およびＣＣ断面図である。
面図およびＣＣ断面図である。
【図６】工場内でのウエーハ収納箱搬送装置の搬送経路
を示す図である。
を示す図である。
【図７】図５のウエーハ収納箱搬送装置の動作を説明す
るための搬送装置の位置を示す図（ａ）および搬送装置
の各位置における速度と推力を示すグラフ（ｂ）であ
る。
るための搬送装置の位置を示す図（ａ）および搬送装置
の各位置における速度と推力を示すグラフ（ｂ）であ
る。
【符号の説明】 １，２１ 車体 ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ，２２ａ 可動子 ３，２２ｂ 固定子 ４，５ スィーベルジョイント ６，７ スィーベルジョイント部 ８，２４ オイルダンパ ９，２７ 旋回軸 １０，２３ 籠 １１，２６ ローラ １２ 支持板 １３ 枠 １４ 回転自在ピン １５ 足部 ２５ レール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B65G 54/02 B65G 49/07 B61B 13/12 B60L 13/00 - 13/10
Claims (2)
- 【請求項１】 搬送経路に沿って所定の間隔で配置され
ているリニアインダクションモータの三相巻線と一次鉄
心とで構成される固定子と、前記搬送経路に沿い前記固
定子の両側に配置される二本のレール上を走行するとと
もに上下左右に曲る前記レールを走行し得る旋回自在の
スイーベルジョイントで連結される少なくとも三つの車
体と、前記固定子の少なくとも二つを覆うことのできる
総長さを有するとともに前記スイーベルジョイント部を
含む前記車体のそれぞれの長さに分割して該車体の下部
に設けられる前記リニアインダクションモータの二次導
体板である可動子と、前記レールを含む面と平行な面内
での前記可動子の動きを規制しないで前記車体に前記可
動子を回転自在ピンを介して取付ける支持板と、前記車
体の走行時の振動および衝撃を吸収するダンパと自重で
旋回し平衡を保つ旋回軸を介して前記車体のいずれかに
吊下げられるとともにウェーハ収納箱を乗せる篭とを備
えることを特徴とするウェーハ収納箱搬送装置。 - 【請求項２】 前記可動子がアルミニウム板であること
を特徴とする請求項１記載のウェーハ収納箱搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7013121A JP2845766B2 (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | ウエーハ収納箱搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7013121A JP2845766B2 (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | ウエーハ収納箱搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08198448A JPH08198448A (ja) | 1996-08-06 |
| JP2845766B2 true JP2845766B2 (ja) | 1999-01-13 |
Family
ID=11824333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7013121A Expired - Fee Related JP2845766B2 (ja) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | ウエーハ収納箱搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2845766B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02283563A (ja) * | 1989-04-24 | 1990-11-21 | Shinko Electric Co Ltd | 振子式コンテナ装置 |
| JPH0426930U (ja) * | 1990-06-28 | 1992-03-03 |
-
1995
- 1995-01-30 JP JP7013121A patent/JP2845766B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08198448A (ja) | 1996-08-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981006 |
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