JP2845051B2 - ミラ−装置 - Google Patents
ミラ−装置Info
- Publication number
- JP2845051B2 JP2845051B2 JP25755792A JP25755792A JP2845051B2 JP 2845051 B2 JP2845051 B2 JP 2845051B2 JP 25755792 A JP25755792 A JP 25755792A JP 25755792 A JP25755792 A JP 25755792A JP 2845051 B2 JP2845051 B2 JP 2845051B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- load
- mirror
- mirror device
- piston rod
- displacement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は放射光ビ−ムラインの
放射光を試料に集光するミラ−装置に関するものであ
る。
放射光を試料に集光するミラ−装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】シンクロトロン放射による放射光を利用
するミラ−装置は、放射光をミラ−の反射面に対して、
例えば0.2〜2.5度程度の小角度で入射して反射させ、実
験試料に集光するようにしている。そしてミラ−は放射
光の光軸方向に対して１ｍ前後の非常に長いものが使用
され、放射光を集光するために焦点距離は10〜30m程度
で使用することが多い。このためミラ−の反射面を曲率
が200〜2000m程度の曲面にする必要がある。このような
大きい曲率にミラ−の反射面を直接加工することは困難
であるため、ミラ−に曲げ荷重を与えて湾曲させてい
る。
するミラ−装置は、放射光をミラ−の反射面に対して、
例えば0.2〜2.5度程度の小角度で入射して反射させ、実
験試料に集光するようにしている。そしてミラ−は放射
光の光軸方向に対して１ｍ前後の非常に長いものが使用
され、放射光を集光するために焦点距離は10〜30m程度
で使用することが多い。このためミラ−の反射面を曲率
が200〜2000m程度の曲面にする必要がある。このような
大きい曲率にミラ−の反射面を直接加工することは困難
であるため、ミラ−に曲げ荷重を与えて湾曲させてい
る。
【０００３】このミラ−を湾曲させ放射光を集光するミ
ラ−装置は、図８に示すように、直方体のミラ−１と、
ミラ−１を支持するミラ−ベ−ス２と、ミラ−１の長手
方向の沿って２個所に設けられた荷重発生機構３０とを
有し、放射光ビ−ムラインに連結され、例えば１／109
〜１／1010ト−ルの圧力の真空容器に収納されている。
ミラ−ベ−ス２の長手方向の両端部に半円柱状のミラ−
支持部３１を有する。荷重発生機構３０はパルスモ−タ
３２と、パルスモ−タ３２の出力軸に連結された減速器
３３と、減速器３３に連結された送りねじ３４と、送り
ねじ３４に噛み合う駆動ねじ３５とを有し、この荷重発
生機構３０の駆動ねじ３５がミラ−１の荷重作用点に取
り付けたクランプ部３６に直結している。
ラ−装置は、図８に示すように、直方体のミラ−１と、
ミラ−１を支持するミラ−ベ−ス２と、ミラ−１の長手
方向の沿って２個所に設けられた荷重発生機構３０とを
有し、放射光ビ−ムラインに連結され、例えば１／109
〜１／1010ト−ルの圧力の真空容器に収納されている。
ミラ−ベ−ス２の長手方向の両端部に半円柱状のミラ−
支持部３１を有する。荷重発生機構３０はパルスモ−タ
３２と、パルスモ−タ３２の出力軸に連結された減速器
３３と、減速器３３に連結された送りねじ３４と、送り
ねじ３４に噛み合う駆動ねじ３５とを有し、この荷重発
生機構３０の駆動ねじ３５がミラ−１の荷重作用点に取
り付けたクランプ部３６に直結している。
【０００４】そして各荷重発生機構３０のパルスモ−タ
３２により送りねじ３４を回転し、駆動ねじ３５を上下
してミラ−１に荷重を加え、図９に示すように、ミラ−
支持部３１を支点とし、クランプ部３６を荷重点として
曲げモ−メントを加え、ミラ−１を２次曲面に微小湾曲
させる。この湾曲したミラ−１の反射面に対して放射光
を小角度で入射し、反射させて実験試料に集光してい
る。
３２により送りねじ３４を回転し、駆動ねじ３５を上下
してミラ−１に荷重を加え、図９に示すように、ミラ−
支持部３１を支点とし、クランプ部３６を荷重点として
曲げモ−メントを加え、ミラ−１を２次曲面に微小湾曲
させる。この湾曲したミラ−１の反射面に対して放射光
を小角度で入射し、反射させて実験試料に集光してい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のようにミラ−１
を湾曲させる場合、一方のクランプ部３６で与えられた
ミラ−１の変形による荷重は他方のクランプ部３６にも
加えられる。このクランプ部３６に荷重発生機構３０の
駆動ねじ３５が直接連結されているため、一方の荷重発
生機構３０によるミラ−１の変形の影響が他方の荷重発
生機構３０の駆動ねじ３５を介してパルスモ−タ３２の
出力軸に直接伝えられる。この荷重がパルスモ−タ３２
の許容トルクを上回る場合があると、パルスモ−タ３２
や減速器３３を破損するおそれがある。
を湾曲させる場合、一方のクランプ部３６で与えられた
ミラ−１の変形による荷重は他方のクランプ部３６にも
加えられる。このクランプ部３６に荷重発生機構３０の
駆動ねじ３５が直接連結されているため、一方の荷重発
生機構３０によるミラ−１の変形の影響が他方の荷重発
生機構３０の駆動ねじ３５を介してパルスモ−タ３２の
出力軸に直接伝えられる。この荷重がパルスモ−タ３２
の許容トルクを上回る場合があると、パルスモ−タ３２
や減速器３３を破損するおそれがある。
【０００６】また、ミラ−１を曲率が200〜2000m程度の
曲面の湾曲させるため、ミラ−１の変形量は非常に小さ
いが、クランプ部３６と荷重発生機構３０の駆動ねじ３
５が直接連結しているため、パルスモ−タ３２が暴走し
たり使用者の誤操作等を行なうと、その影響が直接ミラ
−１に加わり、場合によってはミラ−１に許容値以上の
変形が与えられる。このためミラ−１が破損してしまう
危険性があった。
曲面の湾曲させるため、ミラ−１の変形量は非常に小さ
いが、クランプ部３６と荷重発生機構３０の駆動ねじ３
５が直接連結しているため、パルスモ−タ３２が暴走し
たり使用者の誤操作等を行なうと、その影響が直接ミラ
−１に加わり、場合によってはミラ−１に許容値以上の
変形が与えられる。このためミラ−１が破損してしまう
危険性があった。
【０００７】さらに、各荷重発生機構３０のパルスモ−
タ３２をあらかじめ定められたミラ−１の湾曲量に応じ
たパルス数で制御しているが、荷重発生機構３０やクラ
ンプ部３６等のガタ等によりミラ−１の湾曲量を精度良
く制御することは困難であった。
タ３２をあらかじめ定められたミラ−１の湾曲量に応じ
たパルス数で制御しているが、荷重発生機構３０やクラ
ンプ部３６等のガタ等によりミラ−１の湾曲量を精度良
く制御することは困難であった。
【０００８】この発明はかかる短所を解決するためにな
されたものであり、荷重点で互いに干渉し合う荷重の影
響を荷重発生機構に与えないとともに、ミラ−に許容値
以上の変形を与えることを防ぎ、安定かつ高精度にミラ
−を湾曲させることができるミラ−装置を得ることを目
的とするものである。
されたものであり、荷重点で互いに干渉し合う荷重の影
響を荷重発生機構に与えないとともに、ミラ−に許容値
以上の変形を与えることを防ぎ、安定かつ高精度にミラ
−を湾曲させることができるミラ−装置を得ることを目
的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明に係るミラ−装
置は、荷重発生部からミラ−の長手方向の複数個所に荷
重を加えて反射面に湾曲を与え、ビ−ムラインからの放
射光を反射して実験試料に集光するミラ−装置におい
て、バネ定数の等しい圧縮バネをシリンダ内のピストン
の上下に配置した荷重作動部によりミラ−と荷重発生部
との間を連結したことを特徴とする。
置は、荷重発生部からミラ−の長手方向の複数個所に荷
重を加えて反射面に湾曲を与え、ビ−ムラインからの放
射光を反射して実験試料に集光するミラ−装置におい
て、バネ定数の等しい圧縮バネをシリンダ内のピストン
の上下に配置した荷重作動部によりミラ−と荷重発生部
との間を連結したことを特徴とする。
【００１０】また、荷重発生部には、荷重作動部のピス
トンロッドの軸心に対して一定角度で傾斜してピストン
ロッドの先端部を案内する案内面を有する案内部と、案
内部をピストンロッドと直交する方向に移動する移動機
構とを有することが好ましい。
トンロッドの軸心に対して一定角度で傾斜してピストン
ロッドの先端部を案内する案内面を有する案内部と、案
内部をピストンロッドと直交する方向に移動する移動機
構とを有することが好ましい。
【００１１】また、ミラ−の荷重作用点の変位量を計測
する変位計測手段や、ミラ−の荷重作用点に作用する荷
重を直接計測する荷重計測手段を設け、荷重制御手段で
計測した変位量や荷重とあらかじめ定められた設定値量
とを比較して荷重発生部を制御すると良い。
する変位計測手段や、ミラ−の荷重作用点に作用する荷
重を直接計測する荷重計測手段を設け、荷重制御手段で
計測した変位量や荷重とあらかじめ定められた設定値量
とを比較して荷重発生部を制御すると良い。
【００１２】
【作用】この発明においては、ミラ−と荷重発生部との
間をピストンを挾んで上下に設けた２個の圧縮バネを有
する荷重作動部で連結し、圧縮バネを介してミラ−に荷
重を加える。
間をピストンを挾んで上下に設けた２個の圧縮バネを有
する荷重作動部で連結し、圧縮バネを介してミラ−に荷
重を加える。
【００１３】また、一方の荷重発生部からミラ−の荷重
点に加えられた荷重による他方の荷重発生部に対する影
響をピストンを挾んで上下に設けた同じバネ定数のバネ
で吸収する。
点に加えられた荷重による他方の荷重発生部に対する影
響をピストンを挾んで上下に設けた同じバネ定数のバネ
で吸収する。
【００１４】さらに、ピストンロッドと直交する方向に
移動する移動機構で案内部材を移動して、案内部材の傾
斜した案内面でピストンロッドに変位を与え、ピストン
の上下のバネを伸縮させてミラ−に荷重を与える。
移動する移動機構で案内部材を移動して、案内部材の傾
斜した案内面でピストンロッドに変位を与え、ピストン
の上下のバネを伸縮させてミラ−に荷重を与える。
【００１５】また、ミラ−の変位量や荷重を直接計測
し、荷重発生部の出力をフィ−ドバック制御して、ミラ
−の曲率を可変し、ミラ−の反射面を正確に湾曲させ
る。
し、荷重発生部の出力をフィ−ドバック制御して、ミラ
−の曲率を可変し、ミラ−の反射面を正確に湾曲させ
る。
【００１６】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す構成図であ
る。図に示すように、ミラ−装置は、ミラ−１とミラ−
ベ−ス２と湾曲機構３とが位置決めテ−ブル４に搭載さ
れて、例えば１／109〜１／1010ト−ルの圧力の真空容
器５に収納されている。ミラ−ベ−ス２はミラ−支持部
６でミラ−１を片持ちに支持している。
る。図に示すように、ミラ−装置は、ミラ−１とミラ−
ベ−ス２と湾曲機構３とが位置決めテ−ブル４に搭載さ
れて、例えば１／109〜１／1010ト−ルの圧力の真空容
器５に収納されている。ミラ−ベ−ス２はミラ−支持部
６でミラ−１を片持ちに支持している。
【００１７】湾曲機構３はミラ−１の反射面に変形を与
えるものであり、ミラ−ベ−ス２に取り付けられた駆動
部７と、複数例えば４個の荷重発生部８ａ〜８ｄと、ミ
ラ−１と荷重発生部８ａ〜８ｄとを連結する荷重作動部
９ａ〜９ｄとを有する。
えるものであり、ミラ−ベ−ス２に取り付けられた駆動
部７と、複数例えば４個の荷重発生部８ａ〜８ｄと、ミ
ラ−１と荷重発生部８ａ〜８ｄとを連結する荷重作動部
９ａ〜９ｄとを有する。
【００１８】駆動部７は、例えば図２の断面図に示すよ
うに駆動源１０に取り付けられた送りねじ１１と、送り
ねじ１１の回転により水平方向に移動する連結ア−ム１
２と、連結ア−ム１２に固定された駆動ア−ム１３とを
有する。荷重発生部８ａ〜８ｄはミラ−ベ−ス２に軸受
１４を介して垂直に取り付けられてピストンロッド１５
と、ピストンロッド１５の先端部に回転自在に取り付け
られたベアリング１６と、ベアリング１６を案内する傾
斜した案内面１７を有する案内部１８とを有する。この
案内部１８の案内面１７はミラ−１の固定端からの距離
に応じて各荷重発生部８ａ〜８ｄ毎に異なる傾斜を有し
ている。
うに駆動源１０に取り付けられた送りねじ１１と、送り
ねじ１１の回転により水平方向に移動する連結ア−ム１
２と、連結ア−ム１２に固定された駆動ア−ム１３とを
有する。荷重発生部８ａ〜８ｄはミラ−ベ−ス２に軸受
１４を介して垂直に取り付けられてピストンロッド１５
と、ピストンロッド１５の先端部に回転自在に取り付け
られたベアリング１６と、ベアリング１６を案内する傾
斜した案内面１７を有する案内部１８とを有する。この
案内部１８の案内面１７はミラ−１の固定端からの距離
に応じて各荷重発生部８ａ〜８ｄ毎に異なる傾斜を有し
ている。
【００１９】荷重作動部９ａ〜９ｄはピストンロッド１
５の先端部のピストン１９と、ピストン１９の上下に設
けられた圧縮バネ２０，２１がシリンダ２２内に収納さ
れている。圧縮バネ２０，２１はそれぞれ同じバネ定数
を有し、あらかじめ圧縮して取り付けられている。そし
て各シリンダ２２がミラ−１の荷重点にクランプされて
いる。
５の先端部のピストン１９と、ピストン１９の上下に設
けられた圧縮バネ２０，２１がシリンダ２２内に収納さ
れている。圧縮バネ２０，２１はそれぞれ同じバネ定数
を有し、あらかじめ圧縮して取り付けられている。そし
て各シリンダ２２がミラ−１の荷重点にクランプされて
いる。
【００２０】上記のように構成されたミラ−装置におい
て、初期設定時には荷重作動部９ａ〜９ｄのピストン１
９に作用する圧縮バネ２０，２１の圧縮力は打消し合
い、ピストン１９は中立状態にあり、ミラ−１を水平に
支持している。この状態で駆動源１０を作動させて送り
ねじ１１を回転し駆動ア−ム１３を水平方向に移動す
る。駆動ア−ム１３の移動により案内部１８がミラ−１
の長手方向に移動する。案内部１８が移動すると、ピス
トンロッド１５に取り付けたベアリング１６が各案内部
１８の案内面１７に沿って上下方向に移動し、ピストン
１９を案内面１７の傾斜の応じて上下させる。このピス
トン１９の上下により、圧縮バネ２０，２１の撓み量を
それぞれ変え、圧縮バネ２０，２１の伸縮量とバネ定数
に比例した荷重をミラ−１に加える。このミラ−１に荷
重を加えるときに、圧縮バネ２０，２１はあらかじめ圧
縮して取り付けられているから、自然長近傍の初期テン
ションの影響を除去することができ、ミラ−１に荷重を
リニアに加えることができる。
て、初期設定時には荷重作動部９ａ〜９ｄのピストン１
９に作用する圧縮バネ２０，２１の圧縮力は打消し合
い、ピストン１９は中立状態にあり、ミラ−１を水平に
支持している。この状態で駆動源１０を作動させて送り
ねじ１１を回転し駆動ア−ム１３を水平方向に移動す
る。駆動ア−ム１３の移動により案内部１８がミラ−１
の長手方向に移動する。案内部１８が移動すると、ピス
トンロッド１５に取り付けたベアリング１６が各案内部
１８の案内面１７に沿って上下方向に移動し、ピストン
１９を案内面１７の傾斜の応じて上下させる。このピス
トン１９の上下により、圧縮バネ２０，２１の撓み量を
それぞれ変え、圧縮バネ２０，２１の伸縮量とバネ定数
に比例した荷重をミラ−１に加える。このミラ−１に荷
重を加えるときに、圧縮バネ２０，２１はあらかじめ圧
縮して取り付けられているから、自然長近傍の初期テン
ションの影響を除去することができ、ミラ−１に荷重を
リニアに加えることができる。
【００２１】また、各荷重発生部８ａ〜８ｄの案内部１
８の案内面１７がミラ−１の固定端からの距離に応じて
異なる傾斜を有するから、各荷重発生部８ａ〜８ｄ毎に
異なる変位をピストン１９に与えることができ、ミラ−
１の各荷重点に異なる荷重を与えてミラ−１の長手方向
の曲率を可変することができる。
８の案内面１７がミラ−１の固定端からの距離に応じて
異なる傾斜を有するから、各荷重発生部８ａ〜８ｄ毎に
異なる変位をピストン１９に与えることができ、ミラ−
１の各荷重点に異なる荷重を与えてミラ−１の長手方向
の曲率を可変することができる。
【００２２】例えば厚さｔが25mm，幅Ｗが110mmのミラ
−１の固定端から、図３に示すように距離Ｘ1，Ｘ2，Ｘ
3，Ｘ4がそれぞれ250mm，500mm，750mm，1000mmのＡ，
Ｂ，Ｃ，Ｄ点に、図４に示すように、Ａ点では15.4Ｋ
ｇ、Ｂ点では−17.9Ｋｇ、Ｃ点では−11.1Ｋｇ、Ｄ点で
は18Ｋｇになるように荷重発生部８ａ〜８ｄの案内部１
８の案内面１７の傾斜と、圧縮バネ２０，２１のバネ定
数を定めておくと、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ点におけるミラ−１
の変位はそれぞれ15.3μｍ，60.6μｍ,146μｍ,261μｍ
になる。この各変位によりミラ−１の反射面を楕円面に
近似させることができる。ここで荷重Ｐのマイナスは下
向きの荷重を示し、プラスは上向きの荷重を示す。
−１の固定端から、図３に示すように距離Ｘ1，Ｘ2，Ｘ
3，Ｘ4がそれぞれ250mm，500mm，750mm，1000mmのＡ，
Ｂ，Ｃ，Ｄ点に、図４に示すように、Ａ点では15.4Ｋ
ｇ、Ｂ点では−17.9Ｋｇ、Ｃ点では−11.1Ｋｇ、Ｄ点で
は18Ｋｇになるように荷重発生部８ａ〜８ｄの案内部１
８の案内面１７の傾斜と、圧縮バネ２０，２１のバネ定
数を定めておくと、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ点におけるミラ−１
の変位はそれぞれ15.3μｍ，60.6μｍ,146μｍ,261μｍ
になる。この各変位によりミラ−１の反射面を楕円面に
近似させることができる。ここで荷重Ｐのマイナスは下
向きの荷重を示し、プラスは上向きの荷重を示す。
【００２３】この楕円面に近似したミラ−１の第１焦点
に放射光の光源を置き、第２焦点に実験試料を置くこと
により、光源からの放射光をミラ−１で反射して実験試
料に集光することができ、より強く、より高い分解能の
放射光を実験試料に入射することができる。
に放射光の光源を置き、第２焦点に実験試料を置くこと
により、光源からの放射光をミラ−１で反射して実験試
料に集光することができ、より強く、より高い分解能の
放射光を実験試料に入射することができる。
【００２４】このように案内部１８の水平方向の変位を
傾斜した案内面１７とベアリング１６とピストンロッド
１５で垂直方向の微小変位に変換し、かつ圧縮バネ２
０，２１を介してミラ−１に荷重を加えるようにしたか
ら、駆動部７の誤操作等により案内部１８が水平方向に
大きく移動しても、ミラ−１に加える荷重の増大を抑制
することができる。
傾斜した案内面１７とベアリング１６とピストンロッド
１５で垂直方向の微小変位に変換し、かつ圧縮バネ２
０，２１を介してミラ−１に荷重を加えるようにしたか
ら、駆動部７の誤操作等により案内部１８が水平方向に
大きく移動しても、ミラ−１に加える荷重の増大を抑制
することができる。
【００２５】また、ミラ−１に荷重を加える圧縮バネ２
０，２１の伸縮量はミラ−１の微小な変形量と比べて十
分に大きいから、他の荷重点に加えられた荷重によるミ
ラ−１の変形の影響を圧縮バネ２０，２１で吸収するこ
とができ、荷重発生部８ａ〜８ｄに無理な力を加えるこ
とを防ぐことができる。
０，２１の伸縮量はミラ−１の微小な変形量と比べて十
分に大きいから、他の荷重点に加えられた荷重によるミ
ラ−１の変形の影響を圧縮バネ２０，２１で吸収するこ
とができ、荷重発生部８ａ〜８ｄに無理な力を加えるこ
とを防ぐことができる。
【００２６】さらに、各荷重発生部８ａ〜８ｄの案内部
１８を１つの駆動部７で水平方向に移動してミラ−１の
各荷重点に荷重を加えることができるから、構造を単純
にするとともに、駆動部７の制御を簡単に行なうことが
できる。
１８を１つの駆動部７で水平方向に移動してミラ−１の
各荷重点に荷重を加えることができるから、構造を単純
にするとともに、駆動部７の制御を簡単に行なうことが
できる。
【００２７】なお、上記実施例はミラ−１を片持ちで支
持した場合について説明したが、ミラ−１の長手方向の
両端部を支持した場合にも同様に適用することができ
る。
持した場合について説明したが、ミラ−１の長手方向の
両端部を支持した場合にも同様に適用することができ
る。
【００２８】また、上記実施例は駆動部７の駆動源１０
をあらかじめ定められた一定量駆動してミラ−１の長手
方向の曲率を変えた場合について説明したが、図５に示
すように駆動源１０に接続したパルスモ−タ２３をミラ
−１の湾曲量に応じて制御するようにしても良い。
をあらかじめ定められた一定量駆動してミラ−１の長手
方向の曲率を変えた場合について説明したが、図５に示
すように駆動源１０に接続したパルスモ−タ２３をミラ
−１の湾曲量に応じて制御するようにしても良い。
【００２９】例えば、図５に示すように、ミラ−１の荷
重作動部９ａの上部にレ−ザ変位計２４を設け、図６の
ブロック図に示すように、パルスモ−タ２３のモ−タ駆
動部２５を制御する制御部２６に設定値入力部２７と演
算処理部２８とを設ける。そしてレ−ザ変位計２４で検
出した荷重作動部９ａのミラ−１の実際の変位量を演算
処理部２８に送り、演算処理部２８でミラ−１の実際の
変位量とあらかじめ設定値入力部２７に入力して記憶し
てある荷重作動部９ａの変位量の設定値との差からパル
スモ−タ２３の駆動パルスを演算してモ−タ駆動部２５
に送り、パルスモ−タ２３の駆動を制御する。このよう
にミラ−１の実際の変位を計測し、その計測値によりパ
ルスモ−タ２３をフィ−ドバック制御することにより、
実際のミラ−１の変位量に応じてミラ−１に加える荷重
を可変することができ、ミラ−１を所定の曲率で高精度
に湾曲することができる。
重作動部９ａの上部にレ−ザ変位計２４を設け、図６の
ブロック図に示すように、パルスモ−タ２３のモ−タ駆
動部２５を制御する制御部２６に設定値入力部２７と演
算処理部２８とを設ける。そしてレ−ザ変位計２４で検
出した荷重作動部９ａのミラ−１の実際の変位量を演算
処理部２８に送り、演算処理部２８でミラ−１の実際の
変位量とあらかじめ設定値入力部２７に入力して記憶し
てある荷重作動部９ａの変位量の設定値との差からパル
スモ−タ２３の駆動パルスを演算してモ−タ駆動部２５
に送り、パルスモ−タ２３の駆動を制御する。このよう
にミラ−１の実際の変位を計測し、その計測値によりパ
ルスモ−タ２３をフィ−ドバック制御することにより、
実際のミラ−１の変位量に応じてミラ−１に加える荷重
を可変することができ、ミラ−１を所定の曲率で高精度
に湾曲することができる。
【００３０】上記実施例ではミラ−１の変位を長手方向
の１個所で計測した場合について説明したが、図７に示
すように、各荷重作動部９ａ〜９ｄに独立して駆動する
荷重発生部８ａ〜８ｄを連結し、ミラ−１の各荷重作動
部９ａ〜９ｄの位置におけるミラ−１の実際の変位を、
ミラ−１やミラ−ホルダ等に固定した歪ゲ−ジ２９ａ〜
２９ａで測定し、各荷重発生部８ａ〜８ｄで加える荷重
をそれぞれフィ−ドバック制御することにより、ミラ−
の曲率を任意に可変することができる。
の１個所で計測した場合について説明したが、図７に示
すように、各荷重作動部９ａ〜９ｄに独立して駆動する
荷重発生部８ａ〜８ｄを連結し、ミラ−１の各荷重作動
部９ａ〜９ｄの位置におけるミラ−１の実際の変位を、
ミラ−１やミラ−ホルダ等に固定した歪ゲ−ジ２９ａ〜
２９ａで測定し、各荷重発生部８ａ〜８ｄで加える荷重
をそれぞれフィ−ドバック制御することにより、ミラ−
の曲率を任意に可変することができる。
【００３１】なお、上記実施例はミラ−１の変位量を測
定して、ミラ−１に加える荷重を制御する場合について
説明したが、ミラ−１の実際の荷重を歪ゲ−ジ等で測定
し、ミラ−１に加える荷重をフィ−ドバック制御しても
良い。
定して、ミラ−１に加える荷重を制御する場合について
説明したが、ミラ−１の実際の荷重を歪ゲ−ジ等で測定
し、ミラ−１に加える荷重をフィ−ドバック制御しても
良い。
【００３２】
【発明の効果】この発明は以上説明したように、ミラ−
と荷重発生部との間をピストンを挾んで上下に設けた２
個の圧縮バネを有する荷重作動部で連結し、圧縮バネを
介してミラ−に荷重を加えようにしたから、２個の圧縮
バネの緩衝作用によりミラ−に加えられる荷重が急激に
増大することを防止することができる。
と荷重発生部との間をピストンを挾んで上下に設けた２
個の圧縮バネを有する荷重作動部で連結し、圧縮バネを
介してミラ−に荷重を加えようにしたから、２個の圧縮
バネの緩衝作用によりミラ−に加えられる荷重が急激に
増大することを防止することができる。
【００３３】また、荷重作動部に２個の圧縮バネを組み
合わせることにより、バネの自然長近傍の初期テンショ
ンの影響を除去でき、変位量に応じたリニアな制御がで
きるとともに、ピストンロッドの上下のみで荷重を与え
ることができる。
合わせることにより、バネの自然長近傍の初期テンショ
ンの影響を除去でき、変位量に応じたリニアな制御がで
きるとともに、ピストンロッドの上下のみで荷重を与え
ることができる。
【００３４】また、一方の荷重発生部からミラ−の荷重
点に加えられた荷重による他方の荷重発生部に対する影
響をピストンを挾んで上下に設けた同じ圧縮バネで吸収
することができ、荷重発生部に無理な力が加わることを
防ぐことができる。
点に加えられた荷重による他方の荷重発生部に対する影
響をピストンを挾んで上下に設けた同じ圧縮バネで吸収
することができ、荷重発生部に無理な力が加わることを
防ぐことができる。
【００３５】さらに、ピストンロッドと直交する方向に
移動する移動機構で案内部材を移動して、案内部材の傾
斜した案内面でピストンロッドに変位を与え、ピストン
の上下のバネを伸縮させてミラ−に荷重を与えるから、
案内面の傾斜の度合と圧縮バネのバネ定数に比例した荷
重をミラ−に加えることができる。
移動する移動機構で案内部材を移動して、案内部材の傾
斜した案内面でピストンロッドに変位を与え、ピストン
の上下のバネを伸縮させてミラ−に荷重を与えるから、
案内面の傾斜の度合と圧縮バネのバネ定数に比例した荷
重をミラ−に加えることができる。
【００３６】また、案内部の水平方向の変位を傾斜した
案内面とピストンロッドで垂直方向の微小変位に変換
し、かつ圧縮バネを介してミラ−１に荷重を加えるよう
にしたから、誤操作等によりミラ−に加える荷重の増大
を抑制することができる。
案内面とピストンロッドで垂直方向の微小変位に変換
し、かつ圧縮バネを介してミラ−１に荷重を加えるよう
にしたから、誤操作等によりミラ−に加える荷重の増大
を抑制することができる。
【００３７】さらに、ミラ−の変位量や荷重を直接計測
し、ミラ−に加える荷重をフィ−ドバック制御すること
により、ミラ−の反射面を高精度に湾曲させることがで
きる。
し、ミラ−に加える荷重をフィ−ドバック制御すること
により、ミラ−の反射面を高精度に湾曲させることがで
きる。
【図１】この発明の実施例を示す構成図である。
【図２】上記実施例の湾曲機構を示す断面図である。
【図３】ミラ−の荷重点と荷重の方向を示す説明図であ
る。
る。
【図４】荷重点における荷重と変位の具体例を示す説明
図である。
図である。
【図５】第２の実施例を示す構成図である。
【図６】第２の実施例の制御部を示すブロック図であ
る。
る。
【図７】第３の実施例を示す構成図である。
【図８】従来例の構造を示す斜視図である。
【図９】ミラ−の湾曲状態を示す説明図である。
１ ミラ− ３ 湾曲機構 ７ 駆動部 ８ａ〜８ｄ 荷重発生部 ９ａ〜９ｄ 荷重作動部 １０ 駆動源 １３ 駆動ア−ム １５ ピストンロッド １７ 案内面 １８ 案内部 １９ ピストン ２０，２１ 圧縮バネ ２４ レ−ザ変位計
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山崎 啓市 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日本鋼管株式会社内 (72)発明者 原田 芳彦 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日本鋼管株式会社内 (56)参考文献 特開 平５−256999（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G21K 1/06 G02B 5/10 H05H 13/04
Claims (4)
- 【請求項１】 荷重発生部からミラ−の長手方向の複数
個所に荷重を加えて反射面に湾曲を与え、ビ−ムライン
からの放射光を反射して実験試料に集光するミラ−装置
において、バネ定数の等しい圧縮バネをシリンダ内のピ
ストンの上下に配置した荷重作動部によりミラ−と荷重
発生部との間を連結したことを特徴とするミラ−装置。 - 【請求項２】 上記荷重発生部に荷重作動部のピストン
ロッドの軸心に対して一定角度で傾斜してピストンロッ
ドの先端部を案内する案内面を有する案内部と、案内部
をピストンロッドと直交する方向に移動する移動機構と
を有する請求項１記載のミラ−装置。 - 【請求項３】 ミラ−の荷重作用点の変位量を計測する
変位計測手段と、計測した変位量とあらかじめ定められ
た変位量とを比較して荷重発生部を制御する荷重制御手
段とを有する請求項１又は２記載のミラ−装置。 - 【請求項４】 ミラ−の荷重作用点に作用する荷重を直
接計測する荷重計測手段と、計測した荷重とあらかじめ
定められた荷重とを比較して荷重発生部を制御する荷重
制御手段とを有する請求項１又は２記載のミラ−装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25755792A JP2845051B2 (ja) | 1992-06-16 | 1992-09-02 | ミラ−装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18055992 | 1992-06-16 | ||
| JP4-180559 | 1992-06-16 | ||
| JP25755792A JP2845051B2 (ja) | 1992-06-16 | 1992-09-02 | ミラ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666998A JPH0666998A (ja) | 1994-03-11 |
| JP2845051B2 true JP2845051B2 (ja) | 1999-01-13 |
Family
ID=26500041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25755792A Expired - Lifetime JP2845051B2 (ja) | 1992-06-16 | 1992-09-02 | ミラ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2845051B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110036834A (ko) | 2008-07-14 | 2011-04-11 | 애브리 데니슨 코포레이션 | 접착성 라벨 컷팅 장치 및 방법 |
| ES2751223B2 (es) * | 2019-07-24 | 2021-04-06 | Consorci Per A La Construccio Equipament I Explotacio Del Laboratori De Llum De Sincrotro | Dispositivo de correccion de curvatura de espejos |
-
1992
- 1992-09-02 JP JP25755792A patent/JP2845051B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0666998A (ja) | 1994-03-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3273026B2 (ja) | 表面追従型測定機 | |
| US4961267A (en) | Method and apparatus for making coordinate measurements | |
| JP3860121B2 (ja) | 測定装置における移動の切り離し及び測定のための装置及び方法 | |
| US8528110B2 (en) | Probe detection system | |
| EP1875158B1 (en) | Surface sensing device with optical sensor | |
| US6018991A (en) | Scanning probe microscope having cantilever attached to driving member | |
| EP0252745A2 (en) | Relative displacement control apparatus | |
| JPH05248840A (ja) | 機械スタンドを構成する方法および機械スタンド | |
| JP2003500660A (ja) | レーザスキャナーの走査対象である平面の位置把握方法およびそのためのシステム | |
| JP2845051B2 (ja) | ミラ−装置 | |
| JPH09101317A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡のアプローチ装置 | |
| JP4923441B2 (ja) | 形状測定器 | |
| CN1264824A (zh) | 用于表面形貌测量的位移传感器 | |
| US4104901A (en) | Hardness testing machine | |
| JPH0663782A (ja) | レーザスキャニング装置 | |
| US6466324B1 (en) | Servo guided stage system with yaw sensor | |
| JP2001221733A (ja) | 微動機構 | |
| JPS61155907A (ja) | 検出または測定用ユニツトの特定的高さ調節手段を備えた座標測定装置 | |
| SU947616A1 (ru) | Координатна измерительна машина | |
| US10564181B2 (en) | Atomic force microscope with optical guiding mechanism | |
| JP2884901B2 (ja) | ミラ−装置 | |
| JP2638157B2 (ja) | 形状測定装置及びその方法 | |
| JP3542182B2 (ja) | 顕微鏡焦点調整機構 | |
| CN117589616A (zh) | 用于压痕仪的压痕头 | |
| JP2006292527A (ja) | ３次元形状計測装置 |