JP2844926B2 - 電気油圧サーボシリンダの原点制御方法及びその装置 - Google Patents
電気油圧サーボシリンダの原点制御方法及びその装置Info
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- JP2844926B2 JP2844926B2 JP40226990A JP40226990A JP2844926B2 JP 2844926 B2 JP2844926 B2 JP 2844926B2 JP 40226990 A JP40226990 A JP 40226990A JP 40226990 A JP40226990 A JP 40226990A JP 2844926 B2 JP2844926 B2 JP 2844926B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ステッピングモータの
回転を直線移動に変換・増力させてピストンロッドを移
動させる電気油圧サーボシリンダの原点制御方法及びそ
の装置に関するものである。
回転を直線移動に変換・増力させてピストンロッドを移
動させる電気油圧サーボシリンダの原点制御方法及びそ
の装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】本出願人は先に、ステッピングモータで
作動する電気油圧パルス（サーボ）シリンダを開示した
（実公昭58−10004 号公報）。
作動する電気油圧パルス（サーボ）シリンダを開示した
（実公昭58−10004 号公報）。
【０００３】図５に示すように、この装置は、シリンダ
本体１内に中空のピストン２及びロッド３が収容され、
ロッド３内にはスクリュー４とスクリュー４に螺合され
たスプール５とが設けられて構成されている。
本体１内に中空のピストン２及びロッド３が収容され、
ロッド３内にはスクリュー４とスクリュー４に螺合され
たスプール５とが設けられて構成されている。
【０００４】スプール５には複数の環状溝６が形成され
ており、この溝６に適宜係合する油路７，８，９をピス
トン２及びロッド３に設けて、スクリュー５の回転によ
り軸方向に移動するスプール５が油路７…９を切り換え
るようにすることで、ピストン２の両端に圧力差を生じ
させることによりピストン２を摺動させ、ロッド３を駆
動するようになっている。またシリンダ本体１には、油
路７…９に連通する供給油口１０及び戻り油口１１が形
成され、油圧供給源（図示せず）に接続されている。
ており、この溝６に適宜係合する油路７，８，９をピス
トン２及びロッド３に設けて、スクリュー５の回転によ
り軸方向に移動するスプール５が油路７…９を切り換え
るようにすることで、ピストン２の両端に圧力差を生じ
させることによりピストン２を摺動させ、ロッド３を駆
動するようになっている。またシリンダ本体１には、油
路７…９に連通する供給油口１０及び戻り油口１１が形
成され、油圧供給源（図示せず）に接続されている。
【０００５】そしてスクリュー４に、パルス信号数に比
例して回転するステッピングモータ１２をギア１３，１
４を介して連結させることで、精密な振幅及び振動数を
安定して得られると共に、スクリュー側に反力を生じさ
せることなく振動出力できることとなった。
例して回転するステッピングモータ１２をギア１３，１
４を介して連結させることで、精密な振幅及び振動数を
安定して得られると共に、スクリュー側に反力を生じさ
せることなく振動出力できることとなった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記従来の電
気油圧サーボシリンダにあっては、そのロッド３（ピス
トン２）及びスプール５を、振動制御の基準となる原点
（最も縮退した位置）にセットすることが難しかった。
即ち従来は、これらの原点位置がシリンダ本体１内にあ
って目視確認できないために、ステッピングモータ１２
に下降パルスを指令して、ピストン２がシリンダ本体１
の内壁端部に当接して脱調したときをもって、原点に到
達したとみなしていたが、この脱調時に、ステッピング
モータ１２が逆方向に急激に回転するジャンピングを起
こし、これによってスプール５がスプール原点から離間
される偏差（誤差）が生じてしまうという問題があっ
た。
気油圧サーボシリンダにあっては、そのロッド３（ピス
トン２）及びスプール５を、振動制御の基準となる原点
（最も縮退した位置）にセットすることが難しかった。
即ち従来は、これらの原点位置がシリンダ本体１内にあ
って目視確認できないために、ステッピングモータ１２
に下降パルスを指令して、ピストン２がシリンダ本体１
の内壁端部に当接して脱調したときをもって、原点に到
達したとみなしていたが、この脱調時に、ステッピング
モータ１２が逆方向に急激に回転するジャンピングを起
こし、これによってスプール５がスプール原点から離間
される偏差（誤差）が生じてしまうという問題があっ
た。
【０００７】この誤差があると、機械的な原点と電気制
御の原点とが一致されないこととなり、所望する精密な
振動出力が得られなくなってしまう。
御の原点とが一致されないこととなり、所望する精密な
振動出力が得られなくなってしまう。
【０００８】そこで本発明は、上記事情に鑑み、正確に
原点位置させることのできる電気油圧サーボシリンダの
原点制御方法及びその装置を提供すべく創案されたもの
である。
原点位置させることのできる電気油圧サーボシリンダの
原点制御方法及びその装置を提供すべく創案されたもの
である。
【０００９】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明は、ステ
ッピングモータの回転が変換されて直線変位するバルブ
スプールとこのスプールの変位により生じたピストン両
端の油圧差により適宜増力されて移動するピストンロッ
ドとを有した電気油圧サーボシリンダの原点を制御する
に際して、ピストンロッドをその原点位置まで移動させ
て、その時にステッピングモータの回転を検出し、この
検出値がスプールをスプール原点から離間させる反転で
あれば、その回転角度に相当する補正パルス値を演算
し、このパルス値をステッピングモータに出力してスプ
ールをスプール原点に移動させるものである。 また本
発明は、上記方法を実施するための装置であって、ステ
ッピングモータの回転をバルブスプールの直線変位に変
換させると共にこの変位により生じたピストン両端の油
圧差により適宜増力させてピストンロッドを移動させる
電気油圧サーボシリンダの原点制御装置において、ピス
トンロッドを原点位置に移動させたときにスプールをス
プール原点から離間させるステップモータの反転の角度
を検出するための角度センサと、この角度センサの検出
値に基づいてスプールをスプール原点に移動させるため
の補正パルス値を演算すると共にこのパルスをステッピ
ングモータの駆動部に出力する制御手段とを備えたもの
である。
ッピングモータの回転が変換されて直線変位するバルブ
スプールとこのスプールの変位により生じたピストン両
端の油圧差により適宜増力されて移動するピストンロッ
ドとを有した電気油圧サーボシリンダの原点を制御する
に際して、ピストンロッドをその原点位置まで移動させ
て、その時にステッピングモータの回転を検出し、この
検出値がスプールをスプール原点から離間させる反転で
あれば、その回転角度に相当する補正パルス値を演算
し、このパルス値をステッピングモータに出力してスプ
ールをスプール原点に移動させるものである。 また本
発明は、上記方法を実施するための装置であって、ステ
ッピングモータの回転をバルブスプールの直線変位に変
換させると共にこの変位により生じたピストン両端の油
圧差により適宜増力させてピストンロッドを移動させる
電気油圧サーボシリンダの原点制御装置において、ピス
トンロッドを原点位置に移動させたときにスプールをス
プール原点から離間させるステップモータの反転の角度
を検出するための角度センサと、この角度センサの検出
値に基づいてスプールをスプール原点に移動させるため
の補正パルス値を演算すると共にこのパルスをステッピ
ングモータの駆動部に出力する制御手段とを備えたもの
である。
【００１０】この構成によって、角度センサは、ステッ
ピングモータのジャンピングによる反転の角度を検出し
て、これを制御手段に入力させる。制御手段はこの角度
により、スプールをスプール原点に位置させるような補
正パルス値を演算し、ステッピングモータに指令してこ
のパルスの分だけ回転させる。
ピングモータのジャンピングによる反転の角度を検出し
て、これを制御手段に入力させる。制御手段はこの角度
により、スプールをスプール原点に位置させるような補
正パルス値を演算し、ステッピングモータに指令してこ
のパルスの分だけ回転させる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を、添付図面に従って
説明する。
説明する。
【００１２】まず図２によって、本発明に係わる電気油
圧サーボシリンダの原点制御装置の一実施例を説明す
る。
圧サーボシリンダの原点制御装置の一実施例を説明す
る。
【００１３】この装置は、従来と略同様にステッピング
モータ２１と、その回転が直線運動に変換されることで
変位するバルブスプール２２と、バルブスプール２２の
変位により生じたピストン３２両端の油圧差により適宜
増力されることで移動するピストンロッド２３とを有し
て構成された電気油圧サーボシリンダに、ピストンロッ
ド２３を原点位置に移動させたときにスプール２２をス
プール原点から離間させるステッピングモータ２１の反
転の角度を検出するための角度センサ（シンクロ発振
器）２４と、角度センサ２４の検出値に基づいてスプー
ル２２をスプール原点に移動させるための補正パルス値
を演算すると共にこのパルスをステッピングモータ２１
の駆動部（ドライブユニット）２５に出力する制御手段
たるコントローラ２６とが備えられて構成されている。
モータ２１と、その回転が直線運動に変換されることで
変位するバルブスプール２２と、バルブスプール２２の
変位により生じたピストン３２両端の油圧差により適宜
増力されることで移動するピストンロッド２３とを有し
て構成された電気油圧サーボシリンダに、ピストンロッ
ド２３を原点位置に移動させたときにスプール２２をス
プール原点から離間させるステッピングモータ２１の反
転の角度を検出するための角度センサ（シンクロ発振
器）２４と、角度センサ２４の検出値に基づいてスプー
ル２２をスプール原点に移動させるための補正パルス値
を演算すると共にこのパルスをステッピングモータ２１
の駆動部（ドライブユニット）２５に出力する制御手段
たるコントローラ２６とが備えられて構成されている。
【００１４】ステッピングモータ２１には、その出力軸
２７にギア２８が取り付けられており、シリンダ本体２
９の軸方向外方に突出したスクリュー３０の一端に取り
付けられたギア３１に噛合されている。そしてステッピ
ングモータ２１の回転出力によって、スクリュー３０が
軸廻りに回転して、これに螺合されたバルブスプール２
２が軸方向に変位すると共に、その変位によって、ピス
トン３２内に適宜形成された油路３３，３４，３５が切
り換えられることで、シリンダ本体２９内に適宜油圧差
が生じて、ピストン３２及びピストンロッド２３が移動
されるようになっている。
２７にギア２８が取り付けられており、シリンダ本体２
９の軸方向外方に突出したスクリュー３０の一端に取り
付けられたギア３１に噛合されている。そしてステッピ
ングモータ２１の回転出力によって、スクリュー３０が
軸廻りに回転して、これに螺合されたバルブスプール２
２が軸方向に変位すると共に、その変位によって、ピス
トン３２内に適宜形成された油路３３，３４，３５が切
り換えられることで、シリンダ本体２９内に適宜油圧差
が生じて、ピストン３２及びピストンロッド２３が移動
されるようになっている。
【００１５】またピストン３２及びピストンロッド２３
内には、スクリュー３０が収容されるスクリュー室３６
およびこれより拡径されたスプール室３７が区画されて
おり、スプール２２はスプール室３７の範囲内で軸方向
に移動（上下）するようになっている。
内には、スクリュー３０が収容されるスクリュー室３６
およびこれより拡径されたスプール室３７が区画されて
おり、スプール２２はスプール室３７の範囲内で軸方向
に移動（上下）するようになっている。
【００１６】従ってピストンロッド２３の原点位置は、
ピストン３２がシリンダ本体２３の下端内壁３８に当接
した状態であり、スプール２２の下面３９がスプール室
３７の下端内壁（スプールエンド）４０に着座したとき
が、スプール原点位置になる。 角度センサ２４は、ス
クリュー３０の軸心を挟んでステッピングモータ２１の
反対側に並設され、スクリュー３０のギア３１に噛合す
るギア４１を有して形成されている。即ちこのギア４１
の回転によって、ステッピングモータ２１の回転角度を
検知するようになっている。この角度センサ２４が発信
する角度信号αは、変換器４２によってスプール２２の
移動距離に相当するリニア数値に変換されてから、コン
トローラ２６に入力されるようになっている。
ピストン３２がシリンダ本体２３の下端内壁３８に当接
した状態であり、スプール２２の下面３９がスプール室
３７の下端内壁（スプールエンド）４０に着座したとき
が、スプール原点位置になる。 角度センサ２４は、ス
クリュー３０の軸心を挟んでステッピングモータ２１の
反対側に並設され、スクリュー３０のギア３１に噛合す
るギア４１を有して形成されている。即ちこのギア４１
の回転によって、ステッピングモータ２１の回転角度を
検知するようになっている。この角度センサ２４が発信
する角度信号αは、変換器４２によってスプール２２の
移動距離に相当するリニア数値に変換されてから、コン
トローラ２６に入力されるようになっている。
【００１７】従って、ステッピングモータ２１が脱調時
にジャンピングを起こしたときにあっては、その反転角
度αｘを検知して、スプールの偏差量Ｘ（スプール下面
３９とスプールエンド４０との距離）が入力されること
になる。
にジャンピングを起こしたときにあっては、その反転角
度αｘを検知して、スプールの偏差量Ｘ（スプール下面
３９とスプールエンド４０との距離）が入力されること
になる。
【００１８】コントローラ２６は、入力された偏差量Ｘ
に基づいて、次式によってパルス値ｆを演算する。
に基づいて、次式によってパルス値ｆを演算する。
【００１９】 ｆｘ（pulse ）＝Ｘ（mm）÷Ｌ（mm/pulse） ここにｆｘ；補正パルス信号 Ｘ ；偏差量 Ｌ ；サーボシリンダの分解能 従って分解能Ｌが0.01mmであって、偏差量Ｘが0.05mmと
検知された場合は、補正パルス信号ｆｘは5pulseと算出
される。なおステッピングモータ２１が5 相のモータ
（2,3 相励磁方式、10pulse で1 回転）であれば、脱調
時には0 〜5pulseに相当する反転（ジャンピング）が予
想されるものである。
検知された場合は、補正パルス信号ｆｘは5pulseと算出
される。なおステッピングモータ２１が5 相のモータ
（2,3 相励磁方式、10pulse で1 回転）であれば、脱調
時には0 〜5pulseに相当する反転（ジャンピング）が予
想されるものである。
【００２０】そしてコントローラ２６の出力部（図示せ
ず）は、ステッピングモータ２１の駆動部２５に結線さ
れており、演算した補正パルス信号ｆｘを、これに相当
する励磁パルス信号Ｆｘに変換して、ステッピングモー
タ２１に入力させるようになっている。
ず）は、ステッピングモータ２１の駆動部２５に結線さ
れており、演算した補正パルス信号ｆｘを、これに相当
する励磁パルス信号Ｆｘに変換して、ステッピングモー
タ２１に入力させるようになっている。
【００２１】なおその他、本実施例にあっては、ピスト
ン３２の外周面部が適宜窪まされて形成されており、こ
の面部に径方向に延長された油路３５が開口され、シリ
ンダ本体２９に設けられる戻り油口４３と適宜連通する
ようになっている。この戻り油口４３は、供給油口４４
と共に油圧源（図示せず）に接続されている。
ン３２の外周面部が適宜窪まされて形成されており、こ
の面部に径方向に延長された油路３５が開口され、シリ
ンダ本体２９に設けられる戻り油口４３と適宜連通する
ようになっている。この戻り油口４３は、供給油口４４
と共に油圧源（図示せず）に接続されている。
【００２２】次に本発明に係わる電気油圧サーボシリン
ダの原点制御方法の一実施例を、図１を参照して、上記
構成の作用として説明する。
ダの原点制御方法の一実施例を、図１を参照して、上記
構成の作用として説明する。
【００２３】電気油圧サーボシリンダを作動させるに際
しては、コントローラ２６に所望する振動（振幅及び振
動数）が得られるような設定条件を入力しておき、この
コントローラ２６からのパルス信号ｆに従って、ステッ
ピングモータ２１が回転駆動される。
しては、コントローラ２６に所望する振動（振幅及び振
動数）が得られるような設定条件を入力しておき、この
コントローラ２６からのパルス信号ｆに従って、ステッ
ピングモータ２１が回転駆動される。
【００２４】図３に示すように、この回転によってバル
ブスプール２２が直線変位することで、油路３３…３５
が適宜切り換えられて油圧差が発生し、ピストンロッド
２３が往復移動して所定の振動出力が得られる。
ブスプール２２が直線変位することで、油路３３…３５
が適宜切り換えられて油圧差が発生し、ピストンロッド
２３が往復移動して所定の振動出力が得られる。
【００２５】そして被振動体（図示せず）に新たに設置
する時など、電気油圧サーボシリンダを原点制御するに
際しては、まずピストンロッド２３を原点位置（下端内
壁３８）まで下降させるべく、コントローラ２６からス
テッピングモータ２１に下降パルスｆ0 を出力する（図
１中のST 1）。この指令は、スプール２２がスプールエ
ンド４０に到達するまで、即ちステッピングモータ２１
が脱調するまで出力される（ST 2）。
する時など、電気油圧サーボシリンダを原点制御するに
際しては、まずピストンロッド２３を原点位置（下端内
壁３８）まで下降させるべく、コントローラ２６からス
テッピングモータ２１に下降パルスｆ0 を出力する（図
１中のST 1）。この指令は、スプール２２がスプールエ
ンド４０に到達するまで、即ちステッピングモータ２１
が脱調するまで出力される（ST 2）。
【００２６】スプール２２がスプールエンド４０に到達
したら、下降パルスｆ0 を直ちに停止（ST 3）するとと
もに、角度センサ２４によりステッピングモータ２１の
回転角αを検出する（ST 4）。検出した回転角αの信号
は変換器４２を経由してコントローラ２６に送られる。
したら、下降パルスｆ0 を直ちに停止（ST 3）するとと
もに、角度センサ２４によりステッピングモータ２１の
回転角αを検出する（ST 4）。検出した回転角αの信号
は変換器４２を経由してコントローラ２６に送られる。
【００２７】この回転αが下降の方向と逆のもの（α
ｘ）であったなら、コントローラ２６は、ステッピング
モータ２１のジャンピング（反転）があってスプール２
２がスプールエンド４０から離間していると判断し（ST
5）、この反転角度αｘに相当する補正パルスｆｘを演
算して（ST 6）、これをステッピングモータ２１（駆動
部２５）に出力する（ST 7）。
ｘ）であったなら、コントローラ２６は、ステッピング
モータ２１のジャンピング（反転）があってスプール２
２がスプールエンド４０から離間していると判断し（ST
5）、この反転角度αｘに相当する補正パルスｆｘを演
算して（ST 6）、これをステッピングモータ２１（駆動
部２５）に出力する（ST 7）。
【００２８】ステッピングモータ２１は、入力された補
正パルスｆｘ分の角度だけ下降側に回転することで、ギ
ア２８，３１及びスクリュー３０を介して、スプール２
２をスプールエンド４０まで下降移動させる（ST 8）。
正パルスｆｘ分の角度だけ下降側に回転することで、ギ
ア２８，３１及びスクリュー３０を介して、スプール２
２をスプールエンド４０まで下降移動させる（ST 8）。
【００２９】これでスプール２２は、図４に示すよう
に、スプールエンド４０に着座した原点姿勢となり、機
械的な原点と電気制御の基準原点とが正確に一致され
る。
に、スプールエンド４０に着座した原点姿勢となり、機
械的な原点と電気制御の基準原点とが正確に一致され
る。
【００３０】このように、スクリュー３０のギア３１に
ステッピングモータ２１の反転を検出する角度センサ２
４を設け、これと結線されたコントローラ２６が、この
反転角度αｘの分だけ下降させる補正パルスｆｘをステ
ッピングモータ２１に出力するようにしたので、ステッ
ピングモータ２１の機能上発生する脱調時のジャンピン
グによって、スプール２２の原点位置に誤差が生じたと
きにあっても、これを簡単に修正して精密な機械的原点
にセットすることができる。即ち、電気油圧サーボシリ
ンダの振動制御基準を正確に得ることができ、精密な振
動出力を発揮できる。
ステッピングモータ２１の反転を検出する角度センサ２
４を設け、これと結線されたコントローラ２６が、この
反転角度αｘの分だけ下降させる補正パルスｆｘをステ
ッピングモータ２１に出力するようにしたので、ステッ
ピングモータ２１の機能上発生する脱調時のジャンピン
グによって、スプール２２の原点位置に誤差が生じたと
きにあっても、これを簡単に修正して精密な機械的原点
にセットすることができる。即ち、電気油圧サーボシリ
ンダの振動制御基準を正確に得ることができ、精密な振
動出力を発揮できる。
【００３１】また本実施例の構成の角度センサ２４は、
ステッピングモータ２１の回転を確実に検出できて、適
確な補正パルスｆｘの演算・出力に貢献できると共に、
従来の構成にも簡単に適用でき、極めて汎用性に富む。
ステッピングモータ２１の回転を確実に検出できて、適
確な補正パルスｆｘの演算・出力に貢献できると共に、
従来の構成にも簡単に適用でき、極めて汎用性に富む。
【００３２】なお、本発明の角度センサは上記実施例に
限るものではなく、例えばステッピングモータの出力軸
の回転を直接検出するように構成しても構わない。
限るものではなく、例えばステッピングモータの出力軸
の回転を直接検出するように構成しても構わない。
【００３３】さらに本発明の原点制御方法は本実施例に
限るものではなく、例えば図１では下降パルス停止後に
ステッピングモータの回転検出を行う形にしているが、
角度センサが常時回転検出を行っているものとし、下降
指令と異なる反転角度が検出されたときに、コントロー
ラが補正パルスを出力するようにしても構わない。
限るものではなく、例えば図１では下降パルス停止後に
ステッピングモータの回転検出を行う形にしているが、
角度センサが常時回転検出を行っているものとし、下降
指令と異なる反転角度が検出されたときに、コントロー
ラが補正パルスを出力するようにしても構わない。
【００３４】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００３５】(1) 請求項１の方法によれば、ステッピン
グモータのジャンピングにより原点誤差が生じたときに
あっても、これを簡単且つ正確に修正でき、精密な振動
出力が得られる。
グモータのジャンピングにより原点誤差が生じたときに
あっても、これを簡単且つ正確に修正でき、精密な振動
出力が得られる。
【００３６】(2) 請求項２の構成によれば、ステッピン
グモータの回転を確実に検出できて、適確な補正パルス
の出力が得られると共に、従来の構成に簡単に適用で
き、極めて汎用性に富む。
グモータの回転を確実に検出できて、適確な補正パルス
の出力が得られると共に、従来の構成に簡単に適用で
き、極めて汎用性に富む。
【図１】本発明に係る電気油圧サーボシリンダの原点制
御方法の一実施例を示したフローチャートである。
御方法の一実施例を示したフローチャートである。
【図２】本発明の電気油圧サーボシリンダの原点制御装
置の一実施例を示した側断面図である。
置の一実施例を示した側断面図である。
【図３】図２のピストンロッドが移動している状態を示
した側断面図である。
した側断面図である。
【図４】図１のスプールが原点位置された状態を示した
側断面図である。
側断面図である。
【図５】従来の電気油圧パルス（サーボ）シリンダを示
した側断面図である。
した側断面図である。
２１ ステッピングモータ ２２ バルブスプール ２３ ピストンロッド ２４ 角度センサ ２５ 駆動部 ２６ 制御手段たるコントローラ ３２ ピストン ４０ スプール原点たるスプールエンド ｆｘ 補正パルス値（信号）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村上 志郎 東京都江東区豊洲三丁目２番16号 石川 島播磨重工業株式会社 豊洲総合事務所 内 (56)参考文献 特開 昭63−297801（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−74197（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F15B 9/09 G05D 3/10
Claims (2)
- 【請求項１】 ステッピングモータの回転が変換されて
直線変位するバルブスプールと該スプールの変位により
生じたピストン両端の油圧差により適宜増力されて移動
するピストンロッドとを有した電気油圧サーボシリンダ
の原点を制御するに際して、上記ピストンロッドをその
原点位置まで移動させて、その時に上記ステッピングモ
ータの回転を検出し、該検出値が上記スプールをスプー
ル原点から離間させる反転であれば、その回転角度に相
当する補正パルス値を演算し、該パルス値をステッピン
グモータに出力して上記スプールをスプール原点に移動
させることを特徴とする電気油圧サーボシリンダの原点
制御方法。 - 【請求項２】 ステッピングモータの回転をバルブスプ
ールの直線変位に変換させると共に該変位により生じた
ピストン両端の油圧差により適宜増力させてピストンロ
ッドを移動させる電気油圧サーボシリンダの原点制御装
置において、上記ピストンロッドを原点位置に移動させ
たときに上記スプールをスプール原点から離間させる上
記ステッピングモータの反転の角度を検出するための角
度センサと、該角度センサの検出値に基づいて上記スプ
ールをスプール原点に移動させるための補正パルス値を
演算すると共に該パルスを上記ステッピングモータの駆
動部に出力する制御手段とを備えたことを特徴とする電
気油圧サーボシリンダの原点制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40226990A JP2844926B2 (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 電気油圧サーボシリンダの原点制御方法及びその装置 |
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|---|---|---|---|
| JP40226990A JP2844926B2 (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 電気油圧サーボシリンダの原点制御方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04219501A JPH04219501A (ja) | 1992-08-10 |
| JP2844926B2 true JP2844926B2 (ja) | 1999-01-13 |
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ID=18512090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40226990A Expired - Fee Related JP2844926B2 (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 電気油圧サーボシリンダの原点制御方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2844926B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3326284B1 (en) | 2015-07-24 | 2021-05-26 | Société Industrielle de Sonceboz S.A. | Actuator with integrated position sensor and play compensation |
-
1990
- 1990-12-14 JP JP40226990A patent/JP2844926B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3326284B1 (en) | 2015-07-24 | 2021-05-26 | Société Industrielle de Sonceboz S.A. | Actuator with integrated position sensor and play compensation |
| EP3326284B2 (en) † | 2015-07-24 | 2024-01-03 | Société Industrielle de Sonceboz S.A. | Actuator with integrated position sensor and play compensation |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04219501A (ja) | 1992-08-10 |
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