JPH02163501A - 電気・液圧サーボシリンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は電気・液圧サーボシリンダに関し、特には外部
から加えられる回転方向の入力に応じて、シリング本体
内におけるピストンの位置を制御するようにしたサーポ
ノリンタに関するものである。

従来の技術 上記に関し、例えば１９７９年１１月１日に発行された
［油圧技術、　ＶｏＬ、　１８．　Ｎｏ１８Ｊ　　（Ｂ
木工業出版〈株〉発行）の第７１５頁〜５０頁には、ス
テップモータの回転変位に基づいて液圧シリングのピス
トンロッドをステップ状に直線変位するようにした電気
−液圧ステッピングシリングの例が開示されている。即
ちこの電気−液圧ステツビングンリンタとは、時系列パ
ルス信号により駆動されるディジモル液圧ンリンタであ
り、第１１図に示されているようにンリンタ本体１の内
方にピストン２及び該ピストン２と　・体のピストンロ
ッド３が摺動自在に挿通されていて、前記ピストン２に
よってシリンダ本体１の内方に流体室へと流体室Ｂが隔
成されている。ここて流体室Ａには供給ボート１０を介
して供給圧Ｐｓか与えられている。更に１′、記のビス
１−ン２の内方には、長丁方向に沿う細長な中空部５が
形成されていて、該中空部５内に円筒型を有するスプー
ル６か摺動自在に挿通されている。このスプール６の表
面側には環状溝７が形成されている一方、該スプール６
の内面側には雌螺子６ａが刻設されている。８は前記流
体室へとスプール６の表面側一端部間に形成された液路
であり、９は前記流体室Ｂと環状溝７間に形成された液
路である。又、ピストン２とンリンタ本体１間には環状
溝１１が形成されていて、この環状溝１１とスプール６
の表面側一端部間に液路１２が形成されている。２０は
上記環状溝１１と図外の液圧タンクとを連通ずる排出ボ
ー１−　ｒある。

一方１４はステップモータであり、このステップモータ
１４の出力軸１．４．８に螺子軸１５か固定されている
。該螺子軸１５は前記スプール６の内方にまで伸びてお
り、その外周部にはスプール６の内面に刻設された前記
雌螺子６ａと噛合する雄螺子１．５　ａが刻設されてい
る。１６．１．７は螺子軸１５とンリンタ本体１とを液
密下に封止する○リンクである。

かかる電気−液圧ステソピングシリンタの構成によれは
、今ステップモータ１４に１つの電気パルスを加えると
、該ステップモータ１４の回転力か出力軸１４ａから螺
子軸１５に伝えられ、該螺子軸１５が所定の角度たけ回
転する。すると該螺子軸１５に刻設された雄螺子１．５
８とスプール６の内面側に刻設された雌螺子６ａとの螺
合に基づいて、該スプール６が第１１図に示す中立位置
から第１２図に示したように左方向に一定ストロークた
け移動する。するとピストン２に形成された液路８かボ
ート（イ）にて流体室Ｂ側に僅かに開くので、図外の液
圧源から供給ボート１０に送り込まれる供給圧ＰＳが液
路８を介して流体室Ｂに供給されて、該流体室Ｂの圧力
が流体室への圧力よりも犬となり、ピストン２か流体室
Ａ、Ｂ間の圧力差によって低圧側である流体室Ａ方向に
移動する。つまりピストン２の動きがスプール６の左方
向への動きに追従することになる。このようなビス！・
ン２の動きによって流体室Ａ、流体室Ｂの圧力バランス
が取れると、ピストン２かその位置で停止する。

ステップモータ１４に加えられる電気パルスの符号か逆
の場合には、第１３図に示すようにスプール６が右方向
に移動して、前記ボート（イ）か閉じられるとともに環
状溝７と液路１２間のボート（ロ）が僅かに開き、流体
室Ｂ内の液圧がｉｌｌ路９゜環状溝７．液路１２．環状
溝１１及び排出ボート２０を経由して図外のタンクに流
れる。この時流体室Ａ側の液圧はそのままの状態を保っ
ているため、流体室Ｂの圧力が流体室への圧力よりも低
くなり、ピストン２が流体室Ａ、Ｂ間の圧力差によって
低圧側である流体室■３方向に移動する。

このようなピストン２の動きによって流体室Ａ流体室Ｉ
３の圧力バランスが取れると、再ひピストン２かその位
置で停止する。

よって上記の電気−液圧ステッピングンリンダを用いる
ことにより、左右の流体室Ａ、Ｂに供給される流体圧に
より駆動されるピストン２に対して、ステップモータ１
４により外部から加えられる回転方向の入力に応じて左
右の流体室Ａ、１３間に圧力差を発生させて、前記ピス
トン２を低圧側の流体室方向へ移動させるようにしたス
テソピングシリンタか提供される。

発明が解決しようとする課題 しかしながらこのような従来の電気−液圧ステ２ピング
シリンクにあっては、ピストン２の内方にステップモー
タ１４からの回転入力を直線方向の動きに変換させるだ
めの雄螺子６ａ、雌螺子１５ａ等のメカニカルフィード
バック機構か形成されているため、構造自体か極めて’
ｆＭ　Ｍであるとともに部品の点数か多く、製作に要す
る工数か増大してしまうと同時にコストアップを招来し
てしまうという課題を有している。又萌紀電気−液圧ス
テッピングシリンタは、シリンダ本体１の少なくとも一
方側にステップモータ１４が配置される構造となってい
たため、ピストン２の両側にピストンロッドか突出した
。所謂両ロットタイプのシリンダ装置に適用することが
出来ないという難点をも有している。

そこで本発明はこのような従来の電気−液圧スチッピン
グシリンダか有している課題を解消して、構成簡易でし
かも前記両ロットタイプのンリンタ装置にも容易に適用
することができる装置を提供することを目的とするもの
である。

課題を解決するための手段 本発明は上記の目的を達成するために、先ず特許請求の
範囲１に記載された基本的な第１の発明として、シリン
タ本体内に配置されて、左右の流体室に供給される流体
圧により駆動されるピストンと、上記ピストンとシリン
ダ装置との間に配置されて、外部から加えられる円周方
向の入力に応して軸方向に移動するスプール弁とを具備
して成り、該スプール弁の移動に応して液圧源と少なく
とも一方の流体室とを連通させる液路を開閉制御するこ
とにより、左右の流体室間の液圧に基つく押力に差を発
生させて、前記ピストンをそのＩ［ｌ］力方向移動させ
るようにした電気・液圧サーポンリンタにおいて、前記
スプール弁を前記ピストンの外周に配設するとともに、
前記シリンダ本体の所定部位に、圧電振動子もしくは電
歪振動子から出力される超音波振動エネルキーを利用し
て前記スプール弁を軸方向に移動させる超音波モータを
配設した電気・液圧サーボシリンタの構成にしてあり、
特許請求の範囲２に記載された第２の発明として、前記
超音波モータとして、円環状の振動体と、この振動体に
密接されて、該振動体のたわみ振動もしくは伸縮振動に
応じて一定の方向に回転するスライダとから構成された
円環型超音波モータを用いた構成にしてあり、更に特許
請求の範囲３に記載された第３の発明として、前記超音
波モータとして、弾性体で成る平板状の接続部及び該接
続部の両端部から略垂直方向に突設された弾性体で成る
一対の駆動足とによって構成された移動子と、該移動子
に固定されて前記両駆動足に振動を与える圧電振動子又
は電歪振動子とから成る超音波リニアモータを用いた構
成にしである。

作用 このような電気・液圧サーボシリンタの構成によれば、
ピストンか中立位置にある場合には左右の流体室に供給
される流体圧による力か等しいため、ピストンは左右何
れの方向にも移動されない。

次に前記超音波モータからの人力によってスプ−ル弁が
左右何れかに一定ストロークだけ移動すると、該スプー
ル弁の作用に基づいて、液圧源から発生する供給圧が左
右何れか一方側の流体室に導かれ、両流体室の圧力に基
つく力の差に基づいてピストンがその軸方向へ移動され
る。

従って超音波モータから前記スプール弁に対して加えら
れる円周方向の回転量を調整することによって、ピスト
ンの移動距離も調整可能となり、ピストンを所望の位置
に移動制御することかできるという作用が得られる。

上記の動作に際して、超音波モータとして前記第２の発
明で開示した円環型超音波モータを用いると、円環状の
振動体のたわみ振動もしくは伸縮振動か該振動体に密接
されたスライダに伝えられて、該スライダを一定の方向
に回転させ、月つ該スライダの作用に基ついて前記スプ
ール弁か左右方向に移動させることができる。

更に超音波モータとして前記第３の発明で開示した超音
波リニアモータを用いると、該超音波リニアモータを構
成する圧電振動子又は電気歪振動子に特定の駆動周波数
を持つ駆動電圧を加えた際に該振動子か周波数に応した
振動を開始するとともに、この振動が両駆動足に伝えら
れるが、この両駆動足はその共振周波数か異なっている
ので、両者の振動変位も異なり、駆動足の先端部か楕円
振動して前記スライダを回転させるので、この回転力を
前記スプール弁に伝えることによって該スプール弁を軸
方向に移動させることかできる。又スプール弁の左動又
は右動の選択は、振動子に印加する駆動電圧の周波数を
変えることによって切り換えることができる。

実施例 以下本発明にかかる電気・液圧サーボシリンダ具体的な
構造例を、前記従来の構成と同一の構成部分に同一の符
号を何して詳述する。

第１図は本願の第１の発明を示すものであって、１はシ
リンダ本体であり、このシリンダ本体１の内方にピスト
ン２及び該ピストン２と一体のピストンロフト３ａ、３
ｂが摺動自在に挿通されている。即ち本実施例では、ピ
ストン２の両側にピストンロッド３ａ、３ｂか突出した
、所謂両ロッドタイプのシリンダ構造となっている。従
って前記ピストン２及びシリンダ本体１とにより、該シ
リンダ本体１の内方か流体室Ａと流体室Ｂとに熱酸され
ている。この実施例の場合、前記流体室ＡＢの受圧面積
は異なっていて、流体室Ａの受圧面積をａ、流体室Ｂの
受圧面積をｂとすると、ａ＜ｂ となっている。

ここで流体室へには供給ポート１０を介して液圧ポンプ
３０からの供給圧Ｐ　Ｓが与えられている。

尚シリンダ本体１の他の部位には、同一の供給圧ＰＳを
受は入れる供給ボート２１と、排出ボー１〜２０とが形
成されている。

」−記ンリンタ本体１の内壁部分には環状溝２５が形成
されていて、この環状溝２５内に円筒型のスプール弁２
６か軸方向に摺動可能に挿通されている。このスプール
弁２６は図示しないスプライン手段により円周方向の回
転か妨げられている。

このスプール弁２６の所定部位には作動液の液路２７が
設けられていて、この液路２７が前記供給ボート２１に
連通している。更に該スプール弁２６の他の所定部位に
は作動液の排出路２８か設けられていて、この１′１１
出路２８がタンクＴに通ずる前記排出ポート２０に連通
されている。

又、ピストン２の内方には、流体室Ｂから前記液路２７
近傍のスプール弁２６まで延びる液路３１と、流体室Ｂ
から前記排出路２８近傍のスプール弁２６まで延びる液
路３２とが形成されている。

一方、シリンダ本体１の内方で前記スプール弁２６の外
側に近接する部位には中空部３５が形成されており、該
中空部３５の内方に円環状の圧電体４１及び弾性体４２
を主体とする振動体４３と、この振動体４３に密接され
て一定の方向に回転するスライダ４４から成る円環型の
超音波モータＭと、該スライダ４４を振動体４３側に押
圧するスプリング４５とか配設されている。

上記スライダ４４の内面側には歯部４４ａが設けられて
おり、月つスプール弁２６の表面側に前記歯部４４ａに
噛合する滑り螺子５３が形成されている。

上記の超音波モータＭの一例として、例えば第２図に示
す円環型超音波モータＭ、を用いることができる。即ち
図示のように円環型を有する振動体４３に対して、同様
に円環型に形成されたスライダ４４か平行状態に密接さ
れてい゛Ｃ１振動体４３を励振することによって、この
振動体４３に第３図に示すたわみ振動ａか引き起こされ
、このたわみ振動ａによってスライダ４４か１３に示す
方向に回転を開始する。このスライダ４４の回転力が歯
部４４ａを介して滑り螺子５３に伝えられる。

第４図は他の円環型超音波モータＭ、の例を示しており
、この例の場合、円環型を有する振動体４３の外周面を
被覆するようにスライダ４４が密接されている。このよ
うな構成によれば、前記例と同様に振動体４３を励振す
ることによってこの振動体４３に第５図に示す伸縮振動
ｄが引き起こされ、この伸縮振動ｄによってスライダ４
４がＣに示す方向に回転を開始し、このスライダ４４の
回転力が歯部４４ａを介して滑り螺子５３に伝えられる
。

尚、本発明の場合には超音波モータＭとし“Ｃ前記円環
型超音波モータＭ、、Ｍ、のほかに第６図に示す超音波
リニアモータＭ３を用いることかできる。即ちこの超音
波リニアモータＭ３は圧電振動子又は電歪振動子５１　
（以下単に振動子５１という）と、この振動子５１に固
定された移動子５２を主体として構成されていて、」−
記振動子５］からリード線５５．５６が導出されている
。又、上記の移動子５２は伸性体で成る平板状の接続部
５２ａと、この接続部５２ａの両端部から垂直方向に突
設された弾性体で成る一対の駆動足５２ｂ。

５２ｃとから成っている。更に上記駆動足５２ｂ。

５２ｃの先端部に摩擦部材５７．５８が固着されていて
、前記円環型のスライダ４４に対して適度な摩擦力を持
って当接するようにしである。

前記駆動足５２ｂ、５２ｃはその厚み、即ち図示の寸法
Ｓｌと寸法Ｓ２とが異なっており、そのため両駆動足５
２ｂ、５２Ｃの共振周波数も異なり、且つ振動変位も相
違している。

上記駆動足５２ｂ、５２Ｃ及び接続部５２ａは弾性材料
、例えばアルミニウム、黄銅、ステンレス、鉄、ガラス
材料、ジュラルミン或はこれらを複合した材料等の振動
を良好に伝達し得る弾性材料から構成される。

又、前記振動子５１は積層型の圧電素子、又は電歪素子
から構成されており、」−記以外にも単板の圧電、電歪
振動子、又は単板の圧電、電歪振動子と弾性振動体を組
み合わゼた所謂ランンユノ＼ン振動子等を用いることが
出来る。この振動子５１に駆動周波電圧を加えると、そ
の周波電圧の周波数に応じた周波数で伸縮する。そして
この伸縮が共振周波数の異なる駆動足５２ｂ、５２ｃに
伝達されて、該駆動足５２ｂ、５２Ｃに駆動力を付与す
ることか出来る。

かかる電気・液圧サーポソリンタの動作態様を以下に説
明する。

第７図はスプール弁２６によって流体室Ａ、　　８間の
全ての液路が閉止されており、従ってピストン２は中立
の状態に停止している。尚、この時前記したように流体
室へ〇受圧面積をａ、流体室Ｂ延ひる受圧面積をｂとす
ると、 ａＸＰｓ”’ｂＸｐＨ Ｐ５：供給圧 ＰＢ：流体室Ｂ内の液圧 ＝（ａ／ｂ）ＸＰｇ として表わすことができる。

次にピストン２を左行させる際の動作を説明する。即ぢ
前記振動体４３に対して図外の駆動源から特定の駆動周
波数を持つ駆動電圧を加えて該振動体４３を励振させる
と、前記した動作原理に基づいてスライダ４４が中空部
３５内で回転を開始する。該スライダ４４の回転方向は
、振動体４３に印加する駆動電圧の周波数を変えること
によって切り換えることができる。この時スプリング４
５はスライダ４４の裏面側から該スライダ４４を振動体
４３側に押圧するので、スライダ４４と振動体４３とは
常時適度に圧接されており、該スライダ４４の回転がス
ムーズに進行する。

上記の動作態様に基づいてスライダ４４が例えば半時針
方向に一定角度回転すると、該スライダ４４の歯部４４
ａと滑り螺子５３の噛合作用によって第８図に示したよ
うにスプール弁２６か左側に距離Ｘ１だけ直線変位する
。すると同図に示すように液圧ポンプ３０から発生する
供給圧Ｐ５か供給ポート２１から液路２７及び液路３１
を経由して流体室Ｂ内に導かれる。この流体室Ｂの受圧
面積すは流体室Ａの受圧面積よりも大きいため、ａ、ｘ
Ｐｓ＜ｂｘＰｓ となり、この押力の差によりピストン２は左方向に移動
する。

このピストン２の移動距離かＸ、に達すると、前記液路
２７と液路３１とが閉じられて第７図の状態に戻り、ピ
ストン２の移動か停止する。

」−記ピストン２の移動は瞬時に月つ連続的に行われる
ので、該ピストン２に固定されたピストンロッド３ａ、
３ｂをスライダ４４から得られる回転方向の入力によっ
て軸方向に自在に移動させ、且つその位置を制御するこ
とができる。

又、第７図の状態からピストン２を右行さぜる際の動作
を説明する。即ち振動体４３に印加する駆動電圧の周波
数を変えることによって、スライダ４４が前記とは逆に
時計方向に一定角度回転する。すると該スライダ４４の
歯部４４．　ａと滑り螺子５３の噛合作用によって、第
９図に示したようにスプール弁２６が右側に距離Ｘ、だ
け直線変位する。すると同図に示すように流体室Ｂ内の
作動液か液路３２から排出路２８及び排出ポート２０を
経由してタンクＴに流れるので、流体室Ｂ内の液圧か低
下し、 ａｘＰｓ＞ｂｘＰ＋＞ となり、この押力の差によりビスｊ・ン２は右方向に移
動する。

このピストン２の移動距離かＸ、に達すると、前記液路
３２と排出路２８どが閉じられて第７図の状態に戻り、
ピストン２の移動が停止する。

尚、超音波モータＭとして第６図に示した超音波リニア
モータＭ３を採用した際の作動は以ドの通りである。即
ち前記超音波リニアモータＭ３を構成する駆動足５２ｂ
と駆動足５２ｃとの共振周波数の差は、振動変位か交互
に生じるように選択されているとともに、−１−記共振
周波数自体は各駆動足の長さの変更及び材質の変更等に
よって任意の値とすることが出来る。又、超音波リニア
モータＭ、に印加する駆動電圧を変更することによって
スライダ７１４の回転速度を自在に調節するこよか出来
る。従って振動子５１から導出されたリード線５５．５
６に駆動用電源から特定の駆動周波数を持つ駆動電圧を
加えると、この駆動電圧が超音波リニアモータＭ３の振
動子５１に印加され、該振動子５１か周波数に応した振
動を開始するとともにこの振動が移動子５２を構成する
前記接続部５２ａから両駆動足５２ｂ、５２ｃに伝えら
れる。この駆動１１５２ｂ、５２ｃはその共振周波数か
異なっているので、両者の振動変位も異なり、駆動足５
２ｔｌｌ、５２Ｃの先端部か楕円振動を行って、該先端
部に取り付けられた摩擦部材５７，５８とスライダ４４
との摩擦力によって該スライダ４４を回転さ姐ることか
出来る。

第１０図は本発明にかかる電気・液圧サーポシリング６
０の使用例を示す概要図であり、本例では該電気・液圧
サーポンリンク６０を用いて自動車の後輪６１．６２を
操舵する場合を示している。

即ちステアリングホイールの操舵角センサ６３から得ら
れる検出信号θと、車速センサ６４から得られる検出信
号Ｖとをコントローラ６５を構成する制御部６５ａに入
力し、且つ超音波モータドライブ回路６５ｂから前記制
御部６５ａで演算された操舵角に相当する駆動電圧を発
生させ、該駆動電圧を信号ライン６６を介して電気・液
圧サーボシリンダ６０内に配設された前記超音波モータ
Ｍ（第１図）に印加することによって、液圧ポンプ３０
から得られる供給圧によっ−Ｃピストン２と一体のピス
トンロッド３ａ、、３ｔ）を車幅方向に移動させること
ができて、後輪６１．６２の操舵を実施することができ
る。

即ち本発明にかかる電気・液圧サーホシリンク６０か両
ロンド型であるため、このような使用態様を実現するこ
とか可能となり、構成簡易にして低コストの後輪操舵機
構か提供される。

発明の効果 以」−詳細に説明した如く、本発明にかかる電気・液圧
サーホシリンクによれば、先ず特許請求の範囲１に記載
された基本的な第１の発明として、シリンダ本体内に配
置されて、左右の流体室に供給される流体圧により駆動
されるピストンと、上記ピストンとシリンダ本体との間
に配置されて、外部から加えられる円周方向の入力に応
して軸方向に移動するスプール弁とを具備して成り、該
スプール弁の移動に応じて液圧源と少なくとも・方の流
体室とを連通させる液路を開閉制御することにより、左
右の流体室間の液圧に基つく押力に差を発生させて、前
記ピストンをその軸方向へ移動させるようにした電気・
液圧サーボシリンクにおいて、前記スプール弁を前記ピ
ストンの外周に配設するとともに、前記シリンダ本体の
所定部位に、圧電振動子もしくは電歪振動子から出力さ
れる超音波振動エネルキーを利用して前記スプール弁を
軸か向に移動させる超音波モータを配設した電気・液圧
サーボ／リンダの構成にしてあり、特許請求の範囲２に
記載された第２の発明として、前記超音波モータとして
、円環状の振動体と、この振動体に密接されて、該振動
体のたわみ振動もしくは伸縮振動に応じて一定の方向に
回転するスライダとから構成された円環型超音波モータ
を用いたことを特徴としており、更に特許請求の範囲３
に記載された第３の発明として、前記超音波モータとし
て、弾性体で成る平板状の接続部及び該接続部の両端部
から略垂直方向に突設された弾性体で成る一対の駆動足
とによって構成された移動子と、該移動子に固定されて
前記両駆動足に振動を与える圧電振動子又は電歪振動子
とから成る超音波リニアモータを用いた構成にしたので
、以ドに記す作用効果かもたらされる。即ち前記第１の
発明によれば、超音波モータに特定の駆動周波数を持つ
駆動電圧を加えると、圧電振動子もしくは電歪振動子か
ら出力される超音波振動エネルギーによって前記スプー
ル弁を左右方向に移動させることかできる。するとスプ
ール弁は該エネルキーの大きさに応じて左右何れかに一
定ストロークたけ移動し、液圧源から発生する供給圧を
左右何れか一方側の流体室に導いて、両流体室の圧力に
基つく押力の差によりピストンを低圧側の流体室の方向
へ移動することができる。

従って超音波モータから出力される超音波振動エネルギ
ーの大きさを調整することによって、ビス）・ンの移動
距離も調整可能となり、ピストンを所望の方向及び位置
に移動制御することかできるサーボシリンタか得られる
。

又、前記第２の発明で開示した円環型超音波モータを用
いると、円環状の振動体のたわみ振動もしくは伸縮振動
が該振動体に密接されたスライダに伝えられて、該スラ
イダを一定の方向に回転さ足、且つ該スライダの作用に
基ついて前記スプール弁を左右方向に移動させることか
できる。

更に超音波モータとして前記第３の発明で開示した超音
波リニアモータを用いると、該超音波リニアモータを構
成する圧電振動子又は電気歪振動子に特定の駆動周波数
を持つ駆動電圧を加えた際に、該振動子が周波数に応じ
た振動を開始するとともに、この振動か両駆動足に伝え
られるか、この両駆動足はその共振周波数が異な一ンて
いるので、両者の振動変位も異なり、駆動足の先端部か
楕円振動して前記スライダを回転させるので、この回転
力を前記スプール弁に伝えることによって該スプール弁
を左右方向に移動させることかできる。

上記スプール弁の左動又は右動の選択は、振動子に印加
する駆動電圧の周波数を変えることによって切り換える
ことかできる。

更に本発明にあっては、外部からの回転入力を直線方向
の動きに変換させるためのメカニカルフィードバック機
構かピストン内部に形成されていないため、構造自体か
極めて簡易化されており、部品の点数か少なく、製作に
要する工数を下げてコストタウンかはかれるという利点
があり、特にビス！・ンの両側にピストンロッドが突出
した。所謂向ロツ１−タイプのンリンダ装置にも容易に
適用することができるという大きな特長を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかる電気・液圧サーホシリンタの一
実施例を示す要部断面図、第２図は本発明で採用した円
環型超音波モータの一例を示す斜視図、第３図は同動作
態様を説明する概略図、第４図は本発明で採用した他の
円環型超音波モータの一例を示す斜視図、第５図は同動
作態様を説明する概略図、第６図は本発明で採用した超
音波リニアモータの構成例を示す正面図、第７図、第８
図、第９図は本発明の作動状態を示す要部断面図、第１
０図は本発明の適用例を示す概要図、第１１図は従来の
電気・液圧ステノピングノリンタの例を示す要部断面図
、第１２図及び第１３図は従来装置の動作例を示す要部
断面図である。 １・・・シワンタ本体、２・−ピストン、３ａ、３ｂ・
・・ピストンロッド、 １．０．２１・・供給ポート、２０・・排出ボート、２
５・環状溝、２６　スプール弁、２８　排出路、３０　
液圧ポンプ、３］、、３２・・液路、４１　圧電体、４
２・弾性体、４３・・・振動体、４４　スライダ、４５
・スプリング、 ５１　・振動子、５２　・移動子、５２ａ　　・接続部
、５２ｂ、５２ｃ・・・駆動足、５７．５８・・摩擦部
材、５３・すべり螺子、 ６０・電気・液圧サーボシリンダ、 ６３　・操舵角センサ、６４・・車速センサ、６５・・
フン！・ローラ、

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）シリンダ本体内に配置されて、左右の流体室に供
   給される流体圧により駆動されるピストンと、上記ピス
   トンとシリンダ本体との間に配置されて、外部から加え
   られる円周方向の入力に応じて軸方向に移動するスプー
   ル弁とを具備して成り、該スプール弁の移動に応じて液
   圧源と少なくとも一方の流体室とを連通させる液路を開
   閉制御することにより、左右の流体室間の液圧に基づく
   押力に差を発生させて、前記ピストンをその軸方向へ移
   動させるようにした電気・液圧サーボシリンダにおいて
   、 前記スプール弁を前記ピストンの外周に配設するととも
   に、前記シリンダ本体の所定部位に、圧電振動子もしく
   は電歪振動子から出力される超音波振動エネルギーを利
   用して前記スプール弁を軸方向に移動させる超音波モー
   タを配設したことを特徴とする電気・液圧サーボシリン
   ダ。
2. （２）前記超音波モータとして、円環状の振動体と、こ
   の振動体に密接されて、該振動体のたわみ振動もしくは
   伸縮振動に応じて一定の方向に回転するスライダとから
   構成された円環型超音波モータを用いたことを特徴とす
   る請求項１記載の電気・液圧サーボシリンダ。
3. （３）前記超音波モータとして、弾性体で成る平板状の
   接続部及び該接続部の両端部から略垂直方向に突設され
   た弾性体で成る一対の駆動足とによって構成された移動
   子と、該移動子に固定されて前記両駆動足に振動を与え
   る圧電振動子又は電歪振動子とから成る超音波リニアモ
   ータを用いたことを特徴とする請求項１記載の電気・液
   圧サーボシリンダ。