JP2844137B2 - 位置決め制御装置 - Google Patents
位置決め制御装置Info
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- JP2844137B2 JP2844137B2 JP18696391A JP18696391A JP2844137B2 JP 2844137 B2 JP2844137 B2 JP 2844137B2 JP 18696391 A JP18696391 A JP 18696391A JP 18696391 A JP18696391 A JP 18696391A JP 2844137 B2 JP2844137 B2 JP 2844137B2
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- JP
- Japan
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- speed
- control mode
- gain
- positioning
- control device
- Prior art date
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Machine Tool Positioning Apparatuses (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体露光装置やＩＣ
ボンディング装置やプローバ等の半導体製造装置、産業
用ロボットおよびＮＣ機械等における可動体の位置決め
装置に関するものである。
ボンディング装置やプローバ等の半導体製造装置、産業
用ロボットおよびＮＣ機械等における可動体の位置決め
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の位置決め制御装置では、１組の位
置比例ゲインＰｘ、位置積分ゲインＩｘおよび位置微分
ゲインＤｘを用いて位置決め制御のＰＩＤ演算を行なっ
ていた。
置比例ゲインＰｘ、位置積分ゲインＩｘおよび位置微分
ゲインＤｘを用いて位置決め制御のＰＩＤ演算を行なっ
ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】半導体製造装置の位置
決め制御装置の場合、位置決め精度と安定性が最も重視
され、次に位置決め時間の短縮が重視される。しかしな
がら、上記従来例では、位置決め精度と安定性を挙げる
ための最適な位置比例ゲインＰｘ、位置積分ゲインＩｘ
および位置微分ゲインＤｘの値は、次の目標位置を設定
して位置決めする場合、位置決め時間を短縮するための
値とは両立できないため、位置決め時間がのびる欠点が
あった。
決め制御装置の場合、位置決め精度と安定性が最も重視
され、次に位置決め時間の短縮が重視される。しかしな
がら、上記従来例では、位置決め精度と安定性を挙げる
ための最適な位置比例ゲインＰｘ、位置積分ゲインＩｘ
および位置微分ゲインＤｘの値は、次の目標位置を設定
して位置決めする場合、位置決め時間を短縮するための
値とは両立できないため、位置決め時間がのびる欠点が
あった。
【０００４】本発明は、上述の従来例における問題点に
鑑みてなされたもので、位置決め制御装置において、位
置決め精度および安定性を損なうことなく、位置決め時
間の短縮を図ることを目的とする。
鑑みてなされたもので、位置決め制御装置において、位
置決め精度および安定性を損なうことなく、位置決め時
間の短縮を図ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段および作用】上記の目的を
達成するため、本発明の位置決め制御装置は、可動体を
駆動する駆動手段と、前記可動体の位置を検出する検出
手段と、前記検出手段を介して検出された位置情報を用
いて前記駆動手段のための駆動指令をデジタル演算によ
り求めるデジタル演算手段を備え、前記可動体の駆動を
先ず速度重視の速度制御モードで目標位置近傍まで移動
し、次いで停止位置精度重視の位置制御モードに切替え
て目標位置に位置決めする位置決め制御装置において、
前記デジタル演算手段に与えるゲインパラメータを前記
速度制御モードと前記位置制御モードのそれぞれの中で
複数回切替える手段を設けたことを特徴とする。
達成するため、本発明の位置決め制御装置は、可動体を
駆動する駆動手段と、前記可動体の位置を検出する検出
手段と、前記検出手段を介して検出された位置情報を用
いて前記駆動手段のための駆動指令をデジタル演算によ
り求めるデジタル演算手段を備え、前記可動体の駆動を
先ず速度重視の速度制御モードで目標位置近傍まで移動
し、次いで停止位置精度重視の位置制御モードに切替え
て目標位置に位置決めする位置決め制御装置において、
前記デジタル演算手段に与えるゲインパラメータを前記
速度制御モードと前記位置制御モードのそれぞれの中で
複数回切替える手段を設けたことを特徴とする。
【０００６】好ましい実施例においては、先ず速度重視
の速度制御モードで位置決め時間を最小にする速度指令
値の時系列データに従って速度ＰＩ制御を行ない、目標
位置近傍まで移動することにより、位置決め時間を短縮
する。次いで、停止位置精度重視の位置決め制御モード
に切替えて、位置ＰＩＤ制御を行ない、目標位置に位置
決めすることにより、停止位置精度を向上させる。
の速度制御モードで位置決め時間を最小にする速度指令
値の時系列データに従って速度ＰＩ制御を行ない、目標
位置近傍まで移動することにより、位置決め時間を短縮
する。次いで、停止位置精度重視の位置決め制御モード
に切替えて、位置ＰＩＤ制御を行ない、目標位置に位置
決めすることにより、停止位置精度を向上させる。
【０００７】さらに、上記速度制御モードで、時間、つ
まり速度指令値の時系列データに合わせて、最適な速度
ＰＩ制御を行なうために、速度比例ゲインＰｖと速度積
分ゲインＩｖを切替えることにより、速度指令値の時系
列データへの追従性を向上し、結果として位置決め時間
の短縮を行なう。さらに上記速度制御モードのゲイン切
替時に、速度積分項の値を次の速度制御演算の初期値と
して引き続き使用することで、駆動指令値に連続性を持
たせ、駆動指令値の不連続によって可動体に与える派生
振動を防止し、位置決め時間が延びることを防止する。
また、モータドライバへの過度な指令値を出力しないた
め、モータおよびモータドライバの性能劣化を抑えるこ
とができる。
まり速度指令値の時系列データに合わせて、最適な速度
ＰＩ制御を行なうために、速度比例ゲインＰｖと速度積
分ゲインＩｖを切替えることにより、速度指令値の時系
列データへの追従性を向上し、結果として位置決め時間
の短縮を行なう。さらに上記速度制御モードのゲイン切
替時に、速度積分項の値を次の速度制御演算の初期値と
して引き続き使用することで、駆動指令値に連続性を持
たせ、駆動指令値の不連続によって可動体に与える派生
振動を防止し、位置決め時間が延びることを防止する。
また、モータドライバへの過度な指令値を出力しないた
め、モータおよびモータドライバの性能劣化を抑えるこ
とができる。
【０００８】次に速度制御モードから位置制御モードへ
の切替え時では駆動指令の速度積分項の値を位置制御演
算の位置積分演算の初期値として引き続き使用すること
によって同様に駆動指令値に連続性を持たせ、駆動指令
値の不連続によって可動体に与える派生振動を防止し、
位置決め時間が延びることを防止する。
の切替え時では駆動指令の速度積分項の値を位置制御演
算の位置積分演算の初期値として引き続き使用すること
によって同様に駆動指令値に連続性を持たせ、駆動指令
値の不連続によって可動体に与える派生振動を防止し、
位置決め時間が延びることを防止する。
【０００９】上記位置制御モードでは、目標位置と現在
位置の差の収束すなわち位置偏差の収束に応じて最適な
位置ＰＩＤ制御を行なうために、位置比例ゲインＰｘと
位置積分ゲインＩｘと位置微分ゲインＤｘを切替えるこ
とにより、位置決め収束時は収束時間を短縮する性能を
持たせ、位置決め完了後は位置決め安定性を増大する性
能を持たせることが可能となる。さらに、上記位置制御
モードのゲイン切替時に位置積分項の値を次の位置制御
演算の初期値として引き続き使用することで、駆動指令
値に連続性を持たせ、位置決め収束時は収束時間が延び
ることを防止し、位置決め完了時には位置決めがずれる
ことを防止する効果がある。特に可動体に応力や重力等
の力が加わっている場合、この位置決めのずれを防止す
る効果は大きい。
位置の差の収束すなわち位置偏差の収束に応じて最適な
位置ＰＩＤ制御を行なうために、位置比例ゲインＰｘと
位置積分ゲインＩｘと位置微分ゲインＤｘを切替えるこ
とにより、位置決め収束時は収束時間を短縮する性能を
持たせ、位置決め完了後は位置決め安定性を増大する性
能を持たせることが可能となる。さらに、上記位置制御
モードのゲイン切替時に位置積分項の値を次の位置制御
演算の初期値として引き続き使用することで、駆動指令
値に連続性を持たせ、位置決め収束時は収束時間が延び
ることを防止し、位置決め完了時には位置決めがずれる
ことを防止する効果がある。特に可動体に応力や重力等
の力が加わっている場合、この位置決めのずれを防止す
る効果は大きい。
【００１０】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１１】図１は、本発明の一実施例に係る半導体露
光装置（ステッパ）のウエハステージ制御装置の構成を
表わすブロック図である。
光装置（ステッパ）のウエハステージ制御装置の構成を
表わすブロック図である。
【００１２】図１において、１は可動体の位置を検出す
る手段であるマイケルソン干渉計、２は可動体としての
ウエハステージで、ウエハステージ２はウエハを保持し
ている。３はプレーンミラー（平面鏡）、４はレーザヘ
ッド、５はレシーバ、６は測定システムの電気回路、７
はマスターＣＰＵ、８はサーボシステムコントローラ、
１４はサーボモータ、２０はサーボモータ１４を駆動す
るためのサーボアンプである。
る手段であるマイケルソン干渉計、２は可動体としての
ウエハステージで、ウエハステージ２はウエハを保持し
ている。３はプレーンミラー（平面鏡）、４はレーザヘ
ッド、５はレシーバ、６は測定システムの電気回路、７
はマスターＣＰＵ、８はサーボシステムコントローラ、
１４はサーボモータ、２０はサーボモータ１４を駆動す
るためのサーボアンプである。
【００１３】図１の装置において、レーザヘッド４から
のレーザ光はレーザ干渉計１を通過した後、プレーンミ
ラー３で反射される。ミラー３で反射されたレーザ光の
波長がドップラーシフトし、これが元の波長と干渉す
る。この干渉によるビートをレシーバ５内のフォトディ
テクタで検出している。
のレーザ光はレーザ干渉計１を通過した後、プレーンミ
ラー３で反射される。ミラー３で反射されたレーザ光の
波長がドップラーシフトし、これが元の波長と干渉す
る。この干渉によるビートをレシーバ５内のフォトディ
テクタで検出している。
【００１４】レシーバ５のフォトディテクタからの信号
に基づいて、測定システムの電気回路６は、レシーバ５
のフォトディテクタからの信号に基づいて、ステージ２
の現在位置信号を出力する。この現在位置信号は２ＭＨ
ｚのアップデートレイトでサーボシステムコントローラ
８の現在位置レジスタ９に入力される。またコントロー
ラ８の目標位置レジスタ１０にはマスターＣＰＵ７から
目標位置を示す目標位置信号が入力される。
に基づいて、測定システムの電気回路６は、レシーバ５
のフォトディテクタからの信号に基づいて、ステージ２
の現在位置信号を出力する。この現在位置信号は２ＭＨ
ｚのアップデートレイトでサーボシステムコントローラ
８の現在位置レジスタ９に入力される。またコントロー
ラ８の目標位置レジスタ１０にはマスターＣＰＵ７から
目標位置を示す目標位置信号が入力される。
【００１５】コントローラ８内の減算器１５は目標位置
レジスタ１０に設定されている目標位置と現在位置レジ
スタ９に入力されている現在位置の差、つまり位置偏差
を出力する。レジスタ１６はタイマー１１で発生される
２ＫＨｚのサンプリングクロックで減算器１５から出力
されている位置偏差を記憶する。ここで、目標位置を
ｐ、時刻ｔn における現在位置をｘn とすると、時刻ｔ
n における位置偏差は（ｐ−ｘn ）で示される。なお、
時刻ｔn-1 でレジスタ１６によりサンプリングされた前
回の位置偏差は（ｐ−ｘn-1 ）、その時の現在位置はｘ
n-1 と示される。ＣＰＵ１２はタイマ１１からのクロッ
クに同期してＰＩＤ演算を行ない、トルク指令値（駆動
指令値）Ｔを算出する。算出されたトルク指令値Ｔは出
力レジスタ１７に設定され、コントローラ８内のＤ／Ａ
コンバータ１９でアナログ量に変換され、これがサーボ
アンプ２０を介して電流としてサーボモータ１４に供給
される。これにより、ステージ２の移動が制御される。
なお、Ｐ−ＲＯＭ１８にはＣＰＵ１２のプログラムが、
ＲＡＭ１３にはＣＰＵ１２のデータかそれぞれ格納され
ている。
レジスタ１０に設定されている目標位置と現在位置レジ
スタ９に入力されている現在位置の差、つまり位置偏差
を出力する。レジスタ１６はタイマー１１で発生される
２ＫＨｚのサンプリングクロックで減算器１５から出力
されている位置偏差を記憶する。ここで、目標位置を
ｐ、時刻ｔn における現在位置をｘn とすると、時刻ｔ
n における位置偏差は（ｐ−ｘn ）で示される。なお、
時刻ｔn-1 でレジスタ１６によりサンプリングされた前
回の位置偏差は（ｐ−ｘn-1 ）、その時の現在位置はｘ
n-1 と示される。ＣＰＵ１２はタイマ１１からのクロッ
クに同期してＰＩＤ演算を行ない、トルク指令値（駆動
指令値）Ｔを算出する。算出されたトルク指令値Ｔは出
力レジスタ１７に設定され、コントローラ８内のＤ／Ａ
コンバータ１９でアナログ量に変換され、これがサーボ
アンプ２０を介して電流としてサーボモータ１４に供給
される。これにより、ステージ２の移動が制御される。
なお、Ｐ−ＲＯＭ１８にはＣＰＵ１２のプログラムが、
ＲＡＭ１３にはＣＰＵ１２のデータかそれぞれ格納され
ている。
【００１６】図２は、ＣＰＵ１２の制御シーケンスを表
わすフローチャートである。次に、図２を参照しながら
図１の装置の動作を説明する。
わすフローチャートである。次に、図２を参照しながら
図１の装置の動作を説明する。
【００１７】まず、マスターＣＰＵ７から目標位置と駆
動開始指令が与えられると、ＣＰＵは位置偏差の大きさ
から速度制御モードを使用するか否かを判断する（ステ
ップＳ１）。位置偏差が所定値より大きければ速度制御
モードを使用する。その場合、位置偏差の大きさに基づ
いて位置決め時間を最も短くできる速度指令の時系列デ
ータＶi を計算する。また速度制御モードの制御ゲイン
の切換時間ｔｊを計算する（ステップＳ２）。
動開始指令が与えられると、ＣＰＵは位置偏差の大きさ
から速度制御モードを使用するか否かを判断する（ステ
ップＳ１）。位置偏差が所定値より大きければ速度制御
モードを使用する。その場合、位置偏差の大きさに基づ
いて位置決め時間を最も短くできる速度指令の時系列デ
ータＶi を計算する。また速度制御モードの制御ゲイン
の切換時間ｔｊを計算する（ステップＳ２）。
【００１８】次に、第１の速度制御モードに入る（ステ
ップＳ３）。
ップＳ３）。
【００１９】サンプリングされた位置情報をＸi 、この
時の時系列データである目標速度指令をＶi 、前回のサ
ンプリング情報をＸi-1 とする。この第１の速度制御モ
ードの速度比例ゲインをＰｖ1、速度積分ゲインＩｖ1
とすると、トルク指令値Ｔiは
時の時系列データである目標速度指令をＶi 、前回のサ
ンプリング情報をＸi-1 とする。この第１の速度制御モ
ードの速度比例ゲインをＰｖ1、速度積分ゲインＩｖ1
とすると、トルク指令値Ｔiは
【００２０】
【数１】 として計算され、出力レジスタ１７に設定される。ここ
で、トルク指令の積分項の値はすなわち
で、トルク指令の積分項の値はすなわち
【００２１】
【数２】 である。
【００２２】次に、第２の速度制御モードに切替る時間
かどちらかを判定し（ステップＳ４）、否の場合は第１
の速度制御モードの演算（ステップＳ３）をサンプリン
グ時間毎にくり返す。
かどちらかを判定し（ステップＳ４）、否の場合は第１
の速度制御モードの演算（ステップＳ３）をサンプリン
グ時間毎にくり返す。
【００２３】第２の速度制御モードの切替え時間になっ
た場合、この時の時間をｔ1 、第２の速度制御モードの
速度比例ゲインをＰｖ2 、速度積分ゲインをＩｖ2 とす
ると、トルク指令値Ｔi は
た場合、この時の時間をｔ1 、第２の速度制御モードの
速度比例ゲインをＰｖ2 、速度積分ゲインをＩｖ2 とす
ると、トルク指令値Ｔi は
【００２４】
【数３】 として計算する（ステップＳ５）。
【００２５】同様に第ｎの速度制御モード（ステップＳ
９とＳ１０）までくり返される。
９とＳ１０）までくり返される。
【００２６】第ｎの速度制御モードでは、次の位置制御
モードに切替える時間かどうかを判定する（ステップＳ
１０）。
モードに切替える時間かどうかを判定する（ステップＳ
１０）。
【００２７】次の位置制御モードの切替え時間になった
場合は、この時の時間をｔn 、第１の位置制御モードの
位置比例ゲインをＰｘ1 、位置積分ゲインをＩｘ1 、位
置微分ゲインをＤｘ1 とするとトルク指令値Ｔi は、
場合は、この時の時間をｔn 、第１の位置制御モードの
位置比例ゲインをＰｘ1 、位置積分ゲインをＩｘ1 、位
置微分ゲインをＤｘ1 とするとトルク指令値Ｔi は、
【００２８】
【数４】 と演算される（ステップＳ１１）。ここで、Ｃｖｎは速
度制御の各モードの速度積分演算項の値であり、
度制御の各モードの速度積分演算項の値であり、
【００２９】
【数５】 である。
【００３０】次に第２の位置制御モードに切換る位置偏
差かどうかを判定し、否の場合は第１の位置制御モード
の演算をサンプリング時間毎にくり返す（ステップＳ１
２）。
差かどうかを判定し、否の場合は第１の位置制御モード
の演算をサンプリング時間毎にくり返す（ステップＳ１
２）。
【００３１】第２の位置制御モードの切替え位置偏差に
なった場合、この時の時間をｔn+1、第２の位置制御モ
ードの位置比例ゲインをＰｘ2、位置積分ゲインをＩｘ2
、位置微分ゲインをＤｘ2 とするとトルク指令値Ｔi
は
なった場合、この時の時間をｔn+1、第２の位置制御モ
ードの位置比例ゲインをＰｘ2、位置積分ゲインをＩｘ2
、位置微分ゲインをＤｘ2 とするとトルク指令値Ｔi
は
【００３２】
【数６】 と演算される（ステップＳ１３）。ここでＣｘ1 は位置
制御モードの位置積分演算項の値であり、
制御モードの位置積分演算項の値であり、
【００３３】
【数７】 である。
【００３４】同様に第ｍの位置制御モード（ステップＳ
１９とＳ２０）までくり返される。第ｍの位置制御モー
ドは位置決め収束完了後の制御モードとして使用され、
次の目標位置が入力されるまで演算をサンプリング時間
毎にくり返す。
１９とＳ２０）までくり返される。第ｍの位置制御モー
ドは位置決め収束完了後の制御モードとして使用され、
次の目標位置が入力されるまで演算をサンプリング時間
毎にくり返す。
【００３５】
【他の実施例】上記の実施例では、速度制御モードのゲ
イン切替えを時間による判定で行ない、位置制御モード
のゲイン切替えを位置偏差による判定で行なっている
が、他の判定による切替えでも良い。また、上記の実施
例では速度制御モードはＰＩ制御を行なっているがＰＩ
Ｄ制御を行なってもかまわない。この場合の速度微分ゲ
インをＤｖとするとトルク指令値Ｔi は、
イン切替えを時間による判定で行ない、位置制御モード
のゲイン切替えを位置偏差による判定で行なっている
が、他の判定による切替えでも良い。また、上記の実施
例では速度制御モードはＰＩ制御を行なっているがＰＩ
Ｄ制御を行なってもかまわない。この場合の速度微分ゲ
インをＤｖとするとトルク指令値Ｔi は、
【００３６】
【数８】 として計算される。
【００３７】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、位置決め制御のモードを速度制御モードと位置制御
モードに分け、かつそれぞれの制御モードで数組のゲイ
ンパラメータを切替えることにより、位置決め精度と安
定性を損なわず、位置決め時間の短縮を行なうことがで
きる。
ば、位置決め制御のモードを速度制御モードと位置制御
モードに分け、かつそれぞれの制御モードで数組のゲイ
ンパラメータを切替えることにより、位置決め精度と安
定性を損なわず、位置決め時間の短縮を行なうことがで
きる。
【００３８】また、それぞれの制御モードの積分演算項
の値を次の制御演算の積分演算の初期値として引き続き
使用することにより、位置決め時間が延びることを防止
し、また、モータおよびモータドライバへの過度の入力
を与えず信頼性を向上できる。また、位置決め完了後は
制御ループのゲインを適切な値に切替えることにより、
位置ずれを防止できる効果がある。
の値を次の制御演算の積分演算の初期値として引き続き
使用することにより、位置決め時間が延びることを防止
し、また、モータおよびモータドライバへの過度の入力
を与えず信頼性を向上できる。また、位置決め完了後は
制御ループのゲインを適切な値に切替えることにより、
位置ずれを防止できる効果がある。
【図１】 本発明の一実施例に係るウエハステージ制御
装置のブロック回路図である。
装置のブロック回路図である。
【図２】 図１の装置の動作を示すフローチャートであ
る。
る。
１：マイケルソン干渉計、２：ウエハステージ（可動
体）、３：プレーンミラー、４：レーザヘッド、５：レ
シーバ、６：測定システムの電気回路、７：マスターＣ
ＰＵ、８：サーボシステムコントローラ、９：現在位置
レジスタ、１０：目標位置レジスタ、１４：サーボモー
タ、１５：減算器、２０：サーボアンプ。
体）、３：プレーンミラー、４：レーザヘッド、５：レ
シーバ、６：測定システムの電気回路、７：マスターＣ
ＰＵ、８：サーボシステムコントローラ、９：現在位置
レジスタ、１０：目標位置レジスタ、１４：サーボモー
タ、１５：減算器、２０：サーボアンプ。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G05D 3/00 - 3/12 306 B23Q 15/24 H01L 21/68
Claims (4)
- 【請求項１】 可動体を駆動する駆動手段と、前記可動
体の位置を検出する検出手段と、前記検出手段を介して
検出された位置情報を用いて前記駆動手段のための駆動
指令をデジタル演算により求めるデジタル演算手段を備
え、前記可動体の駆動を先ず速度重視の速度制御モード
で目標位置近傍まで移動し、次いで停止位置精度重視の
位置制御モードに切替えて目標位置に位置決めする位置
決め制御装置において、前記デジタル演算手段に与える
ゲインパラメータを前記速度制御モードと前記位置制御
モードのそれぞれの中で複数回切替える手段を設けたこ
とを特徴とする位置決め制御装置。 - 【請求項２】 前記速度制御モードではＰＩ制御を行な
い、時間に応じて数組の速度比例ゲインＰｖと速度積分
ゲインＩｖを切替え、かつゲイン切替え時に、駆動指令
の速度積分演算項の値を、順次の速度制御演算における
次の速度積分演算の初期値として引き続き使用すること
を特徴とする請求項１記載の位置決め制御装置。 - 【請求項３】 前記位置制御モードではＰＩＤ制御を行
ない、位置偏差の収束に応じて数組の位置比例ゲインＰ
ｘと位置積分ゲインＩｘと位置微分ゲインＤｘを切替
え、かつゲイン切替え時に、駆動指令の位置積分演算項
の値を、順次の位置制御演算における次の位置積分演算
の初期値として引き続き使用することを特徴とする請求
項１記載の位置決め制御装置。 - 【請求項４】 前記速度制御モードから位置制御モード
の切替え時に、駆動指令の速度積分演算項の値を、次の
位置制御演算における位置積分演算の初期値として引き
続き使用することを特徴とする請求項２または３記載の
位置決め制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18696391A JP2844137B2 (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 位置決め制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18696391A JP2844137B2 (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 位置決め制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0511852A JPH0511852A (ja) | 1993-01-22 |
| JP2844137B2 true JP2844137B2 (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=16197793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18696391A Expired - Fee Related JP2844137B2 (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 位置決め制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2844137B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7657334B2 (en) * | 2005-09-16 | 2010-02-02 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and control method |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5460666A (en) * | 1977-10-24 | 1979-05-16 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Process control unit |
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-
1991
- 1991-07-02 JP JP18696391A patent/JP2844137B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0511852A (ja) | 1993-01-22 |
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