JP2710855B2 - 駆動制御装置及び駆動制御方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔目 次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術（第9,第10図） 発明が解決しようとする課題（第11図） 課題を解決するための手段（第１図） 作用 実施例（第２図〜第８図） 発明の効果 〔概 要〕 駆動制御装置、特に半導体集積回路の微細パターンを
描画する電子ビーム露光装置のXYステージや精密な部品
を組み立てる多関節ロボットの腕等の移動制御をする装
置に関し、 該XYステージや多関節ロボットの腕等の移動体が発振
状態に陥った場合であっても、その移動処理を停止する
ことなく、その発振状態を察知し、それを先の目標位置
に復帰させ、他の処理系の動作を継続させることを目的
とし、 その装置は、被駆動体の現在位置及び現在の移動速度
を検出する検出手段と、前記被駆動体の目標位置及び目
標速度を一定時間毎に発生する関数発生手段と、前記検
出手段の現在位置及び現在の移動速度の情報と、前記関
数発生手段の目標位置及び目標速度の情報を入力し、該
現在位置及び現在の移動速度の情報と目標位置及び目標
速度を比較しながら被駆動体を目標位置及び目標速度に
沿うように駆動する駆動手段と、前記被駆動体の現在位
置及び移動速度を入力し該現在位置及び移動速度からこ
れに対応する目標位置及び目標速度を一定時間毎に発生
する補助関数発生手段と、前記被駆動体の現在位置と目
標位置との位置の差が基準値を越えるときの回数を測定
し、前記回数が一定回数よりも多いか少ないかを判断す
る判断手段と、前記基準値を越えた回数が一定回数より
も多いと判断された場合に、前記関数発生手段からの目
標位置及び目標速度を前記駆動手段に入力するように前
記関数発生手段から前記補助関数発生手段へ切り換える
切換え手段とを備えていることを含み構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、駆動制御装置及び駆動制御方法に関するも
のであり、更に詳しく言えば、半導体集積回路の微細パ
ターンを描画する電子ビーム露光装置のXYステージや精
密な部品を組み立てる多関節ロボットの腕等の移動制御
をする装置及びその方法に関するものである。

例えば、近年、半導体集積回路装置の超微細化，高機
能化に伴い描画処理の高速化とスループットの向上との
ために、被露光対象を載置したXYステージを停止するこ
となく、その移動速度の連続制御をして、該被露光対象
に電子ビームを照射し、微細パターンを描画する電子ビ
ーム露光装置が用いられている。

これによれば、露光処理中にステージの位置及び速度
の偏差が異常に大きくなると、その駆動制御量が限界値
を越えて該ステージが発振状態となることがある。これ
により、制御不能に陥って露光処理系の動作が停止する
ことがある。

この場合、露光処理プログラムが初期値にされること
から以後の露光処理を継続することができない。このた
め、露光処理途中の半導体ウェハが一枚ボツとなって使
用できなくなり、生産歩留りの低下を招くという問題が
ある。

そこで、移動体が発振状態に陥った場合であっても、
その移動処理を停止することなく、その発振状態を察知
し、それを先の目標位置に復帰させ、他の処理系の動作
を継続させることができる装置と方法が望まれている。

〔従来の技術〕

第９〜11図は、従来例に係る説明図である。第９図
は、従来例に係る電子ビーム露光装置のXYステージ部の
構成図を示している。

図において、微細パターンを描画する電子ビーム露光
装置のステージ部は、半導体ウエハを載置するXYステー
ジ１と、該ステージ１をＸ軸方向に移動するＸ軸モータ
２と、それをＹ軸方向に移動するＹ軸モータ３と、両モ
ータ2,3の駆動制御をする駆動制御装置４から成る。

当該ステージ部の機能は、露光処理系の電子ビーム５
直下において、半導体ウエハを載置したXYステージをXY
方向に連続移動するものである。この際の移動制御は、
電子ビーム５を制御する露光処理系の制御手段と該制御
装置４とにより協調制御される。

これにより、半導体集積回路装置の超微細化，高機能
化に伴う描画処理の高速化スループットの向上とを図っ
ている。

第10図は、従来例に係る駆動制御装置の構成図であ
る。

図において、例えば、Ｙ軸モータ３を制御する駆動制
御装置４は、関数発生器4Aと、偏差カウンタ4Bと、速度
偏差検出回路4Cと、位置偏差ゲイン演算回路4Dと、D/A
コンバータ4Eと、増幅回路4Fと、レーザレシーバ4Gと、
アップダウンカウンタ4Hから成る。

当該装置の機能は、まず、露光処理系のホストコンピ
ュータからの制御命令信号S01及び基準クロックφに基
づいて関数発生回路4AによりXYステージの目標位置信号
SP及び目標速度信号SVが発生される。両信号SP,SVは偏
差カウンタと速度偏差検出回路4Cとに出力される。

また、XYステージ１の位置がレーザレシーバ4Gにより
検出されて、その位置情報がアップダウンカウンタ4Hか
ら位置検出信号ＳPRとして偏差カウンタ4Bと速度偏差検
出回路4Cとに出力される。偏差カウンタ4B,速度偏差検
出回路4Cでは、先の信号SP,SVと位置検出信号ＳPRとの
偏差検出処理がされる。また、位置偏差ゲイン演算回路
4Dは、位置偏差制御信号ＳF1を出力し、速度偏差検出回
路4Cが速度偏差制御信号ＳF2を出力する。両信号ＳF1、
ＳF2はD/Aコンバータ4Eによってデジタル・アナログ変
換され、これらのアナログ信号は増幅回路4Fによって増
幅されＹ軸モータ３に出力される。これにより、XYステ
ージ１の精密な駆動制御をすることができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで。従来例によれば第11図（ａ），（ｂ）の問
題点を説明する図のように、露光処理中にステージ１の
速度及び位置の偏差α，βが異常に大きくなると、その
駆動制御量が限界値を越えて該ステージ１が発振状態に
なることがある。

例えば、同図（ａ）の速度制御特性において、関数発
生器4Aの目標速度信号SVに係る目標ステージ速度vkと実
際ステージ速度vrとの間に速度偏差αが生じ、これが駆
動制御量の限界値を越えるような場合である。

また、同図（ｂ）の位置制御特性図において、関数発
生器の目標位置信号SPに係る目標ステージ位置Pkと実際
ステージ位置Prとの間に位置偏差βを生じ、これが駆動
制御量の限界値を越えるような場合である。

これは、ステージ１が多くの精密部品により組み立て
られ、その部品間の摩擦や潤滑油の粘性の変化又はその
潤滑状態により駆動手段から見た負荷トルクが突発的に
大きく変動することにより、速度及び位置の偏差α，β
が大きくなり、特に、高いフィードバックゲインによる
厳しい制御を行っている場合に生ずるものと考えられて
いる。

このため、駆動制御装置４が制御不能に陥いることに
よって露光処理系の動作が停止することがある。この場
合、該制御装置４からのエラー信号によって、ホストコ
ンピュータの露光処理プログラムが初期値に戻される。
このことから以後の露光処理を継続することができなく
なる。このことで、露光処理途中の半導体ウェハが一枚
ボツとなって使用できなくなり、生産歩留りの低下を招
くという問題がある。

また、精密な部品を組み立てる多関節ロボットでは、
その駆動制御量が限界値を越える際に、部品を保持した
拘束状態で振動を継続することがある。

このため、それが限界値を越えた場合、その腕の移動
を停止し、部品保持機構系にエラー信号を出力する。こ
のことで、部品を保持した拘束状態が継続されたり、保
持動作が強制的に解除されて部品を落下させたりするこ
とがある。

これにより、リセット処理に多くの時間を要したり、
精密部品の組立工程の妨げとなるという問題がある。

本発明は、かかる従来例の問題点に鑑み創作されたも
のであり、XYステージや多関節ロボットの腕等の移動体
が発振状態に陥った場合であっても、その移動処理を停
止することなく、その発振状態を察知し、それを先の目
標位置に復帰させ、他の処理系の動作を継続させること
を可能とする駆動制御装置及び駆動制御方法の提供を目
的とする。

〔課題を解決するための手段〕

第１図は、本発明に係る駆動制御装置の原理図を示し
ている。

その装置は、被駆動体18の現在位置及び現在の移動速
度を検出する検出手段（以下位置検出手段12という）
と、前記被駆動体18の目標位置及び目標速度を一定時間
毎に発生する関数発生手段（以下制御関数発生手段11と
いう）と、前記位置検出手段12の現在位置及び現在の移
動速度の情報と、前記制御関数発生手段11の目標位置及
び目標速度の情報を入力し、該現在位置及び現在の移動
速度の情報と目標位置及び目標速度を比較しながら被駆
動体を目標位置及び目標速度に沿うように駆動する駆動
手段17と、前記被駆動体18の現在位置及び移動速度を入
力し該現在位置及び移動速度からこれに対応する目標位
置及び目標速度を一定時間毎に発生する補助関数発生手
段F1と、前記被駆動体18の現在位置と目標位置との位置
の差が基準値を越えるときの回数を測定し、前記回数が
一定回数よりも多いか少ないかを判断する判断手段（以
下位置偏差検出手段13という）と、前記基準値を越えた
回数が一定回数よりも多いと判断された場合に、前記補
助関数発生下位F1からの目標位置及び目標速度を前記駆
動手段17に入力するように前記関数発生手段11から前記
補助関数発生手段F1へ切り換える切換え手段SW1とを備
えていることを特徴とする。駆動手段17は、位置偏差ゲ
イン演算手段14、速度偏差検出手段15、信号処理手段16
及び駆動源17Aを有している。

本発明の駆動制御装置において、前記補助関数発生手
段F1は、前記基準値を越えた回数が一定回数よりも多い
と前記位置偏差検出手段13によって判断された場合に、
その時の前記被駆動体18の現在位置を始点とする目標位
置と、該被駆動体18の移動速度に応じて負又は正の方向
の加速度に従って計算した目標速度とを発生することを
特徴とする。

本発明の駆動制御方法は、少なくとも、前記被駆動体
18の目標位置及び目標速度を一定時間毎に発生する関数
発生手段11と、前記被駆動体18の現在位置及び移動速度
を入力し該現在位置及び移動速度からこれに対応する目
標位置及び目標速度を一定時間毎に発生する補助関数発
生手段F1とを備えた駆動制御装置の制御方法であって、
一定時間毎に目標位置及び目標速度を発生して被駆動体
18を駆動するとともに、前記被駆動体18の現在位置と目
標位置との位置の差が基準値を越えるときの回数を測定
し、前記回数が一定回数よりも多いか少ないかを判断
し、前記基準値を越えた回数が一定回数よりも多いと判
断された場合には、前記関数発生手段11から前記補助関
数発生手段F1へ切り換え、前記補助関数発生手段F1から
一定時間毎に目標位置及び目標速度を発生し、前記補助
関数発生手段F1からの目標位置及び目標速度に基づいて
被駆動体18を駆動することを特徴し、上記目的を達成す
る。

〔作 用〕

本発明の駆動制御装置の動作を説明する。まず、制御
関数発生手段11が、一定時間毎に目標位置及び目標速度
を発生して該目標位置及び目標速度の情報を駆動手段17
に出力する。具体的には、制御関数発生手段11は外部制
御信号SO及び基準クロックφに基づいて被駆動体18の目
標位置信号SP及び目標速度信号SVを発生する。目標位置
信号SPは位置偏差検出手段13に出力され、目標速度信号
SVは速度偏差検出手段15に出力される。

また、位置検出手段12は被駆動体18の現在位置及び現
在の移動速度を検出して現在位置及び現在の移動速度の
情報を駆動手段17に出力する。具体的には、位置検出手
段12は位置検出信号ＳPRを位置偏差検出手段13、速度偏
差検出手段15及び補助関数発生手段F1に出力する。駆動
手段17は、位置検出手段12からの現在位置及び現在の移
動速度の情報と、関数発生手段11からの目標位置及び目
標速度の情報を入力し、該現在位置及び現在の移動速度
の情報と目標位置及び目標速度を比較しながら目標位置
及び目標速度に沿うように被駆動体18を駆動する。

すなわち、位置偏差検出手段13は目標位置信号SP及び
位置検出信号ＳPRを入力して位置偏差信号ＳPEを位置偏
差ゲイン演算手段14に出力する。位置偏差ゲイン演算手
段14は位置偏差信号ＳPEに従って位置偏差制御信号ＳF1
等を信号処理手段16に出力する。速度偏差検出手段15は
目標速度信号SV及び位置検出信号ＳPRを入力して速度偏
差制御信号ＳF2を出力する。信号処理手段16は位置偏差
制御信号ＳF1及び速度偏差制御信号ＳF2を入力して駆動
制御信号SCを駆動源17Aに出力する。駆動源17Aは駆動制
御信号SCに基づいて被駆動体18を駆動する。

そして、位置偏差検出手段13は、被駆動体18の現在位
置と目標位置との位置の差が基準値を越えるときの回数
を測定し、該基準値を越える回数が一定回数よりも多い
か少ないかを判断する。位置偏差検出手段13は、その回
数が一定回数を越えるとエラー検出信号SEを制御関数発
生手段11に出力する。このとき制御関数発生手段11は位
置偏差検出手段13からのエラー検出信号SEに基づいて動
作解除信号SRを切り換え手段SW1に出力する。そして、
基準値を越えた回数が一定回数よりも多いことが位置偏
差検出手段13によって判断されると、切り換えSW1は制
御関数発生手段11から補助関数発生手段F1へ切り換え
る。補助関数発生手段F1からの目標位置及び目標速度は
駆動手段17に入力されるようになる。

そして、補助関数発生手段F1は被駆動体18の現在位置
及び移動速度を入力し該現在位置及び移動速度からこれ
に対応する目標位置及び目標速度を一定時間毎に発生す
る。具体的には、補助関数発生手段F1は基準クロック
φ，位置偏差検出手段13からのエラー検出信号SE及び位
置検出信号ＳPRに基づいて目標位置信号ＳP1及び目標速
度信号ＳV1を発生する。目標位置信号ＳP1は位置偏差検
出手段13に出力され、目標速度信号ＳV1は速度偏差検出
手段15に出力される。したがって、駆動手段17は補助関
数発生手段F1から一定時間毎に発生される目標位置及び
目標速度に基づいて被駆動体18を目標位置及び目標速度
に沿うように駆動するようになる（本発明の駆動制御方
法）。

このように本発明の駆動制御装置によれば、被駆動体
18の現在位置と目標位置との位置の差が基準値を越えた
ときの回数が一定回数よりも多いと判断された場合に
は、切り換え手段によって関数発生手段11から補助関数
発生手段F1へ切り換えることができるので、被駆動体18
が発振状態に陥った場合でも被駆動体18を立ち往生させ
ることなく、補助関数発生手段F1によって発生された目
標位置及び目標速度に従って移動を続けることができ
る。

なお、本発明の駆動制御装置では、被駆動体18の現在
位置と目標位置との位置の差が基準値を越えた回数が一
定回数よりも多いことが位置偏差検出手段13によって判
断されると、補助関数発生手段F1は、被駆動体18の現在
位置を始点とする目標位置と、判断直前の被駆動体18の
方向及び移動速度に応じて負又は正の加速度を設定し計
算した目標速度とを発生する。したがって、被駆動体18
が停止しても、停止直前の移動方向に続けて移動するこ
とができるので、関数発生手段11が発生していた目標位
置及び目標速度に被駆動体18を復帰させることができ
る。

また、本発明の駆動制御方法によれば、被駆動体18の
現在位置と目標位置との位置の差が基準値を越えた回数
が一定回数よりも多いと判断される場合には、関数発生
手段11から補助関数発生手段F1へ切り換えることによ
り、補助関数発生手段F1からの目標位置Pk1及び目標速
度Vk1に基づいて被駆動体18の駆動制御を継続すること
ができる。したがって、精密な部品を組み立てる多関節
ロボットの駆動制御のように、駆動制御量が限界値を越
えた場合であっても、その腕の移動を停止することな
く、部品を保持した状態により、目的位置まで移動を続
けることができる。これにより、部品を落下することが
なくなり、リセット処理も不要となって、円滑な部品を
組立作業を行うことが可能となる。

〔実施例〕

次に図を参照しながら本発明の実施例について説明を
する。

第２〜８図は、本発明の実施例に係る駆動制御装置及
び駆動制御方法を説明する図であり、第２図は、当該制
御装置が適用されるXYステージの構成図を示している。

図において、例えば、微細パターンを描画する電子ビ
ーム露光装置のステージ部は、真空チャンバー36内にお
いて、半導体ウエハを載置するＹステージ31a,該Ｙステ
ージ31aをＸ方向に移動するＸステージ31bと、Ｙステー
ジ31aの位置を検出するＹ軸レーザーインターフェロメ
ータ35a,Y軸ミラー31cと、Ｘステージ31bの位置を検出
するＸ軸レーザーインターフェロメータ35b,X軸ミラー3
1dとを具備し、チャンバー36外において、該Ｙステージ
31aをＹ軸方向に移動するＹ軸DCモータ32と、それをＸ
軸方向に移動するＸ軸DCモータ33と、両モータ32,33の
駆動制御をする駆動制御装置30から成る。

当該ステージ部の機能は、露光処理系29の電子ビーム
29b直下において、半導体ウエハを載置したXYステージ3
1a,31bをXY方向に連続移動するものである。この際の移
動制御は、電子ビーム29aを制御する露光処理系29の制
御手段と該制御装置30とにより協調制御される。

第３図は、本発明の実施例に係るXYステージの駆動制
御装置の構成図である。

図において、例えば、Ｙ軸DCモータ32を制御する駆動
制御装置30は、関数発生器21,位置検出回路22,位置偏差
検出回路23,位置偏差ゲイン演算回路24,速度偏差検出回
路25,信号処理回路26及び第1,第２の補助関数発生器27,
28から成る。

21は制御関数発生手段11の一実施例となる関数発生器
であり、露光処理系27のホストCPUからの制御命令デー
タ（外部制御信号SO）ＤSOとサンプリングクロック（基
準クロック）φに基づいてXYステージの目標位置信号SP
及び目標速度信号SVを発生するものである。なお、関数
発生器21が発生するXYステージの制御特性例については
第４図において説明する。

22は位置検出手段12の一実施例となるレーザレシーバ
22A,アップ／ダウンカウンタ22Bであり、該レシーバ22A
はＹ軸レーザーインターフェロメータ25a,Y軸ミラー21c
によって検出されたＹステージの位置情報を受信し、そ
れを２値化信号等にするものである。アップ／ダウンカ
ウンタ22Bは、Ｙステージ等の前進（アップ），行進
（ダウン）の回数を計数して位置検出信号ＳPRを出力す
るものである。

23は位置偏差検出手段13の一実施例となる位置偏差検
出回路であり、加算器23Aと偏差カウンタ23Bから成る。
加算器23Aは目標位置信号SPと位置検出信号ＳPRとを加
算して位置の差（位置偏差βという）を出力するもので
ある。位置偏差βとは目標位置と実際の位置の差をいう
ものとする。偏差カウンタ23Bは判断手段を構成するも
のであり、被駆動体18の現在位置と目標位置との位置偏
差βが基準値を越える回数を測定し、該基準値を越える
回数が一定回数よりも多いか少ないかを判断する。偏差
カウンタ23Bは基準値を越える回数が一定回数より多い
場合には、被駆動体18が発振状態に陥っているのでエラ
ー検出信号SEをホストコンピュータと関数発生器21に出
力する。偏差カウンタ23Bは、位置偏差信号ＳPEを位置
偏差ゲイン演算回路24に出力する。偏差カウンタ23Bの
詳細な動作フロチャートについては第８図において説明
する。

24は位置偏差ゲイン演算手段14の一実施例となる位置
偏差ゲイン演算回路であり、積分回路24A,フィードバッ
クゲイン乗算回路24B,24Cから成る。積分回路24Aは位置
偏差信号ＳPEを積分して、位置偏差を無くすため信号Ｗ
を出力するものである。乗算回路24Bは位置偏差信号ＳP
Eにフィードバックゲインを演算して位置偏差制御信号
（比例分）を出力するものである。乗算回路24Cは信号
Ｗにフィードバックゲインを演算して位置偏差制御信号
ＳF1を出力するものである。

25は速度偏差検出手段15の一実施例となる速度偏差検
出回路であり、微分回路25A,加算器25B,乗算回路25Cか
ら成る。微分回路25Aは、位置検出信号ＳPRを微分して
実際のステージ速度Vrを示すステージ速度信号を出力す
るものである。

加算器25Bは目標速度信号SVとステージ速度信号との
差（速度偏差α）を示す速度差信号Ｖを出力するもので
ある。速度偏差αとは目標速度と実際のステージ速度の
差をいうものとする。乗算回路25Cは速度差信号Ｖにフ
ィードバックゲインを演算して速度偏差制御信号ＳF2を
出力するものである。

26は信号処理手段16の一実施例となる信号処理回路で
あり、加算器26A,D/Aコンバータ26B及びアンプ26Cから
成る。加算器26Aは、位置偏差制御信号（比例分）、位
置偏差制御信号ＳF1及び速度偏差制御信号ＳF2等を加算
処理して駆動制御量XCを出力するものである。D/Aコン
バータ26Bは駆動制御量XCをデジタル／アナログ変換す
るものである。アンプ26CはD/A変換処理された信号を増
幅し、アナログ量の駆動制御信号SCをＹ軸DCモータに出
力するものである。

これまでは、従来例に係る駆動制御装置と同様である
が本発明の実施例では、関数発生器21の関数発生を補助
する一以上の補助関数発生手段F1〜Fnの一実施例となる
第1,第２の補助関数発生器27（F1）,28（F2）が設けら
れている。

各補助関数発生器27,28はサンプリングクロックφ，
偏差カウンタ23Bからのエラー検出信号SE及び位置検出
信号ＳPRに基づいて目標位置信号ＳP1,SP2及び目標速度
信号ＳV1,SV2を発生するものである。その発生タイミン
グについては第５図において説明をする。

また、関数発生器21及び各補助関数発生器27,28は偏
差カウンタ23Bからのエラー検出信号SEに基づいて動作
解除信号SRを下位に出力するものである。例えば、位置
偏差検出回路23から関数発生器21へエラー検出信号SEが
入力されると、該関数発生器21からの目標位置信号SP及
び目標速度信号SVが無効にされる。そして、関数発生器
21から、下位の補助関数発生器27の出力を許可するスイ
ッチング回路SW1へ動作解除信号SRが出力される。関数
発生器21は動作解除信号SRをSW1に出力すると、関数発
生を停止する。すると、スイッチング回路ＳW1は、例え
ば、エラー検出信号SEと動作解除信号SRとを二入力アン
ド論理を採った結果によりオンする。SW1がオンする
と、補助関数発生器28からの目標位置信号ＳP1及び目標
速度信号ＳV1が有効になる。SW1は切換えの手段の一例
であり、位置偏差検出回路23や速度偏差検出回路25への
入力を関数発生器21から補助関数発生器27に切り換える
ものである。SW2は位置偏差検出回路23や速度偏差検出
回路25への関数入力を補助関数発生器27から補助関数発
生器F2に切り換えるものである。

また、補助関数発生器27によりステージの駆動制御を
しているときに、エラー検出信号SEが補助関数発生器27
に入力されると、該関数発生器27の目標位置信号ＳP1及
び目標速度信号ＳV1が無効にされ、下位の補助関数発生
器28の出力を許可するスイッチング回路SW2に動作解除
信号SRが出力される。なお、スイッチング回路SW1及びS
W2は、便宜上、補助関数発生器27や28の外に設けた場合
について説明しているが、SW1及びSW2は補助関数発生器
27や28の出力バッファにこの機能を持たせても良い。

以下複数の補助関数発生器F1,F2…Fi…Fnの関数発生
動作が上位の発生器Fiから下位の発生器Fi＋１に受け継
ぎ処理されるものである。

第４図（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施例に係る関数
発生器の制御特性図であり、同図（ａ）はXYステージの
単位時間当たりの目標加速度特性を示している。

同図（ａ）において、縦軸はXYステージの目標加速度
θであり、横軸は時間ｔをそれぞれ示している。例え
ば、ステージの移動開始時の加速度をθ＝ａとし、その
停止時の減速度をθ＝−ａとする。

同図（ｂ）は、XYステージの単位時間当たりの目標速
度特性を示している。

同図（ｂ）において、縦軸はXYステージの目標速度ｖ
であり、横軸は時間ｔをそれぞれ示している。例えば、
ステージの任意の速度はvn＝〔vn−１〕＋θとなる。但
し時間ｔの項が省略されている。

同図（ｃ）は、XYステージの単位時間当たりの目標位
置特性を示している。

同図（ｃ）において、縦軸はXYステージの目標位置Ｐ
であり、横軸は時間ｔをそれぞれ示している。例えば、
ステージの任意の位置はPn＝〔Pn−１〕＋vn＋1/2θと
なる。但し時間ｔの項が省略されている。

これらの目標位置信号SP及び目標速度信号SVを関数発
生器21が発生するものである。

第５図は、本発明の実施例に係る補助関数発生器の制
御特性図であり、関数発生器と同様にXYステージの単位
時間当たりの目標加速度特性，目標速度特性及び目標位
置特性を示している。

図において、関数発生器21の制御特性と異なるは補助
関数発生器28,29の制御特性では、時刻teでステージの
速度偏差α及び位置偏差βが大きくなってエラー検出信
号SEを発生したと仮定した場合、関数発生器21からの目
標位置信号SP及び目標速度信号SVに代わって、まず、第
１の補助関数発生器28が目標位置信号ＳP1，目標速度信
号ＳV1を発生するものである。

すなわち、補助関数発生器27はXYステージが制御エラ
ーを生ずると、発振状態に陥ったときの実際ステージ位
置Peと実際ステージ速度veとを初期値として関数を発生
する。これによって、補助関数発生器27は実際ステージ
位置Pe,実際ステージ速度veから、関数発生器21が元々
発生していた目標位置Pk1,目標速度Vk1に移行するよう
な関数を発生して行く。

次に、本発明の実施例に係るXYステージの駆動制御装
置の動作について、Ｙステージ31aを駆動制御する例を
挙げて説明する。XYステージ31bの駆動制御について
は、Ｙステージ31aの駆動制御を同じであるため、その
説明を省略する。まず、関数発生器21が、一定時間毎に
Ｙステージ31aの目標位置及び目標速度を発生して該目
標位置の情報を位置偏差検出回路23に出力し、目標速度
の情報を速度偏差検出回路25に出力する。具体的には、
関数発生器21は外部制御信号SO及び基準クロックφに基
づいてＹステージ31aの目標位置信号SP及び目標速度信
号SVを発生する。目標位置信号SPは位置偏差検出回路23
に出力され、目標速度信号SVは速度偏差検出回路25に出
力される。

また、位置検出回路22はＹステージ31aの現在位置及
び現在の移動速度を検出する。Ｙステージ31aの現在位
置の情報は位置偏差検出回路23に出力され、その現在の
移動速度の情報は速度偏差検出回路25に出力される。具
体的には、位置検出回路22は位置検出信号ＳPRを位置偏
差検出回路23、速度偏差検出回路25及び補助関数発生器
27に出力する。位置偏差ゲイン演算回路24、速度偏差検
出回路25、信号処理回路26及びＹ軸DCモータ32は位置検
出回路22からの現在位置及び現在の移動速度の情報と、
関数発生手段11からの目標位置及び目標速度の情報を入
力し、該現在位置及び現在の移動速度の情報と目標位置
及び目標速度を比較しながらＹステージ31aを駆動す
る。

すなわち、位置偏差検出回路23は目標位置信号SP及び
位置検出信号ＳPRを入力して位置偏差信号ＳPEを位置偏
差ゲイン演算回路24に出力する。位置偏差ゲイン演算回
路24は位置偏差信号ＳPEを入力し、これにフィードバッ
クゲインを乗算する。そして、演算回路24は位置偏差制
御信号（比例分）及び位置偏差制御信号ＳF1を信号処理
回路26に出力する。速度偏差検出回路25は目標速度信号
SV及び位置検出信号ＳPRを入力し、両信号の差にフィー
ドバックゲインを乗算する。そして、検出回路25は速度
偏差制御信号ＳF2を信号処理回路26に出力する。信号処
理回路26は位置偏差制御信号（比例分）、位置偏差制御
信号ＳF1及び速度偏差制御信号ＳF2を入力して駆動制御
信号SCをＹ軸DCモータ32に出力する。Ｙ軸DCモータ32は
駆動制御信号SCに基づいてＹステージ31aを駆動する。

そして、位置偏差検出回路23は、Ｙステージ31aの現
在位置と目標位置との位置の差が基準値を越えるときの
回数を測定し、該基準値を越える回数が一定回数よりも
多いか少ないかを判断する。偏差カウンタ23Bは、その
回数が一定回数を越えるとエラー検出信号SEをホストコ
ンピュータと関数発生器21に出力する。このとき関数発
生器21は位置偏差検出回路23からのエラー検出信号SEに
基づいて動作解除信号SRをスイッチング回路SW1に出力
する。そして、基準値を越えた回数が一定回数よりも多
いことが偏差カウンタ23Bによって判断されると、スイ
ッチング回路SW1は位置偏差検出回路23及び速度偏差検
出回路25への入力を関数発生器21から補助関数発生器27
へ切り換える。

すると、補助関数発生器27はＹステージ31aの現在位
置及び移動速度を入力し該現在位置及び移動速度からこ
れに対応する目標位置及び目標速度を一定時間毎に発生
する。具体的には、補助関数発生器27は基準クロック
φ，位置偏差検出回路23からのエラー検出信号SE及び位
置検出信号ＳPRに基づいて目標位置信号ＳP1及び目標速
度信号ＳV1を発生する。

本発明の実施例では補助関数発生器27は、Ｙステージ
31aの現在位置を始点とする目標位置と、判断直前のＹ
ステージ31aの移動速度に応じて負又は正の方向の加速
度を用いて計算した目標速度とを発生する。具体的に
は、目標位置信号ＳP1は位置偏差検出回路23に出力さ
れ、目標速度信号ＳV1は速度偏差検出回路25に出力され
る。したがって、信号処理回路26は補助関数発生器27か
ら一定時間毎に発生される目標位置及び目標速度に基づ
いてＹ軸DCモータ32を目標位置及び目標速度に沿うよう
に駆動する（本発明の駆動制御方法）。

このようにして本発明の実施例に係るXYステージの駆
動制御装置によれば、Ｙステージ31aの現在位置と目標
位置との位置の差が基準値を越えた回数が一定回数より
も多いと判断された場合には、関数発生手段11から補助
関数発生器27へ切り換えることができるので、Ｙステー
ジ31aが発振状態に陥ってもＹステージ31aを立ち往生さ
せることなく、補助関数発生器27によって発生された目
標位置及び目標速度に従って移動を続けることができ
る。

なお、本発明の駆動制御装置では、Ｙステージ31aの
現在位置と目標位置との位置の差が基準値を越えた回数
が一定回数よりも多いことが偏差カウンタ23Bによって
判断されると、補助関数発生器27は、Ｙステージ31aの
現在位置を始点とする目標位置と、判断直前のＹステー
ジ31aの方向及び移動速度に応じて負又は正の加速度を
設定し計算した目標速度とを発生する。したがって、Ｙ
ステージ31aが停止しても、停止直前の移動方向に続け
て移動することができるので、関数発生器21が発生して
いた目標位置及び目標速度にＹステージ31aを復帰させ
ることができる。なお、偏差カウンタ23Bの動作につい
ては第８図において説明する。これにより、発振状態に
陥ったXYステージの速度偏差α，位置偏差βをなくすよ
うに移動制御することができる。

例えば、XYステージや多関節ロボットの腕等の移動体
の速度偏差α，位置偏差βが駆動制御量の限界値を越え
た場合、まず、位置検出回路22より、第５図（ｂ）の位
置制御特性図における実際ステージ位置Peに係る位置検
出信号ＳPRが位置偏差検出回路23と第１の補助関数発生
器27に出力される。但し、ステージの制御目標位置をP
k,制御目標速度をVk,エラーを生じた際の実際ステージ
速度をve,実際ステージ位置Peとすると、速度偏差αがv
e−Vk,位置偏差βがPe−Pkである。

このため、ステージの速度偏差α，位置偏差βを
「０」にするように駆動制御することにより、該ステー
ジを先の制御目標位置Pk及び制御目標速度Vkの制御目標
に復帰させることが可能となる。

これにより、露光処理系29の動作を停止することなく
継続動作させることが可能となる。

次に、本発明の実施例に係る駆動制御方法について説
明する。

第６〜第８図は、本発明の実施例に係る駆動制御方法
を説明する動作フローチャートであり、第６図は、その
関係発生器の動作フローチャートを示している。

例えば、当該駆動制御装置30及び露光処理系29が組み
合わされた電子ビーム露光装置の制御方法について説明
をすると、まず、関数発生器21からXYステージに目標位
置信号SP及び目標速度信号SVを出力して、その移動制御
処理をする。

図において、ステップP1で関数発生器21は、静止した
XYステージを動かすために加速度θ＝ａを設定し、ステ
ップP2でステージが動いている時間、すなわち、サンプ
リングクロックφの経過を判断する。サンプリングクロ
ックφが経過した場合（YES）には、ステップP3で例え
ば、Ｙステージ31aの目標速度VkにVk＋θを代入し、そ
の目標位置PkにPk＋Vk＋1/2θをそれぞれ代入して関数
を発生する。

次いで、ステップP4で関数発生器21はＹステージ31a
の目標速度VkとそのVkの最大値Vmaxとの比較判断をす
る。最大値VmaxはＹステージ31aの移動（等速度）が許
容され得る最大速度であり、予め設定されている。最大
値Vmaxを越えた場合（YES）には、速度が早すぎるた
め、ステップP5で加速度θ＝０とする。それが越えない
場合（NO）には、ステップP2に戻ってサンプリングクロ
ックφの経過を判断する。

さらに、ステップP6ではＹステージ31aの目標位置の
減速点Rpに達するまで関数の発生を継続し、減速点Rpに
到達した場合（YES）には、ステップP7でＹステージ31a
を止めるために必要な加速度をθ＝−ａとする。減速点
Rpに到達しない場合（NO）には、ステップP2に戻って、
サンプリングクロックφの経過を判断する。

次いで、ステップP8でステップP3と同様にＹステージ
31aの目標速度VkにVk＋θを代入し、その目標位置PkにP
k＋Vk＋1/2θをそれぞれ代入して関数を発生する。その
後、ステップP10で制御目標位置Pkとその最大値Pmとを
比較し、Ｙステージ31aが制御目標位置に到達した否か
を判断する。最大値PmはＹステージ31aの最終目標位置
であり、関数発生器21が発生する関数である。ここで、
最大値PmがPkを越えた場合（YES）には、Ｙステージ31a
が目標位置に到達したことになるのでステップP11で制
御目標位置Pk＝最大値Pmとする。それを越えない場（N
O）には、ステップP9に戻り、サンプリングクロックφ
の経過を判断する。サンプリングクロックφが経過しな
い場合（NO）には、ステップP7に戻る。

これにより、第４図に示すような制御特性に基づいて
XYステージを駆動制御することができる。

ここで、潤滑系の異常等によりXYステージが移動の途
中で、制御目標から逸脱したと仮定をする。この際に、
該駆動制御装置30から露光処理装置29のホストコンピュ
ータにXYステージの異常発生を示すエラー検出信号SEが
出力される。エラー検出信号SEは偏差カウンタ23Bから
ホストコンピュータ及び関数発生器21に出力される。関
数発生器21は第１のスイッチング回路SW1に動作解除信
号SR1を出力する。すると、補助関数発生器27は次よう
な動作をする。

第７図は、本発明の実施例に係る補助関数発生器の動
作フローチャートを示している。

図において、ステップP1で補助関数発生器27は位置偏
差信号ＳPE（偏差カウンタ値）のクリア処理をし、ステ
ップP2で実際ステージ位置（Ｙステージ31aの現在位
置）Pr＝Pe及び実際ステージ速度（Ｙステージ31aの実
速度）Vr＝Veを読み込む。

次に、ステップP3で関数発生器21からの制御目標速度
Vk及び走行データMDを読み込み、ステップP4で目標速度
Vk1＝Vr,目標位置Pk1＝Prを設定する。

さらに、ステップP5で補助関数発生器27は目標速度Vk
1＞Vrを判断する。目標速度Vk1がVrよりも大きい場合
（YES）には、ステップP7で補助関数発生器27は、加速
度θd,目標加速度θ＝−ａを設定する。ここで、θｄ
は、Ｙステージ31aが制御エラーを起こしたときの実際
ステージ速度から関数発生器21が発生していた目標速度
に復帰するまでの速度計算に使用する加速度である。そ
して、目標速度Vk1がVrよりも小さい場合（NO）には、
ステップP6で補助関数発生器27はθd,θ＝ａを設定す
る。

その後、ステップP8でサンプリングクロックφの経過
を判断する。サンプリングクロックφが経過した場合
（YES）には、ステップP9でＹステージ31aの目標速度Vk
1にVk1＋θを代入し、その目標位置Pk1にPk1＋Vk1＋1/2
θをそれぞれ代入した関数を発生する。

次いで、ステップP10で補助関数発生器27は加速度θ
ｄ＞ａを判断する。加速度θｄがａよりも大きい場合
（YES）には、ステップP12でVk1＞Vmaxを判断する。加
速度θｄがａよりも小さい場合（NO）には、ステップP1
1でVk1＜Vmaxを判断する。

また、ステップP11で目標速度がVk1がVmaxよりも小さ
い場合（NO）には、ステップP13に移行し、目標速度Vk1
がVmaxよりも大きい場合（YES）には、ステップP8に戻
る。さらに、ステップP12で目標速度Vk1がVmaxよりも大
きい場合（YES）には、ステップP13に移行し、目標速度
Vk1がVmaxよりも小さい場合（NO）には、ステップP8に
戻る。

次いで、ステップP13では補助関数発生器27はVk1＝Vm
ax,θ＝０を設定し、ステップP14でステージの目標位置
Pk1が減速地点Rpに達したか否かを判断する。

また、ステップP14で目標位置Pk1が減速地点Rpに達し
た場合（YES）には、ステージを止めるためにステップP
15に移行し、目標位置Pk1が減速地点Rpに達しない場合
（NO）には、移動を続けるためステップP8に戻る。

従って、ステージを止めるためステップP15で補助関
数発生器27は加速度θ＝−ａを設定し、次いで、ステッ
プP16でステージの目標位置Pk1が目標地点Pmに達したか
否かを判断する。目標値Pk1が目標地点Rmに達した場合
（YES）には、ステップP17に移行し、目標位置Pk1が目
標地点Rmに達しない場合（NO）には、ステップP8に戻
る。また、ステップP17では補助関数発生器27はPk1＝P
m,Vk1＝０により関数の発生を終了しステージを停止す
る。

このようにして、関数発生器21が発生していた目標速
度及び目標位置によって、ステージが制御エラーを起こ
すと、スイッチング回路SW1は、関数発生を関数発生器2
1から補助関数発生器27へ切換え、また、補助関数発生
器27が発生していた目標位置及び目標位置によって、ス
テージが制御エラーを起こすと、スイッチング回路SW2
は、関数発生を補助関数発生器27から補助関数発生器28
へ切換えるので、ステージが再エラーを生じても、その
移動制御を継続することができる。

なお、本発明の実施例ではステージが制御エラーを起
こしたか否かは偏差カウンタ23Bによって検出されてい
る。次に、本発明の実施例に係る偏差カウンタの動作に
ついて説明をする。第８図は、偏差カウンタの動作フロ
ーチャートを示している。

図において、予め、ステップP1で偏差カウンタ23Bは
関数発生器21と各補助関数発生器27,28の制御基準とし
て位置偏差β＝Pk−Prを設定する。

次にステップP2で偏差カウンタ23Bは位置偏差β＞最
大位置偏差βmaxを判断する。ここで、最大位置偏差βm
axとはステージの目標位置から実際のステージ位置まで
の最大の位置差である。ステップP2で位置偏差βが最大
位置偏差βmaxを越えた場合（YES）には、ステップP3に
移行する。位置偏差βが最大位置偏差βmaxを越えない
場合（NO）には、ステップP7に移行する。

ステップP3で偏差カウンタ23Bは位置偏差βと許容位
置偏差βｍとを比較する。βｍはステージの目標位置か
ら実際のステージ位置までの許容される差であり、基準
値の一例である。この際に、位置偏差βが許容位置偏差
βｍを越えた場合（YES）には、ステップP5に移行す
る。位置偏差βが許容位置偏差βｍを越えない場合（N
O）には、ステップP4に移行する。ステップP4で偏差カ
ウンタ23Bは許容位置偏差βｍを実際ステージ位置偏差
βｐとして設定し、ステップP7に移行する。

また、ステップP5で偏差カウンタ23Bは位置偏差βが
許容位置偏差βｍを越えた回数についてカウントする。
例えば、ステージエラーが発生する毎にカウント値NGを
＋１し、ステップP6に移行する。

次いで、ステップP6で偏差カウンタ23Bはエラー発生
カウント値NGと設定回数Ｎとを比較する。この際に、カ
ウント値NGが設定回数Ｎより多い場合（YES）には、ス
テージが発振状態に陥っているので、ステップP8に移行
する。カウント値NGが設定回路Ｎより少ない場合（NO）
には、ステージは発振状態に陥っていないので、ステッ
プP7に移行する。

ステップP8で偏差カウンタ23Bは、エラー検出信号SE
を発生し、信号SEを露光処理系のホストコンピュータに
出力する。ホストコンピュータは、信号SEによて、ステ
ージエラーを認識する。

このときステージは発振状態に陥っており、ステージ
が制御目標から逸脱した状態である。このエラー発生と
共に関数発生器21からスイッチング回路SW1に動作解除
信号SRが出力される。信号SRと信号SEとに基づいてSW1
はオンする。すると、関数発生器21の目標位置信号SP及
び目標速度信号SVに代わって、補助関数発生器27からの
目標位置信号ＳP1及び目標速度信号ＳV1によりステージ
の駆動制御が継続される。

また、補助関数発生器27からの目標位置信号ＳP1及び
目標速度信号ＳV1により制御エラーを生じた場合には、
このエラー発生と共に補助関数発生器27から補助関数発
生器28の出力を許可するスイッチング回路SW2に動作解
除信号SRが出力され、補助関数発生器27の目標位置信号
ＳP1及び目標速度信号ＳV1に代わって、補助関数発生器
28からの目標位置信号ＳP2に目標速度信号ＳV2によりス
テージの駆動制御を継続する。

なお、ステップP9ではエラー検出信号SEが出力された
ことで、偏差カウンタ23Bのカウンタ値がクリアされ
る。また、ステップP7で偏差カウンタ23Bは、実際ステ
ージ位置偏差βｐを位置偏差信号ＳPEとして出力する。

このようにして、本発明の実施例の駆動制御方法で
は、例えば、補助関数発生器27によって発生された目標
位置及び目標速度でステージが制御目標から逸脱した場
合に、露光処理系29に異常発生が出力されると共に補助
関数発生器27からの目標位置Pk1及び目標速度Vk1に代わ
って補助関数発生器28からの目標位置Pk2及び目標速度V
k2に基づいてステージの移動制御が継続できる。

このため、露光処理系29がステージの速度偏差α，位
置偏差βが駆動制御量の限界値を越えたことを認識する
こと、例えば、露光処理途中の被露光領域の異常発生領
域を認識することで、その領域のみ描画処理をパスする
選択露光処理をすることができる。また、ステージの速
度偏差α，位置偏差βが駆動制御量の限界値を越える毎
に補助関数発生器27,28からの目標位置Pk1,Pk2及び目標
速度Vk1,Vk2の発生が順次受け継がれる。このことから
ステージの故障原因究明等の保守管理処理を容易にする
ことが可能となる。

これにより、半導体ウェハの異常発生領域に係るチッ
プ部分のみがボツになることから従来例のようにウェハ
が一枚ボツとなることがなくなり、生産歩留りの向上を
図ることが可能となる。

また、精密な部品を組み立てる多関節ロボットでは、
その駆動制御量が限界値を越えた場合であっても、その
腕の移動を停止することなく、部品を保持した状態で移
動動作が継続され、目的位置まで移動をすることができ
る。

これにより、部品を落下することがなくなり、リセッ
ト処理も不要となって、円滑な部品な組立作業を継続す
ることが可能となる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の駆動制御装置によれば、
被駆動体の現在位置と目標位置との位置の差が基準値を
越えたときの回数が一定回数よりも多いと判断された場
合には、その時の関数発生手段から補助関数発生手段へ
切り換えることができるので、被駆動体が発振状態にな
っても、被駆動体を立ち往生させることなく、補助関数
発生手段によって発生された目標位置及び目標速度に従
って被駆動体の駆動制御を続けることができる。

なお、本発明の駆動制御装置では、被駆動体の現在位
置と目標位置との位置の差が基準値を越えた回数が一定
回数よりも多いことが位置偏差検出手段によって判断さ
れると、補助関数発生手段は、その時の被駆動体の現在
位置を始点とする目標位置と、被駆動体の移動速度に応
じて負又は正の方向の加速度を用いて計算した目標速度
とを発生する。したがって、被駆動体が停止しても、停
止直前の移動方向に続けて被駆動体を移動することがで
きるので、関数発生手段が発生していた目標位置及び目
標速度に被駆動体を復帰させることができる。

また、本発明の方法によれば、移動体が制御目標から
逸脱したときに、他の処理系に異常発生が出力されると
共にその移動制御が継続処理される。

このため、他の処理系の動作を停止することなくその
処理動作を継続させることが可能となる。このことで、
他の処理系が移動体の異常発生領域を認識しながら、そ
の領域のみ描画処理をパスする選択露光処理等をするこ
とができる。また、移動体の故障原因究明等の保守管理
処理を容易にすることが可能となる。

これにより、他の処理系の処理効率の向上及び生産歩
留りの向上に寄与するところが大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る駆動制御装置の原理図、 第２図は、本発明に係る駆動制御装置が適用されるXYス
テージの構成図、 第３図は、本発明の実施例に係るXYステージの駆動制御
装置の構成図、 第４図は、本発明の実施例に係る関数発生器の制御特性
図、 第５図は、本発明の実施例に係る補助関数発生器の制御
特性図、 第６図は、本発明の実施例に係る関数発生器の動作フロ
ーチャート、 第７図は、本発明の実施例に係る補助関数発生器の動作
フローチャート、 第８図は、本発明の実施例に係る偏差カウンタの動作フ
ローチャート、 第９図は、従来例に係る電子ビーム露光装置のXYステー
ジ部の構成図、 第10図は、従来例に係る駆動制御装置の構成図、 第11図は、従来例に係る問題点を説明する制御特性図で
ある。 （符号の説明） 11……制御関数発生手段、 12……位置検出手段、 13……位置偏差検出手段、 14……位置偏差ゲイン演算手段、 15……速度偏差検出手段、 16……信号処理手段、 17……駆動手段、 19……他の処理系、 F1〜Fn……第１〜第２の補助関数発生手段（複数の補助
関数発生手段）、 S0……外部制御信号、 SE……エラー検出信号、 SR……動作解除信号、 SV……目標速度信号、 SP……目標位置信号、 SC……駆動制御信号、 ＳPR……位置検出信号、 ＳPE……位置偏差信号、 ＳF1……位置偏差制御信号、 ＳF2……速度偏差制御信号、 ＳP1〜ＳPn……目標位置信号、 ＳV1〜ＳVn……目標速度信号、 φ……基準クロック、 ＶKl〜ＶKn……目標速度、 ＰKl〜ＰKn……目標位置、 PK……制御目標位置、 VK……制御目標速度。

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被駆動体の現在位置及び現在の移動速度を
   検出する検出手段と、 前記被駆動体の目標位置及び目標速度を一定時間毎に発
   生する関数発生手段と、 前記検出手段の現在位置及び現在の移動速度の情報と、
   前記関数発生手段の目標位置及び目標速度の情報を入力
   し、該現在位置及び現在の移動速度の情報と目標位置及
   び目標速度を比較しながら被駆動体を目標位置及び目標
   速度に沿うように駆動する駆動手段と、 前記被駆動体の現在位置及び移動速度を入力し該現在位
   置及び移動速度からこれに対応する目標位置及び目標速
   度を一定時間毎に発生する補助関数発生手段と、 前記被駆動体の現在位置と目標位置との位置の差が基準
   値を越えるときの回数を測定し、その回数が一定回数よ
   りも多いか少ないかを判断する判断手段と、 前記基準値を越えた回数が一定回数よりも多いと前記判
   断手段により判断された場合に、前記補助関数発生手段
   からの目標位置及び目標速度を前記駆動手段に入力する
   ように前記関数発生手段から前記補助関数発生手段へ切
   り換える切換え手段とを備えていることを特徴とする駆
   動制御装置。
2. 【請求項２】前記補助関数発生手段は、前記基準値を越
   えた回数が一定回数よりも多いと判断された場合に、そ
   の時の前記被駆動体の現在位置を始点とする目標位置
   と、その時の前記被駆動体の移動速度の大きさに応じて
   負又は正の方向の加速度に基づいて計算した目標速度と
   を発生することを特徴とする請求項１記載の駆動制御装
   置。
3. 【請求項３】少なくとも、前記被駆動体の目標位置及び
   目標速度を一定時間毎に発生する関数発生手段と、前記
   被駆動体の現在位置及び移動速度を入力し該現在位置及
   び移動速度からこれに対応する目標位置及び目標速度を
   一定時間毎に発生する補助関数発生手段とを備えた駆動
   制御装置の制御方法であって、 一定時間毎に目標位置及び目標速度を発生して被駆動体
   を駆動するとともに、前記被駆動体の現在位置と目標位
   置との位置の差が基準値を越えるときの回数を測定し、
   前記基準値を越える回数が一定回数よりも多いか少ない
   かを判断し、 前記基準値を越えた回数が一定回数よりも多いと判断さ
   れた場合には、前記関数発生手段から前記補助関数発生
   手段へ切り換え、前記補助関数発生手段から一定時間毎
   に目標位置及び目標速度を発生し、前記補助関数発生手
   段からの目標位置及び目標速度に基づいて被駆動体を駆
   動することを特徴とする駆動制御方法。