JP2832751B2 - ディスクチャック機構の駆動機構 - Google Patents
ディスクチャック機構の駆動機構Info
- Publication number
- JP2832751B2 JP2832751B2 JP2326506A JP32650690A JP2832751B2 JP 2832751 B2 JP2832751 B2 JP 2832751B2 JP 2326506 A JP2326506 A JP 2326506A JP 32650690 A JP32650690 A JP 32650690A JP 2832751 B2 JP2832751 B2 JP 2832751B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic disk
- chuck mechanism
- mounting
- inspection
- chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、磁気ディスクなどのディスクチャック機
構のチャック動作に対する駆動機構に関する。
構のチャック動作に対する駆動機構に関する。
［従来の技術］ 磁気ディスクは製造過程において検査装置により検査
される。最近においては磁気ディスクは小型化がますま
す進展し、これに対応して検査装置も小型化が必要とさ
れている。
される。最近においては磁気ディスクは小型化がますま
す進展し、これに対応して検査装置も小型化が必要とさ
れている。
第２図（ａ），（ｂ）は、小型化された磁気ディスク
検査装置の側面図と、これに使用されているチャック機
構の１例の垂直断面図を示す。図（ａ）の検査装置の筐
体１は、内部が装着位置［Ａ］と検査位置［Ｂ］とに区
分され、検査位置に検査部５が配設されている。これに
対してチャック機構２は移動可能とされ、装着位置にお
いて、筐体の上面に設けられた扉11より磁気ディスク３
が挿入されてチャック機構２にチャックされる。図
（ｂ）はチャック機構の垂直断面図を示すもので、載置
シリンダ21と駆動モータ22の内部を中心軸23が貫通し、
中心軸は第１のスプリング24により下方に付勢されてい
る。中心軸の上端に押圧ヘッド251とチャック爪252より
なる押圧部25が固定され、エアシリンダ４の押圧により
中心軸、従って押圧部を上昇して載置シリンダに磁気デ
ィスク３を載置する。エアシリンダの押圧力を解放する
と、第１のスプリングにより押圧ヘッドが下降し、チャ
ック爪が矢印Ｃの方向に回転して磁気ディスクがチャッ
クされる。次に、チャック機構に対する移動機構６は、
図（ａ）に示すように筐体１の側板12と隔離板13の間に
駆動モータ63に直結したねじ棒61を設け、これにチャッ
ク機構に固定された移動子62が噛合する。駆動モータ63
の回転によりチャック機構は装着位置と検査位置の間を
移動する。移動機構により検査位置まで移動した磁気デ
ィスクは、駆動モータ22により回転して検査部５により
検査される。
検査装置の側面図と、これに使用されているチャック機
構の１例の垂直断面図を示す。図（ａ）の検査装置の筐
体１は、内部が装着位置［Ａ］と検査位置［Ｂ］とに区
分され、検査位置に検査部５が配設されている。これに
対してチャック機構２は移動可能とされ、装着位置にお
いて、筐体の上面に設けられた扉11より磁気ディスク３
が挿入されてチャック機構２にチャックされる。図
（ｂ）はチャック機構の垂直断面図を示すもので、載置
シリンダ21と駆動モータ22の内部を中心軸23が貫通し、
中心軸は第１のスプリング24により下方に付勢されてい
る。中心軸の上端に押圧ヘッド251とチャック爪252より
なる押圧部25が固定され、エアシリンダ４の押圧により
中心軸、従って押圧部を上昇して載置シリンダに磁気デ
ィスク３を載置する。エアシリンダの押圧力を解放する
と、第１のスプリングにより押圧ヘッドが下降し、チャ
ック爪が矢印Ｃの方向に回転して磁気ディスクがチャッ
クされる。次に、チャック機構に対する移動機構６は、
図（ａ）に示すように筐体１の側板12と隔離板13の間に
駆動モータ63に直結したねじ棒61を設け、これにチャッ
ク機構に固定された移動子62が噛合する。駆動モータ63
の回転によりチャック機構は装着位置と検査位置の間を
移動する。移動機構により検査位置まで移動した磁気デ
ィスクは、駆動モータ22により回転して検査部５により
検査される。
以上により、上記の検査装置は検査部５とチャック機
構２とが同一の筐体１に収容されて装置全体が小型化さ
れるとともに、検査部に対して外光が遮断されて検査信
号のS/Nが向上し、塵埃の侵入が排除されて磁気ディス
クの汚染が防止されている。
構２とが同一の筐体１に収容されて装置全体が小型化さ
れるとともに、検査部に対して外光が遮断されて検査信
号のS/Nが向上し、塵埃の侵入が排除されて磁気ディス
クの汚染が防止されている。
［解決しようとする課題］ 上記のチャック機構２においては、その中心軸23を押
圧するためにエアシリンダ４が使用されている。しか
し、エアシリンダの使用により筐体１はその分だけ高さ
が増す。また、検査装置を使用する場所にたまたま、エ
アシリンダに対するエア供給装置が設けられていない場
合がある。なお、上記チャック機構２は１例であって、
載置部と押圧部の構造がこれと異なるものもあるが、中
心軸を下降して押圧部により磁気ディスクを載置部にチ
ャックするものである限り、同様の問題がある。以上の
問題に対して、エアシリンダを使用せずに中心軸を押圧
し、または解放するチャック動作を行う駆動機構が望ま
しい。
圧するためにエアシリンダ４が使用されている。しか
し、エアシリンダの使用により筐体１はその分だけ高さ
が増す。また、検査装置を使用する場所にたまたま、エ
アシリンダに対するエア供給装置が設けられていない場
合がある。なお、上記チャック機構２は１例であって、
載置部と押圧部の構造がこれと異なるものもあるが、中
心軸を下降して押圧部により磁気ディスクを載置部にチ
ャックするものである限り、同様の問題がある。以上の
問題に対して、エアシリンダを使用せずに中心軸を押圧
し、または解放するチャック動作を行う駆動機構が望ま
しい。
この発明は、チャック機構が装着位置より検査位置に
移動する際の移動力に着目し、これを利用してチャック
機構のチャック動作を行う駆動機構を提供することを目
的とするものである。
移動する際の移動力に着目し、これを利用してチャック
機構のチャック動作を行う駆動機構を提供することを目
的とするものである。
［課題を解決するための手段］ この発明は、筐体内を磁気ディスクを装着する装着位
置と、磁気ディスクに対する検査部が設けられた検査位
置とに区分し、磁気ディスクを載置して駆動モータによ
り回転する載置部と、スプリングにより下方に付勢され
た中心軸と、その上端に固定され、中心軸の下降によ
り、載置部に載置された磁気ディスクをチャックする押
圧部とよりなるチャック機構、およびチャック機構を装
着位置と検査位置との間に移動する移動機構とを設けて
構成された磁気ディスク検査装置における、チャック機
構の駆動機構である。筐体とチャック機構のそれぞれ
に、底面に斜面を有する作動具と取り付け板とを固定す
る。取り付け板に作動アームの中心を軸支してスプリン
グにより付勢し、作動アームの両端に、装着位置におい
て、それぞれ中心軸の下端を上方に押圧する押圧ローラ
ーと、作動具の斜面に接触する接触ローラーを軸支して
構成される。
置と、磁気ディスクに対する検査部が設けられた検査位
置とに区分し、磁気ディスクを載置して駆動モータによ
り回転する載置部と、スプリングにより下方に付勢され
た中心軸と、その上端に固定され、中心軸の下降によ
り、載置部に載置された磁気ディスクをチャックする押
圧部とよりなるチャック機構、およびチャック機構を装
着位置と検査位置との間に移動する移動機構とを設けて
構成された磁気ディスク検査装置における、チャック機
構の駆動機構である。筐体とチャック機構のそれぞれ
に、底面に斜面を有する作動具と取り付け板とを固定す
る。取り付け板に作動アームの中心を軸支してスプリン
グにより付勢し、作動アームの両端に、装着位置におい
て、それぞれ中心軸の下端を上方に押圧する押圧ローラ
ーと、作動具の斜面に接触する接触ローラーを軸支して
構成される。
［作用］ 以上の構成による駆動機構の作用を説明すると、作動
アームの接触ローラーは、装置位置において、スプリン
グにより作動具の平面に接触する。装着位置で載置部に
磁気ディスクが載置され、チャック機構が移動機構によ
り装着位置から検査位置に移動すると、接触ローラーは
作動具の斜面に沿って上昇し、この反対に作動アームの
他端の押圧ローラーが下降して中心軸に対する押圧が解
放される。押圧が解放された中心軸は、これを下方に付
勢するスプリングにより下降し、その上端に固定された
押圧部が載置部に載置された磁気ディスクを押圧してチ
ャックする。このように、チャック機構に対する移動力
がチャック動作の駆動源とされ、エアシリンダなどの別
個の駆動源を必要とせず、筐体の高さを低くすることが
できる。
アームの接触ローラーは、装置位置において、スプリン
グにより作動具の平面に接触する。装着位置で載置部に
磁気ディスクが載置され、チャック機構が移動機構によ
り装着位置から検査位置に移動すると、接触ローラーは
作動具の斜面に沿って上昇し、この反対に作動アームの
他端の押圧ローラーが下降して中心軸に対する押圧が解
放される。押圧が解放された中心軸は、これを下方に付
勢するスプリングにより下降し、その上端に固定された
押圧部が載置部に載置された磁気ディスクを押圧してチ
ャックする。このように、チャック機構に対する移動力
がチャック動作の駆動源とされ、エアシリンダなどの別
個の駆動源を必要とせず、筐体の高さを低くすることが
できる。
［実施例］ 第１図（ａ），（ｂ）は、この発明によるチャック機
構の駆動機構を適用した磁気ディスク検査装置の実施例
における側面図と駆動機構の斜視外観図を示す。図
（ａ）において、検査装置の筐体１は前記した第２図
（ａ），（ｂ）のものと同様に、内部が装着位置［Ａ］
と検査位置［Ｂ］に区分され、装着位置において被検査
の磁気ディスク３が装着されたチャック機構２は、移動
機構６により検査位置まで移動して検査部５により検査
される。チャック機構については第２図（ｂ）により詳
述したが、チャック動作を要約すると、中心軸23の下端
を上方に押圧している押圧力の解放により、第１のスプ
リング24の付勢力により中心軸が下降し、その上端に固
定されている押圧部25により、載置シリンダ21に載置さ
れた磁気ディスク３がチャックされる。この発明におい
ては、チャック機構２の下部に中心軸23のチャック動作
を行う駆動機構７を設ける。図（ｂ）は駆動機構の詳細
図を示す。図（ａ），（ｂ）において、チャック機構の
ハウジング221に取り付け板71を固定し、これに作動ア
ーム72の中心点73を軸支して第２のスプリング76により
反時計方向に付勢する。作動アームの一端に押圧ローラ
ー74を軸支し、他端に接触ローラー75を軸支する。接触
ローラーに対応して筐体の側板12に、底面が平面771に
続いて斜面771をなす作動具77を固定する。装着位置
［Ａ］において第２のスプリングにより接触ローラーが
平面771に接触したとき、押圧ローラーが中心軸の下端
に固定された回転輪26を上方に押圧するように、回転輪
または平面の高さを調整する。また、押圧ローラー74は
２個のローラーを１組とし、回転する回転輪に接触した
とき２個のローラーが互いに反対方向に回転して中心軸
の回転に支障しないようにする。次に、図（ａ）の移動
機構６は第２図（ａ）とほぼ同様に、筐体の側板12と隔
離板13の間に設けられたねじ棒61と、ハウジング221に
固定された移動子62とが噛合し、駆動モータ63の回転に
よりチャック機構２が装着位置［Ａ］と検査位置［Ｂ］
の間を移動する。駆動機構７のチャック動作を述べる
と、装着位置において作動具の平面771に接触している
接触ローラーは、チャック機構の移動により斜面772に
沿って上昇し、その反対に押圧ローラーは下降して回転
輪26に対する押圧力が解放され、これにより第１のスプ
リング24により中心軸23が下降し、前記した動作に従っ
て磁気ディスク３がチャックされる。このチャック動作
はチャック機構の移動中に終了し、検査位置に移動した
磁気ディスク３は駆動モータ22により回転されて検査部
５により検査される。検査が終了するとチャック機構は
装着位置に戻って磁気ディスクが交換され、再び上記の
動作が繰り返される。
構の駆動機構を適用した磁気ディスク検査装置の実施例
における側面図と駆動機構の斜視外観図を示す。図
（ａ）において、検査装置の筐体１は前記した第２図
（ａ），（ｂ）のものと同様に、内部が装着位置［Ａ］
と検査位置［Ｂ］に区分され、装着位置において被検査
の磁気ディスク３が装着されたチャック機構２は、移動
機構６により検査位置まで移動して検査部５により検査
される。チャック機構については第２図（ｂ）により詳
述したが、チャック動作を要約すると、中心軸23の下端
を上方に押圧している押圧力の解放により、第１のスプ
リング24の付勢力により中心軸が下降し、その上端に固
定されている押圧部25により、載置シリンダ21に載置さ
れた磁気ディスク３がチャックされる。この発明におい
ては、チャック機構２の下部に中心軸23のチャック動作
を行う駆動機構７を設ける。図（ｂ）は駆動機構の詳細
図を示す。図（ａ），（ｂ）において、チャック機構の
ハウジング221に取り付け板71を固定し、これに作動ア
ーム72の中心点73を軸支して第２のスプリング76により
反時計方向に付勢する。作動アームの一端に押圧ローラ
ー74を軸支し、他端に接触ローラー75を軸支する。接触
ローラーに対応して筐体の側板12に、底面が平面771に
続いて斜面771をなす作動具77を固定する。装着位置
［Ａ］において第２のスプリングにより接触ローラーが
平面771に接触したとき、押圧ローラーが中心軸の下端
に固定された回転輪26を上方に押圧するように、回転輪
または平面の高さを調整する。また、押圧ローラー74は
２個のローラーを１組とし、回転する回転輪に接触した
とき２個のローラーが互いに反対方向に回転して中心軸
の回転に支障しないようにする。次に、図（ａ）の移動
機構６は第２図（ａ）とほぼ同様に、筐体の側板12と隔
離板13の間に設けられたねじ棒61と、ハウジング221に
固定された移動子62とが噛合し、駆動モータ63の回転に
よりチャック機構２が装着位置［Ａ］と検査位置［Ｂ］
の間を移動する。駆動機構７のチャック動作を述べる
と、装着位置において作動具の平面771に接触している
接触ローラーは、チャック機構の移動により斜面772に
沿って上昇し、その反対に押圧ローラーは下降して回転
輪26に対する押圧力が解放され、これにより第１のスプ
リング24により中心軸23が下降し、前記した動作に従っ
て磁気ディスク３がチャックされる。このチャック動作
はチャック機構の移動中に終了し、検査位置に移動した
磁気ディスク３は駆動モータ22により回転されて検査部
５により検査される。検査が終了するとチャック機構は
装着位置に戻って磁気ディスクが交換され、再び上記の
動作が繰り返される。
［発明の効果］ 以上の説明により明らかなように、この発明による駆
動機構においては、チャック機構が装着位置から検査位
置に移動するとき、作動アームの一端の接触ローラーが
スプリングにより作動具の斜面に沿って上昇し、これと
反対に他端の押圧ローラーが下降することにより中心軸
に対する押圧が解放され、中心軸はスプリングの付勢力
により下降し、その上端に固定された押圧部が載置部に
載置された磁気ディスクをチャックするもので、チャッ
ク機構に対する移動力がチャック動作の駆動源とされて
エアシリンダを必要としないので、筐体の高さがかなり
低くできて検査装置の小型化に寄与するとともに、これ
をエア供給装置のない任意の場所で使用できる効果には
大きいものがある。
動機構においては、チャック機構が装着位置から検査位
置に移動するとき、作動アームの一端の接触ローラーが
スプリングにより作動具の斜面に沿って上昇し、これと
反対に他端の押圧ローラーが下降することにより中心軸
に対する押圧が解放され、中心軸はスプリングの付勢力
により下降し、その上端に固定された押圧部が載置部に
載置された磁気ディスクをチャックするもので、チャッ
ク機構に対する移動力がチャック動作の駆動源とされて
エアシリンダを必要としないので、筐体の高さがかなり
低くできて検査装置の小型化に寄与するとともに、これ
をエア供給装置のない任意の場所で使用できる効果には
大きいものがある。
第１図（ａ）および（ｂ）は、この発明によるチャック
機構の駆動機構を適用した磁気ディスク検査装置の実施
例における側面図と駆動機構の斜視外観図、第２図
（ａ）および（ｂ）は、この発明が対象とする小型化さ
れた磁気ディスク検査装置の側面図およびチャック機構
の１例の垂直断面図である。 １…磁気ディスク検査装置の筐体、11…扉、12…側板、
13…隔離板、２…チャック機構、21……載置シリンダ、
22…駆動モータ、221…ハウジング、23…中心軸、24…
第１のスプリング、25…押圧部、251…押圧ヘッド、252
…チャック爪、26…回転輪、３…磁気ディスク、４…エ
アシリンダ、５…検査部、６…移動機構、61…ねじ棒、
62…移動子、63…駆動モータ、７…駆動機構、71…取り
付け板、72…作動アーム、73…作動アームの中心点、74
…押圧ローラー、75…接触ローラー、76…第２のスプリ
ング、77…作動具、771…平面、772…斜面、［Ａ］…装
着位置、［Ｂ］…検査位置。
機構の駆動機構を適用した磁気ディスク検査装置の実施
例における側面図と駆動機構の斜視外観図、第２図
（ａ）および（ｂ）は、この発明が対象とする小型化さ
れた磁気ディスク検査装置の側面図およびチャック機構
の１例の垂直断面図である。 １…磁気ディスク検査装置の筐体、11…扉、12…側板、
13…隔離板、２…チャック機構、21……載置シリンダ、
22…駆動モータ、221…ハウジング、23…中心軸、24…
第１のスプリング、25…押圧部、251…押圧ヘッド、252
…チャック爪、26…回転輪、３…磁気ディスク、４…エ
アシリンダ、５…検査部、６…移動機構、61…ねじ棒、
62…移動子、63…駆動モータ、７…駆動機構、71…取り
付け板、72…作動アーム、73…作動アームの中心点、74
…押圧ローラー、75…接触ローラー、76…第２のスプリ
ング、77…作動具、771…平面、772…斜面、［Ａ］…装
着位置、［Ｂ］…検査位置。
Claims (1)
- 【請求項１】筐体内を磁気ディスクを装着する装着位置
と、該磁気ディスクに対する検査部が設けられた検査位
置とに区分し、磁気ディスクを載置して駆動モータによ
り回転する載置部、スプリングにより下方に付勢された
中心軸と、該中心軸の上端に固定され、該中心軸の下降
により、該載置部に載置された磁気ディスクをチャック
する押圧部とよりなるチャック機構、および該チャック
機構を前記装着位置と検査位置との間で移動する移動機
構を設けて構成された磁気ディスク検査装置において、
前記筐体とチャック機構のそれぞれに、底面に斜面を有
する作動具と取り付け板を固定し、該取り付け板に作動
アームの中心を軸支してスプリングにより付勢し、該作
動アームの両端に、前記装着位置において、それぞれ前
記中心軸の下端を上方に押圧する押圧ローラーと、前記
作動具の斜面に接触する接触ローラーを軸支して構成さ
れたことを特徴とする、ディスクチャック機構の駆動機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2326506A JP2832751B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | ディスクチャック機構の駆動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2326506A JP2832751B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | ディスクチャック機構の駆動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04195959A JPH04195959A (ja) | 1992-07-15 |
| JP2832751B2 true JP2832751B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=18188592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2326506A Expired - Lifetime JP2832751B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | ディスクチャック機構の駆動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2832751B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6660089B2 (en) | 2000-01-31 | 2003-12-09 | Anelva Corporation | Substrate support mechanism and substrate rotation device |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP2326506A patent/JP2832751B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6660089B2 (en) | 2000-01-31 | 2003-12-09 | Anelva Corporation | Substrate support mechanism and substrate rotation device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04195959A (ja) | 1992-07-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2832751B2 (ja) | ディスクチャック機構の駆動機構 | |
| JPH0524394A (ja) | 画像彫刻装置 | |
| JP3704479B2 (ja) | ディスククランプ装置 | |
| KR100379349B1 (ko) | 디스크 장치의 디스크 클램프 기구 | |
| EP1052636B1 (en) | Disk clamp mechanism of disk device | |
| KR20000047629A (ko) | 멀티-웨이퍼 폴리싱 장치 | |
| JPH07302831A (ja) | 共用試料ホールダ | |
| US5138602A (en) | Sound record playing apparatus having shock responsive weight member to actuate the same | |
| JP3287874B2 (ja) | ディスクセンタリング機構 | |
| JP3076379B2 (ja) | マスク落下防止マスクカセット | |
| JPS6060042U (ja) | デイスククランプ装置 | |
| JPS61206958A (ja) | デイスク・プレ−ヤ | |
| JP2588047B2 (ja) | ディスククランプ機構 | |
| JP2671224B2 (ja) | 磁気ディスク検査装置 | |
| JP2934335B2 (ja) | ヘッドローディング機構 | |
| KR100207748B1 (ko) | 디스크 플레이어의 디스크 척킹장치 | |
| JP2529837B2 (ja) | 磁気デイスク駆動装置 | |
| JP2548041Y2 (ja) | 基板保持装置 | |
| JPH0124779Y2 (ja) | ||
| JPS59169805U (ja) | Ｘ線写真撮影用仰臥台 | |
| JPS6268292A (ja) | 吸着コレツト装置 | |
| JPH0515193U (ja) | デイスク装置 | |
| KR900006710Y1 (ko) | 유압장치를 이용한 광디스크 플레이어의 클램핑장치 | |
| JPH0517798Y2 (ja) | ||
| JPH08221859A (ja) | ディスククランプ機構 |