JPS6268292A - 吸着コレツト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は半導体装置等の製造工程で用いられるベレット
等の微小物を吸着して運搬する吸着コレット装置に関す
るものである。

従来の技術 従来から半導体装置の組立工程では、リードフレームの
ベレット載置部（通称アイランド）にベレットのボンデ
ィングを行うが、ベレットのリードフレームに対するボ
ンディング方向は、第３図ａの平面図に示すようにベレ
ットボンダー上のリードフレーム２１の進行方向Ｆとベ
レット２２辺が平行となるようそのベレット２２をボン
ディングする場合と、次工程のワイヤーボンディングを
容易にするため、第３図すの平面図に示すように、ペレ
ットボンダー上のリードフレーム２１の進行方向Ｆとベ
レット２１の辺とにある角度を付してベレットボンディ
ングをする場合とがある。

以下、従来の吸着コレット装置について説明する。一般
的に使用されているベレットボンダーは、ダイシング後
、粘着性シートに貼り付けられたベレット群をパルスモ
ータ−等によって駆動されるＸ−Ｙテーブル上に載積し
、たとえばビジコン等の撮像手段によって、所定の電気
的特性検査を行い不良ベレットに付された不合格マーク
とベレットの形状等を撮像検出する。そして、良品ベレ
ットのみを吸着コレットにより吸着し、リードフレーム
のアイランドの所定の位置にボンディングする機構であ
る。ところが第３図ａのようにリードフレーム２１の進
行方向Ｆとベレット２２の辺が平行となるペレットボン
ディングの場合は、ペレット群を載積しているｘ−Ｙテ
ーブルの移動方向とペレット２２の辺および前記撮像手
段の走査方向とペレットの辺とが同一方向であり、前記
Ｘ−−Ｙテーブルの移動および前記撮像検出も容易に行
える０ 発明が解決しようとする問題点 しかし、第３図すに示すように、リードフレーム２１の
進行方向とベレット２２の辺とに角度を付してベレット
２２がボンディングされる半導体装置を、第３図ａのよ
゛うにリードフレーム２１の進行方向Ｆとペレット２２
の辺が平行な半導体装置組立用と同一のペレットボンダ
ーでベレットボンディングを行う場合には、粘着性シー
トに貼り付けられたベレット群を所定の角度に振り向け
てｘ−Ｙテーブル上に載積するため、Ｘ−Ｙテーブルの
移動方向および撮像手段の走査方向とベレット２２の辺
とに角度が付され、Ｘ−Ｙテーブルの駆動および撮像手
段によって撮像検出する検出に複雑な手法を必要とした
。

本発明は上記従来の問題点を解決するもので、簡単な構
成でベレット等の微小物を吸着して運搬する吸着コレッ
ト装置を提供することを目的とする。

問題点を解決するための手段 この目的を達成するために本発明の吸着コレット装置は
微小物を吸着する吸着コレットのコレット軸を上下動お
よび回転可能に支持し、コレット軸の回転を制御するバ
ネと回転停止手段とをそなえたものである。

作　　用 この構成により、ベレット等の微小物を角度を付してボ
ンディングする場合吸着コレットに微小物を吸着したの
ち、コレット軸を回転させ、微小物を所定角度回転させ
る。

実施例 以下、本発明の一実施例について、第１図乃至第２図を
参照しながら説明する。

第１図は実施例の概要を示す斜視図であり、第２図ａ乃
至Ｃは第１図実施例の吸着コレットにおけるコレット軸
の回転動作を説明する平面図である。

１はペレット等の微小物を吸着する吸着コレットで、２
は吸着コレット１を固定する上下動および回転可能なコ
レット軸、３は伸縮自在のアーム。

４はアーム３に埋め込まれた軸受、６はコレア）軸２の
上方に位置するブロックプレート、６はブロックプレー
ト６の一端に設けられた回転ストッパー、７はコレット
軸２を上下動させる上下動ビン、８はコレット軸２の上
下動を操作するためのり２ンク、９はその操作杆、１ｏ
はブロックグレート５の他端に設けられた揺動ビン、１
１は揺動ビ／一端に設けられた回転子、１２は一端が揺
動ビン１ｏに掛装され、他端がビン１３を介してアーム
３に掛装されているコイルバネ、１４は揺動ビン１ｏの
先端に取り付けられた回転子１１が衝接する当て棒、１
６は当て棒１４を支持している支持ビン、１６は半導体
ベレットである。これらの構成品の中で、アーム３の先
端部３ａには回転ストッパ６が螺合されておシ、この回
転ストッパー６の一端はブロックプレート６に当接して
いる。

また図示していないがコレット上下動駆動部により上下
動杆９が矢印Ｂ方向に動作するとクランク８を介して、
コレット軸２が上動するようになっている。

以上のように構成された本実施例の吸着コレットについ
て以下その動作を説明する。第２図ａは半導体ペレット
１６をコレット１の先端で吸着した時点の平面状態図で
あり（上下動作は図中より省略）、ブロックプレート５
はコイルバネ１２の引張力により、上方から見て反時計
方向に回転するように引張され、回転ストッパー６に当
接した位置に停止している。第２図ａでアーム３が矢印
Ａ方向に移動すると、移動途中にて回転子１１は機台に
取り付けられた当て棒１４に衝接し、アーム３の移動が
進むに従いブロックプレート５はコイルバネ１２の引張
力に打ち勝って第２図すのように上方より見て時計方向
に回転を始めアーム３の矢印入方向の移動が終了した点
、すなわち吸着コレット１の先端に吸着されたペレット
１６がボンゲイングされるリードフレームのアイランド
（図示せず）の所定の位置に達した点で、ブロックプレ
ート５の回転も完了する。

ブロックプレート５の回転に伴い、吸着コレッ″ト１の
先端に吸着されている半導体ベレット１６も所定の位置
に第３図すのように角度付けされてボンディングされる
。

尚、当て棒１４は機台に支持ピン１６にて回転可能に支
持されており、第２図Ｃのように当て棒１４を機台に平
行に倒しておくことにより、アーム３が矢印入方向に移
動を行っても回転子１１は当て棒１４に衝接せず、コレ
ットは回転しないためコレット１の先端に吸着されてい
る半導体ペレット１６もまた回転せず、第３図とのよう
なリードフレームの進行方向とベレットの辺とが平行な
ボンディングを可能にする。

尚、半導体ペレット１６の回転角度の調整は、回転スト
ッパー６の調整により容易に行うことが可能である。

発明の効果 本発明は、リードフレーム上へのベレットをボンディン
グするとき、リードフレームの進行方向だ対し、ベレッ
トの辺を平行にポンディ、ングするか、あるいは角度を
付してボンディングするかを同一のベレットボンダーで
容易に変更可能とし、ベレットボンディングの経済性を
向上させるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による吸着コレット装置の斜
視図、第２図ａ、ｂ、ｃはそれぞれ上記実施例の異なる
状態における、同要部の平面図、第３図ａ、ｌ）は、そ
れぞれベレットをボンディングしたリードフレームの平
面図である。 １・・・・・・吸着コレット、２・・・・・・コレット
軸、３・・・・・・アーム、６・・・・・・ブロックプ
レート、６・・自・・回転ストッパー、１１・・・・・
・回転子、１２・・・・・・コイルバネ、１４・・・・
・・当て棒、１５・・・・・・支持ビン、１６・・・・
・・半導体ペレット。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名ゝ”
　　　　Ｌ／）ｃｓ＞。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 微小物を吸着して運搬する吸着コレットと、前記吸着コ
   レットをアームに上下動および回転可能に支持するコレ
   ット軸と、前記コレット軸の回転を制御するバネと、前
   記コレット軸を所定の回転位置で停止させる停止手段と
   を有することを特徴とする吸着コレット装置。