JPS6268292A - 吸着コレツト装置 - Google Patents
吸着コレツト装置Info
- Publication number
- JPS6268292A JPS6268292A JP20691785A JP20691785A JPS6268292A JP S6268292 A JPS6268292 A JP S6268292A JP 20691785 A JP20691785 A JP 20691785A JP 20691785 A JP20691785 A JP 20691785A JP S6268292 A JPS6268292 A JP S6268292A
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- Japan
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- pellet
- collet
- suction collet
- suction
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体装置等の製造工程で用いられるベレット
等の微小物を吸着して運搬する吸着コレット装置に関す
るものである。
等の微小物を吸着して運搬する吸着コレット装置に関す
るものである。
従来の技術
従来から半導体装置の組立工程では、リードフレームの
ベレット載置部(通称アイランド)にベレットのボンデ
ィングを行うが、ベレットのリードフレームに対するボ
ンディング方向は、第3図aの平面図に示すようにベレ
ットボンダー上のリードフレーム21の進行方向Fとベ
レット22辺が平行となるようそのベレット22をボン
ディングする場合と、次工程のワイヤーボンディングを
容易にするため、第3図すの平面図に示すように、ペレ
ットボンダー上のリードフレーム21の進行方向Fとベ
レット21の辺とにある角度を付してベレットボンディ
ングをする場合とがある。
ベレット載置部(通称アイランド)にベレットのボンデ
ィングを行うが、ベレットのリードフレームに対するボ
ンディング方向は、第3図aの平面図に示すようにベレ
ットボンダー上のリードフレーム21の進行方向Fとベ
レット22辺が平行となるようそのベレット22をボン
ディングする場合と、次工程のワイヤーボンディングを
容易にするため、第3図すの平面図に示すように、ペレ
ットボンダー上のリードフレーム21の進行方向Fとベ
レット21の辺とにある角度を付してベレットボンディ
ングをする場合とがある。
以下、従来の吸着コレット装置について説明する。一般
的に使用されているベレットボンダーは、ダイシング後
、粘着性シートに貼り付けられたベレット群をパルスモ
ータ−等によって駆動されるX−Yテーブル上に載積し
、たとえばビジコン等の撮像手段によって、所定の電気
的特性検査を行い不良ベレットに付された不合格マーク
とベレットの形状等を撮像検出する。そして、良品ベレ
ットのみを吸着コレットにより吸着し、リードフレーム
のアイランドの所定の位置にボンディングする機構であ
る。ところが第3図aのようにリードフレーム21の進
行方向Fとベレット22の辺が平行となるペレットボン
ディングの場合は、ペレット群を載積しているx−Yテ
ーブルの移動方向とペレット22の辺および前記撮像手
段の走査方向とペレットの辺とが同一方向であり、前記
X−−Yテーブルの移動および前記撮像検出も容易に行
える0 発明が解決しようとする問題点 しかし、第3図すに示すように、リードフレーム21の
進行方向とベレット22の辺とに角度を付してベレット
22がボンディングされる半導体装置を、第3図aのよ
゛うにリードフレーム21の進行方向Fとペレット22
の辺が平行な半導体装置組立用と同一のペレットボンダ
ーでベレットボンディングを行う場合には、粘着性シー
トに貼り付けられたベレット群を所定の角度に振り向け
てx−Yテーブル上に載積するため、X−Yテーブルの
移動方向および撮像手段の走査方向とベレット22の辺
とに角度が付され、X−Yテーブルの駆動および撮像手
段によって撮像検出する検出に複雑な手法を必要とした
。
的に使用されているベレットボンダーは、ダイシング後
、粘着性シートに貼り付けられたベレット群をパルスモ
ータ−等によって駆動されるX−Yテーブル上に載積し
、たとえばビジコン等の撮像手段によって、所定の電気
的特性検査を行い不良ベレットに付された不合格マーク
とベレットの形状等を撮像検出する。そして、良品ベレ
ットのみを吸着コレットにより吸着し、リードフレーム
のアイランドの所定の位置にボンディングする機構であ
る。ところが第3図aのようにリードフレーム21の進
行方向Fとベレット22の辺が平行となるペレットボン
ディングの場合は、ペレット群を載積しているx−Yテ
ーブルの移動方向とペレット22の辺および前記撮像手
段の走査方向とペレットの辺とが同一方向であり、前記
X−−Yテーブルの移動および前記撮像検出も容易に行
える0 発明が解決しようとする問題点 しかし、第3図すに示すように、リードフレーム21の
進行方向とベレット22の辺とに角度を付してベレット
22がボンディングされる半導体装置を、第3図aのよ
゛うにリードフレーム21の進行方向Fとペレット22
の辺が平行な半導体装置組立用と同一のペレットボンダ
ーでベレットボンディングを行う場合には、粘着性シー
トに貼り付けられたベレット群を所定の角度に振り向け
てx−Yテーブル上に載積するため、X−Yテーブルの
移動方向および撮像手段の走査方向とベレット22の辺
とに角度が付され、X−Yテーブルの駆動および撮像手
段によって撮像検出する検出に複雑な手法を必要とした
。
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、簡単な構
成でベレット等の微小物を吸着して運搬する吸着コレッ
ト装置を提供することを目的とする。
成でベレット等の微小物を吸着して運搬する吸着コレッ
ト装置を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段
この目的を達成するために本発明の吸着コレット装置は
微小物を吸着する吸着コレットのコレット軸を上下動お
よび回転可能に支持し、コレット軸の回転を制御するバ
ネと回転停止手段とをそなえたものである。
微小物を吸着する吸着コレットのコレット軸を上下動お
よび回転可能に支持し、コレット軸の回転を制御するバ
ネと回転停止手段とをそなえたものである。
作 用
この構成により、ベレット等の微小物を角度を付してボ
ンディングする場合吸着コレットに微小物を吸着したの
ち、コレット軸を回転させ、微小物を所定角度回転させ
る。
ンディングする場合吸着コレットに微小物を吸着したの
ち、コレット軸を回転させ、微小物を所定角度回転させ
る。
実施例
以下、本発明の一実施例について、第1図乃至第2図を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
第1図は実施例の概要を示す斜視図であり、第2図a乃
至Cは第1図実施例の吸着コレットにおけるコレット軸
の回転動作を説明する平面図である。
至Cは第1図実施例の吸着コレットにおけるコレット軸
の回転動作を説明する平面図である。
1はペレット等の微小物を吸着する吸着コレットで、2
は吸着コレット1を固定する上下動および回転可能なコ
レット軸、3は伸縮自在のアーム。
は吸着コレット1を固定する上下動および回転可能なコ
レット軸、3は伸縮自在のアーム。
4はアーム3に埋め込まれた軸受、6はコレア)軸2の
上方に位置するブロックプレート、6はブロックプレー
ト6の一端に設けられた回転ストッパー、7はコレット
軸2を上下動させる上下動ビン、8はコレット軸2の上
下動を操作するためのり2ンク、9はその操作杆、1o
はブロックグレート5の他端に設けられた揺動ビン、1
1は揺動ビ/一端に設けられた回転子、12は一端が揺
動ビン1oに掛装され、他端がビン13を介してアーム
3に掛装されているコイルバネ、14は揺動ビン1oの
先端に取り付けられた回転子11が衝接する当て棒、1
6は当て棒14を支持している支持ビン、16は半導体
ベレットである。これらの構成品の中で、アーム3の先
端部3aには回転ストッパ6が螺合されておシ、この回
転ストッパー6の一端はブロックプレート6に当接して
いる。
上方に位置するブロックプレート、6はブロックプレー
ト6の一端に設けられた回転ストッパー、7はコレット
軸2を上下動させる上下動ビン、8はコレット軸2の上
下動を操作するためのり2ンク、9はその操作杆、1o
はブロックグレート5の他端に設けられた揺動ビン、1
1は揺動ビ/一端に設けられた回転子、12は一端が揺
動ビン1oに掛装され、他端がビン13を介してアーム
3に掛装されているコイルバネ、14は揺動ビン1oの
先端に取り付けられた回転子11が衝接する当て棒、1
6は当て棒14を支持している支持ビン、16は半導体
ベレットである。これらの構成品の中で、アーム3の先
端部3aには回転ストッパ6が螺合されておシ、この回
転ストッパー6の一端はブロックプレート6に当接して
いる。
また図示していないがコレット上下動駆動部により上下
動杆9が矢印B方向に動作するとクランク8を介して、
コレット軸2が上動するようになっている。
動杆9が矢印B方向に動作するとクランク8を介して、
コレット軸2が上動するようになっている。
以上のように構成された本実施例の吸着コレットについ
て以下その動作を説明する。第2図aは半導体ペレット
16をコレット1の先端で吸着した時点の平面状態図で
あり(上下動作は図中より省略)、ブロックプレート5
はコイルバネ12の引張力により、上方から見て反時計
方向に回転するように引張され、回転ストッパー6に当
接した位置に停止している。第2図aでアーム3が矢印
A方向に移動すると、移動途中にて回転子11は機台に
取り付けられた当て棒14に衝接し、アーム3の移動が
進むに従いブロックプレート5はコイルバネ12の引張
力に打ち勝って第2図すのように上方より見て時計方向
に回転を始めアーム3の矢印入方向の移動が終了した点
、すなわち吸着コレット1の先端に吸着されたペレット
16がボンゲイングされるリードフレームのアイランド
(図示せず)の所定の位置に達した点で、ブロックプレ
ート5の回転も完了する。
て以下その動作を説明する。第2図aは半導体ペレット
16をコレット1の先端で吸着した時点の平面状態図で
あり(上下動作は図中より省略)、ブロックプレート5
はコイルバネ12の引張力により、上方から見て反時計
方向に回転するように引張され、回転ストッパー6に当
接した位置に停止している。第2図aでアーム3が矢印
A方向に移動すると、移動途中にて回転子11は機台に
取り付けられた当て棒14に衝接し、アーム3の移動が
進むに従いブロックプレート5はコイルバネ12の引張
力に打ち勝って第2図すのように上方より見て時計方向
に回転を始めアーム3の矢印入方向の移動が終了した点
、すなわち吸着コレット1の先端に吸着されたペレット
16がボンゲイングされるリードフレームのアイランド
(図示せず)の所定の位置に達した点で、ブロックプレ
ート5の回転も完了する。
ブロックプレート5の回転に伴い、吸着コレッ″ト1の
先端に吸着されている半導体ベレット16も所定の位置
に第3図すのように角度付けされてボンディングされる
。
先端に吸着されている半導体ベレット16も所定の位置
に第3図すのように角度付けされてボンディングされる
。
尚、当て棒14は機台に支持ピン16にて回転可能に支
持されており、第2図Cのように当て棒14を機台に平
行に倒しておくことにより、アーム3が矢印入方向に移
動を行っても回転子11は当て棒14に衝接せず、コレ
ットは回転しないためコレット1の先端に吸着されてい
る半導体ペレット16もまた回転せず、第3図とのよう
なリードフレームの進行方向とベレットの辺とが平行な
ボンディングを可能にする。
持されており、第2図Cのように当て棒14を機台に平
行に倒しておくことにより、アーム3が矢印入方向に移
動を行っても回転子11は当て棒14に衝接せず、コレ
ットは回転しないためコレット1の先端に吸着されてい
る半導体ペレット16もまた回転せず、第3図とのよう
なリードフレームの進行方向とベレットの辺とが平行な
ボンディングを可能にする。
尚、半導体ペレット16の回転角度の調整は、回転スト
ッパー6の調整により容易に行うことが可能である。
ッパー6の調整により容易に行うことが可能である。
発明の効果
本発明は、リードフレーム上へのベレットをボンディン
グするとき、リードフレームの進行方向だ対し、ベレッ
トの辺を平行にポンディ、ングするか、あるいは角度を
付してボンディングするかを同一のベレットボンダーで
容易に変更可能とし、ベレットボンディングの経済性を
向上させるものである。
グするとき、リードフレームの進行方向だ対し、ベレッ
トの辺を平行にポンディ、ングするか、あるいは角度を
付してボンディングするかを同一のベレットボンダーで
容易に変更可能とし、ベレットボンディングの経済性を
向上させるものである。
第1図は本発明の一実施例による吸着コレット装置の斜
視図、第2図a、b、cはそれぞれ上記実施例の異なる
状態における、同要部の平面図、第3図a、l)は、そ
れぞれベレットをボンディングしたリードフレームの平
面図である。 1・・・・・・吸着コレット、2・・・・・・コレット
軸、3・・・・・・アーム、6・・・・・・ブロックプ
レート、6・・自・・回転ストッパー、11・・・・・
・回転子、12・・・・・・コイルバネ、14・・・・
・・当て棒、15・・・・・・支持ビン、16・・・・
・・半導体ペレット。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名ゝ”
L/)cs>。
視図、第2図a、b、cはそれぞれ上記実施例の異なる
状態における、同要部の平面図、第3図a、l)は、そ
れぞれベレットをボンディングしたリードフレームの平
面図である。 1・・・・・・吸着コレット、2・・・・・・コレット
軸、3・・・・・・アーム、6・・・・・・ブロックプ
レート、6・・自・・回転ストッパー、11・・・・・
・回転子、12・・・・・・コイルバネ、14・・・・
・・当て棒、15・・・・・・支持ビン、16・・・・
・・半導体ペレット。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名ゝ”
L/)cs>。
Claims (1)
- 微小物を吸着して運搬する吸着コレットと、前記吸着コ
レットをアームに上下動および回転可能に支持するコレ
ット軸と、前記コレット軸の回転を制御するバネと、前
記コレット軸を所定の回転位置で停止させる停止手段と
を有することを特徴とする吸着コレット装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20691785A JPH0688225B2 (ja) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | 吸着コレツト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20691785A JPH0688225B2 (ja) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | 吸着コレツト装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6268292A true JPS6268292A (ja) | 1987-03-28 |
JPH0688225B2 JPH0688225B2 (ja) | 1994-11-09 |
Family
ID=16531218
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20691785A Expired - Fee Related JPH0688225B2 (ja) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | 吸着コレツト装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0688225B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003191139A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-08 | Matsushita Electric Works Ltd | ハンドリング装置 |
-
1985
- 1985-09-19 JP JP20691785A patent/JPH0688225B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003191139A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-08 | Matsushita Electric Works Ltd | ハンドリング装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0688225B2 (ja) | 1994-11-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |