JP2816488B2 - 軟窒化表面への酸化皮膜形成方法 - Google Patents
軟窒化表面への酸化皮膜形成方法Info
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- JP2816488B2 JP2816488B2 JP10066390A JP10066390A JP2816488B2 JP 2816488 B2 JP2816488 B2 JP 2816488B2 JP 10066390 A JP10066390 A JP 10066390A JP 10066390 A JP10066390 A JP 10066390A JP 2816488 B2 JP2816488 B2 JP 2816488B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、軟窒化処理を施した鉄鋼部品の表面にFe3O
4を主体とする酸化皮膜を形成するための方法に関す
る。
4を主体とする酸化皮膜を形成するための方法に関す
る。
（従来の技術） 軟窒化は、主として耐摩耗性と耐疲労性との向上を目
的に行われるものであるが、その軟窒化表面にさらに鉄
の酸化皮膜を形成すると、耐摩耗性と耐疲労性とが一層
向上し、その上、耐食性も著しく向上することが知られ
ている。ところで、鉄の酸化物にはFeO,Fe3O4,Fe2O3の
３種があるが、これらの中ではFe3O4が緻密でしかも密
着性が良く、したがって軟窒化表面に酸化皮膜を形成す
る場合、このFe3O4を主体とする酸化皮膜を優先的に形
成することがきわめて重要な課題となる。
的に行われるものであるが、その軟窒化表面にさらに鉄
の酸化皮膜を形成すると、耐摩耗性と耐疲労性とが一層
向上し、その上、耐食性も著しく向上することが知られ
ている。ところで、鉄の酸化物にはFeO,Fe3O4,Fe2O3の
３種があるが、これらの中ではFe3O4が緻密でしかも密
着性が良く、したがって軟窒化表面に酸化皮膜を形成す
る場合、このFe3O4を主体とする酸化皮膜を優先的に形
成することがきわめて重要な課題となる。
そこで、例えば特開昭64−31957号公報には、ガス軟
窒化処理を施した鉄鋼部品（ワーク）を水蒸気、空気
（O2）、炭酸ガス（CO2）、発熱型変成ガス等の酸化性
雰囲気中で400〜650℃に保持して、軟窒化表面にFe3O4
を主体とする酸化皮膜を形成する方法が示されている。
窒化処理を施した鉄鋼部品（ワーク）を水蒸気、空気
（O2）、炭酸ガス（CO2）、発熱型変成ガス等の酸化性
雰囲気中で400〜650℃に保持して、軟窒化表面にFe3O4
を主体とする酸化皮膜を形成する方法が示されている。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記従来の方法においては、大気圧下
で酸化処理を行っているため、空気による急激な酸化反
応が起こってFeOの生成量が増加し、Fe3O4を主体とする
酸化皮膜の形成に長時間を要して、サイクルタイムが延
長するという問題があった。
で酸化処理を行っているため、空気による急激な酸化反
応が起こってFeOの生成量が増加し、Fe3O4を主体とする
酸化皮膜の形成に長時間を要して、サイクルタイムが延
長するという問題があった。
本発明は、上記従来の問題を解決することを課題とし
てなされたもので、その目的とするところは、急激な空
気酸化を抑えてFe3O4を安定してかつ速やかに形成する
ことができる軟窒化表面への酸化皮膜形成方法を提供す
ることにある。
てなされたもので、その目的とするところは、急激な空
気酸化を抑えてFe3O4を安定してかつ速やかに形成する
ことができる軟窒化表面への酸化皮膜形成方法を提供す
ることにある。
（課題を解決するための手段） 本発明は、上記目的を達成するため、軟窒化処理を施
した鉄鋼部品を、大気圧より低い減圧下で空気とCO2ガ
スの供給雰囲気に曝して、550〜650℃に加熱保持するよ
うにしたことを特徴とする。
した鉄鋼部品を、大気圧より低い減圧下で空気とCO2ガ
スの供給雰囲気に曝して、550〜650℃に加熱保持するよ
うにしたことを特徴とする。
本発明において、上記軟窒化の条件は特に問うもので
ないが、ガス軟窒化処理をするのが望ましい。この場
合、窒化ガスの種類は任意であり、例えばアンモニアガ
ス（NH3）および吸熱型変成ガスの混合ガス、あるいはN
H3、CO2および窒素（N2）の混合ガスを用いることがで
きる。さらに、このガス軟窒化は、大気圧状態で行って
も、あるいは負圧状態で行っても良い。
ないが、ガス軟窒化処理をするのが望ましい。この場
合、窒化ガスの種類は任意であり、例えばアンモニアガ
ス（NH3）および吸熱型変成ガスの混合ガス、あるいはN
H3、CO2および窒素（N2）の混合ガスを用いることがで
きる。さらに、このガス軟窒化は、大気圧状態で行って
も、あるいは負圧状態で行っても良い。
本発明は、酸化性ガスとして初期に空気とCO2ガスと
を用い、その後はCO2ガスのみを用いるようにして良い
もので、この場合は、初期の空気とCO2ガスの並行使用
は短時間で止めるのが望ましい。
を用い、その後はCO2ガスのみを用いるようにして良い
もので、この場合は、初期の空気とCO2ガスの並行使用
は短時間で止めるのが望ましい。
（作用） 上記構成の軟窒化表面への酸化皮膜の形成方法におい
ては、空気とCO2ガス雰囲気に曝し、また、所望により
空気とCO2ガスに引続いてCO2ガス雰囲気に曝すようにし
たので、酸化力の弱いCO2ガスが安定なFe3O4の生成に寄
与すると共に、空気による急激な酸化反応で生じた不安
定なFeOをFe3O4に変える作用をなし、減圧下の処理で急
激な酸化反応が抑えられることもあって、Fe3O4を主体
とする酸化皮膜を軟窒化表面に安定してかつ速やかに形
成することができる。
ては、空気とCO2ガス雰囲気に曝し、また、所望により
空気とCO2ガスに引続いてCO2ガス雰囲気に曝すようにし
たので、酸化力の弱いCO2ガスが安定なFe3O4の生成に寄
与すると共に、空気による急激な酸化反応で生じた不安
定なFeOをFe3O4に変える作用をなし、減圧下の処理で急
激な酸化反応が抑えられることもあって、Fe3O4を主体
とする酸化皮膜を軟窒化表面に安定してかつ速やかに形
成することができる。
（実施例） 以下、本発明の実施例を添付図面にもとづいて説明す
る。
る。
第１図〜第３図は本発明の方法を実行する表面処理装
置を示したものである。表面処理装置１は、窒化処理お
よび酸化処理を行う加熱室２とガス冷却を行う冷却室３
とを備えており、両室は直列に配置されている。加熱室
２は断熱材４を内張りして成り、その前、後に装入口
８、抽出口９を設けている。一方、冷却室３は水冷ジャ
ケット構造で、同じくその前、後に装入口11、抽出口12
を設けている。各装入口8,11には装入扉13,14が、各抽
出口9,12には抽出扉15,16がそれぞれ付設されており、
前記加熱室２と冷却室３とは独立の密閉室として区画さ
れている。
置を示したものである。表面処理装置１は、窒化処理お
よび酸化処理を行う加熱室２とガス冷却を行う冷却室３
とを備えており、両室は直列に配置されている。加熱室
２は断熱材４を内張りして成り、その前、後に装入口
８、抽出口９を設けている。一方、冷却室３は水冷ジャ
ケット構造で、同じくその前、後に装入口11、抽出口12
を設けている。各装入口8,11には装入扉13,14が、各抽
出口9,12には抽出扉15,16がそれぞれ付設されており、
前記加熱室２と冷却室３とは独立の密閉室として区画さ
れている。
加熱室２の装入扉13および冷却室３の抽出扉16は、支
持フレーム17,19に固定したシリンダ18,20の出力軸18a,
20aに連結されており、両扉13,16はシリンダ18,20の作
動により上下動して対応する装入口８と抽出口12とを開
閉するようになっている。また加熱室２の抽出扉15と冷
却室３の装入扉14とは、連結体21を介して一体化されて
中間扉22を構成している。加熱室２と冷却室３との間に
は扉フード23が配設され、扉フード23は両室2,3を気密
的に連接している。扉フード23の上端にはシリンダ24が
固定されており、このシリンダ24の出力軸24aに前記連
結体21が連結されている。すなわち、中間扉22はシリン
ダ24の作動により上下動するようになっている。
持フレーム17,19に固定したシリンダ18,20の出力軸18a,
20aに連結されており、両扉13,16はシリンダ18,20の作
動により上下動して対応する装入口８と抽出口12とを開
閉するようになっている。また加熱室２の抽出扉15と冷
却室３の装入扉14とは、連結体21を介して一体化されて
中間扉22を構成している。加熱室２と冷却室３との間に
は扉フード23が配設され、扉フード23は両室2,3を気密
的に連接している。扉フード23の上端にはシリンダ24が
固定されており、このシリンダ24の出力軸24aに前記連
結体21が連結されている。すなわち、中間扉22はシリン
ダ24の作動により上下動するようになっている。
加熱室２内には、ヒータ25とフアン26とが配設されて
いる。一方、冷却室３内にはフアン28および冷却器（図
示略）が配設されている。30は、ワークＷを搬送するロ
ーラコンベアで、加熱室２および冷却室３を結ぶように
配設されている。ローラコンベア30を構成する各ローラ
31は、第２図および第３図に示すように、その両端部が
各室2,3の側壁を貫通して外部へ引き出されている。各
ローラ31が引き出された各室2,3の外壁部分には、該ロ
ーラ31を気密下に挿通させて内部へのエアの流入を規制
するシール箱32が固設されている。なお、ローラコンベ
ア30は、各ローラ31の一端部に固定したスプロケット33
に掛けたチェーン（図示略）により回転駆動されるよう
になっている。
いる。一方、冷却室３内にはフアン28および冷却器（図
示略）が配設されている。30は、ワークＷを搬送するロ
ーラコンベアで、加熱室２および冷却室３を結ぶように
配設されている。ローラコンベア30を構成する各ローラ
31は、第２図および第３図に示すように、その両端部が
各室2,3の側壁を貫通して外部へ引き出されている。各
ローラ31が引き出された各室2,3の外壁部分には、該ロ
ーラ31を気密下に挿通させて内部へのエアの流入を規制
するシール箱32が固設されている。なお、ローラコンベ
ア30は、各ローラ31の一端部に固定したスプロケット33
に掛けたチェーン（図示略）により回転駆動されるよう
になっている。
しかして、加熱室２の天井には２つのガス導入口34,3
5が設けられ、そのガス導入口の一方にはNH3ガスの発生
源（図示略）に通じる配管36の一端が、そのガス導入口
の他方にはCO2ガスの発生源（図示略）と空気源（図示
略）とに通じる配管37の一端がそれぞれ接続されている
（第２図）。また上記シール箱32には、N2ガスの発生源
（図示略）に通じる配管38の一端が接続されており、該
配管38を給送されたN2ガスがローラ31の挿通隙間から加
熱室２内に導入されるようになっている。
5が設けられ、そのガス導入口の一方にはNH3ガスの発生
源（図示略）に通じる配管36の一端が、そのガス導入口
の他方にはCO2ガスの発生源（図示略）と空気源（図示
略）とに通じる配管37の一端がそれぞれ接続されている
（第２図）。また上記シール箱32には、N2ガスの発生源
（図示略）に通じる配管38の一端が接続されており、該
配管38を給送されたN2ガスがローラ31の挿通隙間から加
熱室２内に導入されるようになっている。
また、加熱室２および冷却室３の側壁には排気口39が
設けられ、各排気口39には真空ポンプ40,41に通じる配
管42の一端が接続されている。さらに、冷却室３の側壁
には、前記排気口39の他にガス流入口43が設けられ、こ
のガス流入口43にはN2ガスの発生源（図示略）に通じる
配管44とベントロ（図示略）に通じる配管45の一端がそ
れぞれ接続されている。なお、上記配管類にはバルブ
（電磁バルブ）46,46…が介装されており、これらバル
ブの操作により各室2,4へのガスの流出入が制御される
ようになっている。47は、加熱室２の装入口８に臨んで
配置された装入テーブル、48は冷却室３の抽出口12に臨
んで配置された抽出テーブルで、それぞれにはワークＷ
を搬送するためのローラ49が設けられている。
設けられ、各排気口39には真空ポンプ40,41に通じる配
管42の一端が接続されている。さらに、冷却室３の側壁
には、前記排気口39の他にガス流入口43が設けられ、こ
のガス流入口43にはN2ガスの発生源（図示略）に通じる
配管44とベントロ（図示略）に通じる配管45の一端がそ
れぞれ接続されている。なお、上記配管類にはバルブ
（電磁バルブ）46,46…が介装されており、これらバル
ブの操作により各室2,4へのガスの流出入が制御される
ようになっている。47は、加熱室２の装入口８に臨んで
配置された装入テーブル、48は冷却室３の抽出口12に臨
んで配置された抽出テーブルで、それぞれにはワークＷ
を搬送するためのローラ49が設けられている。
以下、上記のように構成した表面処理装置を用いて行
う表面処理方法を第４図も参照して説明する。
う表面処理方法を第４図も参照して説明する。
表面処理に際しては、予め加熱室２と冷却室３との間
の中間扉22および冷却室３の抽出扉16を閉め、先ず、シ
リンダ18の作動により加熱室２の装入扉13を開け、装入
テーブル47上のワークＷを装入口８から加熱室２内に装
入し、続いてシリンダ18の再作動により装入扉13を閉じ
る。次に真空ポンプ40を運転して加熱室２内を排気する
と共に、ヒータ25に通電して加熱室２内を軟窒化温度
（550〜650℃）に保持する。そして加熱室２内が真空0.
5Torr以下に達したら、N2ガス発生源に通じる配管38の
バルブ46を開いて加熱室２内にN2ガスを導入し、これと
同時にフアン26を回転させる。この時、真空ポンプ40に
通じるバルブを調整して炉内圧を650〜700Torrに調整す
る。ワークＷは、N2雰囲気中で対流加熱され速やかに窒
化温度（550〜650℃）まで加熱される。
の中間扉22および冷却室３の抽出扉16を閉め、先ず、シ
リンダ18の作動により加熱室２の装入扉13を開け、装入
テーブル47上のワークＷを装入口８から加熱室２内に装
入し、続いてシリンダ18の再作動により装入扉13を閉じ
る。次に真空ポンプ40を運転して加熱室２内を排気する
と共に、ヒータ25に通電して加熱室２内を軟窒化温度
（550〜650℃）に保持する。そして加熱室２内が真空0.
5Torr以下に達したら、N2ガス発生源に通じる配管38の
バルブ46を開いて加熱室２内にN2ガスを導入し、これと
同時にフアン26を回転させる。この時、真空ポンプ40に
通じるバルブを調整して炉内圧を650〜700Torrに調整す
る。ワークＷは、N2雰囲気中で対流加熱され速やかに窒
化温度（550〜650℃）まで加熱される。
ワークＷが軟窒化温度に到達したら、再び真空ポンプ
40を運転して加熱室２内を0.5Torr以下まで排気し、今
度は、前記N2ガス発生源に通じる配管38に加え、NH3ガ
ス発生源に通じる配管36、CO2ガス発生源に通じる配管3
7のバルブ46も開き、加熱室２内にNH3ガス、CO2ガス、N
2ガスを所定の比率で導入する。この時、真空ポンプ40
に通じるバルブを開閉して炉内圧を500〜600Torrに調整
する。なお、本実施例においてはNH3、CO2およびN2ガス
の導入経路を分離しているので、ガス相互の反応に起因
するガス導入口36,37の目詰まりを防止できる。
40を運転して加熱室２内を0.5Torr以下まで排気し、今
度は、前記N2ガス発生源に通じる配管38に加え、NH3ガ
ス発生源に通じる配管36、CO2ガス発生源に通じる配管3
7のバルブ46も開き、加熱室２内にNH3ガス、CO2ガス、N
2ガスを所定の比率で導入する。この時、真空ポンプ40
に通じるバルブを開閉して炉内圧を500〜600Torrに調整
する。なお、本実施例においてはNH3、CO2およびN2ガス
の導入経路を分離しているので、ガス相互の反応に起因
するガス導入口36,37の目詰まりを防止できる。
上記窒化ガスは軟窒化温度下の加熱室２内で以下のよ
うに反応する。
うに反応する。
2NH3２（Ｎ）＋3H2 …（１） CO2＋H2CO＋H2O …（２） 2CO（Ｃ）＋CO2 …（３） すなわち、NH3は（１）式により分解して発生期の
（Ｎ）を生成し、これがワークＷの表面に侵入して窒化
反応が起こる。またCO2は（１）式で生成したH2と反応
してCOとH2Oを生成し、このCOは、さらに（３）式によ
って発生期の（Ｃ）を生成し、これがワーク表面に侵入
していわゆる浸炭が起こる。
（Ｎ）を生成し、これがワークＷの表面に侵入して窒化
反応が起こる。またCO2は（１）式で生成したH2と反応
してCOとH2Oを生成し、このCOは、さらに（３）式によ
って発生期の（Ｃ）を生成し、これがワーク表面に侵入
していわゆる浸炭が起こる。
上記窒化処理終了後、加熱室２内へのNH3、CO2および
N2ガスの導入を止め、真空ポンプ40の運転により加熱室
２内を0.5Torr以下になるまで排気し、その後、CO2発生
源と空気源とに通じる配管37のバルブ46を開き、CO2と
空気（O2）とを同時に加熱室２内に導入する。この時、
空気の導入は短時間（約１分間）で止めてCO2のみを継
続導入する（約10分間）と共に、真空ポンプ40に通じる
バルブの開閉により圧力をほゞ350Torrに調整する。こ
の酸化性ガスの導入によりワークＷの表面で酸化反応が
起こるが、CO2の酸化力は弱いので安定なFe3O4が生成
し、また空気による急激な酸化反応で生じたFeOの大部
分はCO2の過剰供給によりFe3O4に変化し、結果としてワ
ーク表面にはFe3O4を主体とする酸化皮膜が形成され
る。しかも、この酸化処理時における酸化皮膜の膜厚
は、空気とCO2ガスの導入流量および導入時間を管理す
ることで制御されることになり、減圧下（350Torr）の
処理で酸化反応が抑制されることと相まって、膜厚を容
易かつ正確に制御できる。
N2ガスの導入を止め、真空ポンプ40の運転により加熱室
２内を0.5Torr以下になるまで排気し、その後、CO2発生
源と空気源とに通じる配管37のバルブ46を開き、CO2と
空気（O2）とを同時に加熱室２内に導入する。この時、
空気の導入は短時間（約１分間）で止めてCO2のみを継
続導入する（約10分間）と共に、真空ポンプ40に通じる
バルブの開閉により圧力をほゞ350Torrに調整する。こ
の酸化性ガスの導入によりワークＷの表面で酸化反応が
起こるが、CO2の酸化力は弱いので安定なFe3O4が生成
し、また空気による急激な酸化反応で生じたFeOの大部
分はCO2の過剰供給によりFe3O4に変化し、結果としてワ
ーク表面にはFe3O4を主体とする酸化皮膜が形成され
る。しかも、この酸化処理時における酸化皮膜の膜厚
は、空気とCO2ガスの導入流量および導入時間を管理す
ることで制御されることになり、減圧下（350Torr）の
処理で酸化反応が抑制されることと相まって、膜厚を容
易かつ正確に制御できる。
上記酸化処理後、再び真空ポンプ40を運転して加熱室
２内を排気する。なお、冷却室３は上記軟窒化および酸
化処理の間に、真空ポンプ41の運転により加熱室２とほ
ゞ同圧にされている。次に、シリンダ24の作動により中
間扉22を開け、ローラコンベア30によりワークＷを冷却
室３へ搬入する。そして、中間扉22を閉じると同時にN2
ガス発生源に通じる配管44のバルブ46を開け（第３
図）、N2ガスを冷却室３内に導入する。この時、真空ポ
ンプ41に通じるバルブを開閉して冷却室３内の圧力を65
0〜700Torrに調整すると共に、フアン28を回転する。冷
却室３内のワークＷはフアン28の回転による対流冷却に
よって急速に冷却され、これによって窒化物層は安定と
なる。冷却終了後は、ベント口に通じる配管45のバルブ
46を開いて冷却室３内を大気圧に戻し、シリンダ20の作
動により抽出扉16を開けてワークＷを抽出テーブル49上
に搬送し、これにて一連の表面処理は完了する。
２内を排気する。なお、冷却室３は上記軟窒化および酸
化処理の間に、真空ポンプ41の運転により加熱室２とほ
ゞ同圧にされている。次に、シリンダ24の作動により中
間扉22を開け、ローラコンベア30によりワークＷを冷却
室３へ搬入する。そして、中間扉22を閉じると同時にN2
ガス発生源に通じる配管44のバルブ46を開け（第３
図）、N2ガスを冷却室３内に導入する。この時、真空ポ
ンプ41に通じるバルブを開閉して冷却室３内の圧力を65
0〜700Torrに調整すると共に、フアン28を回転する。冷
却室３内のワークＷはフアン28の回転による対流冷却に
よって急速に冷却され、これによって窒化物層は安定と
なる。冷却終了後は、ベント口に通じる配管45のバルブ
46を開いて冷却室３内を大気圧に戻し、シリンダ20の作
動により抽出扉16を開けてワークＷを抽出テーブル49上
に搬送し、これにて一連の表面処理は完了する。
なお、上記のようにガス軟窒化および酸化処理をした
ワーク（処理品）の表層部についてＸ線回折をした結
果、第５図に示すように、該表層部にはFeOの存在しな
いFe3O4を主体とした酸化皮膜が形成されていることが
確認できた。これは、FeOの酸化物とCO2との間に、［3F
eO＋CO2Fe3O4＋CO］からなる関係が存在し、CO2を過
剰に供給することでFeOがFe3O4になるからである。これ
に対して、上記装置を用いて単に空気を導入して酸化を
行った場合は、同じくＸ線回折結果を表わす第６図に示
すように、かなりのFeOが存在している。
ワーク（処理品）の表層部についてＸ線回折をした結
果、第５図に示すように、該表層部にはFeOの存在しな
いFe3O4を主体とした酸化皮膜が形成されていることが
確認できた。これは、FeOの酸化物とCO2との間に、［3F
eO＋CO2Fe3O4＋CO］からなる関係が存在し、CO2を過
剰に供給することでFeOがFe3O4になるからである。これ
に対して、上記装置を用いて単に空気を導入して酸化を
行った場合は、同じくＸ線回折結果を表わす第６図に示
すように、かなりのFeOが存在している。
（発明の効果） 以上、詳細に説明したように、本発明にかゝる軟窒化
表面への酸化皮膜形成方法によれば、急激な空気酸化を
抑えてFe3O4を安定してかつ速やかに形成することがで
き、サイクルタイムの短縮に大きく寄与する効果を奏す
る。
表面への酸化皮膜形成方法によれば、急激な空気酸化を
抑えてFe3O4を安定してかつ速やかに形成することがで
き、サイクルタイムの短縮に大きく寄与する効果を奏す
る。
第１図は、本発明の方法を実行する表面処理装置の構造
を示す断面図、第２図は、第１図のII−II矢視線に沿う
断面図、第３図は、第１図のIII−III矢視線に沿う断面
図、第４図は、本発明の方法における熱サイクルおよび
圧力サイクルを示す線図、第５図は、本発明の方法で得
た処理品の表層部のＸ線回折結果を示すグラフ、第６図
は、空気単独で酸化処理をした処理品の表層部のＸ線回
折結果を示すグラフである。 ２……加熱室、３……冷却室 13……挿入扉、16……抽出扉 22……中間扉、25……ヒータ 26,28……フアン、30……ローラコンベア 34,35……ガス導入口、39……排気口 40,41……真空ポンプ、Ｗ……ワーク
を示す断面図、第２図は、第１図のII−II矢視線に沿う
断面図、第３図は、第１図のIII−III矢視線に沿う断面
図、第４図は、本発明の方法における熱サイクルおよび
圧力サイクルを示す線図、第５図は、本発明の方法で得
た処理品の表層部のＸ線回折結果を示すグラフ、第６図
は、空気単独で酸化処理をした処理品の表層部のＸ線回
折結果を示すグラフである。 ２……加熱室、３……冷却室 13……挿入扉、16……抽出扉 22……中間扉、25……ヒータ 26,28……フアン、30……ローラコンベア 34,35……ガス導入口、39……排気口 40,41……真空ポンプ、Ｗ……ワーク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 治樹 愛知県豊田市トヨタ町１番地 トヨタ自 動車株式会社内 (72)発明者 中谷 好良 大阪府大阪市西区京町堀２―４―７ 中 外炉工業株式会社内 (72)発明者 松浦 俊幸 大阪府大阪市西区京町堀２―４―７ 中 外炉工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭64−31957（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C23C 8/18 C23C 8/34
Claims (2)
- 【請求項１】軟窒化処理を施した鉄鋼部品を、大気圧よ
り低い減圧下で空気とCO2ガスの供給雰囲気に曝して、5
50〜650℃に加熱保持することを特徴とする軟窒化表面
への酸化皮膜形成方法。 - 【請求項２】軟窒化処理を施した鉄鋼部品を、大気圧よ
り低い減圧下で空気とCO2ガスの供給雰囲気に引続いてC
O2ガスの供給雰囲気に曝して、550〜650℃に加熱保持す
ることを特徴とする軟窒化表面への酸化皮膜形成方法。
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1990
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