JP2801820B2 - 超音波音圧計 - Google Patents
超音波音圧計Info
- Publication number
- JP2801820B2 JP2801820B2 JP28433292A JP28433292A JP2801820B2 JP 2801820 B2 JP2801820 B2 JP 2801820B2 JP 28433292 A JP28433292 A JP 28433292A JP 28433292 A JP28433292 A JP 28433292A JP 2801820 B2 JP2801820 B2 JP 2801820B2
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- JP
- Japan
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- sound pressure
- ultrasonic
- pressure gauge
- base
- receiving surface
- Prior art date
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は超音波洗浄機の音圧を
測定する超音波音圧計に関する。
測定する超音波音圧計に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体装置の製造工程においては、種々
の微細加工の前後で、半導体ウエハに付着したサブミク
ロンオ−ダのパ−テイクルを洗浄除去する、超音波洗浄
が行われる。この洗浄工程は、半導体装置の歩留まりを
向上する上で、極めて重要である。
の微細加工の前後で、半導体ウエハに付着したサブミク
ロンオ−ダのパ−テイクルを洗浄除去する、超音波洗浄
が行われる。この洗浄工程は、半導体装置の歩留まりを
向上する上で、極めて重要である。
【0003】このような洗浄を行う装置として従来より
バッチ式あるいはノズル式の超音波洗浄機が知られてい
る。図3はバッチ式の超音波洗浄機を示し、同図中1は
筒状の装置本体である。この装置本体1の底部には振動
板2が設けられている。この振動板2の外面には超音波
発振器3が接着などの手段によって取着されている。こ
の超音波発振器3には駆動電源4が接続されている。こ
の駆動電源4を作動させることで、上記振動板2をMH
z級の周波数で振動させることができる。
バッチ式あるいはノズル式の超音波洗浄機が知られてい
る。図3はバッチ式の超音波洗浄機を示し、同図中1は
筒状の装置本体である。この装置本体1の底部には振動
板2が設けられている。この振動板2の外面には超音波
発振器3が接着などの手段によって取着されている。こ
の超音波発振器3には駆動電源4が接続されている。こ
の駆動電源4を作動させることで、上記振動板2をMH
z級の周波数で振動させることができる。
【0004】上記装置本体1内には洗浄液Lが入れられ
る。洗浄液Lには上記超音波発振器3で発生する超音波
振動が振動板2を介して印加される。したがって、上記
装置本体1内に半導体ウエハを収容すれば、その半導体
ウエハを超音波振動する洗浄液によって洗浄することが
できる。
る。洗浄液Lには上記超音波発振器3で発生する超音波
振動が振動板2を介して印加される。したがって、上記
装置本体1内に半導体ウエハを収容すれば、その半導体
ウエハを超音波振動する洗浄液によって洗浄することが
できる。
【0005】このような超音波洗浄機においては、上記
超音波発振器3によって振動する、洗浄液Lの音圧を長
時間にわたって連続的に測定し、それによって超音波洗
浄機が正常に作動しているか否やかを監視するというこ
とが行われている。
超音波発振器3によって振動する、洗浄液Lの音圧を長
時間にわたって連続的に測定し、それによって超音波洗
浄機が正常に作動しているか否やかを監視するというこ
とが行われている。
【0006】従来、上記洗浄液の音圧を測定する超音波
音圧計11としては、図2に示すように厚さが1mm程度
の石英やタンタル(Ta)によって形成された受信板1
2に、エポキシ系樹脂やアクリル系樹脂などの接着剤1
3によってPZTからなる振動子14を接着固定して形
成していた。
音圧計11としては、図2に示すように厚さが1mm程度
の石英やタンタル(Ta)によって形成された受信板1
2に、エポキシ系樹脂やアクリル系樹脂などの接着剤1
3によってPZTからなる振動子14を接着固定して形
成していた。
【0007】上記構成の超音波音圧計11は、図2に示
す装置本体1内の洗浄液Lに浸漬して設置され、上記超
音波発振器3からの音圧を上記受信板12で受信する。
それによって、上記受信板12に取着された振動子14
が音圧を電気信号に変換して出力するから、その電気信
号を増幅して検知すれば、超音波洗浄機の音圧を測定す
ることができる。
す装置本体1内の洗浄液Lに浸漬して設置され、上記超
音波発振器3からの音圧を上記受信板12で受信する。
それによって、上記受信板12に取着された振動子14
が音圧を電気信号に変換して出力するから、その電気信
号を増幅して検知すれば、超音波洗浄機の音圧を測定す
ることができる。
【0008】ところで、このような構成の超音波音圧計
11によると、受信板12で受信された音波は、この受
信板12および接着剤13を透過して振動子14に検出
される。そのため、長時間にわたって高いパワ−の超音
波を受信しつづけると、受信板12を透過した透過波を
吸収した上記接着剤13が発熱したり、剥離して測定が
確実に行えなくなるということがある。
11によると、受信板12で受信された音波は、この受
信板12および接着剤13を透過して振動子14に検出
される。そのため、長時間にわたって高いパワ−の超音
波を受信しつづけると、受信板12を透過した透過波を
吸収した上記接着剤13が発熱したり、剥離して測定が
確実に行えなくなるということがある。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の超
音波音圧計は音波が受信板を透過することで、この受信
板に振動子を取着した接着剤が加熱されたり、剥離する
ので、音波の測定が正確に行えなくなるということがあ
った。
音波音圧計は音波が受信板を透過することで、この受信
板に振動子を取着した接着剤が加熱されたり、剥離する
ので、音波の測定が正確に行えなくなるということがあ
った。
【0010】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、振動子を取着した接着剤
が音波によって加熱されずらいようにした超音波音圧計
を提供することにある。
で、その目的とするところは、振動子を取着した接着剤
が音波によって加熱されずらいようにした超音波音圧計
を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、超音波洗浄機の音圧を測定する超音波音
圧計において、超音波の受波面と検出面とを有し、これ
ら受波面と検出面とがこの受波面を透過した透過波を減
衰させる空間部を挟んで配置されるとともに上記受波面
が受けた振動を上記検出面に伝達するよう一体的に結合
された基体と、この基体の上記検出面に取着され上記音
圧を電気信号に変換する振動子とからなることを特徴と
する。
にこの発明は、超音波洗浄機の音圧を測定する超音波音
圧計において、超音波の受波面と検出面とを有し、これ
ら受波面と検出面とがこの受波面を透過した透過波を減
衰させる空間部を挟んで配置されるとともに上記受波面
が受けた振動を上記検出面に伝達するよう一体的に結合
された基体と、この基体の上記検出面に取着され上記音
圧を電気信号に変換する振動子とからなることを特徴と
する。
【0012】
【作用】上記構成によれば、基体の受波面を透過した透
過波は空間部で減衰して止まり、検出面を透過すること
がほとんどないから、上記検出面に振動子を接着した接
着剤が音波によって加熱されたり、剥離するのを防止で
きる。
過波は空間部で減衰して止まり、検出面を透過すること
がほとんどないから、上記検出面に振動子を接着した接
着剤が音波によって加熱されたり、剥離するのを防止で
きる。
【0013】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図1を参照して
説明する。図1に示すこの発明の超音波音圧計21は断
面矩形筒状をなした基体22を備えている。つまり、こ
の基体22は下面が音波の受波面22aをなし、上面が
検出面22bに形成されていて、これら受波面22aと
検出面22bとの間には空間部22cが形成されてい
る。上記検出面22bにはPZTなどの材料によって形
成された振動子23がエポキシ樹脂系やアクリル樹脂系
などの接着剤24によって接着固定されている。この振
動子23は図3に示す超音波発振器3からの音圧を電気
信号に変換し、その電気信号を図示せぬ計測器に出力す
るようになっている。
説明する。図1に示すこの発明の超音波音圧計21は断
面矩形筒状をなした基体22を備えている。つまり、こ
の基体22は下面が音波の受波面22aをなし、上面が
検出面22bに形成されていて、これら受波面22aと
検出面22bとの間には空間部22cが形成されてい
る。上記検出面22bにはPZTなどの材料によって形
成された振動子23がエポキシ樹脂系やアクリル樹脂系
などの接着剤24によって接着固定されている。この振
動子23は図3に示す超音波発振器3からの音圧を電気
信号に変換し、その電気信号を図示せぬ計測器に出力す
るようになっている。
【0014】上記基体22は図2に示す装置本体1内に
収容される洗浄液によって溶出しづらい材料、たとえば
サイファイヤ(Al2 O3 )や石英などによって形成さ
れている。
収容される洗浄液によって溶出しづらい材料、たとえば
サイファイヤ(Al2 O3 )や石英などによって形成さ
れている。
【0015】上記構成の超音波音圧計21を用いて20
0Wを越える高いパワ−をもった極超音波の測定を長時
間にわたって継続しても、検出面22bに振動子23を
接着固定した接着剤24が発熱したり、上記検出面22
bから剥離するというようなことがなかった。すなわ
ち、この発明の超音波音圧計21によれば、従来の超音
波音圧計11のように、極超音波に数時間さらすこと
で、その受信板12に振動子14を接着固定した接着剤
13が発熱したり、剥離するようなことがなくなった。
したがって、上記超音波音圧計21によれば、音圧を長
期間にわたって確実にモニタすることができる。
0Wを越える高いパワ−をもった極超音波の測定を長時
間にわたって継続しても、検出面22bに振動子23を
接着固定した接着剤24が発熱したり、上記検出面22
bから剥離するというようなことがなかった。すなわ
ち、この発明の超音波音圧計21によれば、従来の超音
波音圧計11のように、極超音波に数時間さらすこと
で、その受信板12に振動子14を接着固定した接着剤
13が発熱したり、剥離するようなことがなくなった。
したがって、上記超音波音圧計21によれば、音圧を長
期間にわたって確実にモニタすることができる。
【0016】このように、超音波音圧計21に空間部2
2cが形成された基体22を用いれば、受波面22aに
入射してこの受波面22aを透過した透過波は上記空間
部22cで減衰されて止まり、接着剤13の層を透過す
ることなく、振動だけが図1に矢印で示すように上記受
波面22aから上記基体22の周壁を通って振動子23
に伝播する。そのため、基体22の検出面22bに振動
子23を接着した接着剤24が音波に直接、さらされる
ことがないから、その接着剤24が発熱したり、剥離す
るのを防止できる。
2cが形成された基体22を用いれば、受波面22aに
入射してこの受波面22aを透過した透過波は上記空間
部22cで減衰されて止まり、接着剤13の層を透過す
ることなく、振動だけが図1に矢印で示すように上記受
波面22aから上記基体22の周壁を通って振動子23
に伝播する。そのため、基体22の検出面22bに振動
子23を接着した接着剤24が音波に直接、さらされる
ことがないから、その接着剤24が発熱したり、剥離す
るのを防止できる。
【0017】実験により、従来の振動板2とこの発明の
基体22とに同一の音波を与えたときに各振動子14、
23からの電気信号の大きさを測定したところ、従来の
振動子14からの出力は1.71Vであったのに対し、
この発明の振動子23からの出力は0.60Vであっ
た。つまり、基体22を中空状とすることで、受波面2
2aを透過した透過波が空間部22cで減衰された分だ
け振動子23から出力される電気信号は低下するが、上
記振動子23からの電気信号は、通常、アンプによって
増幅して使用されるから、音圧の測定になんら影響を及
ぼすことがない。
基体22とに同一の音波を与えたときに各振動子14、
23からの電気信号の大きさを測定したところ、従来の
振動子14からの出力は1.71Vであったのに対し、
この発明の振動子23からの出力は0.60Vであっ
た。つまり、基体22を中空状とすることで、受波面2
2aを透過した透過波が空間部22cで減衰された分だ
け振動子23から出力される電気信号は低下するが、上
記振動子23からの電気信号は、通常、アンプによって
増幅して使用されるから、音圧の測定になんら影響を及
ぼすことがない。
【0018】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、超音波洗
浄機の音圧を測定する超音波音圧計において、超音波の
受波面と検出面とを有し、これら受波面と検出面とがこ
の受波面を透過した透過波を減衰させる空間部を挟んで
配置されるとともに上記受波面が受けた振動を上記検出
面に伝達するよう一体的に結合された基体と、この基体
の上記検出面に取着され上記音圧を電気信号に変換する
振動子とからなることを特徴とする。
浄機の音圧を測定する超音波音圧計において、超音波の
受波面と検出面とを有し、これら受波面と検出面とがこ
の受波面を透過した透過波を減衰させる空間部を挟んで
配置されるとともに上記受波面が受けた振動を上記検出
面に伝達するよう一体的に結合された基体と、この基体
の上記検出面に取着され上記音圧を電気信号に変換する
振動子とからなることを特徴とする。
【0019】したがって、受波面を透過した透過波は上
記空間部で止まり、検出面に振動子を接着固定した接着
剤が音波に直接、さらされることがないから、上記接着
剤が発熱したり、剥離するなどのことが防止される。つ
まり、この発明の超音波音圧計によれば、音波のモニタ
を長時間にわたって確実に行うことができる。
記空間部で止まり、検出面に振動子を接着固定した接着
剤が音波に直接、さらされることがないから、上記接着
剤が発熱したり、剥離するなどのことが防止される。つ
まり、この発明の超音波音圧計によれば、音波のモニタ
を長時間にわたって確実に行うことができる。
【図1】この発明の一実施例を示す超音波音圧計の拡大
断面図。
断面図。
【図2】従来の超音波音圧計の拡大断面図。
【図3】同じく超音波洗浄機の構成図。
22…基体、22a…受波面、22b…検出面、22c
…空間部、23…振動子。
…空間部、23…振動子。
Claims (3)
- 【請求項1】 超音波洗浄機の音圧を測定する超音波音
圧計において、超音波の受波面と検出面とを有し、これ
ら受波面と検出面とがこの受波面を透過した透過波を減
衰させる空間部を挟んで配置されるとともに上記受波面
が受けた振動を上記検出面に伝達するよう一体的に結合
された基体と、この基体の上記検出面に取着され上記音
圧を電気信号に変換する振動子とからなることを特徴と
する超音波音圧計。 - 【請求項2】 上記基体はサファイヤ(Al2 O3 )に
よって形成されていることを特徴とする請求項1記載の
超音波音圧計。 - 【請求項3】 上記基体は石英によって形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の超音波音圧計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28433292A JP2801820B2 (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 超音波音圧計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28433292A JP2801820B2 (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 超音波音圧計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06137931A JPH06137931A (ja) | 1994-05-20 |
JP2801820B2 true JP2801820B2 (ja) | 1998-09-21 |
Family
ID=17677198
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28433292A Expired - Fee Related JP2801820B2 (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 超音波音圧計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2801820B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5467854B2 (ja) | 2009-12-15 | 2014-04-09 | 日本発條株式会社 | 超音波の強度測定方法及び強度測定装置 |
-
1992
- 1992-10-22 JP JP28433292A patent/JP2801820B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06137931A (ja) | 1994-05-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080710 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090710 Year of fee payment: 11 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |