JP3277070B2 - 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 - Google Patents
超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は被洗浄物を超音波振動
が付与された洗浄液によって洗浄する超音波洗浄装置及
び超音波洗浄方法に関する。
が付与された洗浄液によって洗浄する超音波洗浄装置及
び超音波洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置や液晶表示装置などの製造工
程においては、種々の微細加工の前後で、半導体ウエハ
や液晶基板などに付着したサブミクロンオ−ダのパ−テ
イクルを洗浄除去する、超音波洗浄が行われる。この洗
浄工程は、半導体装置や液晶表示装置の歩留まりを向上
する上で、極めて重要である。
程においては、種々の微細加工の前後で、半導体ウエハ
や液晶基板などに付着したサブミクロンオ−ダのパ−テ
イクルを洗浄除去する、超音波洗浄が行われる。この洗
浄工程は、半導体装置や液晶表示装置の歩留まりを向上
する上で、極めて重要である。
【０００３】このような超音波洗浄装置としてはスリッ
トタイプの洗浄ユニットを用いるものが知られている。
上記洗浄ユニットはスリットが形成された中空状の本体
を有する。この本体には洗浄液の供給管が接続されてい
て、この供給管から本体内へ供給された洗浄液が上記ス
リットから流出するようになっている。
トタイプの洗浄ユニットを用いるものが知られている。
上記洗浄ユニットはスリットが形成された中空状の本体
を有する。この本体には洗浄液の供給管が接続されてい
て、この供給管から本体内へ供給された洗浄液が上記ス
リットから流出するようになっている。
【０００４】上記本体の内部には上記洗浄液の流路に面
して薄い金属板や石英板などからなる振動板が設けられ
ている。この振動板には振動子が接着固定されている。
したがって、この振動子に電圧を印加して振動板を超音
波振動させれば、本体内に流入した洗浄液に超音波振動
が付与されるから、スリットから流出する洗浄液によっ
て被洗浄物を良好に洗浄することができる。
して薄い金属板や石英板などからなる振動板が設けられ
ている。この振動板には振動子が接着固定されている。
したがって、この振動子に電圧を印加して振動板を超音
波振動させれば、本体内に流入した洗浄液に超音波振動
が付与されるから、スリットから流出する洗浄液によっ
て被洗浄物を良好に洗浄することができる。
【０００５】このような構成の超音波振動装置を長時間
にわたって使用すると、振動板と振動子との接着状態が
劣化し、これら両者を確実に接着している接着面積が減
少するなど、種々の経時劣化によって上記振動子の共振
周波数と、この振動子に印加される電圧の周波数とにず
れが生じる。
にわたって使用すると、振動板と振動子との接着状態が
劣化し、これら両者を確実に接着している接着面積が減
少するなど、種々の経時劣化によって上記振動子の共振
周波数と、この振動子に印加される電圧の周波数とにず
れが生じる。
【０００６】つまり、従来の超音波洗浄装置において
は、上記振動子に印加される電圧の周波数は一定であっ
た。そのため、上述した理由などで振動子の共振周波数
がずれると、この振動子から発生する音圧が低下するか
ら、洗浄液に付与される超音波振動が弱まり、洗浄作用
も低下するということがあった。
は、上記振動子に印加される電圧の周波数は一定であっ
た。そのため、上述した理由などで振動子の共振周波数
がずれると、この振動子から発生する音圧が低下するか
ら、洗浄液に付与される超音波振動が弱まり、洗浄作用
も低下するということがあった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来は振
動子から発生する超音波振動の共振周波数が経時的に変
化した場合、上記振動子から発生する音圧が低下するか
ら、洗浄作用も低下するということがあった。
動子から発生する超音波振動の共振周波数が経時的に変
化した場合、上記振動子から発生する音圧が低下するか
ら、洗浄作用も低下するということがあった。
【０００８】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、振動子に印加する電圧の
周波数を自動的に補正できるようにして、共振周波数の
経時的な変化によって洗浄能力が低下するのを防止でき
るようにした超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法を提供
することにある。
で、その目的とするところは、振動子に印加する電圧の
周波数を自動的に補正できるようにして、共振周波数の
経時的な変化によって洗浄能力が低下するのを防止でき
るようにした超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法を提供
することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、超音波振動が付与された洗浄液によって
被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置において、上記洗浄
液に超音波振動を付与するための振動子を有する洗浄ユ
ニットと、上記振動子に所定の周波数の電圧を印加して
超音波振動を発生させる電源部と、上記洗浄液に付与さ
れた音圧を検出する検出手段と、この検出手段からの検
出信号によって上記電源部が上記振動子に印加する電圧
の周波数を制御する制御手段とを具備し、上記制御手段
は、上記検出手段からの検出信号と予め設定された設定
値とを比較する比較部と、この比較部での比較に基づい
て上記電源部を駆動する駆動信号を出力する駆動部とか
らなることを特徴とする。また、この発明は、振動子を
有する洗浄ユニットにより洗浄液に超音波振動を付与す
る付与工程と、前記洗浄液に付与された超音波振動を検
出する検出工程と、検出された超音波振動に基づき前記
振動子の振動を制御する制御工程とを備え、前記制御工
程は、検出された超音波振動と予め設定した基準値とを
比較する比較工程と、比較結果に基づき前記振動子を駆
動する電源を制御する電源制御工程とを有することを特
徴とする。
にこの発明は、超音波振動が付与された洗浄液によって
被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置において、上記洗浄
液に超音波振動を付与するための振動子を有する洗浄ユ
ニットと、上記振動子に所定の周波数の電圧を印加して
超音波振動を発生させる電源部と、上記洗浄液に付与さ
れた音圧を検出する検出手段と、この検出手段からの検
出信号によって上記電源部が上記振動子に印加する電圧
の周波数を制御する制御手段とを具備し、上記制御手段
は、上記検出手段からの検出信号と予め設定された設定
値とを比較する比較部と、この比較部での比較に基づい
て上記電源部を駆動する駆動信号を出力する駆動部とか
らなることを特徴とする。また、この発明は、振動子を
有する洗浄ユニットにより洗浄液に超音波振動を付与す
る付与工程と、前記洗浄液に付与された超音波振動を検
出する検出工程と、検出された超音波振動に基づき前記
振動子の振動を制御する制御工程とを備え、前記制御工
程は、検出された超音波振動と予め設定した基準値とを
比較する比較工程と、比較結果に基づき前記振動子を駆
動する電源を制御する電源制御工程とを有することを特
徴とする。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、経時的に振動子の音圧が変
化、つまり振動子の共振周波数が変化すると、そのこと
が検出手段によって検出され、その検出信号に基づいて
振動子を駆動する電圧の周波数が制御されるから、上記
振動子は共振周波数での発振状態を維持することができ
る。
化、つまり振動子の共振周波数が変化すると、そのこと
が検出手段によって検出され、その検出信号に基づいて
振動子を駆動する電圧の周波数が制御されるから、上記
振動子は共振周波数での発振状態を維持することができ
る。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。図１はこの発明の超音波洗浄装置を示し、こ
の洗浄装置は洗浄ユニット１を備えている。この洗浄ユ
ニット１は図２に示すように中空状の本体２を有する。
この本体２は下端側が先端に行くにつれて幅寸法が小さ
くなる錐状に形成され、その下端にはスリット３が長さ
方向全長にわたって穿設されている。
説明する。図１はこの発明の超音波洗浄装置を示し、こ
の洗浄装置は洗浄ユニット１を備えている。この洗浄ユ
ニット１は図２に示すように中空状の本体２を有する。
この本体２は下端側が先端に行くにつれて幅寸法が小さ
くなる錐状に形成され、その下端にはスリット３が長さ
方向全長にわたって穿設されている。
【００１２】上記本体２の内部には段部４が形成され、
この段部４には薄い金属板や石英板からなる振動板５が
幅方向両端部を係合させて設けられている。この振動板
５によって、本体２の内部は上部空間６ａと下部空間６
ｂとに隔別されている。上記振動板５の上面には圧電素
子などの超音波振動を発生する振動子７が接着剤８によ
って接着固定されている。
この段部４には薄い金属板や石英板からなる振動板５が
幅方向両端部を係合させて設けられている。この振動板
５によって、本体２の内部は上部空間６ａと下部空間６
ｂとに隔別されている。上記振動板５の上面には圧電素
子などの超音波振動を発生する振動子７が接着剤８によ
って接着固定されている。
【００１３】上記本体２には、洗浄液Ｌの供給管９が下
部空間６ａに連通して接続されている。この供給管９か
ら供給された洗浄液Ｌは本体２の下部空間６ｂに流入
し、上記振動子７とともに超音波振動する振動板５によ
って超音波振動が付与されて、下端のスリット３から流
出するようになっている。したがって、上記スリット３
の下方に被洗浄物１１を設置しておけば、この被洗浄物
１１を洗浄液Ｌによって超音波洗浄できる。
部空間６ａに連通して接続されている。この供給管９か
ら供給された洗浄液Ｌは本体２の下部空間６ｂに流入
し、上記振動子７とともに超音波振動する振動板５によ
って超音波振動が付与されて、下端のスリット３から流
出するようになっている。したがって、上記スリット３
の下方に被洗浄物１１を設置しておけば、この被洗浄物
１１を洗浄液Ｌによって超音波洗浄できる。
【００１４】上記スリット３の下方には、このスリット
３から流出する洗浄液Ｌに付与された超音波振動の音圧
を検出するセンサ１２が設けられている。このセンサ１
２が検出した検出信号は音圧計１３に入力される。この
音圧計１３は上記センサ１２からの検出信号を増幅成形
し、制御装置１４へ出力する。
３から流出する洗浄液Ｌに付与された超音波振動の音圧
を検出するセンサ１２が設けられている。このセンサ１
２が検出した検出信号は音圧計１３に入力される。この
音圧計１３は上記センサ１２からの検出信号を増幅成形
し、制御装置１４へ出力する。
【００１５】上記制御装置１４は図３に示すように比較
部１５と駆動部１６とからなる。上記センサ１２からの
検出信号Ｋは音圧計１３を経て上記比較部１５に入力さ
れる。この比較部１５には予め設定値Ｓが設定されてい
て、この設定値Ｓと上記検出信号Ｋとを比較する。
部１５と駆動部１６とからなる。上記センサ１２からの
検出信号Ｋは音圧計１３を経て上記比較部１５に入力さ
れる。この比較部１５には予め設定値Ｓが設定されてい
て、この設定値Ｓと上記検出信号Ｋとを比較する。
【００１６】上記設定値Ｓと上記検出信号Ｋとに差があ
ると、その差に基づく制御信号Ｃが駆動部１６へ出力さ
れる。この駆動部１６からは上記制御信号Ｃに基づく駆
動信号Ｄが電源部１７に出力される。この電源部１７は
上記振動子７を共振周波数で駆動するための周波数、た
とえば５ＭＨｚの周波数の電圧を出力するようになって
いて、その周波数は上記比較部１５からの制御信号Ｃに
よって制御されるようになっている。
ると、その差に基づく制御信号Ｃが駆動部１６へ出力さ
れる。この駆動部１６からは上記制御信号Ｃに基づく駆
動信号Ｄが電源部１７に出力される。この電源部１７は
上記振動子７を共振周波数で駆動するための周波数、た
とえば５ＭＨｚの周波数の電圧を出力するようになって
いて、その周波数は上記比較部１５からの制御信号Ｃに
よって制御されるようになっている。
【００１７】このような構成の超音波振動装置によっ
て、被洗浄物１１を洗浄する場合、供給管９から洗浄ユ
ニット１の本体２へ洗浄液Ｌを供給するとともに、電源
部１７を作動させて振動子７へ予め定められた共振周波
数の電圧を印加する。それによって、振動板５が超音波
振動し、その振動が本体２内へ流入してスリット３から
流出する洗浄液Ｌに付与される。したがって、上記スリ
ット３に対向して配置された被洗浄物１１は超音波振動
が付与された洗浄液Ｌによって洗浄されることになる。
て、被洗浄物１１を洗浄する場合、供給管９から洗浄ユ
ニット１の本体２へ洗浄液Ｌを供給するとともに、電源
部１７を作動させて振動子７へ予め定められた共振周波
数の電圧を印加する。それによって、振動板５が超音波
振動し、その振動が本体２内へ流入してスリット３から
流出する洗浄液Ｌに付与される。したがって、上記スリ
ット３に対向して配置された被洗浄物１１は超音波振動
が付与された洗浄液Ｌによって洗浄されることになる。
【００１８】上記スリット３から流出する洗浄液Ｌの音
圧はセンサ１２によって検出されている。このセンサ１
２により検出される音圧は、振動子７が共振周波数で駆
動されているときが最も高いが、振動子７の振動板５に
対する接着状態の経時変化などによって変化する。つま
り、振動子７の接着状態などが経時変化することで、上
記振動子７の共振周波数が高くなる。
圧はセンサ１２によって検出されている。このセンサ１
２により検出される音圧は、振動子７が共振周波数で駆
動されているときが最も高いが、振動子７の振動板５に
対する接着状態の経時変化などによって変化する。つま
り、振動子７の接着状態などが経時変化することで、上
記振動子７の共振周波数が高くなる。
【００１９】上記センサ１２が検出する音圧、つまり検
出信号Ｋは、音圧計１３から制御装置１４の比較部１５
に入力され、そこで設定値Ｓと比較される。上記振動子
７の共振周波数が経時変化などによって初期値からずれ
ると、上記検出信号Ｋと設定値Ｓとに差が生じ、その差
に応じた制御信号Ｃが駆動部１６へ出力される。
出信号Ｋは、音圧計１３から制御装置１４の比較部１５
に入力され、そこで設定値Ｓと比較される。上記振動子
７の共振周波数が経時変化などによって初期値からずれ
ると、上記検出信号Ｋと設定値Ｓとに差が生じ、その差
に応じた制御信号Ｃが駆動部１６へ出力される。
【００２０】上記駆動部１６からは、制御信号Ｃに基づ
く駆動信号Ｄが電源部１７へ出力される。それによっ
て、電源部１７から振動子７へ出力される電圧の周波数
が制御される。
く駆動信号Ｄが電源部１７へ出力される。それによっ
て、電源部１７から振動子７へ出力される電圧の周波数
が制御される。
【００２１】つまり、経時変化などによって上記振動子
７の共振周波数がずれると、その変化に応じて電源部１
７から出力される電圧の周波数が制御されるから、上記
振動子７は常に共振周波数の電圧で駆動されることにな
る。したがって、洗浄液Ｌに付与される超音波振動の強
さ、つまり音圧はほぼ一定に維持されるから、洗浄液Ｌ
による洗浄能力が低下するのが防止される。
７の共振周波数がずれると、その変化に応じて電源部１
７から出力される電圧の周波数が制御されるから、上記
振動子７は常に共振周波数の電圧で駆動されることにな
る。したがって、洗浄液Ｌに付与される超音波振動の強
さ、つまり音圧はほぼ一定に維持されるから、洗浄液Ｌ
による洗浄能力が低下するのが防止される。
【００２２】この発明は上記一実施例に限定されず、要
旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。たとえば、
上記一実施例では洗浄液に付与された音圧を検出するセ
ンサを、洗浄ユニットの外部に配置したが、そのセンサ
を洗浄ユニットの本体内に設けて音圧を検出するように
してもよい。
旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。たとえば、
上記一実施例では洗浄液に付与された音圧を検出するセ
ンサを、洗浄ユニットの外部に配置したが、そのセンサ
を洗浄ユニットの本体内に設けて音圧を検出するように
してもよい。
【００２３】さらに上記一実施例では洗浄液が洗浄ユニ
ットのスリットから流出するタイプの洗浄装置について
説明したが、洗浄槽内に振動子が接着された振動板を設
置した、いわゆるバッチタイプの洗浄装置においても、
この発明を適用することができる。
ットのスリットから流出するタイプの洗浄装置について
説明したが、洗浄槽内に振動子が接着された振動板を設
置した、いわゆるバッチタイプの洗浄装置においても、
この発明を適用することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、洗浄液に
付与された音圧を検出し、この検出信号に基づいて超音
波振動を発生する振動子に付与される電圧の周波数を制
御するようにした。
付与された音圧を検出し、この検出信号に基づいて超音
波振動を発生する振動子に付与される電圧の周波数を制
御するようにした。
【００２５】そのため、上記振動子の共振周波数が経時
変化など種々の原因でずれると、そのずれに応じて振動
子に印加される電圧の周波数が共振周波数になるよう制
御されるから、上記振動子の音圧低下による洗浄作用の
低下を防止できる。
変化など種々の原因でずれると、そのずれに応じて振動
子に印加される電圧の周波数が共振周波数になるよう制
御されるから、上記振動子の音圧低下による洗浄作用の
低下を防止できる。
【図１】この発明の一実施例を示す超音波洗浄装置の構
成図。
成図。
【図２】同じく洗浄ユニットの断面図。
【図３】同じく制御装置の構成図。
１…洗浄ユニット、７…振動子、１２…センサ、１４…
制御装置、１５…比較部、１７…電源部。
制御装置、１５…比較部、１７…電源部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B08B 3/12 B06B 1/02 G03F 1/08
Claims (2)
- 【請求項１】 超音波振動が付与された洗浄液によって
被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置において、 上記洗浄液に超音波振動を付与するための振動子を有す
る洗浄ユニットと、上記振動子に所定の周波数の電圧を
印加して超音波振動を発生させる電源部と、上記洗浄液
に付与された音圧を検出する検出手段と、この検出手段
からの検出信号によって上記電源部が上記振動子に印加
する電圧の周波数を制御する制御手段とを具備し、上記
制御手段は、上記検出手段からの検出信号と予め設定さ
れた設定値とを比較する比較部と、この比較部での比較
に基づいて上記電源部を駆動する駆動信号を出力する駆
動部とからなることを特徴とする超音波洗浄装置。 - 【請求項２】 振動子を有する洗浄ユニットにより洗浄
液に超音波振動を付与する付与工程と、 前記洗浄液に付与された超音波振動を検出する検出工程
と、 検出された超音波振動に基づき前記振動子の振動を制御
する制御工程とを備え、 前記制御工程は、 検出された超音波振動と予め設定した基準値とを比較す
る比較工程と、 比較結果に基づき前記振動子を駆動する電源を制御する
電源制御工程とを有することを 特徴とする超音波洗浄方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7369994A JP3277070B2 (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7369994A JP3277070B2 (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07275817A JPH07275817A (ja) | 1995-10-24 |
| JP3277070B2 true JP3277070B2 (ja) | 2002-04-22 |
Family
ID=13525729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7369994A Expired - Fee Related JP3277070B2 (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3277070B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107008694A (zh) * | 2017-04-20 | 2017-08-04 | 深圳市吉松电子有限公司 | 一种超声波高频率振动渗透清洁设备 |
| JP7330053B2 (ja) * | 2019-10-09 | 2023-08-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄装置、基板処理装置および異常判断方法 |
-
1994
- 1994-04-13 JP JP7369994A patent/JP3277070B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07275817A (ja) | 1995-10-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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