JP2789110B2 - 高誘電率系磁器組成物 - Google Patents
高誘電率系磁器組成物Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はチタン酸バリウム(BaTiO3)を主体とし、ジ
ルコン酸カルシウム(CaZrO3)及び酸化イットリウム
(Y2O3)に、酸化第2鉄(Fe2O3Z)、酸化亜鉛(ZnO)
及び酸化マンガン(MnO2)又は炭酸マンガン(MnCO3)
を添加して得られる高誘電率系磁器組成物に関するもの
である。
ルコン酸カルシウム(CaZrO3)及び酸化イットリウム
(Y2O3)に、酸化第2鉄(Fe2O3Z)、酸化亜鉛(ZnO)
及び酸化マンガン(MnO2)又は炭酸マンガン(MnCO3)
を添加して得られる高誘電率系磁器組成物に関するもの
である。
近年、電子部品、例えば抵抗、コンデンサ、コイルな
どはチップ型化されたものが定着し、プリント配線基板
に半田リフロー、半田デップ接合されている。またこの
ようなプリント配線基板を使用した電子機器の使用温度
範囲が例えば−20℃から+80℃までの大変広範囲となっ
ている。
どはチップ型化されたものが定着し、プリント配線基板
に半田リフロー、半田デップ接合されている。またこの
ようなプリント配線基板を使用した電子機器の使用温度
範囲が例えば−20℃から+80℃までの大変広範囲となっ
ている。
このような状況でコンデンサのチップ化にとっては広
い温度範囲で特性が安定した高誘電率系磁器組成物の達
成が極めて重要となっている。
い温度範囲で特性が安定した高誘電率系磁器組成物の達
成が極めて重要となっている。
従来、チタン酸バリウム(BaTiO3)を主体とした高誘
電率系磁器組成物として、チタン酸バリウムに所定量の
チタン酸カルシウム(CaTiO3)、五酸化タンタル(Ta2O
5)酸化ジスプロシウム(Dy2O3)などを添加した高誘電
率系磁器組成物が知られていた(特開昭58−142705号公
報)。
電率系磁器組成物として、チタン酸バリウムに所定量の
チタン酸カルシウム(CaTiO3)、五酸化タンタル(Ta2O
5)酸化ジスプロシウム(Dy2O3)などを添加した高誘電
率系磁器組成物が知られていた(特開昭58−142705号公
報)。
この系の高誘電率系磁器組成物によれば、−30℃〜+
85℃の広い温度範囲で+22〜−33%と平坦な温度特性
(EIA規格にもとづくY5T)が得られた。
85℃の広い温度範囲で+22〜−33%と平坦な温度特性
(EIA規格にもとづくY5T)が得られた。
また、チタン酸バリウム(BaTiO3)に所定量の酸化セ
リウム(CeO2)、スズ酸カルシウム(CaSnO3)などを添
加した高誘電率系磁器組成物が知られていた(特開昭58
−223670号公報)。
リウム(CeO2)、スズ酸カルシウム(CaSnO3)などを添
加した高誘電率系磁器組成物が知られていた(特開昭58
−223670号公報)。
この系の高誘電率系磁器組成物によれば、常温付近で
比誘電率を4500以上にすることができた。
比誘電率を4500以上にすることができた。
しかし、上述のチタン酸バリウム(BaTiO3)に所定量
のチタン酸カルシウム(CaTiO3)、五酸化タンタル(Ta
2O5)酸化ジスプロシウム(Dy2O3)などを添加した高誘
電率系磁器組成物(特開昭58−142705号に相当)は、EI
A規格にもとづくY5Tを満足するものの、比誘電率はせい
ぜい4000程であった。これにより、例えばチップコンデ
ンサに上述の高誘電率系磁器組成物を使用した場合、高
い誘電率がえられずチップの一層の小型化に限界があっ
た。
のチタン酸カルシウム(CaTiO3)、五酸化タンタル(Ta
2O5)酸化ジスプロシウム(Dy2O3)などを添加した高誘
電率系磁器組成物(特開昭58−142705号に相当)は、EI
A規格にもとづくY5Tを満足するものの、比誘電率はせい
ぜい4000程であった。これにより、例えばチップコンデ
ンサに上述の高誘電率系磁器組成物を使用した場合、高
い誘電率がえられずチップの一層の小型化に限界があっ
た。
また、上述のチタン酸バリウム(BaTiO3)に所定量の
酸化セリウム(CeO2)、スズ酸カルシウム(CaSnO3)な
どを添加した高誘電率系磁器組成物(特開昭58−223670
号号に相当)は、比誘電率が4500以上となるが、EIA規
格にもとづくY5U(−30℃〜+85℃の温度範囲で+22〜
−56%)となり、特性の変動が大変激しい高誘電率系磁
器組成物となってしまう。
酸化セリウム(CeO2)、スズ酸カルシウム(CaSnO3)な
どを添加した高誘電率系磁器組成物(特開昭58−223670
号号に相当)は、比誘電率が4500以上となるが、EIA規
格にもとづくY5U(−30℃〜+85℃の温度範囲で+22〜
−56%)となり、特性の変動が大変激しい高誘電率系磁
器組成物となってしまう。
これにより、例えばチップコンデンサに上述の高誘電
率系磁器組成物を使用した場合、このチップコンデンサ
を使用した電子機器の使用温度範囲に制限を与えたり、
温度変化による特性の変動を惹起する。
率系磁器組成物を使用した場合、このチップコンデンサ
を使用した電子機器の使用温度範囲に制限を与えたり、
温度変化による特性の変動を惹起する。
本発明は上述の問題点に鑑みて案出されたものであ
り、具体的には、高誘電率が得られ、且つ高温度範囲に
おいて特性が平坦で安定した高誘電率系磁器組成物を提
供することにある。
り、具体的には、高誘電率が得られ、且つ高温度範囲に
おいて特性が平坦で安定した高誘電率系磁器組成物を提
供することにある。
上述の課題を解決するために本発明は、チタン酸バリ
ウム(BaTiO3)、ジルコン酸カルシウム(CaZrO3)及び
酸化イットリウム(Y2O3)に、酸化第2鉄(Fe2O3)、
酸化亜鉛(ZnO)及び酸化マンガン(MnO2)又は炭酸マ
ンガン(MnCO3)を含有する高誘電率系磁器組成物が提
供される。さらに具体的には、チタン酸バリウム(BaTi
O3)及び、ジルコン酸カルシウム(CaZrO3)から成る複
合酸化物(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3、100重量部に対
して、 Y2O3を0.3〜0.9OUT%、 Fe2O3を0.05〜0.2OUT%、 ZnOを0.9〜1.8OUT%、 MnO2又MnCO3を0.05〜0.3OUT% を含有して成る高誘電率系磁器組成物とする。
ウム(BaTiO3)、ジルコン酸カルシウム(CaZrO3)及び
酸化イットリウム(Y2O3)に、酸化第2鉄(Fe2O3)、
酸化亜鉛(ZnO)及び酸化マンガン(MnO2)又は炭酸マ
ンガン(MnCO3)を含有する高誘電率系磁器組成物が提
供される。さらに具体的には、チタン酸バリウム(BaTi
O3)及び、ジルコン酸カルシウム(CaZrO3)から成る複
合酸化物(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3、100重量部に対
して、 Y2O3を0.3〜0.9OUT%、 Fe2O3を0.05〜0.2OUT%、 ZnOを0.9〜1.8OUT%、 MnO2又MnCO3を0.05〜0.3OUT% を含有して成る高誘電率系磁器組成物とする。
以上のように本発明によれば、高純度(99.0%以上)
のチタン酸バリウム(BaTiO3)にジルコン酸カルシウム
(CaZrO3)を添加することにより、誘電率のピーク値を
示すキューリ点を下げるためのシフターとして作用し、
所定量添加する酸化イットリウム(Y2O3)及び、酸化第
2鉄(Fe2O3)によって温度特性を変動を抑え平坦化
し、さらに酸化亜鉛(ZnO)により高誘電率系磁器組成
物の焼成温度を低下し、酸化マンガン(MnO2)又は炭酸
マンガン(MnCO3)によってコンデンサの損失係数を改
善するものである。
のチタン酸バリウム(BaTiO3)にジルコン酸カルシウム
(CaZrO3)を添加することにより、誘電率のピーク値を
示すキューリ点を下げるためのシフターとして作用し、
所定量添加する酸化イットリウム(Y2O3)及び、酸化第
2鉄(Fe2O3)によって温度特性を変動を抑え平坦化
し、さらに酸化亜鉛(ZnO)により高誘電率系磁器組成
物の焼成温度を低下し、酸化マンガン(MnO2)又は炭酸
マンガン(MnCO3)によってコンデンサの損失係数を改
善するものである。
これらの相互作用により、EIA規格にもとづくY5T(−
30℃〜+85℃の温度範囲で+22〜−33%以内)に準拠し
た温度特性で比較的平坦であり、さらに高比誘電率の高
誘電率系磁器組成物を得るとともに、さらに高誘電率系
磁器組成物として基本的な特性である誘電損失が1.0%
以下、絶縁抵抗(IR)が1×105MΩ以下と充分に満足で
き、さらに焼成温度が1200〜1250℃と工業的にも製造し
やすいコンデンサの高誘電率系磁器組成物ができる。
30℃〜+85℃の温度範囲で+22〜−33%以内)に準拠し
た温度特性で比較的平坦であり、さらに高比誘電率の高
誘電率系磁器組成物を得るとともに、さらに高誘電率系
磁器組成物として基本的な特性である誘電損失が1.0%
以下、絶縁抵抗(IR)が1×105MΩ以下と充分に満足で
き、さらに焼成温度が1200〜1250℃と工業的にも製造し
やすいコンデンサの高誘電率系磁器組成物ができる。
以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
出発材料として純度99.5%以上の炭酸バリウム、酸化
チタンを出発材料として得られたチタン酸バリウム(Ba
TiO3)に、炭酸カルシウム、酸化ジルコンを出発材料と
して得られたジルコン酸カルシウム(CaZrO3)及び酸化
イットリウム(Y2O3)、酸化第2鉄(Fe2O3)、酸化亜
鉛(ZnO)及び酸化マンガン(MnO2)の各粉末を第1表
に示す比率となるように秤量し、ボールミルにて20時間
湿式粉砕した後、有機系粘結剤を添加し、しかる後撹
拌、ドクターブレード法で厚さ30μmのテープ状に成型
した。このテープを130mm×100mmに裁断し、40枚重ね、
80℃でホットプレスで積層体を作成する。
チタンを出発材料として得られたチタン酸バリウム(Ba
TiO3)に、炭酸カルシウム、酸化ジルコンを出発材料と
して得られたジルコン酸カルシウム(CaZrO3)及び酸化
イットリウム(Y2O3)、酸化第2鉄(Fe2O3)、酸化亜
鉛(ZnO)及び酸化マンガン(MnO2)の各粉末を第1表
に示す比率となるように秤量し、ボールミルにて20時間
湿式粉砕した後、有機系粘結剤を添加し、しかる後撹
拌、ドクターブレード法で厚さ30μmのテープ状に成型
した。このテープを130mm×100mmに裁断し、40枚重ね、
80℃でホットプレスで積層体を作成する。
さらにこの積層体の厚さ1mmの板状試料を直径20mmの
円板状に打ち抜き、酸素雰囲気にて1200〜1250℃で2時
間焼成した。さらに両端面に銀ペーストによる電極を焼
きつけ試料とした。
円板状に打ち抜き、酸素雰囲気にて1200〜1250℃で2時
間焼成した。さらに両端面に銀ペーストによる電極を焼
きつけ試料とした。
このように形成された試料について、比誘電率及び誘
電損失を基準温度25℃、周波数1.0kHz、測定電圧1.0Vrm
sで測定した。
電損失を基準温度25℃、周波数1.0kHz、測定電圧1.0Vrm
sで測定した。
また、直流電圧50Vを1分間印加した時の絶縁抵抗(I
R)を測定し、さらに基準温度25℃の誘電率に対する−3
0℃から+85℃までの温度における誘電率の温度変化率
を測定した。
R)を測定し、さらに基準温度25℃の誘電率に対する−3
0℃から+85℃までの温度における誘電率の温度変化率
を測定した。
その結果を表1に示す。尚、便宜状チタン酸バリウム
(BaTiO3)及びジルコン酸カルシウム(CaZrO3)から成
る複合酸化物(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3 100重量部に
対して、添加するY2O3のout重量%をaで、添加するFe2
O3のout重量%をbで、添加するZnOのout重量%をc
で、添加するMnCO3のout重量%をdで夫々示す。また試
料番号に*印を付したものは本発明の範囲外である。
(BaTiO3)及びジルコン酸カルシウム(CaZrO3)から成
る複合酸化物(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3 100重量部に
対して、添加するY2O3のout重量%をaで、添加するFe2
O3のout重量%をbで、添加するZnOのout重量%をc
で、添加するMnCO3のout重量%をdで夫々示す。また試
料番号に*印を付したものは本発明の範囲外である。
そして本発明の範囲の評価として、比誘電率εは4500
以上を良品とした。即ち、比誘電率εが4500未満では、
充分な比誘電率が得れずこれにより、積層型チップコン
デンサが大型してしまう。
以上を良品とした。即ち、比誘電率εが4500未満では、
充分な比誘電率が得れずこれにより、積層型チップコン
デンサが大型してしまう。
また、誘電損失tanδは1.0%以下を良品とした。即
ち、誘電損失tanδが1.0%を越えると、チップコンデン
サにおいて、誘電損失tanδ不良となり、チップ化が困
難となる。
ち、誘電損失tanδが1.0%を越えると、チップコンデン
サにおいて、誘電損失tanδ不良となり、チップ化が困
難となる。
さらに密度は5.6g/cm3以上を良品とした。密度が5.6g
/cm3以下ではこの高誘電率系磁器組成物を焼成した時に
充分に焼成されず、1200℃〜1250℃という低温焼成が困
難となることが考えられる。
/cm3以下ではこの高誘電率系磁器組成物を焼成した時に
充分に焼成されず、1200℃〜1250℃という低温焼成が困
難となることが考えられる。
さらに、絶縁抵抗(IR)は105MΩ以上を良品とした。
最後に温度特性であるが本発明の高誘電率系磁器組成
物はEIA規格にもとづくY5Tに対応するものであり、−30
℃、+85℃の2点の温度で+22〜−33%と平坦な特性を
有するものが良品とした。尚、温度特性には、静電容量
の最大値の容量変化を同時に掲載した。この静電容量の
最大値の容量変化が小さければ平坦な特性であることが
判る。
物はEIA規格にもとづくY5Tに対応するものであり、−30
℃、+85℃の2点の温度で+22〜−33%と平坦な特性を
有するものが良品とした。尚、温度特性には、静電容量
の最大値の容量変化を同時に掲載した。この静電容量の
最大値の容量変化が小さければ平坦な特性であることが
判る。
試料番号1〜5は高誘電率系磁器の母材となるチタン
酸バリウム(BaTiO3)及びジルコン酸カルシウム(CaZr
O3)から成る複合酸化物(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3の
xについて検討した。即ち、xを0.05〜0.11まで夫々値
を変化させた。このとき添加するY2O3、Fe2C3、ZnO及び
MnCO3のout重量%の値a、b、c、dを夫々0.45、0.
1、1.5、及び0.15に固定した。これは後述の夫々の添加
量で本発明の範囲の中心的な値となるものである。
酸バリウム(BaTiO3)及びジルコン酸カルシウム(CaZr
O3)から成る複合酸化物(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3の
xについて検討した。即ち、xを0.05〜0.11まで夫々値
を変化させた。このとき添加するY2O3、Fe2C3、ZnO及び
MnCO3のout重量%の値a、b、c、dを夫々0.45、0.
1、1.5、及び0.15に固定した。これは後述の夫々の添加
量で本発明の範囲の中心的な値となるものである。
試料番号1(x=0.05)では、−30℃における容量変
化率が−36%とEIA規格にもとづくY5T範囲外となってし
まい、さらに誘電損失tanδが1.0%を越えてしまう。
化率が−36%とEIA規格にもとづくY5T範囲外となってし
まい、さらに誘電損失tanδが1.0%を越えてしまう。
試料番号5(x=0.11)では、温度特性では、EIA規
格にもとづくY5T範囲内であるが、比誘電率εが4100と
なり、充分な比誘電率εが得られない。
格にもとづくY5T範囲内であるが、比誘電率εが4100と
なり、充分な比誘電率εが得られない。
試料番号1〜4(x=0.06〜0.10)では、温度特性が
Y5Y範囲を満足し、比誘電率εが4600〜5300となり、充
分な比誘電率εが得られ、さらに、誘電損失tanδ、密
度、絶縁抵抗IRを満足できる特性が得られる。
Y5Y範囲を満足し、比誘電率εが4600〜5300となり、充
分な比誘電率εが得られ、さらに、誘電損失tanδ、密
度、絶縁抵抗IRを満足できる特性が得られる。
従って、複合酸化物(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3のx
は、0.06〜0.1が望ましい範囲である。
は、0.06〜0.1が望ましい範囲である。
次に、高誘電率系磁器の母材である複合酸化物(Ba
1-xCax)(Ti1-xZrx)O3に添加するY2O3のout重量%
(a)について検討する。試料番号6〜10は添加するY2
O3のout重量%(a)を0.2〜1.0まで夫々値を変化させ
た。このときxを0.06に、また添加するFe2O3、ZnO及び
MnCO3のout重量%の値b、c、dを夫々0.1、1.5、及び
0.15に固定した。
1-xCax)(Ti1-xZrx)O3に添加するY2O3のout重量%
(a)について検討する。試料番号6〜10は添加するY2
O3のout重量%(a)を0.2〜1.0まで夫々値を変化させ
た。このときxを0.06に、また添加するFe2O3、ZnO及び
MnCO3のout重量%の値b、c、dを夫々0.1、1.5、及び
0.15に固定した。
試料番号6(a=0.2)では、−30℃における容量変
化率が−38%とEIA規格にもとづいくY5T範囲外となって
しまい温度変化の平坦化さを欠いてしまう。また誘電損
失tanδが1.0%を越えてしまう。
化率が−38%とEIA規格にもとづいくY5T範囲外となって
しまい温度変化の平坦化さを欠いてしまう。また誘電損
失tanδが1.0%を越えてしまう。
試料番号10(a=1.0)では、温度特性で、誘電損失t
anδなどは改善されるが、比誘電率εが4300となり、充
分な比誘電率εが得られず、絶縁抵抗IRも104MΩと一桁
低下してしまう。
anδなどは改善されるが、比誘電率εが4300となり、充
分な比誘電率εが得られず、絶縁抵抗IRも104MΩと一桁
低下してしまう。
試料番号7〜9(a=0.3〜0.9)では、温度特性がY5
T範囲を満足し、比誘電率εが4700〜5500と充分な比誘
電率εが得られ、さらに、誘電損失tanδ、密度、絶縁
抵抗IRを満足できる特性が得られる。
T範囲を満足し、比誘電率εが4700〜5500と充分な比誘
電率εが得られ、さらに、誘電損失tanδ、密度、絶縁
抵抗IRを満足できる特性が得られる。
従って、複合酸化物(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3に添
加するY2O3は0.3〜0.9out重量%が望ましい範囲であ
る。
加するY2O3は0.3〜0.9out重量%が望ましい範囲であ
る。
次に高誘電率系磁器の母材である複合酸化物(Ba1-xC
ax)(Ti1-xZrx)O3に添加するFe2O3のout重量%(b)
について検討する。試料番号11〜15は添加するFe2O3のo
ut重量%(b)を〜0.3まで夫々値を変化させた。この
ときxを0.07に、また添加するY2O3、ZnO及びMnCO3のou
t重量%の値a、c、dを夫々0.5、1.5、及び0.15に固
定した。
ax)(Ti1-xZrx)O3に添加するFe2O3のout重量%(b)
について検討する。試料番号11〜15は添加するFe2O3のo
ut重量%(b)を〜0.3まで夫々値を変化させた。この
ときxを0.07に、また添加するY2O3、ZnO及びMnCO3のou
t重量%の値a、c、dを夫々0.5、1.5、及び0.15に固
定した。
試料番号11(b=0)では、−30℃及び+85℃におけ
る容量変化率が−36%及び−38%とEIA規格にもとづくY
5T範囲外となってしまう。
る容量変化率が−36%及び−38%とEIA規格にもとづくY
5T範囲外となってしまう。
試料番号15(b=0.3)では、温度特性がY5Tを満足す
る値となるが、比誘電率εが3800となり、充分な比誘電
率εが得られない。
る値となるが、比誘電率εが3800となり、充分な比誘電
率εが得られない。
試料番号12〜14(b=0.05〜0.2)では、温度特性がY
5T範囲を満足し、比誘電率εが4700〜5300と充分な比誘
電率εが得られ、さらに、誘電損失tanδ、密度、絶縁
抵抗IRを満足できる特性が得られる。
5T範囲を満足し、比誘電率εが4700〜5300と充分な比誘
電率εが得られ、さらに、誘電損失tanδ、密度、絶縁
抵抗IRを満足できる特性が得られる。
従って、複合酸化物(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3に添
加するFe2O3は0.05〜0.3out重量%が望ましい範囲であ
る。
加するFe2O3は0.05〜0.3out重量%が望ましい範囲であ
る。
次に高誘電率系磁器の母材である複合酸化物(Ba1-xC
ax)(Ti1-xZrx)O3に添加するZnOのout重量%(c)に
ついて検討する。試料番号16〜21は添加するZnOのout重
量%(c)を0.8〜2.0まで夫々値を変化させた。このと
きxを0.07に、また添加するY2O3、Fe2O3及びMnCO3のou
t重量%の値a、b、dを夫々0.5、0.1及び0.15に固定
した。
ax)(Ti1-xZrx)O3に添加するZnOのout重量%(c)に
ついて検討する。試料番号16〜21は添加するZnOのout重
量%(c)を0.8〜2.0まで夫々値を変化させた。このと
きxを0.07に、また添加するY2O3、Fe2O3及びMnCO3のou
t重量%の値a、b、dを夫々0.5、0.1及び0.15に固定
した。
試料番号16(c=0.8)では、比誘電率εが3500とな
り、充分な比誘電率εが得られない。また、密度が5.45
及び絶縁抵抗IRが103MΩと低く、焼成が不充分であっ
た。
り、充分な比誘電率εが得られない。また、密度が5.45
及び絶縁抵抗IRが103MΩと低く、焼成が不充分であっ
た。
試料番号21(c=2.0)でも、試料番号16と同様に
は、比誘電率εが4100となり、充分な比誘電率εが得ら
れない。また、密度が5.6及び絶縁抵抗IRが104MΩと低
く、1200〜1250℃での焼成後試料の内部に若干の生シー
トの状態が残存していた。
は、比誘電率εが4100となり、充分な比誘電率εが得ら
れない。また、密度が5.6及び絶縁抵抗IRが104MΩと低
く、1200〜1250℃での焼成後試料の内部に若干の生シー
トの状態が残存していた。
即ち、ZnOの量は、少なすぎてもまた多すぎても焼成
状態に大きな影響を及ぼすものである。
状態に大きな影響を及ぼすものである。
試料番号17〜20(c=0.9〜1.8)では、温度特性がY5
T範囲を満足し、比誘電率εが4600〜5000と充分な比誘
電率εが得られ、さらに、密度、絶縁抵抗IRが改善さ
れ、1200〜1250℃での焼成によって完全に焼結された。
T範囲を満足し、比誘電率εが4600〜5000と充分な比誘
電率εが得られ、さらに、密度、絶縁抵抗IRが改善さ
れ、1200〜1250℃での焼成によって完全に焼結された。
従って、複合酸化物(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3に添
加するZnOは0.9〜1.8out重量%が望ましい範囲である。
加するZnOは0.9〜1.8out重量%が望ましい範囲である。
次に高誘電率系磁器の母材である複合酸化物(Ba1-xC
ax)(Ti1-xZrx)O3に添加するMnCO3のout重量%(d)
について検討する。試料番号22〜26は添加するMnCO3のo
ut重量%(d)を0〜0.4まで夫々値を変化させた。こ
のときxを0.07に、また添加するY2O3、Fe2O3及びZnOの
out重量%の値a、b、cを夫々0.5、0.1及び1.5に固定
した。
ax)(Ti1-xZrx)O3に添加するMnCO3のout重量%(d)
について検討する。試料番号22〜26は添加するMnCO3のo
ut重量%(d)を0〜0.4まで夫々値を変化させた。こ
のときxを0.07に、また添加するY2O3、Fe2O3及びZnOの
out重量%の値a、b、cを夫々0.5、0.1及び1.5に固定
した。
試料番号22(d=0)では、誘電損失tanδが1.5%と
非常におおきくなってしまう。
非常におおきくなってしまう。
試料番号26(d=0.4)では、絶縁抵抗IRが104MΩと
一桁も小さくなってしまい、絶縁信頼性に欠ける高誘電
率系磁器組成物となってしまう。
一桁も小さくなってしまい、絶縁信頼性に欠ける高誘電
率系磁器組成物となってしまう。
試料番号23〜25(d=0.05〜0.3)では、誘電損失tan
δが1.0%以下となり、絶縁抵抗IRも105MΩ以上とな
り、いずれも改善されるとともに、温度特性がY5T範囲
を満足し、比誘電率εが4900〜5100と充分な大きい高誘
電率系磁器がえられた。
δが1.0%以下となり、絶縁抵抗IRも105MΩ以上とな
り、いずれも改善されるとともに、温度特性がY5T範囲
を満足し、比誘電率εが4900〜5100と充分な大きい高誘
電率系磁器がえられた。
従って、複合酸化物(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3に添
加するMnCO3は0.05〜0.3out重量%が望ましい範囲であ
る。尚、表1には記載していないが、本発明者はMnCO3
に代えてMnO2を使用してもMnCO3に比較して添加量によ
る特性上の変化が全く遜色なく利用できることを確認し
た。
加するMnCO3は0.05〜0.3out重量%が望ましい範囲であ
る。尚、表1には記載していないが、本発明者はMnCO3
に代えてMnO2を使用してもMnCO3に比較して添加量によ
る特性上の変化が全く遜色なく利用できることを確認し
た。
以上のように、チタン酸バリウム(BaTiO3)及びジル
コン酸カルシウム(CaZrO3)から成る複合酸化物(Ba
1-xCax)(Ti1-xZrx)O3と表した時、 0.06≦x≦0.1であり、 さらに、(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3、100重量部に
対して、 Y2O3を0.3〜0.9OUT%、 Fe2O3を0.05〜0.2OUT%、 ZnOを0.9〜1.8OUT%、 MnO2又MnCO3を0.05〜0.3OUT% の範囲で添加するとよい。
コン酸カルシウム(CaZrO3)から成る複合酸化物(Ba
1-xCax)(Ti1-xZrx)O3と表した時、 0.06≦x≦0.1であり、 さらに、(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3、100重量部に
対して、 Y2O3を0.3〜0.9OUT%、 Fe2O3を0.05〜0.2OUT%、 ZnOを0.9〜1.8OUT%、 MnO2又MnCO3を0.05〜0.3OUT% の範囲で添加するとよい。
続いて、上述の範囲を確認するために、複合酸化物
(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3のx及び添加するY2O3、Fe
2O3、ZnO及びMnCO3のout重量%の値a、b、c、dが全
て範囲外となる組成について特性をまとめた。
(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3のx及び添加するY2O3、Fe
2O3、ZnO及びMnCO3のout重量%の値a、b、c、dが全
て範囲外となる組成について特性をまとめた。
試料番号27は、x、a、b、c、dの値が全て範囲に
満たない、すなわち0.05、0.2、0、0.8、0の時であ
る。この場合、比誘電率εが2790、誘電損失tanδが2.7
%、温度特性がY5T範囲外となり、さらに絶縁抵抗IR、
密度までも評価範囲外となってしまい、実質的実用不可
能に近い高誘電率系磁器となってしまう。
満たない、すなわち0.05、0.2、0、0.8、0の時であ
る。この場合、比誘電率εが2790、誘電損失tanδが2.7
%、温度特性がY5T範囲外となり、さらに絶縁抵抗IR、
密度までも評価範囲外となってしまい、実質的実用不可
能に近い高誘電率系磁器となってしまう。
試料番号28は、x、a、b、c、dの値が全て範囲を
越える、すなわち0.11、0.9、0.3、2.0、0.15の時であ
る。この場合、温度特性が試料番号27に比較して改善さ
れているが、比誘電率εが1900、誘電損失tanδが2.3
%、絶縁抵抗IR、密度までも評価範囲外となってしま
い、これもまた実質的実用不可能に近い高誘電率系磁器
となってしまう。
越える、すなわち0.11、0.9、0.3、2.0、0.15の時であ
る。この場合、温度特性が試料番号27に比較して改善さ
れているが、比誘電率εが1900、誘電損失tanδが2.3
%、絶縁抵抗IR、密度までも評価範囲外となってしま
い、これもまた実質的実用不可能に近い高誘電率系磁器
となってしまう。
最後に、チタン酸バリウム(BaTiO3)の純度について
検討する。
検討する。
試料番号29は試料番号2と添加物の量などを同一にし
て、チタン酸バリウムの純度を99.0%から98%に低下さ
せたものである。
て、チタン酸バリウムの純度を99.0%から98%に低下さ
せたものである。
その結果、比誘電率εが1900、誘電損失tanδが2.3%
となり、さらに絶縁抵抗IR、密度までも評価範囲外とな
ってしまい、実質的実用不可能に近い高誘電率系磁器と
なってしまう。このことからチタン酸バリウムの純度は
高い程よく、少なくとも99%以上の純度が必要となる。
となり、さらに絶縁抵抗IR、密度までも評価範囲外とな
ってしまい、実質的実用不可能に近い高誘電率系磁器と
なってしまう。このことからチタン酸バリウムの純度は
高い程よく、少なくとも99%以上の純度が必要となる。
以上のように、チタン酸バリウム(BaTiO3)、ジルコ
ン酸カルシウム(CaZrO3)及び酸化イットリウム(Y
2O3)に、酸化第2鉄(Fe2O3)、酸化亜鉛(ZnO)及び
酸化マンガン(MnO2)又は炭酸マンガン(MnCO3)を含
有し、より詳細にはチタン酸バリウム(BaTiO3)及びジ
ルコン酸カルシウム(CaZrO3)から成る複合酸化物(Ba
1-xCax)(Ti1-xZrx)O3と表した時、 0.06≦x≦0.1であり、 さらに、(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3、100重量部に
対して、 Y2O3を0.3〜0.9OUT%、 Fe2O3を0.05〜0.2OUT%、 ZnOを0.9〜1.8OUT%、 MnO2又MnCO3を0.05〜0.3OUT% 添加して成るため、比誘電率εが4500以上で且つ温度
特性がEIAに基づくY5Tに対応した高誘電率系磁器組成物
が達成される。
ン酸カルシウム(CaZrO3)及び酸化イットリウム(Y
2O3)に、酸化第2鉄(Fe2O3)、酸化亜鉛(ZnO)及び
酸化マンガン(MnO2)又は炭酸マンガン(MnCO3)を含
有し、より詳細にはチタン酸バリウム(BaTiO3)及びジ
ルコン酸カルシウム(CaZrO3)から成る複合酸化物(Ba
1-xCax)(Ti1-xZrx)O3と表した時、 0.06≦x≦0.1であり、 さらに、(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3、100重量部に
対して、 Y2O3を0.3〜0.9OUT%、 Fe2O3を0.05〜0.2OUT%、 ZnOを0.9〜1.8OUT%、 MnO2又MnCO3を0.05〜0.3OUT% 添加して成るため、比誘電率εが4500以上で且つ温度
特性がEIAに基づくY5Tに対応した高誘電率系磁器組成物
が達成される。
さらに、誘電損失tanδが1.0%以下で、絶縁抵抗が10
5MΩ以上であり、1200℃〜1250℃の焼成温度で完全に焼
結できる高誘電率系磁器組成物となる。
5MΩ以上であり、1200℃〜1250℃の焼成温度で完全に焼
結できる高誘電率系磁器組成物となる。
これにより、例えばチップコンデンサに上述の高誘電
率系磁器組成物を使用した場合、小型大容量のコンデン
サが達成でき、焼成温度1200℃〜1250℃から積層された
シート間に内部電極として銀−パラジウムを使用するこ
とも可能で、温度に対する容量変化が安定で且つ工業的
に安価な高誘電率系磁器組成物となる。
率系磁器組成物を使用した場合、小型大容量のコンデン
サが達成でき、焼成温度1200℃〜1250℃から積層された
シート間に内部電極として銀−パラジウムを使用するこ
とも可能で、温度に対する容量変化が安定で且つ工業的
に安価な高誘電率系磁器組成物となる。
Claims (1)
- 【請求項1】チタン酸バリウム(BaTiO3)及びジルコン
酸カルシウム(CaZrO3)から成る複合酸化物(Ba1-xC
ax)(Ti1-xZrx)O3と表した時、 0.06≦x≦0.1であり、 さらに、(Ba1-xCax)(Ti1-xZrx)O3、100重量部に対
して、 Y2O3を0.3〜0.9OUT%、 Fe2O3を0.05〜0.2OUT%、 ZnOを0.9〜1.8OUT%、 MnO2又MnCO3を0.05〜0.3OUT% を含有して成る高誘電率系磁器組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1134253A JP2789110B2 (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 | 高誘電率系磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1134253A JP2789110B2 (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 | 高誘電率系磁器組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02311362A JPH02311362A (ja) | 1990-12-26 |
JP2789110B2 true JP2789110B2 (ja) | 1998-08-20 |
Family
ID=15123979
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1134253A Expired - Fee Related JP2789110B2 (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 | 高誘電率系磁器組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2789110B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4446324B2 (ja) * | 2001-09-27 | 2010-04-07 | 株式会社村田製作所 | 誘電体磁器組成物及びそれを用いたコンデンサ |
CN103650323B (zh) | 2011-07-05 | 2017-11-03 | 佳能株式会社 | 压电元件、多层压电元件、排液头、排液装置、超声波马达、光学装置和电子装置 |
JP6080397B2 (ja) * | 2011-07-05 | 2017-02-15 | キヤノン株式会社 | 圧電材料、圧電素子、積層圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、超音波モータ、光学機器、圧電音響部品および電子機器 |
-
1989
- 1989-05-26 JP JP1134253A patent/JP2789110B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02311362A (ja) | 1990-12-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |