JP2781095B2 - 表面実装部品の製造方法 - Google Patents

表面実装部品の製造方法

Info

Publication number
JP2781095B2
JP2781095B2 JP4008319A JP831992A JP2781095B2 JP 2781095 B2 JP2781095 B2 JP 2781095B2 JP 4008319 A JP4008319 A JP 4008319A JP 831992 A JP831992 A JP 831992A JP 2781095 B2 JP2781095 B2 JP 2781095B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thick film
pattern
film pattern
patterns
snap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP4008319A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH05198460A (ja
Inventor
克彦 林
宏 多々納
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP4008319A priority Critical patent/JP2781095B2/ja
Publication of JPH05198460A publication Critical patent/JPH05198460A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2781095B2 publication Critical patent/JP2781095B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、多層基板を使用したフ
ィルタ、発振器、など、各種の表面実装部品(SMD)
に利用される表面実装部品の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図6〜図9は従来例を示した図であり、
図6は表面実装部品(SMD)の製造工程説明図、図7
は高周波フィルタの分解斜視図、図8は高周波フィルタ
の斜視図及び等価回路、図9は量産用のスクリーン例で
ある。
【0003】図中、10−1〜10−5は第1〜第5の
誘電体層、11〜14はコンデンサ電極パターン、1
5、16はコイルパターン、17はGND電極パター
ン、C1 、C2 、C3 はコンデンサ、Lはコイル、20
は元基板、21は余白部、22はGDN電極パターンの
端子部、23は分割ラインを示す。
【0004】従来、多層基板を使用した各種の表面実装
部品(以下単に「SMD」という)が開発されていた。
このようなSMDでは、側面に、外部端子としての側面
電極を設け、内部に形成した所定の導体パターンと接続
する必要がある。
【0005】以下、図6に基づいて、従来のSMDの製
造方法を説明する。なお、図の各工程番号はカッコ内に
示す。先ず、グリーンシート上に、導体パターン等を印
刷により形成し、このシートを積層して積層体を作製
(シート多層法)する(S1)か、又は、導体パターン
だけでなく、誘電体自体も印刷により形成し、積層体を
作製(印刷多層法)する(S2)ことにより、多数個取
り用の元基板を作製する。
【0006】このようにして作製された積層体は、例え
ばダイシングマシンにより、個別の素子単位に裁断する
(S3)。その後、脱バインダー工程及び焼成工程を行
う(S4)。
【0007】次に、側面電極接続用の電極出し工程を行
い(S5)、電極出しをする。この工程では、バレル研
磨、あるいは削り出し等により、誘電体に埋もれている
電極導体の端部を、表面に露出させる。
【0008】続いて、側面電極付け工程を行って(S
6)、SMDを得る。前記のように、側面電極を部品内
部の電極と確実に接続するためには、各部品毎に、部品
側面を研磨して、電極出しをする工程が必要である。
【0009】この工程では、例えばボールミルのような
ものに部品を投入し、数時間処理しなければならなかっ
た。更に、形状の大きい部品は、前記の方法が利用でき
ないため、他の方法によって処理する必要があった。
【0010】一方この方法によれば、ダイシングマシン
による切り巾のための余白のみを考慮して多数個取り設
計ができるため、取り個数を多く設定できる。以下、上
記の元基板(積層体)を作製する際の具体例について説
明する。
【0011】図7〜図9に示した例は、多層基板を用い
て、高周波フィルタ(SMD)を製造した場合の例であ
る。この高周波フィルタは、第1〜第5の各誘電体層1
0−1〜10−5を積層したものであり、各層には、コ
ンデンサ電極パターン11、12、13、14、コイル
パターン15、16、GND電極パターン17等が厚膜
パターン(例えば、導体ペーストの印刷により形成した
パターン)が形成されている(図7参照)。
【0012】そして、積層体の側面には、側面電極とし
て、4個のGND電極と、入力端子用の電極(IN)
と、出力端子用の電極(OUT)が形成されている(図
8のA参照)。
【0013】前記の構成による高周波フィルタの等価回
路は、図8のBに示した通りである。このような高周波
フィルタを製造する場合、スナップライン(割り溝)を
用いて、多数個取りの元基板からSMD用部品にする。
【0014】即ち、元基板上に、多数の部品を形成して
おき、更に、各部品間の境界領域にスナップラインを形
成しておく。そして、スナップラインで分割して各部品
に分離する分割方法である。
【0015】この方法では側面端部に確実に電極が露出
するため端部を研磨して電極を確実に出すための工程が
不要である。この場合、側面電極へ接続するための電極
出しを確実にするため、元基板に余白部を設けておく。
【0016】例えば図7に示したような積層部品の場
合、その量産用のスクリーンは、図9のようになってい
る。図9は、図7の第5の誘電体層10−5上に形成さ
れるGND電極パターン(GND電極)17の多数個取
り用にリピートされたものである。
【0017】このGND電極パターン17は、GND電
極が積層体の側面に確実に出るように余白部21を設定
して、その領域にGND電極パターン17の端子部22
が入り込むようにパターニングしていた。
【0018】また、部品を構成する他の各層(10−1
〜10−4)についても、前記と同様な余白部21の領
域を設定するようにして、スクリーンとする。そして、
印刷、積層後、部品の境界領域にスナップラインを入れ
て個別裁断を行い、その後、脱バインダ、焼成を行っ
て、側面の電極出し工程を行う(図6参照)。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のも
のにおいては、次のような課題があった。 (1) スナップラインを使って、多数個取りの元基板から
SMD用の部品を分割する方法では、余白部があるだ
け、製品の取り個数が減少する。
【0020】(2) 一方、元基板からの取り個数を増加さ
せるためには、余白部をできるだけ細かく作ればよい
が、前記のスナップラインによる方法では、ある程度の
幅がなければ割ることができない。
【0021】そのため、余白部は、あまり細かくするこ
とはできず、取り個数も少なくなっていた。 (3) 一方ダイシングマシンによる分割では取り個数は増
加するが、分割後の側面の電極出し工程が必要であり、
製造時間が長くなりその分製品コストも上昇する。
【0022】本発明は、このような従来の課題を解決
し、元基板に余白部を設定することなく、スナップライ
ンによる分割で、最大限の取り個数が得られるようにす
ると共に、製造時間を短縮することを目的とする。
【0023】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するため、次のように構成した。 (1)積層体を構成する各層上に、それぞれ、同一形状
の厚膜パターンを複数形成して、複数個取りの元基板を
作製し、その後、元基板にスナップラインを形成して、
個別に分割し、側面電極を形成して表面実装部品とする
表面実装部品の製造方法において、前記厚膜パターンを
形成する際、前記厚膜パターンを側面電極へ接続するた
めの端子部を複数有しており、前記端子部が、隣り合う
厚膜パターンの対向部において一方の厚膜パターンにの
み有る場合は、前記端子部を、対向する他方の厚膜パタ
ーンの分割領域内に入り込む位置まで延長して形成し、
前記端子部が、隣り合う厚膜パターンの対向部において
両方の厚膜パターンに有る場合は、両方の端子部間を接
続するようにして形成する。
【0024】(2) 積層体を構成する各層上に、それぞ
れ、同一形状の厚膜パターンを複数形成して、複数個取
りの元基板を作製し、その後、元基板にスナップライン
を形成して、個別に分割し、側面電極を形成して表面実
装部品とする表面実装部品の製造方法において、前記厚
膜パターンを形成する際、前記厚膜パターンを側面電極
へ接続するための端子部を複数有しており、前記端子部
が、各厚膜パターン毎に、該厚膜パターンを挟んでその
両側に形成され、その端子部の数が両側で異なっている
ものに対し、前記端子部が、常に、分割ラインに対して
隣り合う厚膜パターンの対向部の両方に有るように配置
し、前記対向部の両方に有る端子部間を接続するように
形成する。 (3) 前記(1) 、(2) の表面実装部品の製造方法におい
て、スナップラインを形成した後、脱バインダー及び焼
成を行い、その後、該スナップラインを利用して、個別
に分割する。
【0025】(4) 積層体を構成する各層上に、それぞれ
同一形状の厚膜のコイルパターンを複数形成して、複数
個取りの元基板を作製し、その後、元基板にスナップラ
インを形成して、個別に分割し、側面電極を形成して表
面実装部品とする表面実装部品の製造方法において、前
記コイルパターンを形成する際、隣り合うコイルパター
ンを分割ラインを軸にして対称的に配置することによ
り、前記コイルパターンを側面電極へ接続するための端
子部が、常に、前記分割ラインに対して隣り合うコイル
パターンの対向部の両方に有るように配置して、前記対
向部の両方に有る端子部間を接続し、前記スナップライ
ンを形成した後、脱バインダー及び焼成を行い、その
後、該スナップラインを利用して、個別に分割する
【0026】(4) 上記構成(1)又は(2)又は(3)
において、スナップラインを形成した後、脱バインダー
及び焼成を行い、その後、該スナップラインを利用し
て、個別に分割するようにした。
【0027】
【作用】上記構成に基づく本発明の作用を説明する。複
数の誘電体層上に、それぞれ同一形状の厚膜パターン
(例えばGNDパターン、コンデンサ電極パターン、コ
イルパターン等)を複数個形成し、各誘電体層を積層し
て元基板の積層体を作製する。
【0028】この場合、厚膜パターンを、上記構成
(1)〜(3)のようにパターニングしておく。そし
て、前記積層体に、分割用のスナップラインを形成し、
脱バインダー、焼成を行った後、個別に分割してSMD
(表面実装部品)とする。
【0029】このようにすれば、余白部を設定しておか
なくても、スナップラインを利用して分割した際、側面
の電極出しが確実にできる。従って、余白部を設定しな
い分、元基板からの取り個数が多くなる。
【0030】また、前記の構成により、焼成後に個別裁
断して、確実な側面の電極出しができるので、従来のよ
うな電極出しの工程が不要となる。従って、その分、製
造時間が短縮できる。
【0031】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。 (第1実施例の説明)図1〜図2は、本発明の第1実施
例における量産用のスクリーンを示した図であり、図1
は量産用のスクリーンを示した図、図2は製造工程説明
図である。
【0032】図中、図8〜図10と同符号は同一のもの
を示す。また、A、Bは対向部を示す。図1は、図7、
図8に示した高周波フィルタを製造する場合の例であ
り、図1に量産時のスクリーンを示す。
【0033】図1は、図7の第5層10−5上に形成さ
れるGND電極パターン17の多数個取り用にリピート
されたものを示している。これらの各GND電極パター
ン17には、端子部22が側面電極(GND)の数だけ
形成される。これらのGND電極パターン17を形成す
る際、分割ライン23を挟んで隣り合うGND電極パタ
ーン17の対向部に設けた端子部22が、それぞれ他の
パターンの領域内に入り込むようにパターニングする。
【0034】ここで「対向部」とは、元基板20上の分
割ライン23(スナップラインを形成して、個別素子に
分割する際のライン)を挟んで、その両側にあるパター
ンの端部のことをいう。
【0035】例えば、図1では、各GND電極パターン
17の対向部は、分割ライン23を挟んで、その両側に
あるパターン(GND電極パターン17)の端部A、B
の部分をいう。
【0036】そして、、分割ライン23を挟んで隣り
合うGND電極パターン17の対向部A、Bの両方に端
子部22を有する場合は、互いの端子部22のパターン
を接続するようにパターニングする。
【0037】また、、隣り合うGND電極パターン1
7の対向部A、Bで、片方が端子部22を有し、これと
対向する他方のパターン17に端子部がない場合は、前
記片方の端子部22のパターンが、他方のパターン17
へ入り込むようにパターニングする。
【0038】この場合、両者が接触しないように、多少
の余白をあけてパターニングする。更に、前記、以
外はそのままとする。上記の構成は、GND電極パター
ン17だけに限らず、図7の第1〜第4の誘電体層10
−1〜10−4についても同様に構成する。
【0039】次に、第1実施例の製造方法を図2に基づ
いて説明する。なお、図の各工程番号は、カッコ内に示
す。先ず、グリーンシート上に、導体パターンを印刷等
により形成し、このシートを積層して積層体を作成(シ
ート積層法)する(S10)か、または、導体パターン
だけでなく、誘電体自体も印刷により形成して積層体を
形成し(S11)、多数個取りの元基板を作製する。
【0040】この場合、導体パターンは、例えば、図7
に示したコンデンサ電極パターン11〜14、コイルパ
ターン15、16、GND電極パターン17等である。
これらの導体パターンを形成する際、図1に示したよう
に各パターンの端子部(側面電極と内部のパターン間を
接続するための導体パターン)をパターニングしてお
く。
【0041】次に、前記のようにして作成した積層体の
片面、あるいは両面上で、各素子の境界領域に、スナッ
プライン(割り溝)を作る(S12)。その後、脱バイ
ンダー工程、焼成工程(S13)を経て、個別裁断を行
う(S14)。最後に、側面電極付けを行って(S1
5)、SMDを得る。
【0042】(第2実施例の説明)図3は、第2実施例
における量産用のスクリーンを示した図である。図中、
図1と同符号は同一のものを示す。
【0043】この例は、図1と同じ第5の誘電体層10
−5上のGND電極パターン17をパターニングする際
の例であるが、前記GNDパターンの配列を変えた例で
ある。
【0044】図8のAに示したように、上記の高周波フ
ィルタでは、側面電極がX−Y線に対して対称的に配置
されている。このような場合、図3に示したように、隣
り合う各GND電極パターン17同士を、対称配置とす
ることができる。
【0045】即ち、各GND電極パターン17の一方に
は、1つの端子部22が設けてあり、他方には3つの端
子部22が設けてある。そこで、1つの端子部同士と、
3つの端子部同士を、交互に対向配置することができる
から、図3のような対称的な配置が可能となる。
【0046】このようにすると、全ての端子部22は、
第1実施例で説明したの関係となるから、全ての対向
部で対向配置された端子部22の間を接続して一体化し
たパターンとなる。また、GND電極パターン以外のパ
ターンについても同様に構成する。
【0047】従って、互いに対向配置されたGND電極
パターン間に、余分な余白部を形成する必要がなくな
る。なお、第2実施例においても、SMDの製造方法
は、第1実施例と同じである。
【0048】(第3実施例の説明)図4、図5は第3実
施例を示した図であり、図4はチップコイルの製造工程
説明図(積層した元基板の分解斜視図)、図5はチップ
コイルの製造工程説明図(積層体の斜視図及び分割され
たチップコイル)である。
【0049】図中、図1〜図3、図7〜図9と同符号は
同一のものを示す。また、30は積層体(元基板)、3
0−1〜30−4は第1〜第4の誘電体層、31、32
はコイルパターン(厚膜パターン)、33はスナップラ
イン(割り溝)、34はチップコイル、35は電極を示
す。
【0050】第3実施例は、チップコイルに適用した例
であり、隣り合うパターンを接続したものである。例え
ば図4に示したように、元基板を、第1〜第4の誘電体
層30−1〜30−4を積層したもの(積層体)で構成
し、その内部に第1のコイルパターン31と、第2のコ
イルパターン32をパターニングしたものとする。
【0051】前記の多数個取りする元基板へのパターニ
ングをする場合、隣り合うコイルパターンを分割ライン
23に対して、対称的に配置し、互いに接続させてパタ
ーニングする。
【0052】即ち、積層体の側面方向で、側面電極と接
続するためにパターニングされる電極部分を、元基板上
のパターンで、隣り合うもの同士を接続したパターンと
する。
【0053】そして、積層後、スナップライン33(個
々の部品に分割するための割り溝)を形成(図5のA参
照)して、焼成後個々に分割する(図5のB参照)。こ
の分割されたチップコイル34は、その分割面に、側面
電極へ接続するための電極35(内部のコイルパターン
の端部)が露出している状態となる。
【0054】その後、前記チップコイル34に側面電極
を形成し、SMD化されたチップコイルとなる。なお、
この実施例においても、その製造工程は、第1実施例と
同じである。
【0055】(他の実施例)以上実施例について説明し
たが、本発明は次のようにしても実施可能である。 (1) 高周波フィルタやチップコイルに限らず、各種の表
面実装部品、例えば、高周波発振器、ディプレクサ、チ
ップコンデンサ、電圧制御発振器、等に適用可能であ
る。
【0056】(2) 第1〜第3実施例のものにおいても、
元基板の両側にスナップラインを形成してもよい。
【0057】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば次
のような効果がある。 (1) 従来のような余白部を設定しなくても、スナップラ
インによる分割で端子部の電極出しを確実にできるか
ら、元基板から最大限の取り個数を得ることができる。
【0058】(2) 従来のような分割後の電極出し工程が
不要となるから、製造時間が大幅に短縮できる。 (3) 本発明では、端子部が、厚膜パターン間で接続、若
しくは他方側に延長されている。このため、本願の請求
項3、4のように、「スナップラインを形成した後、脱
バインダー及び焼成を行い、その後、該スナップライン
を利用して、個別に分割する」場合、チップを構成する
材料と電極材料の焼成後の焼き縮みの差の影響を受ける
ことなく、チップ分断(チョコレートブレーク)したチ
ップの端子部に露出する電極に関して引き込み等は起こ
らない。これは、特に、本願の請求項4に記載された発
明(コイルパターンの場合)のように、引き出し部が小
さい(幅が狭い)場合には顕著に現れる効果である。す
なわち、従来のように、先にチップに分断すると、チッ
プ端部に露出する電極がチップを構成する材料の焼結に
比べ、焼き縮みしてしまい、チップ端部に露出する電極
がチップ側端面より内側に引き込まれてしまう欠点があ
るけれども、本発明によれば、このような欠点は無くな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例における量産用のスクリー
ン(平面図)を示した図である。
【図2】第1実施例の製造工程説明図である。
【図3】第2実施例における量産用スクリーン(平面
図)を示した図である。
【図4】第3実施例におけるチップコイルの製造工程説
明図(積層した元基板の分解斜視図)である。
【図5】第3実施例におけるチップコイルの製造工程説
明図であり、Aは積層体の斜視図、Bは分割されたチッ
プコイルである。
【図6】従来のSMDの製造工程説明図である。
【図7】従来の高周波フィルタの分解斜視図である。
【図8】従来の高周波フィルタを示した図であり、Aは
SMD化した高周波フィルタの斜視図、Bは高周波フィ
ルタの等価回路である。
【図9】従来の量産用スクリーン例である。
【符号の説明】
17 GND電極パターン 20 元基板 22 端子部(厚膜パターン) 23 分割ライン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01G 4/40 H01F 41/04

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】積層体を構成する各層上に、それぞれ、同
    一形状の厚膜パターンを複数形成して、複数個取りの元
    基板を作製し、 その後、元基板にスナップラインを形成して、個別に分
    割し、 側面電極を形成して表面実装部品とする表面実装部品の
    製造方法において、 前記厚膜パターンを形成する際、 前記厚膜パターンを側面電極へ接続するための端子部を
    複数有しており、前記端子部が、隣り合う厚膜パターン
    の対向部において一方の厚幕パターンにのみ有る場合
    は、前記端子部を、対向する他方の厚膜パターンの分割
    領域内に入り込む位置まで延長して形成し、 前記端子部が、隣り合う厚膜パターンの対向部において
    両方の厚幕パターンに有る場合は、両方の端子部間を接
    続するようにして形成することを特徴とした表面実装部
    品の製造方法。
  2. 【請求項2】積層体を構成する各層上に、それぞれ、同
    一形状の厚膜パターンを複数形成して、複数個取りの元
    基板を作製し、 その後、元基板にスナップラインを形成して、個別に分
    割し、 側面電極を形成して表面実装部品とする表面実装部品の
    製造方法において、 前記厚膜パターンを形成する際、 前記厚膜パターンを側面電極へ接続するための端子部を
    複数有しており、前記端子部が、各厚膜パターン毎に、
    該厚膜パターンを挟んでその両側に形成され、その端子
    部の数が両側で異なっているものに対し、前記端子部
    が、常に、分割ラインに対して隣り合う厚膜パターンの
    対向部の両方に有るように配置し、 前記対向部の両方に有る端子部間を接続するように形成
    することを特徴とした表面実装部品の製造方法。
  3. 【請求項3】前記スナップラインを形成した後、脱バイ
    ンダー及び焼成を行い、 その後、該スナップラインを利用して、個別に分割する
    ことを特徴とした請求項1又は2記載の表面実装部品の
    製造方法。
  4. 【請求項4】積層体を構成する各層上に、それぞれ同一
    形状の厚膜のコイル パターンを複数形成して、複数個取
    りの元基板を作製し、 その後、元基板にスナップラインを形成して、個別に分
    割し、 側面電極を形成して表面実装部品とする表面実装部品の
    製造方法において、 前記コイルパターンを形成する際、 隣り合うコイルパターンを分割ラインを軸にして対称的
    に配置することにより、前記コイルパターンを側面電極
    へ接続するための端子部が、常に、前記分割ラインに対
    して隣り合うコイルパターンの対向部の両方に有るよう
    に配置して、前記対向部の両方に有る端子部間を接続
    、 前記スナップラインを形成した後、脱バインダー及び焼
    成を行い、 その後、該スナップラインを利用して、個別に分割する
    ことを特徴とした表面実装部品の製造方法。」
JP4008319A 1992-01-21 1992-01-21 表面実装部品の製造方法 Expired - Fee Related JP2781095B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4008319A JP2781095B2 (ja) 1992-01-21 1992-01-21 表面実装部品の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4008319A JP2781095B2 (ja) 1992-01-21 1992-01-21 表面実装部品の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05198460A JPH05198460A (ja) 1993-08-06
JP2781095B2 true JP2781095B2 (ja) 1998-07-30

Family

ID=11689845

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4008319A Expired - Fee Related JP2781095B2 (ja) 1992-01-21 1992-01-21 表面実装部品の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2781095B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9196410B2 (en) * 2012-05-22 2015-11-24 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Chip inductor and method of manufacturing the same

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57177518A (en) * 1981-04-24 1982-11-01 Tdk Electronics Co Ltd Laminated condenser and method of producing same
JPS63271911A (ja) * 1987-04-28 1988-11-09 Toko Inc 積層電子部品の製造方法
JPS6446905A (en) * 1987-08-14 1989-02-21 Tdk Corp Chip component and manufacture thereof
JPH0618138B2 (ja) * 1989-12-28 1994-03-09 東光株式会社 積層インダクタの製造方法
JPH03225904A (ja) * 1990-01-31 1991-10-04 Taiyo Yuden Co Ltd 積層チップへの導電ペースト塗布方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05198460A (ja) 1993-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5197170A (en) Method of producing an LC composite part and an LC network part
JP2002057066A (ja) チップアレイ及びその製造方法
JP2976262B2 (ja) 電子部品の製造方法
JPH0745477A (ja) 電子部品およびその製造方法
JP3264037B2 (ja) コンデンサアレイ
JP2781095B2 (ja) 表面実装部品の製造方法
JPH08273973A (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JP2003087075A (ja) 高周波回路部品
JP3786243B2 (ja) 積層電子部品の製造方法
US5682674A (en) Dielectric filter and method of manufacturing the same
JP2600127Y2 (ja) 積層チップemi除去フィルタ
JP2000182892A (ja) 複合電子部品およびその製造方法
JP2000269078A (ja) 積層電子部品
JPH1187918A (ja) 多層セラミック基板およびその製造方法
JP3368817B2 (ja) 積層型電子部品アレイ
JPH06204075A (ja) 高周波用積層セラミック電子部品およびその製造方法
JPH0897603A (ja) 積層型誘電体フィルタ
JPH05152803A (ja) 誘電体フイルタ
JP3493812B2 (ja) セラミック電子部品の製造方法
JP2542468Y2 (ja) 積層型lcフィルタ
JP2642754B2 (ja) Lc複合ネットワーク部品及びその製造方法
JP2700833B2 (ja) セラミック複合電子部品およびその製造方法
JPH0837129A (ja) 積層電子部品の製造方法
JPH0410674Y2 (ja)
JPH06224602A (ja) 積層バンドパスフィルタ

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19980428

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080515

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090515

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees