JP2775589B2 - 板状体の面精度測定方法およびその装置 - Google Patents
板状体の面精度測定方法およびその装置Info
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- JP2775589B2 JP2775589B2 JP11055994A JP11055994A JP2775589B2 JP 2775589 B2 JP2775589 B2 JP 2775589B2 JP 11055994 A JP11055994 A JP 11055994A JP 11055994 A JP11055994 A JP 11055994A JP 2775589 B2 JP2775589 B2 JP 2775589B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は板状体の面精度測定方法
およびその装置に係り、さらに詳しくいえば、二重床を
構築する際に用いられる床パネルなどの平坦度を自動的
に測定するのに好適な面精度測定方法およびその装置に
関するものである。
およびその装置に係り、さらに詳しくいえば、二重床を
構築する際に用いられる床パネルなどの平坦度を自動的
に測定するのに好適な面精度測定方法およびその装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近時、コンピュータ室ばかりでなく、一
般のオフィスにおいても多数のオフィスオートメーショ
ン機器が導入されているため、それに伴って床上には多
数の通信ケーブルや電力ケーブル類が配設されている。
般のオフィスにおいても多数のオフィスオートメーショ
ン機器が導入されているため、それに伴って床上には多
数の通信ケーブルや電力ケーブル類が配設されている。
【０００３】従来のオフィスにおいては、通信や電源用
のコンセントは壁や柱に設けられているため、そこから
機器設置箇所までは接続ケーブルを床上に這わせるよう
にしているが、床上にこれらのケーブルが露出している
と、歩行中に誤って足に引っ掛けて接続ケーブルを引き
抜くおそれがあり、また、他の機器の下敷きになった
り、台車などの通過によって接続ケーブルを切断したり
する危険性もある。
のコンセントは壁や柱に設けられているため、そこから
機器設置箇所までは接続ケーブルを床上に這わせるよう
にしているが、床上にこれらのケーブルが露出している
と、歩行中に誤って足に引っ掛けて接続ケーブルを引き
抜くおそれがあり、また、他の機器の下敷きになった
り、台車などの通過によって接続ケーブルを切断したり
する危険性もある。
【０００４】そこで、このような部署はもとより、最近
の建物においては、フリーアクセスフロアと称される二
重床が広く施工されている。このような二重床は、例え
ば一辺が１５０ないし１０００ｍｍで、厚さが１５ない
し５０ｍｍ程度の４辺形の床パネルを複数枚用意し、床
スラブ上に床パネルの一辺の長さに相当する間隔をおい
て支持脚を複数本立設し、１本の支持脚の先端部で隣接
する４枚の床パネルの角部を支持するようにして、床ス
ラブ上の所定高さ位置に床パネルを敷き詰めることによ
り構築される。
の建物においては、フリーアクセスフロアと称される二
重床が広く施工されている。このような二重床は、例え
ば一辺が１５０ないし１０００ｍｍで、厚さが１５ない
し５０ｍｍ程度の４辺形の床パネルを複数枚用意し、床
スラブ上に床パネルの一辺の長さに相当する間隔をおい
て支持脚を複数本立設し、１本の支持脚の先端部で隣接
する４枚の床パネルの角部を支持するようにして、床ス
ラブ上の所定高さ位置に床パネルを敷き詰めることによ
り構築される。
【０００５】これにより、床パネルと床スラブとの間に
空間ができ、この床下空間に通信ケーブルや電力ケーブ
ル類、あるいは分配器や使用機器のインターフェース用
の機器類を配設したり、設置機器の近くの床パネルにコ
ンセント類を設けることができ、床上に露呈するケーブ
ルなどの距離を極力短くすることができる。また、床パ
ネルは着脱が容易であり、設置後のレイアウト変更にも
十分対応することができる。
空間ができ、この床下空間に通信ケーブルや電力ケーブ
ル類、あるいは分配器や使用機器のインターフェース用
の機器類を配設したり、設置機器の近くの床パネルにコ
ンセント類を設けることができ、床上に露呈するケーブ
ルなどの距離を極力短くすることができる。また、床パ
ネルは着脱が容易であり、設置後のレイアウト変更にも
十分対応することができる。
【０００６】ところで、二重床は上述したように床スラ
ブから所定の高さ位置に設置され、支持脚上に床パネル
を載置し、その床パネル上に前述の各種の機器や机など
の事務機器が据え付けられるので、水平が出ていないと
機器が傾いたり、歩行時に違和感が生じる。
ブから所定の高さ位置に設置され、支持脚上に床パネル
を載置し、その床パネル上に前述の各種の機器や机など
の事務機器が据え付けられるので、水平が出ていないと
機器が傾いたり、歩行時に違和感が生じる。
【０００７】そのため、床パネルの水平度を精度良く出
すには、まず、支持脚上面のレベルを揃え、そのレベル
が揃ったところで床パネルを敷設することになるが、床
パネル自体に平坦度の狂い、例えばねじれやソリなどが
あると、支持脚上面のレベルが揃っていても、敷設した
床パネルのレベルが狂ってしまい、支持脚上面のレベル
を揃えた意味がなくなる。
すには、まず、支持脚上面のレベルを揃え、そのレベル
が揃ったところで床パネルを敷設することになるが、床
パネル自体に平坦度の狂い、例えばねじれやソリなどが
あると、支持脚上面のレベルが揃っていても、敷設した
床パネルのレベルが狂ってしまい、支持脚上面のレベル
を揃えた意味がなくなる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】そこで、従来において
は、この種のパネルの平坦度を検出するにあたって、そ
のパネルを基準面としての平坦な定盤上に乗せ、あらか
じめ設定された高さ位置からのパネルの上面までの距離
を測定してパネルの厚みとし、ソリは厚みの値から計算
し、また、ガタについてはパネルと定盤との間にゲージ
を差し込んで計測していた。
は、この種のパネルの平坦度を検出するにあたって、そ
のパネルを基準面としての平坦な定盤上に乗せ、あらか
じめ設定された高さ位置からのパネルの上面までの距離
を測定してパネルの厚みとし、ソリは厚みの値から計算
し、また、ガタについてはパネルと定盤との間にゲージ
を差し込んで計測していた。
【０００９】しかしながら、この計測はもっぱら手作業
によって、要求されている測定点を１個所ずつ計測して
いたので作業能率が悪く、また、精度についても測定者
の熟練度などに左右されるものであった。
によって、要求されている測定点を１個所ずつ計測して
いたので作業能率が悪く、また、精度についても測定者
の熟練度などに左右されるものであった。
【００１０】本発明は、このような背景に鑑みてなされ
たもので、その目的は、自動的に効率良く床パネルなど
の板状体の平坦度を測定することができるようにした板
状体の面精度測定方法を提供することにある。
たもので、その目的は、自動的に効率良く床パネルなど
の板状体の平坦度を測定することができるようにした板
状体の面精度測定方法を提供することにある。
【００１１】また、本発明の他の目的は、その面精度測
定方法を実施するうえで好適な板状体の面精度測定測定
装置を提供することにある。
定方法を実施するうえで好適な板状体の面精度測定測定
装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、床パネルなどの被測定板状体に対して所
定の高さ位置に設けられた計測手段を備え、同計測手段
から上記被測定板状体の表面までの距離を測定すること
により、上記被測定板状体の平坦度を測定する板状体の
面精度測定方法において、平坦な基準面上に載置されて
いる上記被測定板状体をその上方から押圧してその基準
面上に保持する保持手段を有し、同保持手段により上記
被測定板状体の異なる位置を所定の順序にしたがって１
箇所ずつ交代的に押圧するとともに、その際上記計測手
段にて各位置におけるその表面までの距離を測定するこ
とにより、上記被測定板状体の平坦度を測定するように
したことを特徴としている。
め、本発明は、床パネルなどの被測定板状体に対して所
定の高さ位置に設けられた計測手段を備え、同計測手段
から上記被測定板状体の表面までの距離を測定すること
により、上記被測定板状体の平坦度を測定する板状体の
面精度測定方法において、平坦な基準面上に載置されて
いる上記被測定板状体をその上方から押圧してその基準
面上に保持する保持手段を有し、同保持手段により上記
被測定板状体の異なる位置を所定の順序にしたがって１
箇所ずつ交代的に押圧するとともに、その際上記計測手
段にて各位置におけるその表面までの距離を測定するこ
とにより、上記被測定板状体の平坦度を測定するように
したことを特徴としている。
【００１３】この場合、上記計測手段としては、レーザ
式変位計もしくは接触式距離計のいずれかが使用され、
上記保持手段としては、測定部で被測定板状体を上面か
ら押さえる押圧部材と、同押圧部材を昇降させる昇降手
段（例えば、エアーシリンダ）とが使用される。
式変位計もしくは接触式距離計のいずれかが使用され、
上記保持手段としては、測定部で被測定板状体を上面か
ら押さえる押圧部材と、同押圧部材を昇降させる昇降手
段（例えば、エアーシリンダ）とが使用される。
【００１４】また、本発明の装置は、床パネルなどの被
測定板状体に対して所定の高さ位置に設けられた計測手
段を備え、同計測手段から上記被測定板状体の表面まで
の距離を測定することにより、上記被測定板状体の平坦
度を測定する板状体の面精度測定装置において、上記被
測定板状体を上記計測手段が設けられている測定部に搬
送する搬送手段と、同搬送手段にて上記測定部に搬送さ
れた上記被測定板状体を上方から押圧して平坦な基準面
上に保持する保持手段と、上記計測手段にて測定された
上記被測定板状物までの距離から同板状体の平坦度を算
出する演算手段と、同演算手段にて得られたデータを格
納する記憶媒体とを備えていることを特徴としている。
測定板状体に対して所定の高さ位置に設けられた計測手
段を備え、同計測手段から上記被測定板状体の表面まで
の距離を測定することにより、上記被測定板状体の平坦
度を測定する板状体の面精度測定装置において、上記被
測定板状体を上記計測手段が設けられている測定部に搬
送する搬送手段と、同搬送手段にて上記測定部に搬送さ
れた上記被測定板状体を上方から押圧して平坦な基準面
上に保持する保持手段と、上記計測手段にて測定された
上記被測定板状物までの距離から同板状体の平坦度を算
出する演算手段と、同演算手段にて得られたデータを格
納する記憶媒体とを備えていることを特徴としている。
【００１５】
【作用】上記構成によると、被測定板状体は搬送手段に
よって測定部まで搬送され、同測定部において保持手段
により基準面上に保持固定されるが、その場合、同保持
手段は上記被測定板状体の異なる位置を所定の順序にし
たがって１箇所ずつ交代的に押圧する。
よって測定部まで搬送され、同測定部において保持手段
により基準面上に保持固定されるが、その場合、同保持
手段は上記被測定板状体の異なる位置を所定の順序にし
たがって１箇所ずつ交代的に押圧する。
【００１６】この動作に伴って、上記計測手段により各
位置におけるその表面までの距離が測定され、これによ
り上記被測定板状体の平坦度が測定される。すなわち、
保持手段により上記被測定板状体の異なる位置を順次押
圧して行く過程において、同じ位置における板状体表面
までの距離が異なる場合には、ソリやガタによるものと
判定される。
位置におけるその表面までの距離が測定され、これによ
り上記被測定板状体の平坦度が測定される。すなわち、
保持手段により上記被測定板状体の異なる位置を順次押
圧して行く過程において、同じ位置における板状体表面
までの距離が異なる場合には、ソリやガタによるものと
判定される。
【００１７】
【実施例】図１には、本発明を実施するうえで、もっと
も好ましい面精度測定装置１の斜視図が示されている。
これによると、この測定装置１は、搬送手段としてのス
ライドテーブル２と、同スライドテーブル２の両側部に
設けられた左右一対の基台４とを備えている。
も好ましい面精度測定装置１の斜視図が示されている。
これによると、この測定装置１は、搬送手段としてのス
ライドテーブル２と、同スライドテーブル２の両側部に
設けられた左右一対の基台４とを備えている。
【００１８】同基台４の両側部には、支持台５、５が水
平方向に突設されており、この支持台５の各々には支柱
６が２本ずつ立設されている。スライドテーブル２を挟
んで対向する支柱６、６の各上端部間には、スライドテ
ーブル２を跨ぐように支承部材７、７が配設されてい
る。同支承部材７の各々には、計測手段としてのレーザ
式変位計８と、被測定板状体１１を基台４上に押圧的に
保持する保持手段としての保持装置１３とが取り付けら
れている。
平方向に突設されており、この支持台５の各々には支柱
６が２本ずつ立設されている。スライドテーブル２を挟
んで対向する支柱６、６の各上端部間には、スライドテ
ーブル２を跨ぐように支承部材７、７が配設されてい
る。同支承部材７の各々には、計測手段としてのレーザ
式変位計８と、被測定板状体１１を基台４上に押圧的に
保持する保持手段としての保持装置１３とが取り付けら
れている。
【００１９】また、支柱６には同支柱６をガイドとして
昇降する昇降部材９が設けられており、この場合、同昇
降部材９はエアーシリンダからなる昇降装置１０により
昇降駆動されるようになっている。この昇降部材９に
は、同昇降部材９が下降したときに、先端が被測定板状
体１１の上面に当接する当接部材１２が設けられてい
る。なお、図示されていないが、この測定装置１は、ス
ライドテーブル２を基台４部分で昇降させるスライドテ
ーブル昇降装置を備えている。
昇降する昇降部材９が設けられており、この場合、同昇
降部材９はエアーシリンダからなる昇降装置１０により
昇降駆動されるようになっている。この昇降部材９に
は、同昇降部材９が下降したときに、先端が被測定板状
体１１の上面に当接する当接部材１２が設けられてい
る。なお、図示されていないが、この測定装置１は、ス
ライドテーブル２を基台４部分で昇降させるスライドテ
ーブル昇降装置を備えている。
【００２０】図１において、スライドテーブル２は一部
分しか示されていないが、実際にはその手前方向から基
台４部分まで延びており、このスライドテーブル２によ
り測定対象となる床パネルなどの被測定板状体１１をス
ライドさせながら基台４の部分まで簡単に移動させるこ
とができるようになっている。
分しか示されていないが、実際にはその手前方向から基
台４部分まで延びており、このスライドテーブル２によ
り測定対象となる床パネルなどの被測定板状体１１をス
ライドさせながら基台４の部分まで簡単に移動させるこ
とができるようになっている。
【００２１】基台４は、図１からも分かるように平行な
一対の台からなり、上面は水平であってきわめて精度の
よい平面度が確保され、これが計測時の基準面３とな
る。
一対の台からなり、上面は水平であってきわめて精度の
よい平面度が確保され、これが計測時の基準面３とな
る。
【００２２】基台４の側面に突設された支持台５の上面
には、上記支柱６と昇降装置１０が設けられており、昇
降装置１０のエアシリンダのピストンから延びるロッド
１４が昇降部材９の下面に連結され、昇降部材９はロッ
ド１４の伸縮動作に追従して上昇・下降動作を行うこと
ができるようになっている。
には、上記支柱６と昇降装置１０が設けられており、昇
降装置１０のエアシリンダのピストンから延びるロッド
１４が昇降部材９の下面に連結され、昇降部材９はロッ
ド１４の伸縮動作に追従して上昇・下降動作を行うこと
ができるようになっている。
【００２３】昇降部材９は図２の平面図に示されている
ようなフレーム状に形成されている。すなわち、同昇降
部材９は、支柱６に昇降可能に嵌挿された軸受部９ａ
と、この軸受部９ａを基台４の上方で同基台４と平行に
繋ぐ縦方向の支持部材９ｂと、支持部材９ｂ間に掛け渡
された一対の連結部材９ｃと、連結部材９ｃに対して基
台４と平行に取り付けられ、当接部材１２を固定する３
本の固定部材９ｄとから構成されている。
ようなフレーム状に形成されている。すなわち、同昇降
部材９は、支柱６に昇降可能に嵌挿された軸受部９ａ
と、この軸受部９ａを基台４の上方で同基台４と平行に
繋ぐ縦方向の支持部材９ｂと、支持部材９ｂ間に掛け渡
された一対の連結部材９ｃと、連結部材９ｃに対して基
台４と平行に取り付けられ、当接部材１２を固定する３
本の固定部材９ｄとから構成されている。
【００２４】この実施例において、当接部材１２は１本
の固定部材９ｄに対してそれぞれ３個ずつ取り付けら
れ、被測定板状体１１の上面に対してマトリクス状に９
点で当接するようになっている。
の固定部材９ｄに対してそれぞれ３個ずつ取り付けら
れ、被測定板状体１１の上面に対してマトリクス状に９
点で当接するようになっている。
【００２５】この当接部材１２は、図１からも分かるよ
うに、ロッド部材１２ａと、このロッド部材１２ａより
も大径の保持孔を有し、同ロッド部材１２ａをフリーな
吊り下げ状態で支持する支持部材１２ｂとからなり、ロ
ッド部材１２ａの下端（先端）には図３ないし図５に示
されているように、曲面状に形成された当接部１２ｃが
設けられている。
うに、ロッド部材１２ａと、このロッド部材１２ａより
も大径の保持孔を有し、同ロッド部材１２ａをフリーな
吊り下げ状態で支持する支持部材１２ｂとからなり、ロ
ッド部材１２ａの下端（先端）には図３ないし図５に示
されているように、曲面状に形成された当接部１２ｃが
設けられている。
【００２６】これにより、被測定板状体１１に当接する
ときに微視的には１点のみで当接することがなく、被測
定板状体１１の表面の傷や小さな穴などの影響を排除す
ることができる。また、ロッド部材１２ａの上端（後
端）部はレーザ式変位計８のレーザの照射面１２ｄとな
っている。
ときに微視的には１点のみで当接することがなく、被測
定板状体１１の表面の傷や小さな穴などの影響を排除す
ることができる。また、ロッド部材１２ａの上端（後
端）部はレーザ式変位計８のレーザの照射面１２ｄとな
っている。
【００２７】上記支承部材７には、各当接部材１２に対
応してレーザ式変位計８が取り付けられ、同レーザ式変
位計８からその下方に位置するロッド部材の１２ａの照
射面１２ｄにレーザが照射できるようになっている。
応してレーザ式変位計８が取り付けられ、同レーザ式変
位計８からその下方に位置するロッド部材の１２ａの照
射面１２ｄにレーザが照射できるようになっている。
【００２８】レーザ式変位計８は、図示しない駆動回路
によって駆動される半導体レーザと、そのレーザ光を測
定対象物側に投射する投射レンズと、測定対象物からの
反射光を受光し光位置検出素子（ＰＳＤ）に導く受光レ
ンズと、光位置検出素子の検出出力を増幅して制御装置
側に出力する信号増幅回路とからなり、三角測量を応用
した公知のものが使用される。
によって駆動される半導体レーザと、そのレーザ光を測
定対象物側に投射する投射レンズと、測定対象物からの
反射光を受光し光位置検出素子（ＰＳＤ）に導く受光レ
ンズと、光位置検出素子の検出出力を増幅して制御装置
側に出力する信号増幅回路とからなり、三角測量を応用
した公知のものが使用される。
【００２９】すなわち、測定対象物にレーザ光を照射す
ると、レーザ光は対象物で拡散反射する。これを受光レ
ンズを介して光位置検出素子に導くと、光位置検出素子
のどの位置にスポットを結ぶかによって測定対象物の変
位量を知ることができるように構成されたものである。
ると、レーザ光は対象物で拡散反射する。これを受光レ
ンズを介して光位置検出素子に導くと、光位置検出素子
のどの位置にスポットを結ぶかによって測定対象物の変
位量を知ることができるように構成されたものである。
【００３０】図４に示されているように、支承部材７に
設けられた保持部材（手段）１３は、エアーシリンダ１
３ａと、エアーシリンダ１３ａから突出したピストンロ
ッド１３ｂと、ピストンロッド１３ｂの下端に取り付け
られた押圧子１３ｃとからなり、この実施例において、
この保持部材１３は被測定板状体１１の４隅に対応する
ように、各支承部材７に一対ずつの４箇所に配置されて
いる。
設けられた保持部材（手段）１３は、エアーシリンダ１
３ａと、エアーシリンダ１３ａから突出したピストンロ
ッド１３ｂと、ピストンロッド１３ｂの下端に取り付け
られた押圧子１３ｃとからなり、この実施例において、
この保持部材１３は被測定板状体１１の４隅に対応する
ように、各支承部材７に一対ずつの４箇所に配置されて
いる。
【００３１】なお、図１において手前側の支承部材７の
上部には、保持部材１３のエアーシリンダ１３ａを駆動
するためのエアー供給管路およびレーザ式変位計８に接
続される外部入出力線などが接続される接続部１５が設
けられている。
上部には、保持部材１３のエアーシリンダ１３ａを駆動
するためのエアー供給管路およびレーザ式変位計８に接
続される外部入出力線などが接続される接続部１５が設
けられている。
【００３２】図６に示されているように、レーザ式変位
計８はこの接続部１５を介してＣＰＵ（中央演算処理ユ
ニット）を含む制御装置１６に接続される。この場合、
同制御装置１６は上記各昇降手段の昇降制御を行なうと
ともに、レーザ式変位計８にて検出した距離から所定の
演算を行ない、その結果を表示部１６ａやプリンタ１６
ｂに表示し、また、必要に応じて適当な記録媒体１６
ｃ、例えばフロッピーディスクにそのデータを格納す
る。
計８はこの接続部１５を介してＣＰＵ（中央演算処理ユ
ニット）を含む制御装置１６に接続される。この場合、
同制御装置１６は上記各昇降手段の昇降制御を行なうと
ともに、レーザ式変位計８にて検出した距離から所定の
演算を行ない、その結果を表示部１６ａやプリンタ１６
ｂに表示し、また、必要に応じて適当な記録媒体１６
ｃ、例えばフロッピーディスクにそのデータを格納す
る。
【００３３】次に、この測定装置の動作について説明す
る。図４に示されているように、まず、昇降部材９を所
定の高さ位置に上昇させた状態で、被測定板状体として
の床パネル１１をスライドテーブル２上をすべらせて基
台４上に移動させ、図示しないストッパに当接させて位
置決めする。
る。図４に示されているように、まず、昇降部材９を所
定の高さ位置に上昇させた状態で、被測定板状体として
の床パネル１１をスライドテーブル２上をすべらせて基
台４上に移動させ、図示しないストッパに当接させて位
置決めする。
【００３４】次に、スライドテーブル２の昇降装置を駆
動して、同スライドテーブル２を降下させ、床パネル１
１を基台４の基準面３上に載置する。これによって、床
パネル１１の両端部の基準位置が決まる。
動して、同スライドテーブル２を降下させ、床パネル１
１を基台４の基準面３上に載置する。これによって、床
パネル１１の両端部の基準位置が決まる。
【００３５】そして、昇降装置１０のエアーシリンダを
作動させて昇降部材９を所定の計測位置まで下降させ、
図５に示されているように、当接部材１２のロッド部材
１２ａをその自重により床パネル１１の上面１１ａに当
接させる。
作動させて昇降部材９を所定の計測位置まで下降させ、
図５に示されているように、当接部材１２のロッド部材
１２ａをその自重により床パネル１１の上面１１ａに当
接させる。
【００３６】しかる後、４つの保持部材１３を交代的に
駆動して床パネル１１の各隅を所定の順序にしたがって
押圧し、ソリやガタの検出を行なう。すなわち、図７
（ａ）に示されているように、床パネル１１の各隅
を例えばその順番どおりに押圧するとともに、その
都度各レーザ式変位計８にてロッド部材１２ａを介して
各隅の表面までの距離を測定する。
駆動して床パネル１１の各隅を所定の順序にしたがって
押圧し、ソリやガタの検出を行なう。すなわち、図７
（ａ）に示されているように、床パネル１１の各隅
を例えばその順番どおりに押圧するとともに、その
都度各レーザ式変位計８にてロッド部材１２ａを介して
各隅の表面までの距離を測定する。
【００３７】図７（ｂ）は同図（ａ）の矢印Ａ方向に沿
った断面図で、例えば隅との対角線上にガタがあ
り、実線図示の状態が隅を押したときの状態で、鎖線
図示の状態がその反対側の隅を押したときの状態とす
ると、そのガタ（もしくはソリ）の偏差αに応じてロッ
ド部材１２ａが上下するため、そのガタが各隅にお
ける表面までの距離の差として検出されることになる。
った断面図で、例えば隅との対角線上にガタがあ
り、実線図示の状態が隅を押したときの状態で、鎖線
図示の状態がその反対側の隅を押したときの状態とす
ると、そのガタ（もしくはソリ）の偏差αに応じてロッ
ド部材１２ａが上下するため、そのガタが各隅にお
ける表面までの距離の差として検出されることになる。
【００３８】このようにして検出された距離は、制御装
置１６に入力される。制御装置１６では、その偏差αに
よってソリやガタを演算し、その結果を表示部１６ａや
プリンタ１６ｂに表示する。また、必要に応じてそのデ
ータはフロッピーディスクなどの記憶媒体１６ｃに格納
される。
置１６に入力される。制御装置１６では、その偏差αに
よってソリやガタを演算し、その結果を表示部１６ａや
プリンタ１６ｂに表示する。また、必要に応じてそのデ
ータはフロッピーディスクなどの記憶媒体１６ｃに格納
される。
【００３９】この実施例では、一枚の床パネル１１につ
いてその４隅を測定しているが、その測定ポイントに例
えば各辺の中間点や床パネル１１の中央部分を加えるこ
とも可能である。また、各保持部材１３の動作ごとにす
べての測定ポイントで距離測定を行なうようにすること
が好ましい。
いてその４隅を測定しているが、その測定ポイントに例
えば各辺の中間点や床パネル１１の中央部分を加えるこ
とも可能である。また、各保持部材１３の動作ごとにす
べての測定ポイントで距離測定を行なうようにすること
が好ましい。
【００４０】測定が終了すると、昇降装置１０が作動し
て昇降部材９を初期位置まで上昇させ、次いでスライド
テーブル２が上昇して、床パネル１１は基準面３から持
ち上げられ、スライドテーブル２上にスライド可能な状
態となる。しかる後、床パネル１１は図１において基台
４の奥側に排出され、次ぎに計測すべき床パネル１１を
スライドテーブル２を介して手前側から搬入し、同様の
作業を繰り返す。
て昇降部材９を初期位置まで上昇させ、次いでスライド
テーブル２が上昇して、床パネル１１は基準面３から持
ち上げられ、スライドテーブル２上にスライド可能な状
態となる。しかる後、床パネル１１は図１において基台
４の奥側に排出され、次ぎに計測すべき床パネル１１を
スライドテーブル２を介して手前側から搬入し、同様の
作業を繰り返す。
【００４１】なお、この実施例は、被測定板状体１１と
して床パネルを例示しているが、図４において２点鎖線
で示すような養生台１７でもよく、硬質の材料からなる
板状のものであれば、この発明が適用できることは言う
までもない。また、計測手段としてレーザ式変位計８を
使用しているが、差動トランスなどの接触式センサを使
用しても同様にして計測することができる。
して床パネルを例示しているが、図４において２点鎖線
で示すような養生台１７でもよく、硬質の材料からなる
板状のものであれば、この発明が適用できることは言う
までもない。また、計測手段としてレーザ式変位計８を
使用しているが、差動トランスなどの接触式センサを使
用しても同様にして計測することができる。
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
以下のような効果が奏される。すなわち、請求項１に記
載の発明によれば、保持手段により被測定板状体の異な
る位置を所定の順序にしたがって１箇所ずつ交代的に押
圧するとともに、その際計測手段にて各位置におけるそ
の表面までの距離を測定するようにしたことにより、自
動的に計測作業が実行でき、効率良く板状体の平坦度を
測定することができる。
以下のような効果が奏される。すなわち、請求項１に記
載の発明によれば、保持手段により被測定板状体の異な
る位置を所定の順序にしたがって１箇所ずつ交代的に押
圧するとともに、その際計測手段にて各位置におけるそ
の表面までの距離を測定するようにしたことにより、自
動的に計測作業が実行でき、効率良く板状体の平坦度を
測定することができる。
【００４３】この場合、請求項５に記載の装置によれ
ば、この請求項１の発明が効果的に実施され、かつ、測
定データが記憶媒体に格納されるため、必要に応じてそ
のデータを加工することもできる。
ば、この請求項１の発明が効果的に実施され、かつ、測
定データが記憶媒体に格納されるため、必要に応じてそ
のデータを加工することもできる。
【００４４】この場合、計測手段としてレーザ式変位計
もしくは接触式距離計のいずれかを使用する請求項２に
よれば、特殊な計測センサによることなく、計測が可能
になるので、請求項１に記載の発明の効果に加えてより
安価に提供することができる。
もしくは接触式距離計のいずれかを使用する請求項２に
よれば、特殊な計測センサによることなく、計測が可能
になるので、請求項１に記載の発明の効果に加えてより
安価に提供することができる。
【００４５】また、計測手段にレーザ式変位計を用い、
同レーザ式変位計にて被測定板状体に先端が当接する当
接部材の後端の位置を測定し、間接的にその被測定板状
体までの距離を測定するように構成された請求項３記載
の発明によれば、板状体の表面の細かな傷などを検出す
ることなく、表面までの距離を測定できるため、請求項
１に記載の発明の効果に加え、精度の高いガタやソリの
検出が可能になる。
同レーザ式変位計にて被測定板状体に先端が当接する当
接部材の後端の位置を測定し、間接的にその被測定板状
体までの距離を測定するように構成された請求項３記載
の発明によれば、板状体の表面の細かな傷などを検出す
ることなく、表面までの距離を測定できるため、請求項
１に記載の発明の効果に加え、精度の高いガタやソリの
検出が可能になる。
【００４６】さらに、保持手段が、測定部で測定すべき
板状体を上面から抑える押圧部材と、この押圧部材を昇
降させるエアーシリンダ（昇降手段）とからなる請求項
４に記載の発明によれば、簡単な構成で被測定板状体の
保持が可能になり、請求項１に記載の発明の効果をより
確実に奏させることができる。
板状体を上面から抑える押圧部材と、この押圧部材を昇
降させるエアーシリンダ（昇降手段）とからなる請求項
４に記載の発明によれば、簡単な構成で被測定板状体の
保持が可能になり、請求項１に記載の発明の効果をより
確実に奏させることができる。
【図１】本発明の面精度測定方法に適用される装置の一
実施例を示した斜視図。
実施例を示した斜視図。
【図２】同実施例に係る面精度測定装置の一部を切り欠
いた平面図。
いた平面図。
【図３】同実施例に係る面精度測定装置の側面図。
【図４】同実施例に係る面精度測定装置の使用状態（初
期状態）を示す正面図。
期状態）を示す正面図。
【図５】同実施例に係る面精度測定装置の使用状態（計
測状態）を示す要部を拡大した正面図。
測状態）を示す要部を拡大した正面図。
【図６】同実施例に係る面精度測定装置のシステム構成
を示す説明図。
を示す説明図。
【図７】本発明の測定動作を説明するための説明図。
１ 面精度測定装置 ２ スライドテーブル ３ 基準面 ４ 基台 ５ 支持台 ６ 支柱 ７ 支承部材 ８ レーザ式変位計 ９ 昇降部材 ９ａ 軸受部 ９ｂ 支持部材 ９ｃ 連結部材 ９ｄ 固定部材 １０ 昇降装置 １１ 被測定板状体（床パネル） １２ 当接部材 １２ａ ロッド部材 １２ｂ 支持部材 １２ｃ 当接部 １２ｄ 照射面 １３ 保持部材 １３ａ エアーシリンダ １３ｂ ピストンロッド １３ｃ 押圧子 １４ ロッド １５ 接続部 １６ 制御装置 １６ａ 表示部 １６ｂ プリンタ １７ 養生台
Claims (5)
- 【請求項１】 床パネルなどの被測定板状体に対して所
定の高さ位置に設けられた計測手段を備え、同計測手段
から上記被測定板状体の表面までの距離を測定すること
により、上記被測定板状体の平坦度を測定する板状体の
面精度測定方法において、平坦な基準面上に載置されて
いる上記被測定板状体をその上方から押圧してその基準
面上に保持する保持手段を有し、同保持手段により上記
被測定板状体の異なる位置を所定の順序にしたがって１
箇所ずつ交代的に押圧するとともに、その際上記計測手
段にて各位置におけるその表面までの距離を測定するこ
とにより、上記被測定板状体の平坦度を測定するように
したことを特徴とする板状体の面精度測定方法。 - 【請求項２】 上記計測手段はレーザ式変位計もしくは
接触式距離計のいずれかからなることを特徴とする請求
項１に記載の板状体の面精度測定方法。 - 【請求項３】 上記計測手段はレーザ式変位計からな
り、同レーザ式変位計は上記被測定板状体に先端が当接
する当接部材の後端の位置までの距離を測定し、間接的
に上記被測定板状体までの距離を測定するように構成さ
れていることを特徴とする請求項１に記載の板状体の面
精度測定方法。 - 【請求項４】 上記保持手段は上記測定部で上記被測定
板状体を上面から押さえる押圧部材と、同押圧部材を昇
降させる昇降手段とからなることを特徴とする請求項１
に記載の板状体の面精度測定方法。 - 【請求項５】 床パネルなどの被測定板状体に対して所
定の高さ位置に設けられた計測手段を備え、同計測手段
から上記被測定板状体の表面までの距離を測定すること
により、上記被測定板状体の平坦度を測定する板状体の
面精度測定装置において、上記被測定板状体を上記計測
手段が設けられている測定部に搬送する搬送手段と、同
搬送手段にて上記測定部に搬送された上記被測定板状体
を上方から押圧して平坦な基準面上に保持する保持手段
と、上記計測手段にて測定された上記被測定板状物まで
の距離から同板状体の平坦度を算出する演算手段と、同
演算手段にて得られたデータを格納する記憶媒体とを備
えていることを特徴とする板状体の面精度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11055994A JP2775589B2 (ja) | 1994-04-26 | 1994-04-26 | 板状体の面精度測定方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11055994A JP2775589B2 (ja) | 1994-04-26 | 1994-04-26 | 板状体の面精度測定方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07294246A JPH07294246A (ja) | 1995-11-10 |
| JP2775589B2 true JP2775589B2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=14538908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11055994A Expired - Lifetime JP2775589B2 (ja) | 1994-04-26 | 1994-04-26 | 板状体の面精度測定方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2775589B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111336955A (zh) * | 2020-01-16 | 2020-06-26 | 合肥京东方视讯科技有限公司 | 水平平整度测量装置及测量工具组件 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4605948B2 (ja) * | 2001-07-16 | 2011-01-05 | 大日本印刷株式会社 | 反り測定装置及びそれを用いた焼成装置 |
| JP4546227B2 (ja) * | 2004-11-30 | 2010-09-15 | Ｎｅｃエンジニアリング株式会社 | 膜厚抵抗測定装置 |
| JP6196869B2 (ja) * | 2013-10-03 | 2017-09-13 | 株式会社アマダホールディングス | ワーク支持部材の保守支援装置及び保守支援方法、並びに、レーザ加工機 |
-
1994
- 1994-04-26 JP JP11055994A patent/JP2775589B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111336955A (zh) * | 2020-01-16 | 2020-06-26 | 合肥京东方视讯科技有限公司 | 水平平整度测量装置及测量工具组件 |
| CN111336955B (zh) * | 2020-01-16 | 2022-04-15 | 合肥京东方视讯科技有限公司 | 水平平整度测量装置及测量工具组件 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07294246A (ja) | 1995-11-10 |
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|---|---|---|---|
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