CN210220986U - 测定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种测定装置，该测定装置用于测定玻璃板的厚度，并能够准确地测定玻璃基板的厚度。测定装置(1)用于测定玻璃板(G)的厚度，包括载置玻璃板(G)的陶瓷制的平台(2)和测定玻璃板(G)的厚度的光学式的传感器(3)，平台(2)在由传感器(3)进行测定的测定部位具有作为凹部的孔(22)。

Description

测定装置

技术领域

本实用新型涉及测定玻璃板厚度的测定装置的技术。更详细来说，涉及利用光学式的传感器测定玻璃板厚度的测定装置的技术。

背景技术

对于液晶显示装置或有机EL显示装置等所谓平板显示器(FPD)使用的玻璃基板而言，若一片基板内的板厚差异很大，则在对电路等进行曝光时会产生不对焦部分，导致成品率、效率降低。因此，测定玻璃基板厚度并进行管理非常重要。

通常，作为用于测定玻璃基板厚度的测定方法，公知使用激光以光学方式进行玻璃基板厚度测定的方法。例如，在专利文献1中公开了一种使用前述方法测定复合玻璃基板厚度的测定装置。详细来说，以往的测定装置包括载置复合玻璃基板的工作台和在该工作台上方以能够沿正交的两个方向移动的方式构成的光学单元。光学单元内置有照射带状激光的投光部和接受来自玻璃基板的反射光的受光部，透光部从工作台的上方向玻璃板沿斜方向照射激光，受光部接受由玻璃板的表面反射的表面反射光和由玻璃板的背面反射的背面反射光。并且，光学单元根据表面反射光与背面反射光分开的距离检测复合玻璃板的厚度。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-61982号公报

在现有技术中，工作台由金属例如铝等构成。但是，在玻璃板本身带有热量的情况下或在气氛温度升高的状态下，工作台因热膨胀而晃动，妨碍准确地测定玻璃基板的厚度。另外，在工作台中，存在从投光部照射的光进行反射的情况，妨碍准确地测定玻璃基板的厚度。

实用新型内容

本实用新型鉴于以上课题，提供一种测定装置，该测定装置用于测定玻璃板的厚度，并能够准确地测定玻璃基板的厚度。

用于解决课题的方案

本实用新型要解决的课题如上，以下说明解决该课题的方案。

即，在本实用新型中，用于测定玻璃板的厚度的测定装置包括：

陶瓷制的平台，其载置玻璃板；以及

光学式的传感器，其测定玻璃板的厚度，

所述平台在由所述传感器进行测定的测定部位具有凹部。

本实用新型中，所述凹部设为贯通所述平台的孔。

本实用新型中，还具有移动机构，所述移动机构使所述传感器相对于所述平台相对移动，

所述凹部以长度方向沿着所述移动机构的相对移动方向的方式形成。

本实用新型中，所述移动机构包括：

支柱，其能够相对于平台相对移动；以及

横梁，其支承于所述支柱，

所述传感器支承于所述横梁。

本实用新型中，所述平台被固定为不能移动，

所述移动机构使所述横梁和支承于横梁的传感器相对于所述平台相对移动。

实用新型效果

作为本实用新型的效果，具有以下所述的效果。

在本实用新型中，通过使平台为陶瓷制，从而与由金属形成的情况相比，能够防止由热膨胀引起的晃动。另外，通过在测定部位设置凹部，从而能够防止玻璃板背面的反射与平台支承面的反射干涉而无法测定准确的厚度的情况。

另外，在本实用新型中，在平台的下表面侧还设有传感器，能够从下侧进行投光及受光。因此，对于带膜玻璃也能够测量厚度。

另外，在本实用新型中，在对玻璃板的不同部位进行测定时，通过使传感器相对于平台相对移动而能够容易且准确地进行测定。

另外，在本实用新型中，由于使用悬臂构造，因此能够抑制设备成本来实施。

另外，在本实用新型中，平台被固定，移动机构使传感器相对移动，从而不需要将玻璃板通过吸附等固定于平台。因此，能够抑制设备成本并缩短测定所需的时间。

附图说明

图1是示出本实用新型的一个实施方式的测定装置的整体结构的侧视图。

图2是示出本实用新型的一个实施方式的测定装置的结构的俯视图。

图3是示出本实用新型的一个实施方式的测定装置的结构的II-II线剖视图。

图4是示出本实用新型的另一个实施方式的测定装置的结构的II-II线剖视图。

附图标记说明

1 测定装置

2 平台

3 传感器

4 支承台

5 移动机构

21 支承面

22 孔(凹部)

23 吸引孔

24 轨道

31 滑动构件

32 支柱

33 横梁

35 滑动部

38 底板构件

41 第二传感器

具体实施方式

接下来，说明本实用新型的实施方式。

图1～图3是示出本实用新型的一个实施方式的测定装置的图。

测定装置1是测定玻璃板G的厚度的装置。玻璃板G是液晶显示器或等离子显示器等平板显示器用的玻璃基板。该玻璃板G的厚度例如为0.05mm以上且10mm以下，优选为0.2mm～0.7mm。另外，玻璃板G被裁切为规定的尺寸(例如1300×1300mm以下)。

如图1所示，测定装置1包括：陶瓷制的平台2，其载置玻璃板G；光学式的传感器3，其测定玻璃板G的厚度；支承台4，其配置在平台2的下方；以及移动机构5，其相对于支承台4固定并构成为能够向规定的相对移动方向移动。

平台2具有矩形板状的形状，在本实施方式中，以平行于水平面的姿态配置。并且，由该平台2的上表面构成支承面21。平台2的前后方向的长度及左右方向的宽度例如是500～3000mm。平台2由陶瓷形成。陶瓷由于难以热膨胀，因此与由金属形成的情况相比，能够防止由热膨胀引起的晃动。需要说明的是，在本说明书中，前后方向是指图1的侧视图中的前后方向(贯通纸面的方向)，左右方向是指图1的侧视图中的左右方向。

在平台2的支承面21上，设有沿与移动机构5的相对移动方向(左右方向)平行的方向延伸的形成为凹部的孔22。凹部是以其底面与支承面21的上表面相比低5mm以上或贯通平台2的方式构成的部分，在本实施方式中，由贯通平台2的孔22形成。在本实施方式中，孔22为矩形状，针对支承面21设有一个。孔22的相对移动方向的长度对应于由传感器3进行测定的测定部位而设置，形成为比平台2的相对移动方向的长度稍短，也可以形成为与平台2的相对移动方向的长度相同。需要说明的是，凹部也可以形成为小径的圆形状的非贯通孔或贯通孔。在该情况下，优选将多个凹部以规定的间距排列配置。另外，凹部的形状不限于圆形状，也可以是椭圆状、长圆状、矩形状。

在支承面21上设有多列用于对玻璃板G进行真空吸附的吸引孔23。各列中的吸引孔23在左右方向上以规定的间距排列，在本实施方式中配置为直线状。

在平台2的内部配置有与设置于各列的吸引孔23连结的未图示的吸引通路。所述吸引通路平行于左右方向配置，与外部的未图示的抽吸泵连接。需要说明的是，吸引孔23也可以省略。

在平台2的侧面设有构成移动机构5的轨道24。在本实施方式中，轨道24沿左右方向延伸，仅设置在平台2的一侧面。需要说明的是，轨道24也可以设置在支承台4的上部。

传感器3为光学式的传感器，是通过向对象物照射光(激光)并检测其反射光来测距的传感器。详细来说，传感器3具有投光部和受光部，由通过三角法测定位移的激光测距计或具有分光单元的分光干涉式板厚计构成。投光部向支承于支承面21的玻璃板G以点状照射激光。受光部接受来自玻璃板G的反射光、即由玻璃板G的表面反射的表面反射光R1及由玻璃板G的背面反射的背面反射光R2。基于该表面反射光R1及背面反射光R2，利用未图示的控制装置计算玻璃板G的厚度。

支承台4是支承测定装置1的结构要素的底座，在其上部固定平台2。另外，支承台4在下部设有车轮25而构成为能够移动。在支承台4的内部收容未图示的抽吸泵、电源、控制装置等。需要说明的是，在本实施方式中，平台2隔着间隔件26载置于支承台4，但若不采用后述的其他实施方式(在平台2的下方设置第二传感器41的实施方式)，则也可以不隔着间隔件26，而是将平台2直接载置在支承台4上。

移动机构5是使传感器3在平台2的上方沿左右方向移动的机构，包括前述的轨道24和滑动构件31。滑动构件31以能够滑动的方式支承于在平台2的侧面安装的轨道24。在本实施方式中，滑动构件31包括滑动部35。滑动部35在滑动构件31的左右方向两端部设置两个，以与轨道24卡合的方式构成。另外，滑动构件31与未图示的进给机构连结。进给机构是使滑动构件31进给移动的机构，例如能够由滚珠丝杠和驱动源(例如伺服电动机)构成。也可以取代滚珠丝杠使用齿条-小齿轮。只要对驱动源进行驱动，则通过进给机构的动作及轨道24的引导而使滑动构件31向左右方向移动。

支柱32为从滑动构件31的滑动部35的一端向上方延伸的柱状构件，在本实施方式中由棱柱构成。横梁33是从支柱32的上端沿前后方向突出的柱状构件，在本实施方式中，悬臂支承于支柱32。由此，与两端支承构造相比，能够减少部件个数。另外，在横梁33的下表面安装有传感器3。传感器3以能够调节相对于横梁33的高度的方式安装。例如，在传感器3与横梁33间的安装部分设置未图示的进给丝杠，能够通过由未图示的马达等驱动而沿上下方向移动。传感器3以在前后方向上与形成有孔22的部位一致的方式安装。通过按照这种方式构成，从而移动机构5构成为能够使滑动构件31沿左右方向移动。若使进给机构动作，则滑动构件31在左右方向上移动，支柱32、横梁33及传感器3也在左右方向上移动。由此，能够使传感器3在载置于平台2的支承面21上的玻璃板G的上方移动。传感器3形成为在前后方向上与形成有孔22的部位一致，因此，能够使玻璃板G保持固定而使用传感器3连续地进行玻璃板G的厚度测定。另外，基于连续测定的结果，能够显示2D映射图、最大值、平均值、最小值。

另外，也可以采用在平台2的下方设置第二传感器41的结构。第二传感器41如图4所示，设置于比平台2靠下方的位置，在本实施方式中，安装在移动机构5的底板构件38的上表面。底板构件38是沿前后方向从滑动构件31突出的构件，设置在平台2的下方。第二传感器41以在前后方向上与形成有孔22的部位一致的方式安装。在针对带膜玻璃板G进行厚度测定时，由于玻璃板G不透光，因此仅以来自一方的光的照射无法测定厚度。但是，通过按照上述方式构成，能够从玻璃板G的上方使用传感器3测定及从玻璃板G的下表面使用第二传感器41测定，从而能够准确地测定玻璃板G的厚度。

第二传感器41包括投光部和受光部，由通过三角法测定位移的激光测距计或具有分光单元的分光干涉式板厚计构成。投光部向支承于支承面21的玻璃板G以点状照射激光。受光部接受来自玻璃板G的反射光、即由玻璃板G的背面反射的背面反射光R3及由玻璃板G的表面反射的表面反射光R4。基于该背面反射光R3及表面反射光R4，利用未图示的控制装置计算玻璃板G的厚度。

如上所述，测定装置1用于测定玻璃板G的厚度，其包括载置玻璃板G的陶瓷制的平台2和测定玻璃板G的厚度的光学式的传感器3，平台2在由传感器3进行测定的测定部位具有作为凹部的孔22。

通过按照这种方式构成，在向配置于平台2的支承面21上的玻璃板G照射传感器3的光时，能够防止支承面21上的光散射，因此能够准确地测定玻璃板G的厚度。

另外，测定装置1还具有使传感器3相对于平台2相对移动的移动机构5，孔22以长度方向沿着移动机构5的相对移动方向的方式形成。

通过按照这种方式构成，能够通过移动机构5使传感器3相对于载置在平台2上的玻璃板G相对移动，因此能够连续测定玻璃板G的多个部位。

另外，凹部设置为贯通平台2的孔22。

通过按照这种方式构成，能够在载置于平台2的玻璃板G的下表面侧也设置作为光学式的传感器的第二传感器41，并能够测定厚度。因此，对于仅通过从玻璃板G的上方的测定难以测定厚度的带膜玻璃板也能够测定厚度。

另外，移动机构5具有能够相对于平台2相对移动的支柱32和支承于支柱32的横梁33，传感器3支承于横梁33。

通过按照这种方式构成，能够通过悬臂构造来支承传感器3，因此能够抑制设备成本而构成移动机构。

产业上的可利用性

本实用新型能够应用于测定装置的技术。

Claims (5)

1.一种测定装置，其用于测定玻璃板的厚度，

所述测定装置的特征在于，包括：

陶瓷制的平台，其载置玻璃板；以及

光学式的传感器，其测定玻璃板的厚度，

所述平台在由所述传感器进行测定的测定部位具有凹部。

2.根据权利要求1所述的测定装置，其特征在于，

所述凹部设为贯通所述平台的孔。

3.根据权利要求1或2所述的测定装置，其特征在于，

所述测定装置还具有移动机构，所述移动机构使所述传感器相对于所述平台相对移动，

所述凹部以长度方向沿着所述移动机构的相对移动方向的方式形成。

4.根据权利要求3所述的测定装置，其特征在于，

所述移动机构包括：

支柱，其能够相对于平台相对移动；以及

横梁，其支承于所述支柱，

所述传感器支承于所述横梁。

5.根据权利要求4所述的测定装置，其特征在于，

所述平台被固定为不能移动，

所述移动机构使所述横梁和支承于横梁的传感器相对于所述平台相对移动。

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