JP2774360B2 - 帯状のリードフレーム材料の連続焼鈍装置 - Google Patents
帯状のリードフレーム材料の連続焼鈍装置Info
- Publication number
- JP2774360B2 JP2774360B2 JP15127790A JP15127790A JP2774360B2 JP 2774360 B2 JP2774360 B2 JP 2774360B2 JP 15127790 A JP15127790 A JP 15127790A JP 15127790 A JP15127790 A JP 15127790A JP 2774360 B2 JP2774360 B2 JP 2774360B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating
- lead frame
- strip
- frame material
- shaped lead
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/25—Process efficiency
Landscapes
- Heat Treatment Of Strip Materials And Filament Materials (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、たとえば金属薄板の帯状材料をスリッティ
ング及びプレス打抜き加工によってリードフレームパタ
ーンを形成する際に生じる残留応力を除去するための連
続焼鈍装置に関する。
ング及びプレス打抜き加工によってリードフレームパタ
ーンを形成する際に生じる残留応力を除去するための連
続焼鈍装置に関する。
半導体装置用のリードフレームの製造では、スリッテ
ィングした帯状材料をプレス加工又はエッチング加工し
て所定のリードフレームパターンが形成される。この加
工，形成の過程で、帯状材料には残留応力及び歪が発生
するので、これを除去するための熱処理が行われる。
ィングした帯状材料をプレス加工又はエッチング加工し
て所定のリードフレームパターンが形成される。この加
工，形成の過程で、帯状材料には残留応力及び歪が発生
するので、これを除去するための熱処理が行われる。
この熱処理のための装置としては、スリッティングし
た帯状材料またはプレス加工したリードフレームの全体
を酸化防止の加熱雰囲気中に連続供給して間接加熱する
光輝焼鈍装置や真空焼鈍装置及び電磁現象を利用して金
属内で電気エネルギを直接熱エネルギに変換して加熱す
る高周波焼鈍装置等が一般に利用されている。
た帯状材料またはプレス加工したリードフレームの全体
を酸化防止の加熱雰囲気中に連続供給して間接加熱する
光輝焼鈍装置や真空焼鈍装置及び電磁現象を利用して金
属内で電気エネルギを直接熱エネルギに変換して加熱す
る高周波焼鈍装置等が一般に利用されている。
ところが、光輝焼鈍装置や真空焼鈍装置等は、パネル
ヒータの内部の加熱コイルによってマッフル炉内に加熱
雰囲気を形成し、この中に被加熱物を連続供給して残留
応力を除去する方式なので、帯状材料の全体を均一に加
熱できるが、設備が大掛かりになる。また、加熱時間も
長くしかも加熱量を確保するためにパスライン方向の装
置の全長も長くなり、帯状材料の硬度の低下や幅方向の
縁部が波打つ耳波等が生じやすく、また、加熱雰囲気温
度の制御が困難である等の問題がある。
ヒータの内部の加熱コイルによってマッフル炉内に加熱
雰囲気を形成し、この中に被加熱物を連続供給して残留
応力を除去する方式なので、帯状材料の全体を均一に加
熱できるが、設備が大掛かりになる。また、加熱時間も
長くしかも加熱量を確保するためにパスライン方向の装
置の全長も長くなり、帯状材料の硬度の低下や幅方向の
縁部が波打つ耳波等が生じやすく、また、加熱雰囲気温
度の制御が困難である等の問題がある。
一方、従来の高周波焼鈍装置では、先に述べた装置に
比べると加熱時間や装置の全長も非常に短く、加熱温度
の制御も簡単である。しかし、帯状材料に高周波誘導に
よる渦電流を発生させて加熱する誘導加熱方式なので、
帯状材料の幅，板厚及び材質によって加熱パターンが異
なる。したがって、帯状材料に均一な加熱を施す加熱パ
ターンの形成が難しく、完全に耳波や残留応力が除去さ
れないままとなる等の問題がある。
比べると加熱時間や装置の全長も非常に短く、加熱温度
の制御も簡単である。しかし、帯状材料に高周波誘導に
よる渦電流を発生させて加熱する誘導加熱方式なので、
帯状材料の幅，板厚及び材質によって加熱パターンが異
なる。したがって、帯状材料に均一な加熱を施す加熱パ
ターンの形成が難しく、完全に耳波や残留応力が除去さ
れないままとなる等の問題がある。
そこで、本発明は、帯状材料の残留応力を除去するに
際して、適正な加熱パターンを形成して帯状材料の硬度
の低下や耳波の発生を防止し最適な焼鈍装置が行えるよ
うにすることを目的とする。
際して、適正な加熱パターンを形成して帯状材料の硬度
の低下や耳波の発生を防止し最適な焼鈍装置が行えるよ
うにすることを目的とする。
本発明は、帯状のリードフレーム材料の内部応力を加
熱によって除去する連続焼鈍装置であって、高周波誘導
加熱体を前記帯状のリードフレーム材料の幅全面にわた
って延び、かつ、その表裏両面を挟む断面コ字状に配置
し、更に前記帯状のリードフレーム材料のパス方向と逆
向きに突き出る凸部を前記高周波誘導加熱体に備えたこ
とを特徴とする。
熱によって除去する連続焼鈍装置であって、高周波誘導
加熱体を前記帯状のリードフレーム材料の幅全面にわた
って延び、かつ、その表裏両面を挟む断面コ字状に配置
し、更に前記帯状のリードフレーム材料のパス方向と逆
向きに突き出る凸部を前記高周波誘導加熱体に備えたこ
とを特徴とする。
高周波誘導加熱体に設けた帯状のリードフレーム材料
のパス方向が逆向きに突き出る凸部分を帯状材料の幅方
向の中央に合わせれば、帯状のリードフレーム材料をパ
ス方向に連続供給することによって、この中央部分が先
行して誘導加熱され、更に後段の高周波誘導加熱体によ
って帯状のリードフレーム材料の幅方向の全体に適正な
加熱パターンを形成し、内部残留応力及び耳波を除去す
るに適切な温度分布が得られる。
のパス方向が逆向きに突き出る凸部分を帯状材料の幅方
向の中央に合わせれば、帯状のリードフレーム材料をパ
ス方向に連続供給することによって、この中央部分が先
行して誘導加熱され、更に後段の高周波誘導加熱体によ
って帯状のリードフレーム材料の幅方向の全体に適正な
加熱パターンを形成し、内部残留応力及び耳波を除去す
るに適切な温度分布が得られる。
第１図は本発明の連続焼鈍装置に用いる高周波加熱装
置の縦断面図、第２図は帯状材料のパス方向に見た縦断
面図、第３図は連続焼鈍装置の設備全体の概略図であ
る。なお、実施例では帯状材料をスリッティング及びプ
レス加工した帯状のリードフレーム材料の焼鈍について
説明する。
置の縦断面図、第２図は帯状材料のパス方向に見た縦断
面図、第３図は連続焼鈍装置の設備全体の概略図であ
る。なお、実施例では帯状材料をスリッティング及びプ
レス加工した帯状のリードフレーム材料の焼鈍について
説明する。
第３図において、連続焼鈍装置の設備は、高周波誘導
加熱装置１及びこれに一体にパスの下流に接続した徐冷
装置２を備え、スリッティング又はペルス加工後のリー
ドフレームの帯状の材料Ａを巻き付けたアンコイラ3,テ
ンション装置４及び焼鈍後の材料Ａを巻き取って回収す
るコイラ５を配置している。この設備では、アイコイラ
３及びコイラ５を所定の回転速度で回転させ、テンショ
ン装置４によって材料Ａの進行方向とは逆向きにテンシ
ョンを与えながら高周波誘導加熱装置１及び徐冷装置２
によって連続的に焼鈍処理できる。
加熱装置１及びこれに一体にパスの下流に接続した徐冷
装置２を備え、スリッティング又はペルス加工後のリー
ドフレームの帯状の材料Ａを巻き付けたアンコイラ3,テ
ンション装置４及び焼鈍後の材料Ａを巻き取って回収す
るコイラ５を配置している。この設備では、アイコイラ
３及びコイラ５を所定の回転速度で回転させ、テンショ
ン装置４によって材料Ａの進行方向とは逆向きにテンシ
ョンを与えながら高周波誘導加熱装置１及び徐冷装置２
によって連続的に焼鈍処理できる。
高周波誘導加熱装置１は、支持枠1aに上ハウジング1b
及び下ハウジング1cを一体化すると共にこれらのハウジ
ング1b,1cの間にスペーサ1dを挟み込んだ構成を持つ。
そして、材料Ａのパスラインを含めて加熱チャンバ10を
形成し、上，下ハウジング1b,1cに組み込んだ上部加熱
コイル11及び下部加熱コイル12によってパスして行く材
料Ａを高周波誘導加熱する。なお、加熱コイル11,12は
１本のコイルで直結されていることは無論である。
及び下ハウジング1cを一体化すると共にこれらのハウジ
ング1b,1cの間にスペーサ1dを挟み込んだ構成を持つ。
そして、材料Ａのパスラインを含めて加熱チャンバ10を
形成し、上，下ハウジング1b,1cに組み込んだ上部加熱
コイル11及び下部加熱コイル12によってパスして行く材
料Ａを高周波誘導加熱する。なお、加熱コイル11,12は
１本のコイルで直結されていることは無論である。
上部，下部加熱コイル11,12は、第４図の概略図に示
すように、材料Ａの上下面に被さるように配置され、実
施例ではパス方向に２組設けられている。そして、第５
図に示すように、上部，下部加熱コイル11,12のそれぞ
れには電源に接続するための接続プレート13,14が連結
され、これらの接続プレート13,14の間には絶縁プレー
ト15を挟み込んでいる。また、上部，下部加熱コイル1
1,12には、材料Ａが進む方向とは逆向きに突き出る凸部
11a,12aを持たせている。更に、上部，下部加熱コイル1
1,12のそれぞれには、凸部11a,12aを含む前段加熱部11
b,12bとパスの後方側に位置させた後段加熱部11c,12cが
形成されている。このような前段の加熱部11c,12cによ
って、材料Ａには２段の加熱が与えられると共に、凸部
11a,12aを含めると３段式の加熱が行われる。なお、上
部，下部加熱コイル11,12には外部からの冷却水を循環
させるために、冷却水流路11d,12dをそれぞれ内部に設
けている。
すように、材料Ａの上下面に被さるように配置され、実
施例ではパス方向に２組設けられている。そして、第５
図に示すように、上部，下部加熱コイル11,12のそれぞ
れには電源に接続するための接続プレート13,14が連結
され、これらの接続プレート13,14の間には絶縁プレー
ト15を挟み込んでいる。また、上部，下部加熱コイル1
1,12には、材料Ａが進む方向とは逆向きに突き出る凸部
11a,12aを持たせている。更に、上部，下部加熱コイル1
1,12のそれぞれには、凸部11a,12aを含む前段加熱部11
b,12bとパスの後方側に位置させた後段加熱部11c,12cが
形成されている。このような前段の加熱部11c,12cによ
って、材料Ａには２段の加熱が与えられると共に、凸部
11a,12aを含めると３段式の加熱が行われる。なお、上
部，下部加熱コイル11,12には外部からの冷却水を循環
させるために、冷却水流路11d,12dをそれぞれ内部に設
けている。
材料Ａがパスする加熱チャンバ10及び徐冷装置２の中
には、不活性ガスが供給されて循環し、焼鈍を不活性雰
囲気の中で処理する。第３図に示すように、不活性ガス
の供給タンク20を含む循環路21を設け、上，下ハウジン
グ1b,1cの材料Ａの入側及び出側に配置したヘッダ22,23
に不活性ガスを送り込み、徐冷装置２の末端から供給タ
ンク20へ回収する系を構成している。入側のヘッダ22に
は加熱チャンバ10の中に不活性ガスを吹き込むノズル22
aが設けられ、出側のヘッダ23にも不活性ガスを徐冷装
置２の中に送り込むノズル23aを備えている。
には、不活性ガスが供給されて循環し、焼鈍を不活性雰
囲気の中で処理する。第３図に示すように、不活性ガス
の供給タンク20を含む循環路21を設け、上，下ハウジン
グ1b,1cの材料Ａの入側及び出側に配置したヘッダ22,23
に不活性ガスを送り込み、徐冷装置２の末端から供給タ
ンク20へ回収する系を構成している。入側のヘッダ22に
は加熱チャンバ10の中に不活性ガスを吹き込むノズル22
aが設けられ、出側のヘッダ23にも不活性ガスを徐冷装
置２の中に送り込むノズル23aを備えている。
このような不活性ガスの循環路21を設けてノズル22a,
23aから吹き込むので、材料Ａが高周波誘導加熱装置１
の中で加熱される間と徐冷装置２で徐冷される間継続し
て不活性雰囲気の中で焼鈍処理できる。また、ノズル22
a,23aは、材料Ａの上下に配置されているので、これら
のノズル22a,23aから吹き込む不活性ガスの流量や流速
を適切に設定しておけば、材料Ａを浮かせたようにして
パスさせることができる。このため、材料Ａは上部，下
部加熱コイル11,12に接触することなく走行し、表面傷
の発生やリードの曲がり変形等のない焼鈍処理が可能と
なる。なお、高周波誘導加熱装置１の入側及び出側には
材料Ａの両端部をガイドするガイドピン1eが設けられ、
材料Ａが上部，下部加熱コイル11,12の表面との間で間
隔を持つようにパスできるようにしている。
23aから吹き込むので、材料Ａが高周波誘導加熱装置１
の中で加熱される間と徐冷装置２で徐冷される間継続し
て不活性雰囲気の中で焼鈍処理できる。また、ノズル22
a,23aは、材料Ａの上下に配置されているので、これら
のノズル22a,23aから吹き込む不活性ガスの流量や流速
を適切に設定しておけば、材料Ａを浮かせたようにして
パスさせることができる。このため、材料Ａは上部，下
部加熱コイル11,12に接触することなく走行し、表面傷
の発生やリードの曲がり変形等のない焼鈍処理が可能と
なる。なお、高周波誘導加熱装置１の入側及び出側には
材料Ａの両端部をガイドするガイドピン1eが設けられ、
材料Ａが上部，下部加熱コイル11,12の表面との間で間
隔を持つようにパスできるようにしている。
第６図及び第７図は加熱構造の他の例を示すものであ
る。これは、上部，下部加熱コイル11,12をほぼ長方形
状としてこれらをダストコア20で支持した構成であり、
その他は第１図及び第２図で示したものと全く同様であ
る。
る。これは、上部，下部加熱コイル11,12をほぼ長方形
状としてこれらをダストコア20で支持した構成であり、
その他は第１図及び第２図で示したものと全く同様であ
る。
以上の構成において、アンコイラ３に巻きつけられて
いた材料Ａはテンション装置４によってテンションを走
行方向とは逆に受けながら、高周波誘導加熱装置１に送
り込まれる。高周波誘導加熱装置１の中では、残留応力
分布に基づいた加熱パターンを形成する上部，下部加熱
コイル11,12による誘導加熱によって材料Ａは硬度の維
持及び耳波の発生を抑えるように加熱される。また、加
熱チャンバ10には不活性ガスがノズル22Aから供給され
ているので、材料Ａは不活性雰囲気の中で加熱され、不
活性ガスの流れによって上部，下部加熱コイル11,12に
接触することなく搬送される。
いた材料Ａはテンション装置４によってテンションを走
行方向とは逆に受けながら、高周波誘導加熱装置１に送
り込まれる。高周波誘導加熱装置１の中では、残留応力
分布に基づいた加熱パターンを形成する上部，下部加熱
コイル11,12による誘導加熱によって材料Ａは硬度の維
持及び耳波の発生を抑えるように加熱される。また、加
熱チャンバ10には不活性ガスがノズル22Aから供給され
ているので、材料Ａは不活性雰囲気の中で加熱され、不
活性ガスの流れによって上部，下部加熱コイル11,12に
接触することなく搬送される。
高周波誘導加熱装置１で加熱された材料Ａは次段の徐
冷装置２に入り込み、ここで徐冷されて焼鈍過程を経た
材料Ａがコイル５に巻き取られる。そして、徐冷装置２
の中にもノズル23aから不活性ガスが供給されているの
で、加熱後の材料が酸化することなく適正な焼鈍が行わ
れる。
冷装置２に入り込み、ここで徐冷されて焼鈍過程を経た
材料Ａがコイル５に巻き取られる。そして、徐冷装置２
の中にもノズル23aから不活性ガスが供給されているの
で、加熱後の材料が酸化することなく適正な焼鈍が行わ
れる。
ここで、上部，下部加熱コイル11,12にはそれぞれ凸
部11a,12aを設けた前段加熱部11b,12bとこれに続く後段
加熱部11c,12cを備えている。したがって、材料Ａはま
ず凸部11a,12aにより幅方向の中央部が加熱され、これ
に続けて前段加熱部11b,12bの全体の及び後段加熱部11
c,12cによって幅方向の全体が加熱される。
部11a,12aを設けた前段加熱部11b,12bとこれに続く後段
加熱部11c,12cを備えている。したがって、材料Ａはま
ず凸部11a,12aにより幅方向の中央部が加熱され、これ
に続けて前段加熱部11b,12bの全体の及び後段加熱部11
c,12cによって幅方向の全体が加熱される。
第８図は連続供給する材料Ａを停止させて高周波加熱
装置２によって加熱したときの加熱パターンの概略であ
る。図において施した斜線の密度が高いものが高温に加
熱されている領域であり、凸部11a,12aによってパス方
向の先端部50及び幅方向の縁部51が高温に加熱されてい
る。そして、中央部52の加熱度はその周りに比べると低
く、その後方部分53は比較的高温に加熱される。
装置２によって加熱したときの加熱パターンの概略であ
る。図において施した斜線の密度が高いものが高温に加
熱されている領域であり、凸部11a,12aによってパス方
向の先端部50及び幅方向の縁部51が高温に加熱されてい
る。そして、中央部52の加熱度はその周りに比べると低
く、その後方部分53は比較的高温に加熱される。
このような加熱パターンであれば、素材を帯状の材料
Ａにスリッティングするときに内部残留応力が発生しや
すい縁部51の焼鈍が最適化される。そして、凸部11a,12
aによって縁部51に先行して先端部50を加熱するので、
急加熱及び急冷却が避けられる。このため、熱変形が発
生せず、縁部51に耳波が発生することが防止される。な
お、図示の加熱パターンは、材料Ａの幅，厚み，材質に
よって適切に設計されたものである。
Ａにスリッティングするときに内部残留応力が発生しや
すい縁部51の焼鈍が最適化される。そして、凸部11a,12
aによって縁部51に先行して先端部50を加熱するので、
急加熱及び急冷却が避けられる。このため、熱変形が発
生せず、縁部51に耳波が発生することが防止される。な
お、図示の加熱パターンは、材料Ａの幅，厚み，材質に
よって適切に設計されたものである。
このような加熱により、材料Ａがリードフレームのパ
ターンをプレス加工した後のものであっても、幅方向の
中央部に形成される微小なインナーリードの先端部に対
する加熱を先行させることができる。このため、幅方向
の縁部まで内部応力の分布に基づいた適切な加熱パター
ンで加熱されるので、複雑な残留応力分布を持つ内部リ
ードも適正に加熱され、十分にい残留応力の除去処理が
行われる。また、凸部11a,12aは図示の直線的なものに
限らず、突き出た部分を波状にして加熱量を増やした
り、そのほかの様々な平面形状とすることができる。
ターンをプレス加工した後のものであっても、幅方向の
中央部に形成される微小なインナーリードの先端部に対
する加熱を先行させることができる。このため、幅方向
の縁部まで内部応力の分布に基づいた適切な加熱パター
ンで加熱されるので、複雑な残留応力分布を持つ内部リ
ードも適正に加熱され、十分にい残留応力の除去処理が
行われる。また、凸部11a,12aは図示の直線的なものに
限らず、突き出た部分を波状にして加熱量を増やした
り、そのほかの様々な平面形状とすることができる。
なお、実施例ではリードフレームの焼鈍について説明
したが、これ以外の金属ストリップ等の焼鈍にも本発明
の装置が利用できることは無論である。
したが、これ以外の金属ストリップ等の焼鈍にも本発明
の装置が利用できることは無論である。
本発明は、帯状のリードフレーム材料の材質、板厚及
び内部リード等の打抜き形状によって生成する内部応力
の分布に対応させた高周波誘導加熱体を備えており、具
体的には、帯状のリードフレーム材料の中央部分を先行
して加熱し、その後前記帯状材料の幅方向全体を加熱す
る。
び内部リード等の打抜き形状によって生成する内部応力
の分布に対応させた高周波誘導加熱体を備えており、具
体的には、帯状のリードフレーム材料の中央部分を先行
して加熱し、その後前記帯状材料の幅方向全体を加熱す
る。
したがって、複雑なリードフレームのパターンを形成
する場合に特に問題となる内部残留応力分布に対応した
適切な加熱パターンによって該内部残留応力を除去する
ことができ、加熱によって耳波が生じたり硬度が低下す
ることなく、半導体装置組立て工程における加熱処理に
よっても変形しない、高品質かつ歩留まり良好なリード
フレームを提供する焼鈍処理が可能となる。
する場合に特に問題となる内部残留応力分布に対応した
適切な加熱パターンによって該内部残留応力を除去する
ことができ、加熱によって耳波が生じたり硬度が低下す
ることなく、半導体装置組立て工程における加熱処理に
よっても変形しない、高品質かつ歩留まり良好なリード
フレームを提供する焼鈍処理が可能となる。
第１図は本発明の焼鈍装置に用いる高周波加熱装置及び
徐冷装置の一部を示す縦断面図、第２図は高周波加熱装
置をパス方向に見た縦断面図、第３図は焼鈍装置の全体
を示す概略図、第４図は加熱コイルの概略配置を示す斜
視図、第５図は加熱コイルの具体的な配置を示す図、第
６図はダストコアを用いたときの加熱部の要部縦断面
図、第７図は横断面図、第８図は材料の加熱パターンを
示す概略図である。 1:高周波加熱装置、2:徐冷装置 3:アンコイラ、4:テンション装置 5:コイル、10:加熱チャンバ 11:上部加熱コイル、11a:凸部 12:下部加熱コイル、12a:凸部
徐冷装置の一部を示す縦断面図、第２図は高周波加熱装
置をパス方向に見た縦断面図、第３図は焼鈍装置の全体
を示す概略図、第４図は加熱コイルの概略配置を示す斜
視図、第５図は加熱コイルの具体的な配置を示す図、第
６図はダストコアを用いたときの加熱部の要部縦断面
図、第７図は横断面図、第８図は材料の加熱パターンを
示す概略図である。 1:高周波加熱装置、2:徐冷装置 3:アンコイラ、4:テンション装置 5:コイル、10:加熱チャンバ 11:上部加熱コイル、11a:凸部 12:下部加熱コイル、12a:凸部
フロントページの続き (72)発明者 岡本 辰美 福岡県北九州市八幡西区小嶺２丁目10番 １号 株式会社三井ハイテック内 (56)参考文献 特開 昭62−10225（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−113325（ＪＰ，Ａ) 実開 昭56−123496（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭56−52095（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭59−14524（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C21D 1/42 C21D 9/60 H01L 23/495
Claims (1)
- 【請求項１】帯状のリードフレーム材料の内部応力を加
熱によって除去する連続焼鈍装置であって、高周波誘導
加熱体を前記帯状のリードフレーム材料の幅全面にわた
って延び、かつ、その表裏両面を挟む断面コ字状に配置
し、更に前記帯状のリードフレーム材料のパス方向と逆
向きに突き出る凸部を前記高周波誘導加熱体に備えたこ
とを特徴とする帯状のリードフレーム材料の連続焼鈍装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15127790A JP2774360B2 (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | 帯状のリードフレーム材料の連続焼鈍装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15127790A JP2774360B2 (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | 帯状のリードフレーム材料の連続焼鈍装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0441624A JPH0441624A (ja) | 1992-02-12 |
| JP2774360B2 true JP2774360B2 (ja) | 1998-07-09 |
Family
ID=15515165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15127790A Expired - Fee Related JP2774360B2 (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | 帯状のリードフレーム材料の連続焼鈍装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2774360B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5861831B2 (ja) | 2011-07-28 | 2016-02-16 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 鋼板の加熱装置 |
| JP6135876B2 (ja) * | 2011-07-28 | 2017-05-31 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 鋼板の加熱方法および加熱装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5652095A (en) * | 1979-10-03 | 1981-05-09 | Tokyo Shibaura Electric Co | Balancer device for hydroextractor |
| JPS56123496U (ja) * | 1980-02-20 | 1981-09-19 | ||
| JPS58113325A (ja) * | 1981-12-28 | 1983-07-06 | Nippon Steel Corp | 金属帯の加熱方法 |
| JPS5914524A (ja) * | 1982-07-17 | 1984-01-25 | Nissan Shatai Co Ltd | 回転シートの回転ロック装置 |
| JPS6210225A (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-19 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | ストリツプの加熱装置 |
-
1990
- 1990-06-07 JP JP15127790A patent/JP2774360B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0441624A (ja) | 1992-02-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2774360B2 (ja) | 帯状のリードフレーム材料の連続焼鈍装置 | |
| EP2740808B1 (en) | Method and apparatus for heating steel sheet | |
| JP3925149B2 (ja) | 厚鋼板の連続加熱処理装置。 | |
| JPS6056218B2 (ja) | 金属ストリツプの熱処理方法 | |
| JPS6240368A (ja) | 一方向性けい素鋼板の鉄損低減連続処理設備 | |
| JPH02274823A (ja) | 金属板連続焼鈍設備および金属板連続焼鈍方法 | |
| EP1707282A1 (en) | Heat treating device for steel plate and steel plate manufacturing line having the heat treating device | |
| EP3680353B1 (en) | Method for producing alloy ribbon | |
| JPH07173545A (ja) | 金属帯の連続熱処理装置および連続熱処理方法 | |
| JP4457709B2 (ja) | 厚鋼板の熱処理装置 | |
| JP5044891B2 (ja) | 熱処理装置 | |
| JP4109424B2 (ja) | 鋼板エッジ部の加熱装置 | |
| JPS62196339A (ja) | 通板性に優れた連続焼鈍装置 | |
| JPH07150259A (ja) | 連続焼鈍炉における帯板冷却方法及び装置 | |
| JP2003013134A (ja) | 鋼板の製造方法およびその設備 | |
| JPH04183823A (ja) | 金属線材の冷却方法 | |
| JP2002317227A (ja) | 鋼板の熱処理方法およびその装置 | |
| JP2003034819A (ja) | 厚鋼板の熱処理装置 | |
| JPH11251048A (ja) | 帯状金属材料の誘導加熱装置および誘導加熱方法 | |
| JPS6218612B2 (ja) | ||
| JPS5941420A (ja) | 溶接鋼管の製造方法 | |
| JPS61227156A (ja) | 非鉄金属板の連続熱処理装置 | |
| JPH08127819A (ja) | 方向性電磁鋼板の平坦化焼鈍方法と装置 | |
| JP2003064413A (ja) | 金属条材加熱方法及び加熱装置 | |
| JPS63266018A (ja) | 金属繊維材料の為の熱処理炉 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090424 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090424 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100424 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |