JP2771252B2 - マスフローコントローラ - Google Patents
マスフローコントローラInfo
- Publication number
- JP2771252B2 JP2771252B2 JP14059189A JP14059189A JP2771252B2 JP 2771252 B2 JP2771252 B2 JP 2771252B2 JP 14059189 A JP14059189 A JP 14059189A JP 14059189 A JP14059189 A JP 14059189A JP 2771252 B2 JP2771252 B2 JP 2771252B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass flow
- flow controller
- gas
- inlet
- outlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Flow Control (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ガス流量を調整するマスフローコントロー
ラに関する。
ラに関する。
従来、ガス流量の調整に用いるマスフローコントロー
ラのガスラインは、使用後は、大気に開放された状態に
なっていた。
ラのガスラインは、使用後は、大気に開放された状態に
なっていた。
上述した従来のマスフローコントローラを取り外した
後は、大気に開放した状態にしていたため、マスフロー
コントローラからのガス放出による環境の汚染及びマス
フローコントローラのガスラインに付着した腐蝕ガスが
大気と化学反応を起こし、ガスラインが腐蝕され、マス
フローコントローラが破損するという欠点がある。
後は、大気に開放した状態にしていたため、マスフロー
コントローラからのガス放出による環境の汚染及びマス
フローコントローラのガスラインに付着した腐蝕ガスが
大気と化学反応を起こし、ガスラインが腐蝕され、マス
フローコントローラが破損するという欠点がある。
本発明はマスフローコントローラは、ガスラインの入
口と出口にバルブを有しており、マスフローコントロー
ラのガスラインをバルブにより封止することにより、マ
スフローコントローラからのガス放出及びマスフローコ
ントローラの破損を防止できる機能を有している。
口と出口にバルブを有しており、マスフローコントロー
ラのガスラインをバルブにより封止することにより、マ
スフローコントローラからのガス放出及びマスフローコ
ントローラの破損を防止できる機能を有している。
次に本発明について図面を参照して説明する。第１図
は、本発明の第１の実施例のマスフローコントローラの
縦断面図である。本実施例のマスフローコントローラ
は、ガス３がマスフローコントローラの入口12より入り
センサ管８にガス３が流れると、温度センサ９で温度差
を検知し、サーマルバルブ10を動作させガス３の流量を
調節してマスフローコントローラの出口13より流量を調
節されたガス３が流れ出ていくという動作を行なうもの
である。本実施例ではガスライン４の入口側と出口側に
それぞれ手動バルブ1,2が設けられている。マスフロー
コントローラを取り外す際、入口側手動バルブ１及び出
口側手動バルブ２を閉じることによりマスフローコント
ローラ内部のガスライン４を封止することができる。し
たがって、マスフローコントローラを取り外しても内部
のガスが外部に放出されることがない。
は、本発明の第１の実施例のマスフローコントローラの
縦断面図である。本実施例のマスフローコントローラ
は、ガス３がマスフローコントローラの入口12より入り
センサ管８にガス３が流れると、温度センサ９で温度差
を検知し、サーマルバルブ10を動作させガス３の流量を
調節してマスフローコントローラの出口13より流量を調
節されたガス３が流れ出ていくという動作を行なうもの
である。本実施例ではガスライン４の入口側と出口側に
それぞれ手動バルブ1,2が設けられている。マスフロー
コントローラを取り外す際、入口側手動バルブ１及び出
口側手動バルブ２を閉じることによりマスフローコント
ローラ内部のガスライン４を封止することができる。し
たがって、マスフローコントローラを取り外しても内部
のガスが外部に放出されることがない。
第２図は本発明の第２の実施例のマスフローコントロ
ーラの縦断面図である。この実施例ではノーマルクロー
ズ型のバルブ14,15を入口、出口側に使用している。こ
のため誤操作により封止したガスライン４を大気開放し
てしまうことがないという利点を有する。
ーラの縦断面図である。この実施例ではノーマルクロー
ズ型のバルブ14,15を入口、出口側に使用している。こ
のため誤操作により封止したガスライン４を大気開放し
てしまうことがないという利点を有する。
〔発明の効果〕 以上説明したように本発明は、マスフローコントロー
ラの入口と出口にバルブを設け、マスフローコントロー
ラのガスラインを封止することによりマスフローコント
ローラを取り外した際のマスフローコントローラからの
ガス放出による環境の汚染及びマスフローコントローラ
の破損を防止するという効果がある。
ラの入口と出口にバルブを設け、マスフローコントロー
ラのガスラインを封止することによりマスフローコント
ローラを取り外した際のマスフローコントローラからの
ガス放出による環境の汚染及びマスフローコントローラ
の破損を防止するという効果がある。
第１図は本発明の第１の実施例のマスフローコントロー
ラの縦断面図である。第２図は、本発明の第２の実施例
のマスフローコントローラの縦断面図である。 １……入口側手動バルブ、２……出口側手動バルブ、３
……ガス、４……ガスライン、５……フィフティング、
６……ベース、７……バイパスアッセンブリ、８……セ
ンサ管、９……温度センサ、10……サーマルバルブ、12
……ガス入口、13……ガス出口、14……入口側ノーマル
クローズ側バルブ、15……出口側ノーマルクローズ側バ
ルブ。
ラの縦断面図である。第２図は、本発明の第２の実施例
のマスフローコントローラの縦断面図である。 １……入口側手動バルブ、２……出口側手動バルブ、３
……ガス、４……ガスライン、５……フィフティング、
６……ベース、７……バイパスアッセンブリ、８……セ
ンサ管、９……温度センサ、10……サーマルバルブ、12
……ガス入口、13……ガス出口、14……入口側ノーマル
クローズ側バルブ、15……出口側ノーマルクローズ側バ
ルブ。
Claims (1)
- 【請求項１】ガス流量を調整するマスフローコントロー
ラにおいて、ガスラインの出入口にバルブを設けたこと
を特徴とするマスフローコントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14059189A JP2771252B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | マスフローコントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14059189A JP2771252B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | マスフローコントローラ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH036605A JPH036605A (ja) | 1991-01-14 |
| JP2771252B2 true JP2771252B2 (ja) | 1998-07-02 |
Family
ID=15272250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14059189A Expired - Lifetime JP2771252B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | マスフローコントローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2771252B2 (ja) |
-
1989
- 1989-06-02 JP JP14059189A patent/JP2771252B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH036605A (ja) | 1991-01-14 |
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