JPH0637673U - パージ機構によりベローズ部へのパーティクル溜まり を除去および腐食を防止した真空用およびプロセス制 御用バルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本考案は真空用およびプロセス制御用バルブに
おいてパージ機構を備えることによりベローズ部のパー
ティクル溜まりの除去および防食を目的とする。 【構成】図１に示すバルブの胴部にパージガス導入口を
設け、パージガスを流す。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はパーティクルのない系を構成することが必要な真空および半導体デバ イス製造プロセス用のバルブおよび耐食性のある系を構成することが必要な真空 および半導体デバイス製造プロセス用のバルブを提供する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の真空および半導体デバイス製造プロセス用のバルブはベローズバルブが 多用されて来た。このバルブは弁体のガス流路中にベローズが用いられているた め、ベローズの凹の部分にパーティクルが溜まりやすく、そこからベローズの伸 縮に応じて、流体ガス中からパーティクルを吸蔵したり、流体ガス中にパーティ クルを排出したりする。このためパーティクルの制御が困難であった。 また、ベローズバルブのベローズ部は通常０．１ｍｍの薄い金属膜であり、常 に伸縮というストレスがかかるため腐食が加速されリークを生じることが多々あ った。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

本考案はパーティクルの堆積防止を可能としたベローズバルブおよび耐食性の あるベローズバルブを提供するものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案はベローズバルブのベローズの部分に外部から常に少量のパージガスを 流し、ベローズ部分にパーティクルおよび腐食性ガスが入り込まないようにする 。

【０００５】

【作用 】

本考案により、パーティクルの制御可能な、耐食性のあるバルブが構成できる 。

【０００６】

【実施例１】 図１に示す如くバルブ胴部にパージガス導入口を設ける。導入口にはオリフィ スを設け一定量の微量のパージガスが流れるようにする。このパージガスはベロ ーズの周囲を流れ、ガス流路アウト側から排出される。ガス流路イン側から０． ０１μｍ フィルタを通したパーティクルのない窒素ガスを送り弁を開閉させ弁 内のパーティクルを除く。その後パーティクルを含んだ窒素ガスを送り弁を開閉 させパーティクルを弁内に堆積させる。その後パーティクルを含まない窒素ガス を送り弁を開閉させガス流路アウト側で０．１μｍ以上のパーティクルを計測す る。同様にして従来のパージ機構を有しないバルブにおいてパーティクルを計測 する。その結果、本実施例のバルブは市販のバルブの１０００分の１以下のパー ティクルであった。 また本実施例のガス流路イン側から２０°Ｃで水を飽和した腐食性ガスである 塩酸ガスを７２時間送りその後バルブを分解しベローズ部分の腐食状況を観察し た。同様に市販のパージ機構を有しない同型のバルブに対して試験を行い比較し た。その結果、本実施例のバルブのベローズ部分には腐食が認められなかったの に対し、市販のバルブは腐食が著しかった。

【０００７】

【実施例２】 図２に示すように、実施例１のオリフィスのかわりに小型流量制御弁、フィル ターによりパージ機構を構成することができる。

【０００８】

【考案の効果】

本考案によりパーティクルの堆積のない、耐腐食性のあるバルブが提供できた 。

【図面の簡単な説明】

【図１】パージ機構付バルブ

【図２】小型流量制御弁を用いたパージ機構付バルブ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】真空用およびプロセス制御用バルブにおい
   て、ベローズ部へのパーティクルの堆積および腐食の防
   止のためにパージ機構を備えたことを特徴とするバル
   ブ。