JP2764964B2 - ２波長赤外光受像装置 - Google Patents
２波長赤外光受像装置Info
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- JP2764964B2 JP2764964B2 JP63301376A JP30137688A JP2764964B2 JP 2764964 B2 JP2764964 B2 JP 2764964B2 JP 63301376 A JP63301376 A JP 63301376A JP 30137688 A JP30137688 A JP 30137688A JP 2764964 B2 JP2764964 B2 JP 2764964B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
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- irccd
- infrared light
- interline
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、物体が放射する赤外光を検出することによ
り、熱画像を得るための素子である赤外線電荷結合素子
（IRCCD）に関し、特にシリコンの光透過帯である１〜1
0μｍ帯の異なる２つの波長帯の熱画像を得る２波長赤
外光受像装置に関する。
り、熱画像を得るための素子である赤外線電荷結合素子
（IRCCD）に関し、特にシリコンの光透過帯である１〜1
0μｍ帯の異なる２つの波長帯の熱画像を得る２波長赤
外光受像装置に関する。
（従来の技術） 電荷結合素子（CCD）を用いたカメラにより、異なる
２つの赤外線波長帯を使用した画像を得る２波長受像装
置として次の２つの方式が知られている。第１の方式で
は、光学的に入射光を異なる波長帯に分光し、その各々
を別個のCCDで検出する。この第１の方式の光学系を第
２図に示す。第２の方式では、光透過帯の異なるフィル
タを、CCDの画素ピッチで並べることにより構成された
フィルタを、単一のCCD上に貼り付け、各素子に入射す
る光の波長帯を選択させる。この第２の方式で用いるフ
ィルタの部分構成を第３図に示す。第３図のフィルタで
は、透過波長F1の画素領域と透過波長F2の画素領域とが
交互に配列されている。
２つの赤外線波長帯を使用した画像を得る２波長受像装
置として次の２つの方式が知られている。第１の方式で
は、光学的に入射光を異なる波長帯に分光し、その各々
を別個のCCDで検出する。この第１の方式の光学系を第
２図に示す。第２の方式では、光透過帯の異なるフィル
タを、CCDの画素ピッチで並べることにより構成された
フィルタを、単一のCCD上に貼り付け、各素子に入射す
る光の波長帯を選択させる。この第２の方式で用いるフ
ィルタの部分構成を第３図に示す。第３図のフィルタで
は、透過波長F1の画素領域と透過波長F2の画素領域とが
交互に配列されている。
（発明が解決しようとする課題） 上述した従来の第１の方式では、光学系が比較的複雑
で、しかもCCDを複数値必要とするので、システムの寸
法、重量等に制約が生じる。また、従来の第２の方式で
は、CCDの限られた素子数を、それぞれの波長域に分割
するから、解像度が低い。
で、しかもCCDを複数値必要とするので、システムの寸
法、重量等に制約が生じる。また、従来の第２の方式で
は、CCDの限られた素子数を、それぞれの波長域に分割
するから、解像度が低い。
このように、従来の第１及び第２の方式にはそれぞれ
解決すべき課題があった。本発明の目的は、異なる２つ
の波長帯の赤外線画像を生成し、構造が簡単で解像度に
優れた２波長赤外光受像装置の提供にある。
解決すべき課題があった。本発明の目的は、異なる２つ
の波長帯の赤外線画像を生成し、構造が簡単で解像度に
優れた２波長赤外光受像装置の提供にある。
（課題を解決するための手段） 前述の課題を解決するために本発明が提供する手段
は、第１のフィルタと、キャビティ構造を有する裏面照
射型インターラインIRCCDと、第２のフィルタと、キャ
ビティ構造を持たない表面照射型インターラインIRCCD
とが光入射側から順に配置された積層構造を有し、前記
第１のフィルタと第２のフィルタとは赤外光の透過域を
互いに異にし、前記第１のフィルタに窓が設けられ、前
記裏面照射型インターラインIRCCDの受光部およびキャ
ビティ構造は前記窓が設けられていない部分の前記第１
のフィルタの下方に設けられ、前記裏面照射型インター
ラインIRCCDと表面照射型インターラインIRCCDとは相互
の受光部と転送部とが相対する位置関係に配置されてい
ることを特徴とする２波長赤外光受像装置である。
は、第１のフィルタと、キャビティ構造を有する裏面照
射型インターラインIRCCDと、第２のフィルタと、キャ
ビティ構造を持たない表面照射型インターラインIRCCD
とが光入射側から順に配置された積層構造を有し、前記
第１のフィルタと第２のフィルタとは赤外光の透過域を
互いに異にし、前記第１のフィルタに窓が設けられ、前
記裏面照射型インターラインIRCCDの受光部およびキャ
ビティ構造は前記窓が設けられていない部分の前記第１
のフィルタの下方に設けられ、前記裏面照射型インター
ラインIRCCDと表面照射型インターラインIRCCDとは相互
の受光部と転送部とが相対する位置関係に配置されてい
ることを特徴とする２波長赤外光受像装置である。
（実施例） 次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。この
実施例はIRCCD1及び２並びにフィルタ11及び12からな
る。IRCCD2はキャビティ構造を持たない表面照射型イン
ターライン構造である。フィルタ12はある波長帯域に光
透過特性を持つ。IRCCD1はキャビティ構造を有する裏面
照射型インターライン構造である。フィルタ11はフィル
タ12とは異なる波長帯域に光透過特性をもつ。IRCCD1及
び２は、互いの受光部と転送部とが向い合う位置関係に
配置してある。基板101及び201はシリコンSiでなりシリ
コンは１〜10μｍの赤外光を透過域とする。
実施例はIRCCD1及び２並びにフィルタ11及び12からな
る。IRCCD2はキャビティ構造を持たない表面照射型イン
ターライン構造である。フィルタ12はある波長帯域に光
透過特性を持つ。IRCCD1はキャビティ構造を有する裏面
照射型インターライン構造である。フィルタ11はフィル
タ12とは異なる波長帯域に光透過特性をもつ。IRCCD1及
び２は、互いの受光部と転送部とが向い合う位置関係に
配置してある。基板101及び201はシリコンSiでなりシリ
コンは１〜10μｍの赤外光を透過域とする。
フィルタ11で帯域制限された赤外光21はIRCCD1の受光
部102に入射し、光電変換されるが、IRCCD1にはアルミ
の反射板107によるキャビティ構造が設けてあるから、
赤外光21はIRCCD2には入射しない。フィルタ11が設けら
れていない窓の部分を通過した赤外光22は、IRCCD1の転
送部103、転送電極106、SiO2104を通過（対象とする赤
外光はこれらの材質で損失はないとする）し、フィルタ
12で帯域制限され、IRCCD2の受光部202に入射し、光電
変換される。
部102に入射し、光電変換されるが、IRCCD1にはアルミ
の反射板107によるキャビティ構造が設けてあるから、
赤外光21はIRCCD2には入射しない。フィルタ11が設けら
れていない窓の部分を通過した赤外光22は、IRCCD1の転
送部103、転送電極106、SiO2104を通過（対象とする赤
外光はこれらの材質で損失はないとする）し、フィルタ
12で帯域制限され、IRCCD2の受光部202に入射し、光電
変換される。
（発明の効果） 以上に説明した様に本発明によれば、２枚のIRCCDを
密着して貼り合わせることにより従来の２波長受像装置
に比べて光学系が簡単で且つ解像度に優れ、異なる２つ
の波長帯における赤外像を検出できる２波長赤外光受像
装置が提供できる。
密着して貼り合わせることにより従来の２波長受像装置
に比べて光学系が簡単で且つ解像度に優れ、異なる２つ
の波長帯における赤外像を検出できる２波長赤外光受像
装置が提供できる。
第１図は本発明の一実施例である高解像度２波長赤外光
受像装置の断面図である。第２図は光学的に入射光を異
なる波長帯に分光し、別個のCCDで検出する方式の２波
長赤外光受像装置の光学系を示す構成図である。第３図
は単一のCCDで２波長検出するために使用されるフィル
タの構成図である。
受像装置の断面図である。第２図は光学的に入射光を異
なる波長帯に分光し、別個のCCDで検出する方式の２波
長赤外光受像装置の光学系を示す構成図である。第３図
は単一のCCDで２波長検出するために使用されるフィル
タの構成図である。
Claims (1)
- 【請求項１】第１のフィルタと、キャビティ構造を有す
る裏面照射型インターラインIRCCDと、第２のフィルタ
と、キャビティ構造を持たない表面照射型インターライ
ンIRCCDとが光入射側から順に配置された積層構造を有
し、前記第１のフィルタと第２のフィルタとは赤外光の
透過域を互いに異にし、前記第１のフィルタに窓が設け
られ、前記裏面照射型インターラインIRCCDの受光部お
よびキャビティ構造は前記窓が設けられていない部分の
前記第１のフィルタの下方に設けられ、前記裏面照射型
インターラインIRCCDと表面照射型インターラインIRCCD
とは相互の受光部と転送部とが相対する位置関係に配置
されていることを特徴とする２波長赤外光受像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63301376A JP2764964B2 (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | ２波長赤外光受像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63301376A JP2764964B2 (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | ２波長赤外光受像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02147826A JPH02147826A (ja) | 1990-06-06 |
| JP2764964B2 true JP2764964B2 (ja) | 1998-06-11 |
Family
ID=17896130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63301376A Expired - Lifetime JP2764964B2 (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | ２波長赤外光受像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2764964B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4786035B2 (ja) * | 1999-04-13 | 2011-10-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体装置 |
| JP5199302B2 (ja) * | 2010-03-26 | 2013-05-15 | パナソニック株式会社 | 撮像装置 |
| KR102322871B1 (ko) * | 2015-01-26 | 2021-11-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 필터 어레이, 이를 포함하는 이미지 센서 및 적외선 카메라 |
-
1988
- 1988-11-29 JP JP63301376A patent/JP2764964B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02147826A (ja) | 1990-06-06 |
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