JPH02147826A - ２波長赤外光受像装置 - Google Patents
２波長赤外光受像装置Info
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- JPH02147826A JPH02147826A JP63301376A JP30137688A JPH02147826A JP H02147826 A JPH02147826 A JP H02147826A JP 63301376 A JP63301376 A JP 63301376A JP 30137688 A JP30137688 A JP 30137688A JP H02147826 A JPH02147826 A JP H02147826A
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- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
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Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、物体が放射する赤外光を検出することにより
、熱画ｆ象を１１）るための素子である赤外線電荷結合
索子（ＩＲＣＣＤ）に関し、特にシリコンの光透過帯で
ある１へ一１０μｍ帯の異なる２つの波長帯の熱画像を
得る２波長赤外光受像装置に関する。
、熱画ｆ象を１１）るための素子である赤外線電荷結合
索子（ＩＲＣＣＤ）に関し、特にシリコンの光透過帯で
ある１へ一１０μｍ帯の異なる２つの波長帯の熱画像を
得る２波長赤外光受像装置に関する。
（従来の技術）
電荷結合素子（ＣＯＤ）を用いたカメラにより、異なる
２つの赤外線波長帯を使用した画像を得る２波長受像装
置として次の２つの方式が知られている。第１の方式で
は、光学的に入射光を異なる波長帯に分光し、その各々
を別個のＣＣＤで検出する。この第１の方式の光学系を
第２図に示す。
２つの赤外線波長帯を使用した画像を得る２波長受像装
置として次の２つの方式が知られている。第１の方式で
は、光学的に入射光を異なる波長帯に分光し、その各々
を別個のＣＣＤで検出する。この第１の方式の光学系を
第２図に示す。
第２の方式では、光透過帯の異なるフィルタを、ＣＯＤ
の画素ピッチで並べることにより構成されたフィルタを
、単一のＣＣＤ上に貼り付け、各素子に入射する光の波
長帯を選択させる。この第２の方式で用いるフィルタの
部分構成を第３図に示す、第３図のフィルタでは、透過
波長Ｆ＋の画素領域と透過波長Ｆ２の画素領域とが交互
に配列されている。
の画素ピッチで並べることにより構成されたフィルタを
、単一のＣＣＤ上に貼り付け、各素子に入射する光の波
長帯を選択させる。この第２の方式で用いるフィルタの
部分構成を第３図に示す、第３図のフィルタでは、透過
波長Ｆ＋の画素領域と透過波長Ｆ２の画素領域とが交互
に配列されている。
（発明が解決しようとする課題）
上述した従来の第１の方式では、光学系が比較的複雑で
、しかもＣＯＤを複数値必要とするので、システムの寸
法、重量等に制約が生じる。また、従来の第２の方式で
は、ＣＣＤの限られた素子数を、それぞれの波長域に分
割するから、解像度が低い。
、しかもＣＯＤを複数値必要とするので、システムの寸
法、重量等に制約が生じる。また、従来の第２の方式で
は、ＣＣＤの限られた素子数を、それぞれの波長域に分
割するから、解像度が低い。
このように、従来の第１及び第２の方式にはそれぞれ解
決すべき課題があった０本発明の目的は、異なる２つの
波長帯の赤外線画像を生成し、′Ｗ４遣が簡単で解像度
に優れた２波長赤外光受像装置の提供にある。
決すべき課題があった０本発明の目的は、異なる２つの
波長帯の赤外線画像を生成し、′Ｗ４遣が簡単で解像度
に優れた２波長赤外光受像装置の提供にある。
（課題を解決するための手段）
前述の課題を解決するために本発明が提供する手段は、
第１のフィルタと、キャビティ′！ｆ４造を有する裏面
照射型インターラインＩＲＣＣＤと一第２のフィルタと
、キャビティＭ３Ｍを持たない表面照射型インターライ
ンＩＲＣＣＤとが光入射側が順に配置された積層構造を
有し、前記第１のフィルタと第２のフィルタとは赤外光
の透過域を互いに異にし、前記第１のフィルタに窓が設
けてあり、前記表面照射型インターラインＩＲＣＣＤの
受光部は前記窓の下に設けてあり、前記裏面照射型イン
ターラインＩＲＣＣＤの前記キャビティ構造は前記窓が
設けてない部分の前記第１のフィルタの下に設けてあり
、前記裏面照射型インターラインＩＲＣＣＤと表面照射
型インターラインＩＲＣＣＤとは相互の感光部と転送部
とが相対する位置関係に配置しであることを特徴とする
２波長赤外光受像装置である。
第１のフィルタと、キャビティ′！ｆ４造を有する裏面
照射型インターラインＩＲＣＣＤと一第２のフィルタと
、キャビティＭ３Ｍを持たない表面照射型インターライ
ンＩＲＣＣＤとが光入射側が順に配置された積層構造を
有し、前記第１のフィルタと第２のフィルタとは赤外光
の透過域を互いに異にし、前記第１のフィルタに窓が設
けてあり、前記表面照射型インターラインＩＲＣＣＤの
受光部は前記窓の下に設けてあり、前記裏面照射型イン
ターラインＩＲＣＣＤの前記キャビティ構造は前記窓が
設けてない部分の前記第１のフィルタの下に設けてあり
、前記裏面照射型インターラインＩＲＣＣＤと表面照射
型インターラインＩＲＣＣＤとは相互の感光部と転送部
とが相対する位置関係に配置しであることを特徴とする
２波長赤外光受像装置である。
（実施例）
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。
この実施例はＩＲＣＣＤｌ及び２並びにフィルタ１１及
び１２からなる。ＩＲＣＣＤ２はキャビティ構造を待た
ない表面照射型インターライン構造である。フィルタ２
はある波長帯域に光透過特性を持つ、ＩＲＣＣＤＩはキ
ャビティ構造を有する裏面照射型インターライン構造で
ある。フィルタ１はフィルタ２とは異なる波長帯域に光
透過特性をもつ、ＩＲＣＣＤＩ及び２は、互いの受光部
と転送部とが向い合う位置関係に配置しである。基板１
０１及び２０１はシリコンＳｌでなりシリコンは１〜１
０μｍの赤外光を透過域とする。
び１２からなる。ＩＲＣＣＤ２はキャビティ構造を待た
ない表面照射型インターライン構造である。フィルタ２
はある波長帯域に光透過特性を持つ、ＩＲＣＣＤＩはキ
ャビティ構造を有する裏面照射型インターライン構造で
ある。フィルタ１はフィルタ２とは異なる波長帯域に光
透過特性をもつ、ＩＲＣＣＤＩ及び２は、互いの受光部
と転送部とが向い合う位置関係に配置しである。基板１
０１及び２０１はシリコンＳｌでなりシリコンは１〜１
０μｍの赤外光を透過域とする。
フィルタ１１で帯域制限された赤外光２１はＩ ｎ、Ｃ
ＣＤ １の受光部１０２に入射し、光電変換されるが、
Ｉ ＲＣＣＤ １にはアルミの反射板１０７によるキャ
ビティ構造が設けであるから、赤外光２１はＩＲＣＣＤ
２には入射しない、フィルタ１１の設けてない通過した
赤外光２２は、Ｉ ＲＣＣＤｌの転送部１０３、転送電
極１０６、Ｓｉ０．１０４を通過（対象とする赤外光は
これらの材質で損失はないとする）し、フィルタ１２で
帯域制限され、ＩＲＣＣＤ２の受光部２０２に入射し、
光電変換される。
ＣＤ １の受光部１０２に入射し、光電変換されるが、
Ｉ ＲＣＣＤ １にはアルミの反射板１０７によるキャ
ビティ構造が設けであるから、赤外光２１はＩＲＣＣＤ
２には入射しない、フィルタ１１の設けてない通過した
赤外光２２は、Ｉ ＲＣＣＤｌの転送部１０３、転送電
極１０６、Ｓｉ０．１０４を通過（対象とする赤外光は
これらの材質で損失はないとする）し、フィルタ１２で
帯域制限され、ＩＲＣＣＤ２の受光部２０２に入射し、
光電変換される。
（発明の効果）
以上に説明した様に本発明によれば、２枚のＩＲＣＣＤ
を密着して貼り合わせることにより従来の２波長受像装
置に比べて光学系が簡単で且つ解像度に優れ、異なる２
つの波長帯における赤外像を検出できる２波長赤外光受
像装置が提供できる。
を密着して貼り合わせることにより従来の２波長受像装
置に比べて光学系が簡単で且つ解像度に優れ、異なる２
つの波長帯における赤外像を検出できる２波長赤外光受
像装置が提供できる。
第１図は本発明の一実施例である高解像度２波長赤外光
受像装置の断面図である。第２図は光学的に入射光を異
なる波長帯に分光し、別個のＣＯＤで検出する方式の２
波長赤外光受像装置の光学系を示す構成図である。第３
図は単一のＣＯＤで２波長検出するために使用されるフ
ィルタの構成図である。
受像装置の断面図である。第２図は光学的に入射光を異
なる波長帯に分光し、別個のＣＯＤで検出する方式の２
波長赤外光受像装置の光学系を示す構成図である。第３
図は単一のＣＯＤで２波長検出するために使用されるフ
ィルタの構成図である。
Claims (1)
- 第１のフィルタと、キャビティ構造を有する裏面照射型
インターラインＩＲＣＣＤと、第２のフィルタと、キャ
ビティ構造を持たない表面照射型インターラインとが光
入射側が順に配置された積層構造を有し、前記第１のフ
ィルタと第２のフィルタとは赤外光の透過域を互いに異
にし、前記第１のフィルタに窓が設けてあり、前記表面
照射型インターラインＩＲＣＣＤの受光部は前記窓の下
に設けてあり、前記裏面照射型インターラインＩＲＣＣ
Ｄの前記キャビティ構造は前記窓が設けてない部分の前
記第１のフィルタの下に設けてあり、前記裏面照射型イ
ンターラインＩＲＣＣＤと表面照射型インターラインＩ
ＲＣＣＤとは相互の感光部と転送部とが相対する位置関
係に配置してあることを特徴とする２波長赤外光受像装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63301376A JP2764964B2 (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | ２波長赤外光受像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63301376A JP2764964B2 (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | ２波長赤外光受像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02147826A true JPH02147826A (ja) | 1990-06-06 |
| JP2764964B2 JP2764964B2 (ja) | 1998-06-11 |
Family
ID=17896130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63301376A Expired - Lifetime JP2764964B2 (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | ２波長赤外光受像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2764964B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000062344A1 (fr) * | 1999-04-13 | 2000-10-19 | Hamamatsu Photonics K.K. | Dispositif à semiconducteur |
| JP2011209317A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-20 | Panasonic Corp | 撮像装置 |
| KR20160091586A (ko) * | 2015-01-26 | 2016-08-03 | 엘지이노텍 주식회사 | 필터 어레이, 이를 포함하는 이미지 센서 및 적외선 카메라 |
-
1988
- 1988-11-29 JP JP63301376A patent/JP2764964B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000062344A1 (fr) * | 1999-04-13 | 2000-10-19 | Hamamatsu Photonics K.K. | Dispositif à semiconducteur |
| US6872992B2 (en) | 1999-04-13 | 2005-03-29 | Hamamatsu Photonics K.K. | Semiconductor device for detecting wide wavelength ranges |
| JP4786035B2 (ja) * | 1999-04-13 | 2011-10-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体装置 |
| JP2011209317A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-20 | Panasonic Corp | 撮像装置 |
| US8736746B2 (en) | 2010-03-26 | 2014-05-27 | Panasonic Corporation | Imaging device |
| KR20160091586A (ko) * | 2015-01-26 | 2016-08-03 | 엘지이노텍 주식회사 | 필터 어레이, 이를 포함하는 이미지 센서 및 적외선 카메라 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2764964B2 (ja) | 1998-06-11 |
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