JP2745526B2 - 往復動型送液ポンプ - Google Patents

往復動型送液ポンプ

Info

Publication number
JP2745526B2
JP2745526B2 JP63077585A JP7758588A JP2745526B2 JP 2745526 B2 JP2745526 B2 JP 2745526B2 JP 63077585 A JP63077585 A JP 63077585A JP 7758588 A JP7758588 A JP 7758588A JP 2745526 B2 JP2745526 B2 JP 2745526B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
plunger
amount
pump
speed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP63077585A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH01247769A (ja
Inventor
滋明 藤本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP63077585A priority Critical patent/JP2745526B2/ja
Priority to EP88116666A priority patent/EP0334994B1/en
Priority to DE8888116666T priority patent/DE3874883T2/de
Publication of JPH01247769A publication Critical patent/JPH01247769A/ja
Priority to US07/574,174 priority patent/US5114314A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2745526B2 publication Critical patent/JP2745526B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B11/00Equalisation of pulses, e.g. by use of air vessels; Counteracting cavitation
    • F04B11/005Equalisation of pulses, e.g. by use of air vessels; Counteracting cavitation using two or more pumping pistons
    • F04B11/0058Equalisation of pulses, e.g. by use of air vessels; Counteracting cavitation using two or more pumping pistons with piston speed control
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B49/00Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
    • F04B49/20Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00 by changing the driving speed
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02Column chromatography
    • G01N30/26Conditioning of the fluid carrier; Flow patterns
    • G01N30/28Control of physical parameters of the fluid carrier
    • G01N30/36Control of physical parameters of the fluid carrier in high pressure liquid systems
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B2203/00Motor parameters
    • F04B2203/02Motor parameters of rotating electric motors
    • F04B2203/0209Rotational speed
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02Column chromatography
    • G01N30/26Conditioning of the fluid carrier; Flow patterns
    • G01N30/28Control of physical parameters of the fluid carrier
    • G01N30/32Control of physical parameters of the fluid carrier of pressure or speed
    • G01N2030/326Control of physical parameters of the fluid carrier of pressure or speed pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は2個のプランジャが往復移動して送液を行な
う比較的小型の送液ポンプ、所謂小プランジャ往復動型
送液ポンプに関するものである。
このような小プランジャ往復動型送液ポンプは、例え
ば液体クロマトグラフにおいて移動相を送液するために
使用される。
(従来の技術) 小プランジャ往復動型送液ポンプは駆動用モータ、2
個のポンプヘッドをそれぞれ駆動するプランジャ、及び
駆動用モータの回転運動をプランジャの往復運動に変換
する変換機構を備えている。
第4図に2個のポンプヘッドを備えた従来の小プラン
ジャ往復動型送液ポンプの角度θに対するプランジャ速
度特性を示す。
1は第1のポンプヘッドのプランジャ速度特性、2は
第2のポンプヘッドのプランジャ速度特性である。駆動
用モータの回転をプランジャの往復運動に変換する変換
機構としてカムが使用されているが、rはそのカムの回
転中心からの距離であり、縦軸のdr/dθは駆動用モータ
が等速回転しているときのプランジャ速度である。横軸
より上側は吐出側、下側は吸引側である。
カムの形状はdr/dθが台形状になるように形成されて
いる。
送液される液体の吐出流量が吐出側プランジャ速度に
比例する理想的な液体の場合には、2台のポンプヘッド
の吐出流量の和である送液量は、駆動用モータを等速で
回転させたときに第4図に記号3で示されるようにカム
の全角度を通じて一定になる。
しかしながら、実際には台形状の送液を行なう始めの
部分(吐出開始区間)では、液体の圧縮性や逆止弁の応
答遅れなどによって高圧力になると送液できなくなり、
第5図に示されるように吐出流量及び圧力に欠損部分4,
5が生じる。これが周期的に生ずる脈流となり、高感度
で検出を行なうときのノイズの原因になる。
この脈流を小さくするために、圧力が欠損する吐出開
始区間では駆動用モータの回転速度を通常時より速く回
転させることが行なわれている。
第6図(A)は高い圧力で送液する場合の脈流の補正
であり、(B)は低い圧力で送液する場合の脈流の補正
である。aはカムの回転速度を一定にした場合の脈流、
bは脈流を補正するためのカムの回転速度、cは補正さ
れた脈流である。
高い圧力での送液ほど圧力の欠損が大きいので、高い
圧力になるほど駆動用モータの回転速度を上げる必要が
ある。
(発明が解決しようとする課題) 脈流を駆動用モータの回転速度を変えることにより小
さくする方法では、圧力が高くなるほど駆動用モータの
回転速度を速くして補正しないとならないので、駆動用
モータの負担が大きくなり、出力の大きい駆動用モータ
が必要となる。
本発明は吐出開始区間における液の圧縮性などに基づ
く脈流を駆動用モータに負荷のかからない状態で補正す
ることのできる往復動型送液ポンプを提供することを目
的とするものである。
(課題を解決するための手段) 本発明は駆動用モータ、2個のポンプヘッドをそれぞ
れ駆動するプランジャ、及び駆動用モータの回転運動を
プランジャの往復運動に変換する変換機構を備えた往復
動型送液ポンプであり、変換機構のカム形状をいずれの
プランジャの吐出開始区間においても駆動用モータの等
速回転時の送液量が他の区間の送液量より過剰になる形
状に設定し、その過剰送液区間では送液量に過剰分が現
われる低圧下での送液時にその過剰分に応じて駆動用モ
ータの回転速度を減速する。
(作用) 送液される液体がプランジャの吐出側速度に比例する
ような理想的な状態では、駆動用モータを等速で回転さ
せるとプランジャの吐出開始区間では送液量が過剰にな
る。通常の液体の場合は液の圧縮性などにより吐出開始
区間では高圧で送液するときは送液量の欠損が起こるの
で、その欠損をカムの形状に基づく過剰分で相殺する。
圧力が低い状態で送液する場合は、駆動用モータを等
速で回転させるとカムの形状による送液過剰分がそのま
ま残って過剰送液となるので、その過剰送液区間ではカ
ムの回転速度を減速して送液量が一定になるようにす
る。
(実施例) 第2図に本発明が適用される小プランジャ往復動型送
液ポンプを示す。
10は駆動用ステッピングモータ、11はカム軸である。
カム軸11には小プーリ12、ベルト13及びカム軸11の大プ
ーリ14を介してステッピングモータ10の回転が伝達され
る。
カム軸11には2個のポンプヘッドを駆動するために2
個のカム15,16が固定されている。カム軸11にはまた、
円板17が取りつけられ、円板17には孔18があけられ、フ
ォトカプラ19によって孔18を検出することによりカム1
5,16の回転角度のホームポジションが検出される。
カム15にはクロスヘッド20の基端部が接触して往復運
動し、クロスヘッド20の他端には第1のポンプヘッド24
のプランジャ21が取りつけられている。他方のカム16に
もクロスヘッド22の基端部が接触して往復運動し、クロ
スヘッド22には第2のポンプヘッド25のプランジャ23が
取りつけられている。
カム15,16は後で詳述され、また第1図に示されるよ
うな角度−プランジャ速度特性を示す形状に設計されて
いる。
第1のポンプヘッド24ではプランジャ21の往復運動に
よって液26をサクションフィルタ29、入口ブロック27を
経て圧力センサ28の流路へ送液する。第2のポンプヘッ
ド25でもプランジャ23の往復運動によって液26をサクシ
ョンフィルタ29、入口ブロック27を経て圧力センサ28の
流路へ送液する。ポンプヘッド24,25において、aは入
口逆止弁、bは出口逆止弁、cはシール部材である。
圧力センサ28の流路で第1のポンプヘッド24から送り
出された液と第2のポンプヘッド25から送り出された液
が合流し、ポンプ出口30からカラムにつながる流路に送
り出される。31はドレイン流路、32は廃液ビンである。
33はCPUである。CPU33には圧力センサ28の圧力信号と
フォトカプラ19からのホームポジション検出信号が送ら
れ、CPU33はステッピングモータ10の回転速度を制御す
る。
カム15,16の形状は、カム回転角θに対するdr/dθ
(等速回転時のプランジャ速度)特性が第1図に示され
るものになるように、決定する。第1図で、1aは第1の
ポンプヘッドに関するもの、2aは第2のポンプヘッドに
関するものである。
以下に、第1図のdr/dθ特性のカム形状を示す。
0<θ≦10 r=15.5+0.075θ2/294.14062 10<θ≦25 r=15.5+(1.5θ−7.5)/294.14062 25<θ≦70 r=15.5+(7θ2/180−4θ/9+605/36)/
294.14062 70<θ≦205 r=15.5+(5θ−173.75)/294.14062 205<θ≦220 r=15.5 +(−8θ2/90+373θ/9−140735/36)/294.14062 220<θ≦250 r=15.5 +(−7θ2/180+175θ/9−53615/36)/294.14062 250<θ≦300 r=15.5 +(−0.1255θ2+62.75θ−6902.5)/294.14062 300<θ≦340 r=15.5+(−12.55θ+4392.5)/294.14
062 340<θ≦360 r=15.5 +(0.31375θ2−225.9θ+4066.2)/294.14062 第1図に示されるように、一方のプランジャが吐出を
開始する区間では、駆動用モータを等速回転させるとす
れば両プランジャの速度の和が他の区間よりも大きくな
り、もし液体が吐出側プランジャ速度に正確に追従する
とすれば、送液量3aは吐出開始区間で記号Aで示される
ように過剰になる。
第3図は本実施例における圧力と駆動用モータの回転
速度の関係を表わしたものである。
(A)はほとんど圧力がない状態で送液される場合の
脈流補正を示している。駆動用モータを等速で回転させ
ればaで示されるように吐出開始区間では送液量に過剰
分Aが発生する。そこでbに示されるようにカムの回転
速度がその吐出開始区間で減速されるように駆動用モー
タを減速すると、cに示されるように送液量が一定とな
る。
(B)は低い圧力で送液される場合の脈流補正を示し
ている。駆動用モータを等速で回転させると、aに示さ
れるように、過剰送液するようにカムを修正した区間で
時間的に後の部分に送液量過剰分A′現われる。そこで
その区間を補正するために、bに示されるようにモータ
の回転速度を減速すると、cのように送液量が一定とな
る。
(C)は高い圧力で送液される場合の脈流補正を示し
ている。この場合は高い圧力による送液量の欠損分とカ
ムの修正による送液量過剰分とが相殺されて、駆動用モ
ータが等速回転したときの送液量aが一定となり、駆動
用モータの回転速度bを補正する必要がない。
圧力と最適補正の量(駆動用モータの減速区間)の関
係は流体によって異なるので、予め設定を行なうか又は
圧力をモニタしながら自動的に求めるようにしてもよ
い。
また、駆動用モータを減速させることによる補正は脈
流を小さくする必要性が高い低流量域で行なう。流量が
大きくなり、高周波で送液される流量域では、脈流が小
さくなり駆動用モータの回転速度を減速させる補正は必
要ではなくなり、カムは等速で回転させればよい。
(発明の効果) 本発明ではプランジャを往復動させるカム形状を改良
して、いずれのプランジャの吐出開始区間においても駆
動用モータの等速回転時の送液量が他の区間の送液量よ
り過剰になるようにしたので、駆動用モータの回転速度
を補正するとしても低い圧力で送液するときに回転速度
を減速し、高い圧力下では等速回転を行なわせる。その
ため、従来のように高い圧力下で回転速度を大きくする
ような補正に比べて、駆動用モータの負担が軽くなり、
より低出力の駆動用モータを用いることができるように
なる。
【図面の簡単な説明】
第1図は一実施例のプランジャ速度特性と等速回転時の
送液量の関係を示す図、第2図は一実施例の構成を示す
図、第3図(A),(B),(C)はそれぞれ圧力が異
なる状態での一実施例の動作を示す図、第4図は従来の
送液ポンプのプランジャ速度特性と等速回転時の送液量
の関係を示す図、第5図は従来の送液ポンプの吐出流量
と圧力の関係を示す図、第6図(A),(B)は異なる
圧力下での従来の送液ポンプの脈流補正を示す図であ
る。 1a,2a……プランジャ速度特性、10……ステッピングモ
ータ、15,16……カム、21,23……プランジャ、24,25…
…ポンプヘッド、33……CPU。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】駆動用モータ、2個のポンプヘッドをそれ
    ぞれ駆動するプランジャ、及び前記駆動用モータの回転
    運動を前記プランジャの往復運動に変換する変換機構を
    備えた送液ポンプにおいて、 前記変換機構のカム形状は、いずれのプランジャの吐出
    開始区間においても駆動用モータの等速回転時の送液量
    が他の区間の送液量より過剰になる形状に設定され、 その過剰送液区間では送液量に過剰分が現われる低圧下
    での送液時にその過剰分に応じて駆動用モータの回転速
    度を減速することを特徴とする往復動型送液ポンプ。
JP63077585A 1988-03-28 1988-03-28 往復動型送液ポンプ Expired - Fee Related JP2745526B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63077585A JP2745526B2 (ja) 1988-03-28 1988-03-28 往復動型送液ポンプ
EP88116666A EP0334994B1 (en) 1988-03-28 1988-10-07 Reciprocating type fluid delivery pump
DE8888116666T DE3874883T2 (de) 1988-03-28 1988-10-07 Fluessigkeitsfoerdernde kolbenpumpe.
US07/574,174 US5114314A (en) 1988-03-28 1990-08-29 Reciprocating type fluid delivery pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63077585A JP2745526B2 (ja) 1988-03-28 1988-03-28 往復動型送液ポンプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01247769A JPH01247769A (ja) 1989-10-03
JP2745526B2 true JP2745526B2 (ja) 1998-04-28

Family

ID=13638054

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63077585A Expired - Fee Related JP2745526B2 (ja) 1988-03-28 1988-03-28 往復動型送液ポンプ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5114314A (ja)
EP (1) EP0334994B1 (ja)
JP (1) JP2745526B2 (ja)
DE (1) DE3874883T2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006125367A (ja) * 2004-11-01 2006-05-18 Shimadzu Corp 送液装置

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE9218858U1 (de) * 1991-05-16 1995-12-07 Sandoz-Patent-GmbH, 79539 Lörrach Doppelkolbenpumpe
GB9526653D0 (en) * 1995-12-29 1996-02-28 Shine Thomas A Fluid delivery device
SE9600748D0 (sv) * 1996-02-27 1996-02-27 Pharmacia Biotech Ab Pump
EP0801982B1 (de) * 1996-04-18 2002-08-28 Walu Labortechnik GmbH Kolbenbürette
US5971714A (en) * 1996-05-29 1999-10-26 Graco Inc Electronic CAM compensation of pressure change of servo controlled pumps
JPH106954A (ja) * 1996-06-27 1998-01-13 Unisia Jecs Corp ポンプ装置およびブレーキ制御装置
JPH10176654A (ja) * 1996-12-16 1998-06-30 Unisia Jecs Corp ポンプ装置
JPH11218082A (ja) * 1998-02-02 1999-08-10 Ouken Seiko Kk 減圧ポンプ
JP3670851B2 (ja) * 1998-07-21 2005-07-13 アクト・サイエンス株式会社 液体クロマトグラフィー用送液ポンプ
JP3995227B2 (ja) * 1999-01-21 2007-10-24 株式会社スギノマシン 液体加圧装置
FR2817594B1 (fr) * 2000-12-04 2005-07-01 Exel Ind Dispositif de pompage pour produits epais ou sensibles a la turbulence
KR100592500B1 (ko) * 2001-06-16 2006-06-23 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤 액체의 정량 토출장치
GB0329585D0 (en) * 2003-12-20 2004-01-28 Itw Ltd Pumps
WO2007051113A2 (en) * 2005-10-27 2007-05-03 Waters Investments Limited Pump
WO2008039787A2 (en) * 2006-09-26 2008-04-03 Graco Minnesota Inc. Electronic camshaft motor control for piston pump
WO2009081399A1 (en) * 2007-12-21 2009-07-02 Medingo Ltd. Devices and methods for powering a medical device
ES2336177B1 (es) * 2008-01-08 2011-02-03 Manuel Torres Martinez Bomba con recuperador de empuje directo para la impulsion de fluidos.
US8235689B2 (en) * 2008-11-03 2012-08-07 Gojo Industries, Inc. Piston pump with rotating pump actuator
DE102011052848B4 (de) 2011-08-19 2017-02-09 Dionex Softron Gmbh Vorrichtung zur Steuerung einer Kolbenpumpeneinheit für die Flüssigkeitschromatographie
WO2013134475A1 (en) * 2012-03-07 2013-09-12 Waters Technologies Corporation Limiting a rate of pressurization in a pressurized flow system having a configurable system volume
DE102012105323B4 (de) 2012-06-19 2017-03-16 Dionex Softron Gmbh Steuervorrichtung zur Steuerung einer Kolbenpumpeneinheit für die Flüssigkeitschromatographie, insbesondere die Hochleistungsflüssigkeitschromatographie
US9107986B2 (en) 2013-03-11 2015-08-18 Boston Scientific Limited Double action infusion pump
CN103195681B (zh) * 2013-04-12 2015-06-24 中国人民解放军军事医学科学院卫生装备研究所 一种医用水刀的双凸轮传动机构
US9714650B2 (en) 2013-06-11 2017-07-25 Matthew G. Morris, Jr. Pumping system
FR3044052B1 (fr) * 2015-11-25 2019-09-13 Exel Industries Pompe d'alimentation d'un systeme d'application d'un produit de revetement liquide

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2591902A (en) * 1947-10-22 1952-04-08 Union Steam Pump Company Washing and cooling means for the plungers of high-pressure homogenizer pumps and the like
DE2446805A1 (de) * 1974-10-01 1976-04-08 Ott Kg Lewa Pulsationsfrei arbeitende dosierpumpe
US4359312A (en) * 1978-08-15 1982-11-16 Zumtobel Kg Reciprocating pump for the pulsation-free delivery of a liquid
US4352636A (en) * 1980-04-14 1982-10-05 Spectra-Physics, Inc. Dual piston pump
JPS5770975A (en) * 1980-10-18 1982-05-01 Nikkiso Co Ltd Non-pulsation metering pump
JPS58169173U (ja) * 1982-05-08 1983-11-11 日本フイ−ダ−工業株式会社 往復動型無脈動ポンプ
JPS5970085U (ja) * 1982-11-02 1984-05-12 日本電子株式会社 ポンプ機構
US4552513A (en) * 1983-03-07 1985-11-12 Spectra-Physics, Inc. Multiple piston pump control
US4595495A (en) * 1985-02-22 1986-06-17 Eldex Laboratories, Inc. Programmable solvent delivery system and process
FR2580833B1 (fr) * 1985-04-23 1988-07-01 Gira Sa Dispositifs de regulation pour pompes doseuses a plusieurs corps et application de ces dispositifs a la chromatographie

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006125367A (ja) * 2004-11-01 2006-05-18 Shimadzu Corp 送液装置
JP4626270B2 (ja) * 2004-11-01 2011-02-02 株式会社島津製作所 送液装置

Also Published As

Publication number Publication date
US5114314A (en) 1992-05-19
EP0334994B1 (en) 1992-09-23
DE3874883D1 (de) 1992-10-29
DE3874883T2 (de) 1993-03-04
JPH01247769A (ja) 1989-10-03
EP0334994A1 (en) 1989-10-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2745526B2 (ja) 往復動型送液ポンプ
JP2824575B2 (ja) 低脈流送液ポンプ
JPH112187A (ja) マルチシリンダ式往復ポンプ
JP3861060B2 (ja) 無脈動ポンプ
EP0050296B1 (en) A pulsation-free volumetric pump
JPS6067749A (ja) 燃料噴射ポンプの噴射時期制御装置
JP4626270B2 (ja) 送液装置
JP3117623B2 (ja) 複数種流体混合ポンプ装置
JPS63176681A (ja) 往復ポンプ
JPH0459473B2 (ja)
JP2005282517A (ja) 送液装置
US6041760A (en) Fuel injection pump with an injection adjuster piston used to adjust the onset of injection
JPH01219361A (ja) 往復動型送液ポンプ
JPH06147102A (ja) 多連式無脈動定量ポンプ
JPH07197880A (ja) プランジャ型送液ポンプ
JP3849301B2 (ja) 液体クロマトグラフ
JPS6316873Y2 (ja)
JPS636758B2 (ja)
JP3621829B2 (ja) 複数種流体混合ポンプ装置
JP2001271739A (ja) 無脈動ポンプ
JPH04329355A (ja) 液体ポンプ
JPH03111675A (ja) プランジャポンプ
JPH04137274U (ja) 往復動型無脈動ポンプ
JPS63168557A (ja) 送液装置
JPH07119628A (ja) 無脈動ポンプの脈動調整機構

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees