JP2739626B2 - プラズマ・アドレス用チャネル構体 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、内部のイオン化可能ガ
スを選択的にイオン化（プラズマ化）させてデータ・エ
レメントのアドレス指定を行うプラズマ・アドレス用チ
ャネル構体に関する。

【０００２】

【従来技術】プラズマ・アドレス装置は種々の応用例が
あり、例えば、メガサンプル・アナログ・メモリ装置、
ビデオ・カメラ、液晶フラット表示パネル等に利用され
ている。このような装置は、ブザク（Buzak）等による
米国特許第４８９６１４９号（対応日本出願特開平１−
２１７３９６号）に開示されている。この特許の実施例
では、表示スクリーン上を横切る複数の平行チャネル内
にイオン化可能なガスを封入し、各チャネル内のガスを
選択的にイオン化（プラズマ化）し、そのチャネルに沿
った表示エレメントをアドレス指定する。ガスをイオン
化する構体として、基準電極、即ちアノードと、データ
・ストローブ電極、即ちカソードとが各チャネルの全長
に亘り設けられている。

【０００３】チャネル内のガスがイオン化さている時、
そのチャネルと垂直に交差する複数のデータ・ラインに
データ信号が供給され、表示エレメントがアドレス指定
される。チャネル配列によって支持された液晶材料がデ
ータ信号に応じて駆動され、画像が表示される。

【０００４】図４は、従来のプラズマ・アドレス構体の
一部分の分解斜視図である。ガラス製基板１０の中に複
数の平行なチャネル１２が形成され、各チャネルの断面
は略台形状であり、各チャネル内にはイオン化可能なガ
スが封入される。隣合うチャネル１２の間は、２つの側
壁１４と上端壁１６で構成される支持構体１８により分
離されている。これらの複数の支持構体１８は液晶材料
及びその他部品を支える。ストローブ用の行電極、即ち
カソード２０とグランド基準電極、即ちアノード２２
は、各チャネル１２の底面４上に配置されている。カソ
ード２０及びアノード２２は、比較的細くて薄い金属層
である。各カソード２０は、データ・ストローブ回路
（図示せず）の対応する出力増幅器２６から行ストロー
ブ信号を受け、そのチャネル１２内に封入されたガスが
選択的にイオン化される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】図４の装置の問題点
は、ガラス基板１０を用いているので、上述のチャネル
構体を形成する製造工程が複雑になるという点である。
上述のような従来のイオン化可能ガスを封入するチャネ
ル構体又はその他部品の形成技法によれば、チャネル１
２、カソード２０又はアノード２２の生成にはフォトリ
ソグラフィー技法があり、チャネル１２、カソード２０
又はアノード２２の粗成形には、スパッタリング、蒸着
又はＣＶＤ技法等があり、これらの最終成形にはスクリ
ーン印刷技法が用いられる。プラズマ・アドレス構体に
好適なチャネル構体は、従来よりも簡単な製造方法で形
成することが望ましい。

【０００６】本発明の目的は、より簡単に製造可能な構
造を有するプラズマ・アドレス用チャネル構体を提供す
ることである。

【０００７】

【課題を解決する為の手段】本発明のプラズマ・アドレ
ス用チャネル構体は、製造方法が簡単な構造を有する。
本発明の第１の観点によれば、このチャネル構体は、図
１及び図３に示すように、基板５６と、この基板の主面
上に略平行に固着された複数のファイバ状支持部材８８
と、透明基板の主面及びファイバ状支持部材と共に閉じ
たチャネル５２を形成するように配置された透明シート
部材８０、９０とを具え、チャネルの各々の内部にイオ
ン化可能ガスが密封されている。また、本発明の第２の
観点によれば、チャネル構体は、図１に示すように、基
板５６と、この基板の主面上に略平行に固着された複数
のファイバ状支持部材８８と、基板の主面及びファイバ
状支持部材と共に閉じたチャネルを形成するように配置
された透明シート部材９０と、各チャネルの基板の主面
又はファイバ状支持部材に固着されたワイヤ状アノード
電極９２及びワイヤ状カソード電極９４とを具え、チャ
ンネルの各々の内部にイオン化可能ガスが密封されてい
る。

【０００８】

【実施例】本明細書において、「水平」及び「垂直」の
用語は、図２に図示した通りに使用される。すなわち、
「列」の方向は垂直方向（４８ａ）であり、「行」の方
向は水平方向（４８ｂ）である。更に、「内側」という
用語は、所謂内側のコンポーネント又はコンポーネント
の一部分を示すのに使用し、例えば、あるコンポーネン
トの上側端面がそのコンポーネントの「内側」の面を意
味する場合は、そのコンポーネントの下側にある他のコ
ンポーネントの数より上側にある他のコンポーネントの
数の方が多い状態にあることを意味する。この場合、
「外側」の面は、そのコンポーネントの下側端面となる
ことは言うまでもない。

【０００９】図２は、フラット表示パネル・システム４
０の構成を示す模式図である。表示パネル４２は表示面
４４を有する。複数の同一のデータ蓄積エレメント又は
表示エレメント４６が長方形に配列されており、互いに
垂直方向４８ａ及び水平方向４８ｂに所定の距離だけ離
れて配置されている。

【００１０】この配列内の各表示エレメント４６は、垂
直の列電極５０と水平の行に配列されたチャネル５２と
の交差部分であり、これら列電極及び行チャネルは、共
に薄く且つ細く形成されている。表示エレメント４６の
各チャネル５２に沿った各行は、この実施例では表示デ
ータの水平１ラインを表している。図１は、本発明の好
適な第１実施例であり、図２の装置の一部分を示し、図
３は、本発明の好適な第２実施例であり、図２の装置の
一部分の切欠き斜視図である。なお、以下の説明におい
ては、これら本発明の第１及び第２実施例をまとめて説
明する。

【００１１】図１、図２及び図３において、列電極５０
とチャネル５２の幅によって表示エレメント４６の大き
さが決まる。列電極５０は、第１の非導電性透明基板５
４の主面上に配置され、チャネル５２は、第２の非導電
性透明基板５６の主面内に切り込み形成されている。な
お、反射型表示装置、例えば、捻れネマチック液晶セル
ではなく、被包性の液晶セルの直視型又は投射型の表示
装置では透明基板は１つのみで十分であることは当業者
には容易に理解できよう。

【００１２】ネマチック液晶のような電気光学材料の層
５８が基板５４と５６の間に封入されている。基板５６
に形成されたチャネル５２の中にイオン化可能なガスが
封入される。薄膜誘電体層（透明シート部材）８０は、
ガラス、マイカ、プラスチック等の絶縁体で形成され、
チャネル５２内のイオン化可能ガスと液晶層５８との間
の絶縁層として機能する。この誘電体層８０がないと、
液晶材料がチャネル５２の中に流れ込み、イオン化可能
ガス又は液晶材料の一方又は両方が汚染されてしまう。
固体又は被包性であり、高温耐性があり且つイオン化可
能ガスとの混濁を生じない電気光学材料を使用した場合
には、この誘電体層８０を除去しても良い。

【００１３】列電極５０は、 データ・ドライバ６４の
異なる出力増幅器６２からの平行出力導体６０のアナロ
グ電圧のデータ・ドライブ信号を夫々受ける。チャネル
５２は、データ・ストローブ発生器７０の異なる出力増
幅器６８の平行出力導体６６からパルス状のデータ・ス
トローブ信号を夫々受ける。画像を表示領域４４の略全
域で同期させる為に、表示システム４０には、走査コン
トローラ７２が設けられ、データ・ドライバ６４とデー
タ・ストローブ発生器７０の動作が制御される。この結
果、各行の走査期間中に、その行の全ての列の表示エレ
メント４６がアドレス指定される。

【００１４】表示パネル４２は、１対の略平行な電極構
体７４を含み、これらの電極構体７４は電気光学材料層
５８及び誘電体層８０によって離間されている。電極構
体７４の基板５４の内側表面８２上には、酸化インジウ
ム・スズでの略平行な透明列電極５０が縞状のパターン
状に形成されている。隣合う列電極５０は互いに距離８
４だけ離間し、この距離８４は、１行内の隣合う表示エ
レメント４６の水平離間距離である。

【００１５】図３及び図１に示しているように、チャネ
ル５２は細長いファイバ８８を電極構体７６の基板５６
の内側表面上に結合して形成しても良い。また、このチ
ャネル５２には基準電極９２及び行電極９４も設けてい
る。この結果、チャネル５２は、ファイバ８８、基板の
内側表面８６及び誘電体層８０により形成されることに
なる。基板５６は透明であることが望ましい。更に望ま
しくは、基板５６は熱膨張係数が７１Ｅ−７／℃〜７５
Ｅ−７／℃（「Ｅ−７」は１０の−７乗を意味する。）
の範囲のガラスで形成されたものが良い。本発明に好適
なガラス材料の一例は、市販されているスコット（Scho
tt）Ｄ−２６３ガラスである。基板５６の寸法は任意で
あるが、例えば１５．２４ｃｍ×１５．２４ｃｍ（６イ
ンチ×６インチ）でも良い。

【００１６】ファイバ８８も適当な寸法と形状で良く、
量産に適した円筒形ファイバでも良い。これらのファイ
バの直径の一例は、約７６μｍ（３ｍｉｌ）〜約１５２
μｍ（６ｍｉｌ）である。ファイバの長さは、表示面４
４の長さと略同じで良い。

【００１７】本実施例のファイバ８８はガラス又はそれ
に類似した材料で形成できるが、ガラスが好適である。
その際、ファイバのガラスの熱膨張係数は、チャネル５
２を形成する基板５６の熱膨張係数値と同一又は近似さ
せる。本明細書の目的達成の為には、両者の熱膨張係数
の差を約２〜３ＣＴＥ（熱膨張係数単位）以内とする。

【００１８】各チャネル５２の全長に沿って１対の電極
９２及び９４が基板内側表面８６の上又はファイバ８８
の表面上に配置されている。隣合うチャネル５２は、相
互に距離９６、すなわち円筒形ファイバ８８の直径分だ
け離間している。この離間距離９６は、チャネル５２の
垂直方向の寸法も決定する。列電極５０とチャネル５２
との交差領域は表示エレメント４６の大きさを決定し、
その様子を図３に点線部分４６で示している。

【００１９】行電極９４は表示システムにおいてカソー
ドとして機能し、過酷な環境に晒されるので、荷電粒子
に対する耐久性が必要である。本発明に好適なカソード
（行電極）９４は十分な強度と導電性を有する必要もあ
る。また、基板に結合されたときは、熱膨張係数は同じ
か約２ＣＴＥ以内にあることも必要である。よって、こ
れらの条件を満足するような材料としては、ニッケル・
ワイヤ、トリウム化タングステンをコーティングした
銅、鉄ワイヤ、導電合金等で略同じ熱膨張係数の材料を
使用できる。このカソード行電極９４に好適な市販の材
料は、例えばニューヨークのマテリアル・リサーチ社
（Material Research Corp.）から入手できる。

【００２０】この表示システムにおいてアノードとして
機能する基準電極９２は、図１に示すように、ファイバ
８８の表面又は基板内側表面８６に適当なワイヤを結合
して形成する。基準電極９２は、カソードとして機能す
る行電極９４程は動作中に過酷な環境に晒されることは
ない。本発明に好適なアノードである基準電極９２は、
チャネル５２の全長にわたり一様なプラズマ放電を得る
電流を維持できる性質及び強度を有し、基板に結合され
たとき、略同一の熱膨張係数（約２ＣＴＥ以内）を有す
ることが必要である。よって、基準電極９２は、銅、ア
ルミニウム、その他適当な合金等で、略同一の熱膨張係
数を有するもので形成可能である。好適なアノード基準
電極９２の材料は、市販されており、例えば上述のマテ
リアル・リサーチ社から入手できる。

【００２１】チャネル５２の基準電極９２は、図３に示
すように、グランド電位に固定可能な共通基準電位に接
続される。チャネル５２の行電極９４は、データ・スト
ローブ発生器７０の異なる出力増幅器６８に夫々接続さ
れている。基準電極９２及び行電極９４は、表示パネル
４２の裏側で夫々基準電位源及びデータ・ストローブ発
生出力端６６に接続されることが望ましい。

【００２２】基準電極９２は、動作状態において行電極
９４の場合ほど過酷な環境に会わない。よって、基準電
極９２を内側基板表面８６上に導電材料でデポジション
形成しても良い。デポジション（堆積）技法は、本発明
の装置のチャネル構体の量産に好適である。基準電極９
２は、チャネル５２の成形前、成形中又は成形後に基板
５６上又はファイバ８８上に堆積成形しても良い。基準
電極９２を成形するのにスクリーン・デポジション技法
を使用することは、本発明の実施に好適な製造方法の一
つである。

【００２３】基準電極９２は、ガスのイオン化に適する
ようにチャネル５２の中で比較的大面積の導電表面を形
成した幅９８を有する。この基準電極９２の幅９８の導
電表面領域は、チャネル５２及び誘電体層８０の非導電
構体に起因するイオン化ガスの消滅に打ち勝つので、ガ
スのイオン化状態が維持できる。

【００２４】幅９８を有する基準電極９２と行電極９４
は、チャネル５２の底面部分の大部分を占める導電表面
領域である。この比較的大きな導電表面領域により、少
量のガスのイオン化（プラズマ）状態が維持される。よ
って、例えば直径の小さいファイバを用いることにより
各チャネル５２の深さを浅く成形しても良いので、製造
が簡単になる上に、有効視野角の大きな表示パネル４２
を実現することが出来る。

【００２５】基準電極９２を形成するのに適した透明導
電材料は、例えば、酸化インジウム・スズや金属又はニ
ッケル及び酸化インジウム・スズの混合体等を用いてチ
ャネルの全長に亘って導電性を維持するようにしても良
い。しかし、このような材料の導電性は比較的低い。よ
って、酸化インジウム・スズで形成し、且つ広めの幅９
８を有する基準電極９２は、図示していないが、高導電
性の細い金属ストリップを酸化インジウム・スズの上に
被着して形成するようにしても良い。

【００２６】または、厚膜スクリーニング技法を採用し
て基板表面８６上にニッケルその他類似の材料の幅広の
ストリップを堆積成形しても良い。ファイバ８８は、こ
の成形されたストリップの幅方向の略中央に配置され、
焼結サイクル中に基板が軟化するにつれてその位置で焼
結される。このような構成にすると、必要な処理ステッ
プ数が低減するという効果が生じ、１回の成形ステップ
によってファイバ８８の何れかの側面に電極が成形さ
れ、ファイバ８８はニッケル電極の上に固定される。電
極のアノード及びカソードの機能を交互に交換させるこ
とにより、チャネル５２の全てがアノード及びカソード
の両方の機能を有し、電極及び接続の総数を上述の実施
例の半分にすることが出来る。しかし、この場合には、
チャネル５２の駆動方法はより複雑になる。

【００２７】チャネル５２の成形は、例えば、ガラス・
ファイバ固着法のような種々の既知の技法により行え
る。ファイバ８８は、任意の適当な方法により基板内側
表面８６上に固着しても良い。同様に、基準電極９２及
び行電極９４を適当な方法により基板内側表面８６又は
ファイバ８８に結合する場合には、基準電極９２と行電
極９４とカバー・シート（透明シート部材）９０とを分
離させ、電極９２及び９４を外部から電気的にアクセス
できるようにする。なお、図１の透明シート部材９０
は、図３の透明シート部材（誘電体層）８０に相当す
る。また、基準電極９２と行電極９４との間の離間距離
は、チャネル５２の全長に亘って維持されることが望ま
しい。電極９２及び９４の場合と同様の接続技術を用い
てファイバ８８を接続する場合には、これらのコンポー
ネントの接続順序は本発明にとっては重要ではない。

【００２８】例えば、ガラス誘電体層又は適当な接着性
の有機混合物（例えば、エレクトロサイエンス・ラボラ
トリー社製の４０３２Ｃフリットのような接着剤）をき
れいな基板表面８６上に乗せる。この接着剤を基板表面
８６上に一様に塗るには、表面がきれいで塗色していな
いことが望ましい。更に、この接着剤は、処理後のプラ
ズマ即ち電離気体によるイオン衝撃によって分解しない
ことが望ましい。ファイバ８８は、この接着剤が塗られ
た基板上に配置される。このファイバの配置をするに
は、例えば、ファイバ８８を受ける機械成形された溝を
有する金属プレートを使用する等の適当な方法がある。
これらファイバ、接着剤及び基板の組立構体は、オーブ
ンの中で焼結され、加熱の後に冷却され、ファイバが基
板上に固着され、所望の構造となる。冷却後に金属プレ
ートその他の位置調整装置を取り外す。

【００２９】ワイヤ状の電極９２及び９４を、同様のプ
ロセスで基板内側表面８６又はファイバ８８に結合して
も良い。ワイヤ状電極９２及び９４は、ファイバ８８の
結合の前に結合しておくことが望ましい。

【００３０】基準電極９２又は行電極９４を、外部との
電気的接触をする接触パッド（図示せず）に同様の方法
で結合しても良い。この場合、ガラス上のパッドか又は
ガラスに接続された回路基板上のパッドの何れかに対し
て電気的接触が行われる。これらの接触パッドは、アル
ミニウム、金、銀その他の金属等のような導電製の材料
が望ましい。本実施例では、液晶パネルのエッジ・シー
ル（図示せず）は、電極９２又は９４の上に直接配置す
るか、又は外部からパネルへの電気的アクセスをする為
のパッドに配置する。液晶セルのエッジ・シールは、周
辺シール（図１の９９）の上の少し外側に配置するのが
好適である。周辺シール９９は、ガラス・カバー９０と
基板５６との間を密封する。エッジ・シール及び周辺シ
ール９９は、既知の技法で成形しても良い。液晶用エッ
ジ・シールの一例は、３Ｍ（Minnesota Mining and Man
ufacturing）社製の１８３８エポキシ樹脂であり、周辺
シールの一例は、オーエンス・イリノイ（Owens Illino
is）社製のＸＳ１１７５Ｍ１がある。あるいは、基準電
極９２又は行電極９４を回路基板に直接接続し、コネク
タその他の接続部品を使用しても良い。

【００３１】図１は、チャネル構体の構成を示す斜視図
であり、支持ファイバ８８の右側に隣接して行電極（カ
ソード）９４が配置され、行電極９４は、夫々接触パッ
ド９４′に電気的に接触している。これと対照的に、支
持ファイバ８８の左側に隣接した基準電極（アノード）
９２は、接触パッド９２′に夫々電気的接触している。
この構造の代わりに、電極９２及び９４をチャネル５２
の中でファイバ８８と基板表面８６の何れか一方又は両
方に結合させればどの位置に配置しても良い。基準電極
９２及び行電極９４は、何れもカバー・シート９０に隣
接する位置には配置されないことが望ましい。これら基
準電極９２及び行電極９４の何れもカバー・シート９０
に接触させないようにすることにより、クロストークを
低減し、それに付随する問題を解消する。実際に、基準
電極９２及び行電極９４は、カバー・シート９０から出
来るだけ遠ざけるように配置するのが良い。電極とカバ
ー・シートとの距離が離れるにつれてクロストークが低
減するからである。脱気及びガス充填孔９８が基板表面
８６に設けられている。

【００３２】チャネル５２は、図３に示すように、プラ
ズマ液晶表示装置に適用される。更に、チャネル５２
は、他の応用例や類似の装置に採用可能なチャネル構体
の一部分として利用しても良い。

【００３３】本発明の実施例に好適な誘電体層８０は、
透明であり、ガラス、ポリアミド・プラスチック、マイ
カその他類似の材料で形成される。好適な誘電体層８０
は、支持ファイバ８８と略同じ熱膨張係数を有し、その
誤差は約２ＣＴＥ（熱膨張係数ユニット）の範囲内であ
る。誘電体層８０の厚さの範囲は、約３８μｍ（１．５
ｍｉｌ）〜約７６μｍ（３ｍｉｌ）程度である。この誘
電体層８０は、単一のシートか又は複数のシートの集合
体で構成され、その表面領域は表示面４４に平行であ
り、その面積は表示面４４より大きく、周辺シール９６
の大きさに合わせてある。更に、誘電体層８０は、適当
な方法により基板表面８６に結合されている。

【００３４】例えば、誘電体層８０を周辺フリット・シ
ールを用いて基板表面８６に封入しても良い。液晶パネ
ルを吸気し、大気圧よりかなり低い圧力（大気圧の５分
の１程度）まで内気圧を戻した時、外部圧力により、誘
電体層８０の位置は保持され、ファイバ８８の上側表面
に接触する。誘電体層８０の一例は、スコット・ガラス
社（Schott Glass Company）のＤ−２６３−０００ガラ
スで形成されたものである。

【００３５】チャネル５２の各々は、イオン化可能ガス
又はプラズマで満たされている。このガスはヘリウムを
含むことが望ましい。好適なガスの組成の一例は純粋な
ヘリウムである。表示エレメント４６をアドレス指定す
るには、イオン化構造を用いてチャネル５２のガスを選
択的にイオン化（プラズマ化）する。このイオン化構造
は、アノードとして機能する基準電極９２とカソードと
して機能する行電極９４を含んでいる。

【００３６】各チャネル５２に封入されたイオン化可能
ガスは、データ・ストローブ発生器７０からの電圧に応
じて２つのスイッチ状態間で切り換わる電気スイッチと
して動作する。このスイッチにより基準電極９２と液晶
材料層５８との間が接続される。ストローブ信号が供給
されない時、チャネル５２内のガスはイオン化せず、ス
イッチが非導通状態なのでスイッチはオフ状態である。
ストローブ信号が行電極９４に印加されると、そのチャ
ネル５２内のガスがイオン化（プラズマ化）され、導通
状態となるので、スイッチがオン状態となる。

【００３７】より具体的に説明すると、電極構体７６の
チャネル５２に含まれるイオン化可能ガスは誘電体層８
０に通じており、ガスのイオン化により電極構体７４と
基準電極９２との間に導電路を形成する。ストローブ信
号を受けた行電極９４のチャネル５２内のプラズマ（イ
オン化ガス）は、導電状態（スイッチのオン状態）とな
って液晶材料層５８の部分にグランド導電路を提供す
る。これによって、同時に列電極５０から供給されるア
ナログ・データ電圧を液晶材料がサンプリングすること
が可能となる。ストローブ信号がオフとなってガスが非
導通となり、スイッチがオフ状態になると、その表示エ
レメント４６の液晶材料層５８にデータ・サンプル電圧
が保持される。このデータ・サンプル電圧は、その後の
画像フィールド期間中の新しいデータ電圧がプラズマ・
スイッチのオン状態の時に供給されるまで液晶材料層５
８の表示エレメント４６に保持され続ける。上述の構成
によって、全ての表示エレメント４６に略１００％のデ
ューティ・サイクルの信号を供給することが可能にな
る。

【００３８】以上本発明の好適実施例について説明した
が、本発明はここに説明した実施例のみに限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱することなく必要に応
じて種々の変形及び変更を実施し得ることは当業者には
明らかである。

【００３９】

【発明の効果】本発明のプラズマ・アドレス用チャネル
構体は、基板上に複数のファイバ状支持部材を固着し
て、側壁及び上端壁から成るチャネル用支持構体を形成
し、その上を透明シート部材で覆い、内部にイオン化可
能ガスを封入するように構成する。また、各チャネル内
のアノード電極及びカソード電極をワイヤ電極により形
成する。よって、従来と比較して製造工程が格段に簡単
化され、製造コスト低減及び信頼性の向上等に顕著な効
果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の構造を示す斜視図である。

【図２】本発明を利用するのに好適なプラズマ・アドレ
ス型フラット表示装置の構成を示す模式図である。

【図３】本発明の第２実施例であり、図２の装置の一部
分の構成を示す切り欠け斜視図である。

【図４】従来のチャネル構体の部分構造を示す斜視図で
ある。

【符号の説明】

５６ 基板 ８８ ファイバ状支持部材８０、 ９０ 透明シート部材 ９２ アノード電極 ９４ カソード電極 ９６ 周辺シール

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板と、 該基板の主面上に略平行に固着された複数のファイバ状
   支持部材と、上記基板の上記主面及び上記ファイバ状支持部材と共に
   閉じたチャネルを形成するように配置された透明 シート
   部材とを具え、上記チャネルの各々の 内部にイオン化可能ガスが密封さ
   れたことを特徴とするプラズマ・アドレス用チャネル構
   体。
2. 【請求項２】 基板と、 該基板の主面上に略平行に固着された複数のファイバ状
   支持部材と、 上記基板の上記主面及び上記ファイバ状支持部材と共に
   閉じたチャネルを形成するように配置された透明シート
   部材と、 上記各チャネルの上記基板の主面又は上記ファイバ状支
   持部材に固着されたワイヤ状アノード電極及びワイヤ状
   カソード電極とを具え、 上記チャンネルの各々の内部にイオン化可能ガスが密封
   されたことを特徴とするプラズマ・アドレス用チャネル
   構体。