JP2737057B2 - ガラス板の研磨方法 - Google Patents
ガラス板の研磨方法Info
- Publication number
- JP2737057B2 JP2737057B2 JP63334598A JP33459888A JP2737057B2 JP 2737057 B2 JP2737057 B2 JP 2737057B2 JP 63334598 A JP63334598 A JP 63334598A JP 33459888 A JP33459888 A JP 33459888A JP 2737057 B2 JP2737057 B2 JP 2737057B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- glass plate
- plate
- short side
- diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、所定長に切断された長方形状のガラス板を
研磨する方法に関するものである。
研磨する方法に関するものである。
［従来技術とその問題点］ 所定長に切断された長方形状のガラスを該ガラス板の
短辺幅と略同一寸法の直径を備えた回転する円形の研磨
盤で研磨する方法に於いて、定盤上に載置したガラス板
の一端となる短辺側から他端となる短辺側まで研磨する
場合、研磨開始時と研磨終了時に於ける研磨盤には、ガ
ラス板と接している負荷部分とガラス板からはみ出して
接していない無負荷部分との極端なアンバランスが生
じ、研磨盤は正常な回転ができず、該ガラス板の短辺側
端縁に割れや欠けが生じるという問題があった。そこで
従来では、この問題点を解決するために研磨されるガラ
ス板と同じ厚み寸法を備えたダミーガラス板を研磨され
るガラス板の両短辺側の端面に当接させて、研磨開始
時、研磨終了時に於ける研磨盤の負荷部分、無負荷部分
の極端なアンバランスによる、ガラス板の短辺側端縁の
割れ、欠けを防止していた。
短辺幅と略同一寸法の直径を備えた回転する円形の研磨
盤で研磨する方法に於いて、定盤上に載置したガラス板
の一端となる短辺側から他端となる短辺側まで研磨する
場合、研磨開始時と研磨終了時に於ける研磨盤には、ガ
ラス板と接している負荷部分とガラス板からはみ出して
接していない無負荷部分との極端なアンバランスが生
じ、研磨盤は正常な回転ができず、該ガラス板の短辺側
端縁に割れや欠けが生じるという問題があった。そこで
従来では、この問題点を解決するために研磨されるガラ
ス板と同じ厚み寸法を備えたダミーガラス板を研磨され
るガラス板の両短辺側の端面に当接させて、研磨開始
時、研磨終了時に於ける研磨盤の負荷部分、無負荷部分
の極端なアンバランスによる、ガラス板の短辺側端縁の
割れ、欠けを防止していた。
ところが、ダミーガラス板は、ダミーとなり得る別の
材料を用いなければならず非常に不経済であるだけでな
く、その厚み寸法は研磨されるガラス板の厚みと高精度
に一致していなければならないので、ガラス板の研磨毎
にダミーガラス板も取り換える必要があり、作業時間が
かかり作業効率を低下させる原因ともなっていた。
材料を用いなければならず非常に不経済であるだけでな
く、その厚み寸法は研磨されるガラス板の厚みと高精度
に一致していなければならないので、ガラス板の研磨毎
にダミーガラス板も取り換える必要があり、作業時間が
かかり作業効率を低下させる原因ともなっていた。
従って、本発明の目的は、ダミーガラス板を用いなく
ても、長方形状のガラス板の短辺側端縁に割れや欠けを
発生させず、しかもガラス板の四隅の未研磨部分を殆ど
残存させることなく研磨する方法を提供することであ
る。
ても、長方形状のガラス板の短辺側端縁に割れや欠けを
発生させず、しかもガラス板の四隅の未研磨部分を殆ど
残存させることなく研磨する方法を提供することであ
る。
［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明によるガラス板の
研磨方法は、所定長に切断された長方形状のガラス板
を、該ガラス板の短辺幅と略同一寸法の直径を備えた回
転する円形の研磨盤で研磨する方法に於いて、ガラス板
の一方の短辺側に研磨盤の直径の３分の１以上半分未満
をはみ出させた位置から研磨を開始し、他方の短辺側に
研磨盤の直径の３分の１以上半分未満をはみ出させた位
置で研磨を終了することを特徴とするガラス板の研磨方
法である。
研磨方法は、所定長に切断された長方形状のガラス板
を、該ガラス板の短辺幅と略同一寸法の直径を備えた回
転する円形の研磨盤で研磨する方法に於いて、ガラス板
の一方の短辺側に研磨盤の直径の３分の１以上半分未満
をはみ出させた位置から研磨を開始し、他方の短辺側に
研磨盤の直径の３分の１以上半分未満をはみ出させた位
置で研磨を終了することを特徴とするガラス板の研磨方
法である。
本発明によるガラス板の研磨方法に於いて、研磨盤の
直径は、ガラス板の短辺幅と略同一寸法とする。即ち、
ガラス板の短辺幅よりも短い直径を備えた研磨盤を使用
した場合には、ガラス板の両長辺側に未研磨の部分が、
その全長に亘って残ることになる。また、ガラス板の短
辺幅よりも極端に長い直径を備えた研磨盤を使用した場
合にはガラス板の長辺側端縁に割れや欠けが生じること
になる。
直径は、ガラス板の短辺幅と略同一寸法とする。即ち、
ガラス板の短辺幅よりも短い直径を備えた研磨盤を使用
した場合には、ガラス板の両長辺側に未研磨の部分が、
その全長に亘って残ることになる。また、ガラス板の短
辺幅よりも極端に長い直径を備えた研磨盤を使用した場
合にはガラス板の長辺側端縁に割れや欠けが生じること
になる。
本発明に於いてガラス板の両短辺側に研磨盤をはみ出
させる量は、研磨盤の直径の半分未満、好ましくは３分
の１程度である。研磨盤の直径の半分以上をはみ出させ
た場合、該研磨盤には、先記した負荷部分と無負荷部分
との極端なアンバランスが生じて、従来と同様にガラス
板の短辺側端縁に割れや欠けが生じる。また、はみ出し
量を研磨盤の直径の３分の１より少なくすれば、ガラス
板の四隅に残る未研磨部分が多くなり不経済である。
させる量は、研磨盤の直径の半分未満、好ましくは３分
の１程度である。研磨盤の直径の半分以上をはみ出させ
た場合、該研磨盤には、先記した負荷部分と無負荷部分
との極端なアンバランスが生じて、従来と同様にガラス
板の短辺側端縁に割れや欠けが生じる。また、はみ出し
量を研磨盤の直径の３分の１より少なくすれば、ガラス
板の四隅に残る未研磨部分が多くなり不経済である。
［実施例］ 以下、実施例について述べる。
第１図に本発明の方法で、所定長に切断された長方形
状のガラス板を研磨する際に用いた研磨装置を示してい
る。
状のガラス板を研磨する際に用いた研磨装置を示してい
る。
ガラス板11を載置する定盤12は、ベースフレーム13上
に前進移動、後進移動共に可能に取り付けられている。
定盤12の移動軌跡の上方には、円形の研磨盤14を備えた
研磨ヘッド15が、例えば５台設置してあり、各研磨ヘッ
ド15は、上昇、下降共に可能にしてある。研磨盤14の直
径はガラス板11の短辺幅と同一寸法にしてある。
に前進移動、後進移動共に可能に取り付けられている。
定盤12の移動軌跡の上方には、円形の研磨盤14を備えた
研磨ヘッド15が、例えば５台設置してあり、各研磨ヘッ
ド15は、上昇、下降共に可能にしてある。研磨盤14の直
径はガラス板11の短辺幅と同一寸法にしてある。
前記研磨装置を用いて本発明を実施する場合の要領は
次の通りである。
次の通りである。
まず、ガラス板11を定盤12上に固定載置する。次い
で、定盤12を前進移動させ、第２図（ａ）に示す如く、
ガラス板11の短辺側が、第１の研磨盤14の直径の３分の
１程度はみ出る位置まで移動した時に、該第１の研磨ヘ
ッド15を下降させて研磨盤14をガラス板11に当接し、回
転研磨を開始する。この第１の研磨ヘッド15による研磨
を続けながらガラス板11を第２乃至第５の各研磨ヘッド
15に向けて順次移動させる。この第２乃至第５の各研磨
ヘッド15についても研磨を開始するのは、前記した第１
の研磨ヘッド15と同じ要領でガラス板11の短辺側が各研
磨盤14の直径の３分の１程度はみ出る位置まで移動して
きた時に於いて各ヘッドを下降させる。このようにし
て、各研磨ヘッド15による研磨を経て、第２図（ｂ）に
示す如く、ガラス板11がその終端となる他方の短辺側
に、第１の研磨盤14の直径の３分の１程度はみ出る位置
まで移動した時に第１の研磨ヘッド15は回転研磨を停止
して上昇する。第２乃至第５の各研磨ヘッド15について
も第１の研磨ヘッド15の停止の要領と同様にしてガラス
板11の前進移動に伴い順次その回転研磨を停止し、上昇
する。以上により、ガラス板11の片面の研磨が終了した
後他面の研磨を行うため、該ガラス板11を裏返して定盤
12上に固定載置し、定盤12を後進移動させて、第５の研
磨ヘッド15から順次研磨する。この場合の各研磨ヘッド
15による研磨の開始と終了については、先記の要領と同
様にして行う。
で、定盤12を前進移動させ、第２図（ａ）に示す如く、
ガラス板11の短辺側が、第１の研磨盤14の直径の３分の
１程度はみ出る位置まで移動した時に、該第１の研磨ヘ
ッド15を下降させて研磨盤14をガラス板11に当接し、回
転研磨を開始する。この第１の研磨ヘッド15による研磨
を続けながらガラス板11を第２乃至第５の各研磨ヘッド
15に向けて順次移動させる。この第２乃至第５の各研磨
ヘッド15についても研磨を開始するのは、前記した第１
の研磨ヘッド15と同じ要領でガラス板11の短辺側が各研
磨盤14の直径の３分の１程度はみ出る位置まで移動して
きた時に於いて各ヘッドを下降させる。このようにし
て、各研磨ヘッド15による研磨を経て、第２図（ｂ）に
示す如く、ガラス板11がその終端となる他方の短辺側
に、第１の研磨盤14の直径の３分の１程度はみ出る位置
まで移動した時に第１の研磨ヘッド15は回転研磨を停止
して上昇する。第２乃至第５の各研磨ヘッド15について
も第１の研磨ヘッド15の停止の要領と同様にしてガラス
板11の前進移動に伴い順次その回転研磨を停止し、上昇
する。以上により、ガラス板11の片面の研磨が終了した
後他面の研磨を行うため、該ガラス板11を裏返して定盤
12上に固定載置し、定盤12を後進移動させて、第５の研
磨ヘッド15から順次研磨する。この場合の各研磨ヘッド
15による研磨の開始と終了については、先記の要領と同
様にして行う。
以上本発明の実施例を説明したが、上記の実施例によ
って本発明の権利範囲は限定的に解釈されるべきもので
はない。
って本発明の権利範囲は限定的に解釈されるべきもので
はない。
例えば上記実施例では、定盤12上に固定載置したガラ
ス板11を前後移動させて、研磨ヘッド15による研磨をガ
ラス板11に施しているが、ガラス板11を固定載置するた
めの定盤12を固定して研磨ヘッド15を前後移動させて研
磨を行うような構成の研磨装置に於いても同様の研磨方
法を用いることができる。
ス板11を前後移動させて、研磨ヘッド15による研磨をガ
ラス板11に施しているが、ガラス板11を固定載置するた
めの定盤12を固定して研磨ヘッド15を前後移動させて研
磨を行うような構成の研磨装置に於いても同様の研磨方
法を用いることができる。
［発明の効果］ 本発明によれば、長方形状のガラス板の短辺側に研磨
盤の直径の３分の１以上半分未満をはみ出させて研磨す
るため、ダミー板ガラスを用いなくてもガラス板の短辺
側端縁に割れや欠けを発生させず、しかもガラス板の四
隅の未研磨部分を殆ど残存させることなく、良好な研磨
を実施できる。
盤の直径の３分の１以上半分未満をはみ出させて研磨す
るため、ダミー板ガラスを用いなくてもガラス板の短辺
側端縁に割れや欠けを発生させず、しかもガラス板の四
隅の未研磨部分を殆ど残存させることなく、良好な研磨
を実施できる。
図面は、本発明の一実施例を示すもので、第１図は、本
発明方法を実施する装置を示す概略図、第２図（ａ）
は、研磨開始時に於ける、研磨ヘッドとガラス板との位
置関係を示す平面図、第２図（ｂ）は、研磨終了時に於
ける研磨ヘッドとガラス板との位置関係を示す平面図で
ある。 11……ガラス板 12……定盤 13……ベースフレーム 14……研磨盤 15……研磨ヘッド
発明方法を実施する装置を示す概略図、第２図（ａ）
は、研磨開始時に於ける、研磨ヘッドとガラス板との位
置関係を示す平面図、第２図（ｂ）は、研磨終了時に於
ける研磨ヘッドとガラス板との位置関係を示す平面図で
ある。 11……ガラス板 12……定盤 13……ベースフレーム 14……研磨盤 15……研磨ヘッド
Claims (1)
- 【請求項１】所定長に切断された長方形状のガラス板
を、該ガラス板の短辺幅と略同一寸法の直径を備えた回
転する円形の研磨盤で研磨する方法に於いて、ガラス板
の一方の短辺側に研磨盤の直径の３分の１以上半分未満
をはみ出させた位置から研磨を開始し、他方の短辺側に
研磨盤の直径の３分の１以上半分未満をはみ出させた位
置で研磨を終了することを特徴とするガラス板の研磨方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63334598A JP2737057B2 (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | ガラス板の研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63334598A JP2737057B2 (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | ガラス板の研磨方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02180550A JPH02180550A (ja) | 1990-07-13 |
| JP2737057B2 true JP2737057B2 (ja) | 1998-04-08 |
Family
ID=18279184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63334598A Expired - Lifetime JP2737057B2 (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | ガラス板の研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2737057B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5342885B2 (ja) * | 2009-01-16 | 2013-11-13 | 三井精機工業株式会社 | 分離長尺テーブルを有する加工装置 |
-
1988
- 1988-12-28 JP JP63334598A patent/JP2737057B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02180550A (ja) | 1990-07-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0786803A1 (en) | Backing pad and method for polishing semiconductor wafer therewith | |
| JP2737057B2 (ja) | ガラス板の研磨方法 | |
| US4908995A (en) | Rail grinding method and apparatus | |
| US5871313A (en) | Precise self-aligning chamfer method and apparatus | |
| JPS61106207A (ja) | ウエハー製造方法並びに装置 | |
| JP2002301632A (ja) | ワークパレット | |
| JPH1092776A (ja) | 被加工物用保護部材及びウエーハの研磨方法 | |
| JPS61152358A (ja) | 半導体ウエハの研削方法 | |
| JPH0435079Y2 (ja) | ||
| JPS61114813A (ja) | 切断方法 | |
| JPH0790453B2 (ja) | 板状体の研削方法及びその装置 | |
| JP2003071715A (ja) | 研磨装置 | |
| CN213197044U (zh) | 一种芯片晶圆加工用减薄机 | |
| JPH0831916A (ja) | ウエハチップの実装方法およびその装置 | |
| JPS6357131A (ja) | 工作物を締付ける装置 | |
| JP2003305643A (ja) | 研磨装置 | |
| JPH06106469A (ja) | ガラス板の角部面取り加工方法及び面取り加工治具 | |
| JPH0255107A (ja) | セラミック基板の分割方法 | |
| JPH081462A (ja) | ワークホルダ | |
| KR100193618B1 (ko) | 자기헤드 제조장치 및 제조방법 | |
| JP2798274B2 (ja) | チップ状部品の製造方法 | |
| JPS6363209A (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
| JPH06254763A (ja) | 平面研磨装置における加圧ヘッド | |
| JPS5818285Y2 (ja) | 板状物の位置決め装置 | |
| JPS6348381Y2 (ja) |