JP2730666B2 - 超塑性窒化ケイ素系焼結体の製造方法 - Google Patents
超塑性窒化ケイ素系焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JP2730666B2 JP2730666B2 JP7027497A JP2749795A JP2730666B2 JP 2730666 B2 JP2730666 B2 JP 2730666B2 JP 7027497 A JP7027497 A JP 7027497A JP 2749795 A JP2749795 A JP 2749795A JP 2730666 B2 JP2730666 B2 JP 2730666B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon nitride
- sintered body
- producing
- superplastic
- fine powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、超塑性窒化ケイ素系
焼結体の製造方法に関するものである。さらに、詳しく
は、この発明は、自動車、精密機械、化学プラント、切
削工具の構造材料として有用な超塑性窒化ケイ素系焼結
体とその製造方法に関するものである。
焼結体の製造方法に関するものである。さらに、詳しく
は、この発明は、自動車、精密機械、化学プラント、切
削工具の構造材料として有用な超塑性窒化ケイ素系焼結
体とその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術とその課題】従来より、窒化ケイ素系焼結
体は、室温及び高温状態における強度特性、破壊靱性、
摩擦摩耗抵抗等の機械的性質に優れているため、自動車
エンジン部品、ボールベアリング、非鉄金属製造用機械
部品、切削工具等の構造材料として利用されてきてい
る。
体は、室温及び高温状態における強度特性、破壊靱性、
摩擦摩耗抵抗等の機械的性質に優れているため、自動車
エンジン部品、ボールベアリング、非鉄金属製造用機械
部品、切削工具等の構造材料として利用されてきてい
る。
【０００３】この窒化ケイ素焼結体は強度特性、破壊靱
性に優れた材料であり、加工が必要な場合には、成形段
階において切削加工を行ったり、またはダイアモンド工
具によって焼結体を切削加工している。また近年、窒化
ケイ素系焼結体については、特許平１−３３５０６３に
開示されている窒化ケイ素と炭化ケイ素のナノコンポジ
ットや、サイアロン（J. Am. Cream. Soc, Ｎｏ．７５
（１９９２） ｐｐ．１０７３）などが超塑性を示すこ
とが見いだされ、この特性を焼結体の塑性加工へ応用す
ることが期待されている。
性に優れた材料であり、加工が必要な場合には、成形段
階において切削加工を行ったり、またはダイアモンド工
具によって焼結体を切削加工している。また近年、窒化
ケイ素系焼結体については、特許平１−３３５０６３に
開示されている窒化ケイ素と炭化ケイ素のナノコンポジ
ットや、サイアロン（J. Am. Cream. Soc, Ｎｏ．７５
（１９９２） ｐｐ．１０７３）などが超塑性を示すこ
とが見いだされ、この特性を焼結体の塑性加工へ応用す
ることが期待されている。
【０００４】これらの超塑性を示す窒化ケイ素系焼結体
の製造には、従来より、加圧しながら高温加熱するホッ
トプレス法が用いられている。この発明の発明者らによ
っても微粉末を低温でホットプレスすることによる超塑
性窒化ケイ素の製造方法がすでに提案されてもいる。し
かしながら、一般には、従来用いられているこのホット
プレス法の場合には、長時間の高温加熱の必要があるた
め、高密度化が進行する一方で粒成長が進行するために
組織は粗くなるため、窒化ケイ素系焼結体は超塑性を示
さない。特に、大型部材を焼結する場合には、より高温
で加熱するため、内部まで緻密で微細な組織を得ること
はできるが、表面に近い部分では粒成長が進行するため
に超塑性を示さないという問題がある。
の製造には、従来より、加圧しながら高温加熱するホッ
トプレス法が用いられている。この発明の発明者らによ
っても微粉末を低温でホットプレスすることによる超塑
性窒化ケイ素の製造方法がすでに提案されてもいる。し
かしながら、一般には、従来用いられているこのホット
プレス法の場合には、長時間の高温加熱の必要があるた
め、高密度化が進行する一方で粒成長が進行するために
組織は粗くなるため、窒化ケイ素系焼結体は超塑性を示
さない。特に、大型部材を焼結する場合には、より高温
で加熱するため、内部まで緻密で微細な組織を得ること
はできるが、表面に近い部分では粒成長が進行するため
に超塑性を示さないという問題がある。
【０００５】そこで、この発明の発明者らは、３００ｎ
ｍ以下の平均粒径の微粉末を低温でホットプレスするこ
とによって、粒成長をほとんど進行させずに組織を高密
度化させ、超塑性を示す焼結体を製造する方法を提案し
た（特願平６−１７３１８９号）。しかしながら、この
より低温でのホットプレスによる超塑性窒化ケイ素焼結
体の製造法による場合にも、実際の焼結と粒成長のバラ
ンスを制御することが難しく、超塑性を有する焼結体を
均一に再現性よく実現することはできなかった。
ｍ以下の平均粒径の微粉末を低温でホットプレスするこ
とによって、粒成長をほとんど進行させずに組織を高密
度化させ、超塑性を示す焼結体を製造する方法を提案し
た（特願平６−１７３１８９号）。しかしながら、この
より低温でのホットプレスによる超塑性窒化ケイ素焼結
体の製造法による場合にも、実際の焼結と粒成長のバラ
ンスを制御することが難しく、超塑性を有する焼結体を
均一に再現性よく実現することはできなかった。
【０００６】このように、従来では粒成長の制御が難し
いため、超塑性を示す焼結体の製造には原料粉末や焼結
条件にきびしい条件が必要であり、再現性に問題があっ
た。この発明は、以上通りの事情を鑑みてなされたもの
であり、以上の通りの従来技術の欠点を解消し、組織が
微細で超塑性を示す窒化ケイ素系焼結体を再現性良く、
簡便に製造することのできる新しい方法を提供すること
を目的としている。
いため、超塑性を示す焼結体の製造には原料粉末や焼結
条件にきびしい条件が必要であり、再現性に問題があっ
た。この発明は、以上通りの事情を鑑みてなされたもの
であり、以上の通りの従来技術の欠点を解消し、組織が
微細で超塑性を示す窒化ケイ素系焼結体を再現性良く、
簡便に製造することのできる新しい方法を提供すること
を目的としている。
【０００７】この発明は、上記の課題を解決するものと
して、平均粒径が３００ｎｍ以下の微細な窒化ケイ素系
微粉末に、焼結助剤として酸化物粉末を添加し、真空あ
るいは不活性ガス雰囲気中において、加圧力２０〜１０
０ＭＰａ、昇温速度１００℃／ｍｉｎ以上、最高温度１
４００〜１８００℃で放電プラズマ焼結することを特徴
とする超塑性窒化ケイ素系焼結体の製造方法を提供す
る。
して、平均粒径が３００ｎｍ以下の微細な窒化ケイ素系
微粉末に、焼結助剤として酸化物粉末を添加し、真空あ
るいは不活性ガス雰囲気中において、加圧力２０〜１０
０ＭＰａ、昇温速度１００℃／ｍｉｎ以上、最高温度１
４００〜１８００℃で放電プラズマ焼結することを特徴
とする超塑性窒化ケイ素系焼結体の製造方法を提供す
る。
【０００８】
【作用】この発明においては、粉体原料を加圧しながら
パルス電流を印加し、粉体粒子間にプラズマ放電を生じ
させ、粉体を内部から急速に加熱し、短時間で焼結させ
る。このため、粒成長の進行は回避され、組織が微細で
超塑性を示す窒化ケイ素系焼結体の製造が可能となる。
パルス電流を印加し、粉体粒子間にプラズマ放電を生じ
させ、粉体を内部から急速に加熱し、短時間で焼結させ
る。このため、粒成長の進行は回避され、組織が微細で
超塑性を示す窒化ケイ素系焼結体の製造が可能となる。
【０００９】原料とする窒化ケイ素系微粉末は、その平
均粒径を３００ｎｍ以下とし、より好ましくは、その比
表面積を２０ｍ2 ／ｇ以上とする。平均粒径が３００ｎ
ｍを越える場合、しかも、特に比表面積が２０ｍ2 ／ｇ
未満の場合には、超塑性を示す焼結体は得られにくい。
再現性の点で問題となる。焼結のための放電プラズマ法
では、真空、あるいは窒素、アルゴン等の不活性ガスの
雰囲気下において、加圧２０〜１００ＭＰａ、昇温速度
１００℃／ｍｉｎ以上、最高温度１４００〜１８００℃
に、たとえば１２０分間程度までを目途として保持する
ことが望ましい。
均粒径を３００ｎｍ以下とし、より好ましくは、その比
表面積を２０ｍ2 ／ｇ以上とする。平均粒径が３００ｎ
ｍを越える場合、しかも、特に比表面積が２０ｍ2 ／ｇ
未満の場合には、超塑性を示す焼結体は得られにくい。
再現性の点で問題となる。焼結のための放電プラズマ法
では、真空、あるいは窒素、アルゴン等の不活性ガスの
雰囲気下において、加圧２０〜１００ＭＰａ、昇温速度
１００℃／ｍｉｎ以上、最高温度１４００〜１８００℃
に、たとえば１２０分間程度までを目途として保持する
ことが望ましい。
【００１０】窒化ケイ素系粉末としては、各種のものが
考慮されるが、より具体的には、たとえば、β型窒化ケ
イ素、α−サイアロン、β−サイアロン等が例示され
る。これらの窒化ケイ素系粉末は、この発明の方法にお
いては、８２〜９８重量％の割合で用いるのが好まし
く、また、これに対応して、酸化物粉末は、２〜１８重
量％が好ましい。
考慮されるが、より具体的には、たとえば、β型窒化ケ
イ素、α−サイアロン、β−サイアロン等が例示され
る。これらの窒化ケイ素系粉末は、この発明の方法にお
いては、８２〜９８重量％の割合で用いるのが好まし
く、また、これに対応して、酸化物粉末は、２〜１８重
量％が好ましい。
【００１１】８２重量％未満、９８重量％を超える場合
のいずれも、充分な超塑性特性を持った焼結体が得られ
ない。酸化物粉末については、好適には、希土類酸化
物、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化カルシ
ウム等が考慮されるが、より好ましくは希土類酸化物２
〜７重量％、酸化アルミニウム０〜３重量％、酸化マグ
ネシウム０〜５重量％、および酸化カルシウム０〜３重
量％の組成物が例示される。
のいずれも、充分な超塑性特性を持った焼結体が得られ
ない。酸化物粉末については、好適には、希土類酸化
物、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化カルシ
ウム等が考慮されるが、より好ましくは希土類酸化物２
〜７重量％、酸化アルミニウム０〜３重量％、酸化マグ
ネシウム０〜５重量％、および酸化カルシウム０〜３重
量％の組成物が例示される。
【００１２】以下、実施例を示してさらに詳しく超塑性
窒化ケイ素系焼結体とその製造法について説明する。
窒化ケイ素系焼結体とその製造法について説明する。
【００１３】
【実施例】実施例１ 出発原料は市販のβ型窒化ケイ素粉末（電気化学製ＳＮ
−Ｐ２１ＦＣ、平均粒径５１０ｎｍ、比表面積１０．９
ｍ2 ／ｇ）をボールミルにて粉砕し、分級して得られた
β型窒化ケイ素微粉末（平均粒径２８０ｎｍ、比表面積
２１．７ｍ2 ／ｇ）を用い、このβ型窒化ケイ素微粉末
９３重量％に対して、酸化イットリウム（信越化学製、
純度９９．９％）３重量％、酸化アルミニウム（住友化
学製、純度９９．９９％）２重量％、酸化マグネシウム
（関東化学製）２重量％を窒化ケイ素製のボールミルで
ｎ−ヘキサンを分散媒として湿式混合した。混合物を乾
燥後、直径２０ｍｍの炭素製の型に入れ、放電プラズマ
焼結法により真空中で、５０ＭＰａの加圧下、昇温速度
３１０℃／ｍｉｎで１５５０℃まで加熱し、５分間保持
した。
−Ｐ２１ＦＣ、平均粒径５１０ｎｍ、比表面積１０．９
ｍ2 ／ｇ）をボールミルにて粉砕し、分級して得られた
β型窒化ケイ素微粉末（平均粒径２８０ｎｍ、比表面積
２１．７ｍ2 ／ｇ）を用い、このβ型窒化ケイ素微粉末
９３重量％に対して、酸化イットリウム（信越化学製、
純度９９．９％）３重量％、酸化アルミニウム（住友化
学製、純度９９．９９％）２重量％、酸化マグネシウム
（関東化学製）２重量％を窒化ケイ素製のボールミルで
ｎ−ヘキサンを分散媒として湿式混合した。混合物を乾
燥後、直径２０ｍｍの炭素製の型に入れ、放電プラズマ
焼結法により真空中で、５０ＭＰａの加圧下、昇温速度
３１０℃／ｍｉｎで１５５０℃まで加熱し、５分間保持
した。
【００１４】製造された焼結体の相対密度は９６．８
％、平均粒子径は２００ｎｍであった。この焼結体を１
５００℃で２０ＭＰａの圧力で圧縮したところ、変形速
度５．２×１０-4／ｓで変形し、超塑性を示した。比較例１ 実施例１の原料（ＳＮ−Ｐ２１ＦＣ）を用いて、実施例
１と同じ組成の混合粉末を同様の方法で製造した。この
混合粉末を直径２０ｍｍの炭素製の型に入れ、放電プラ
ズマ焼結法により、真空中において、５０ＭＰａの加圧
下、昇温速度３４０℃／ｍｉｎで１７００℃まで加熱
し、その状態を１０分間保持した。
％、平均粒子径は２００ｎｍであった。この焼結体を１
５００℃で２０ＭＰａの圧力で圧縮したところ、変形速
度５．２×１０-4／ｓで変形し、超塑性を示した。比較例１ 実施例１の原料（ＳＮ−Ｐ２１ＦＣ）を用いて、実施例
１と同じ組成の混合粉末を同様の方法で製造した。この
混合粉末を直径２０ｍｍの炭素製の型に入れ、放電プラ
ズマ焼結法により、真空中において、５０ＭＰａの加圧
下、昇温速度３４０℃／ｍｉｎで１７００℃まで加熱
し、その状態を１０分間保持した。
【００１５】これにより製造された焼結体の相対密度は
９４．１％、平均粒子径は６８０ｎｍであった。高温で
長時間の加熱を行ったが、密度は低い値にとどまった。
この焼結体を１５００℃で２０ＭＰａの圧力で圧縮した
ところ、平均速度６．７×１０-7／ｓでクリープ変形し
たが、超塑性は示さなかった。これは、焼結体の平均粒
子径が大きいためである。実施例２ 市販のαサイアロン粉末（宇部興産、平均粒径８３０ｎ
ｍ、比表面積１０．９ｍ2 ／ｇ）を粉砕、分級して得ら
れたαサイアロン微粉末（平均粒径２６０ｎｍ、比表面
積２２．５ｍ2 ／ｇ）９４重量％、酸化イットリウム
（信越化学製、純度９９．９％）３重量％、酸化アルミ
ニウム（住友化学製、純度９９．９９％）３重量％を窒
化ケイ素製のボールミルでｎ−ヘキサンを分散媒として
湿式混合した。この混合物を乾燥後、直径２０ｍｍの炭
素製の型に入れ、放電プラズマ焼結法により、真空中に
おいて、３０ＭＰａの加圧下、昇温速度３４０℃／ｍｉ
ｎで１７００℃まで加熱し、保持せずに冷却した。
９４．１％、平均粒子径は６８０ｎｍであった。高温で
長時間の加熱を行ったが、密度は低い値にとどまった。
この焼結体を１５００℃で２０ＭＰａの圧力で圧縮した
ところ、平均速度６．７×１０-7／ｓでクリープ変形し
たが、超塑性は示さなかった。これは、焼結体の平均粒
子径が大きいためである。実施例２ 市販のαサイアロン粉末（宇部興産、平均粒径８３０ｎ
ｍ、比表面積１０．９ｍ2 ／ｇ）を粉砕、分級して得ら
れたαサイアロン微粉末（平均粒径２６０ｎｍ、比表面
積２２．５ｍ2 ／ｇ）９４重量％、酸化イットリウム
（信越化学製、純度９９．９％）３重量％、酸化アルミ
ニウム（住友化学製、純度９９．９９％）３重量％を窒
化ケイ素製のボールミルでｎ−ヘキサンを分散媒として
湿式混合した。この混合物を乾燥後、直径２０ｍｍの炭
素製の型に入れ、放電プラズマ焼結法により、真空中に
おいて、３０ＭＰａの加圧下、昇温速度３４０℃／ｍｉ
ｎで１７００℃まで加熱し、保持せずに冷却した。
【００１６】これにより製造された焼結体の相対密度は
９７．３％、平均粒子径は２３０ｎｍであった。この焼
結体を１５００℃で２０ＭＰａの圧力で圧縮したとこ
ろ、変形速度４．７×１０-4／ｓで変形し、超塑性を示
した。比較例２ 実施例２と同じ混合粉末を直径１５ｍｍの炭素製の型に
入れ、ホットプレス法によって、窒素雰囲気において、
昇温速度３０℃／ｍｉｎで１８００℃まで加熱して、そ
の状態を２時間保持した。
９７．３％、平均粒子径は２３０ｎｍであった。この焼
結体を１５００℃で２０ＭＰａの圧力で圧縮したとこ
ろ、変形速度４．７×１０-4／ｓで変形し、超塑性を示
した。比較例２ 実施例２と同じ混合粉末を直径１５ｍｍの炭素製の型に
入れ、ホットプレス法によって、窒素雰囲気において、
昇温速度３０℃／ｍｉｎで１８００℃まで加熱して、そ
の状態を２時間保持した。
【００１７】これにより製造された焼結体の相対密度は
９８．９％であったが、高密度の成形体を得るためには
高温で長時間の加熱が必要であった。これは通常の加圧
焼結法では放電による加熱がなく、高密度化の進行が遅
いためである。この焼結体を１５００℃で２０ＭＰａの
圧力で圧縮したところ、変形速度７．４×１０-6／ｓで
クリープ変形したが、超塑性は示さなかった。これは、
焼結体の平均粒子径が大きいためである。実施例３ 市販のβサイアロン粉末（宇部興産、平均粒径９７０ｎ
ｍ、比表面積１０．９ｍ2 ／ｇ）を粉砕、分級して得ら
れたβサイアロン微粉末（平均粒径２９０ｎｍ、比表面
積２１．７ｍ2 ／ｇ）９５重量％、酸化イットリウム
（信越化学製、純度９９．９％）３重量％、酸化マグネ
シウム（関東化学製）２重量％を窒化ケイ素製のボール
ミルでｎ−ヘキサンを分散媒として湿式混合した。この
混合物を乾燥後、直径２０ｍｍの炭素製の型に入れ、放
電プラズマ焼結法により、真空中において、５０ＭＰａ
の加圧下、昇温速度３００℃／ｍｉｎで１５００℃まで
加熱し、その状態を５分間保持した。
９８．９％であったが、高密度の成形体を得るためには
高温で長時間の加熱が必要であった。これは通常の加圧
焼結法では放電による加熱がなく、高密度化の進行が遅
いためである。この焼結体を１５００℃で２０ＭＰａの
圧力で圧縮したところ、変形速度７．４×１０-6／ｓで
クリープ変形したが、超塑性は示さなかった。これは、
焼結体の平均粒子径が大きいためである。実施例３ 市販のβサイアロン粉末（宇部興産、平均粒径９７０ｎ
ｍ、比表面積１０．９ｍ2 ／ｇ）を粉砕、分級して得ら
れたβサイアロン微粉末（平均粒径２９０ｎｍ、比表面
積２１．７ｍ2 ／ｇ）９５重量％、酸化イットリウム
（信越化学製、純度９９．９％）３重量％、酸化マグネ
シウム（関東化学製）２重量％を窒化ケイ素製のボール
ミルでｎ−ヘキサンを分散媒として湿式混合した。この
混合物を乾燥後、直径２０ｍｍの炭素製の型に入れ、放
電プラズマ焼結法により、真空中において、５０ＭＰａ
の加圧下、昇温速度３００℃／ｍｉｎで１５００℃まで
加熱し、その状態を５分間保持した。
【００１８】これにより製造された焼結体の相対密度は
９８．１％、平均粒子径は２５０ｎｍであった。この焼
結体を１４００℃で７０ＭＰａの圧力で圧縮したとこ
ろ、変形速度５．２×１０-4／ｓで変形し、超塑性を示
した。比較例３ 実施例３と同じ混合粉末を直径１５ｍｍの炭素製の型に
入れ、ホットプレス法によって、窒素雰囲気中で、昇温
速度３０℃／ｍｉｎで１７００℃まで加熱して、その状
態を１時間保持した。
９８．１％、平均粒子径は２５０ｎｍであった。この焼
結体を１４００℃で７０ＭＰａの圧力で圧縮したとこ
ろ、変形速度５．２×１０-4／ｓで変形し、超塑性を示
した。比較例３ 実施例３と同じ混合粉末を直径１５ｍｍの炭素製の型に
入れ、ホットプレス法によって、窒素雰囲気中で、昇温
速度３０℃／ｍｉｎで１７００℃まで加熱して、その状
態を１時間保持した。
【００１９】これにより製造された焼結体の相対密度は
９９．３％であったが、高密度の成形体を得るためには
高温で長時間の加熱が必要であった。これは通常の加圧
焼結法では放電による加熱がなく、高密度化の進行が遅
いためである。平均粒子径は３．１μｍであった。この
焼結体を１４００℃で７０ＭＰａの圧力で圧縮したとこ
ろ、変形速度５．８×１０-7／ｓでクリープ変形した
が、超塑性は示さなかった。これは、焼結体の平均粒子
径が大きいためである。
９９．３％であったが、高密度の成形体を得るためには
高温で長時間の加熱が必要であった。これは通常の加圧
焼結法では放電による加熱がなく、高密度化の進行が遅
いためである。平均粒子径は３．１μｍであった。この
焼結体を１４００℃で７０ＭＰａの圧力で圧縮したとこ
ろ、変形速度５．８×１０-7／ｓでクリープ変形した
が、超塑性は示さなかった。これは、焼結体の平均粒子
径が大きいためである。
【００２０】
【発明の効果】この発明により、以上詳しく説明したと
おり、粉体試料を加圧しながらパルス電流を印加するこ
とで、粉体粒子間にプラズマ放電が起こり、粉体試料を
内部から急速に加熱させ、短時間で焼結させることがで
きるため、粒成長の進行は回避され、組織が微細で超塑
性を示す窒化ケイ素系焼結体を製造することが可能とな
る。
おり、粉体試料を加圧しながらパルス電流を印加するこ
とで、粉体粒子間にプラズマ放電が起こり、粉体試料を
内部から急速に加熱させ、短時間で焼結させることがで
きるため、粒成長の進行は回避され、組織が微細で超塑
性を示す窒化ケイ素系焼結体を製造することが可能とな
る。
Claims (6)
- 【請求項１】 平均粒径３００ｎｍ以下の窒化ケイ素系
微粉末に酸化物粉末を添加し、真空あるいは不活性ガス
雰囲気中において、加圧力２０〜１００ＭＰａ、昇温速
度１００℃／ｍｉｎ以上、最高温度１４００〜１８００
℃で放電プラズマ焼結し、相対密度９５％以上、平均粒
子径３００ｎｍ以下であり、温度１３００℃以上、負荷
圧力１０〜２００ＭＰａで変形速度１×１０−４／ｓ以
上で変形する超塑性焼結体を製造することを特徴とする
超塑性窒化ケイ素系焼結体の製造方法。 - 【請求項２】 窒化ケイ素系微粉末の添加割合が８２〜
９８重量％である請求項１の超塑性窒化ケイ素系焼結体
の製造方法。 - 【請求項３】 窒化ケイ素系微粉末は、比表面積が２０
ｍ２／ｇ以上である請求項１の超塑性窒化ケイ素系焼結
体の製造方法。 - 【請求項４】 窒化ケイ素系微粉末がβ型窒化ケイ素系
微粉末である請求項１の超塑性窒化ケイ素系焼結体の製
造方法。 - 【請求項５】 窒化ケイ素系微粉末が、α−またはβ−
サイアロン微粉末である請求項１の超塑性窒化ケイ素系
焼結体の製造方法。 - 【請求項６】 酸化物が、希土類酸化物２〜７重量％、
酸化アルミニウム０〜３重量％、酸化マグネシウム０〜
５重量％、および酸化カルシウム０〜３重量％の組成か
らなる請求項１の超塑性窒化ケイ素系焼結体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7027497A JP2730666B2 (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | 超塑性窒化ケイ素系焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7027497A JP2730666B2 (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | 超塑性窒化ケイ素系焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08208341A JPH08208341A (ja) | 1996-08-13 |
| JP2730666B2 true JP2730666B2 (ja) | 1998-03-25 |
Family
ID=12222786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7027497A Expired - Lifetime JP2730666B2 (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | 超塑性窒化ケイ素系焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2730666B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010265141A (ja) * | 2009-05-14 | 2010-11-25 | Kagoshima Univ | 窒化珪素複合焼結体及びその製造方法 |
| JP7358331B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2023-10-10 | 株式会社トクヤマ | 窒化ケイ素粉末の製造方法 |
| WO2024162443A1 (ja) * | 2023-02-01 | 2024-08-08 | Ａｇｃ株式会社 | 窒化珪素質焼結体、ベアリング用転動体、窒化珪素質素球、及びベアリング |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3617076B2 (ja) * | 1993-06-30 | 2005-02-02 | 住友電気工業株式会社 | 窒化ケイ素系焼結体及びその製造方法 |
-
1995
- 1995-01-24 JP JP7027497A patent/JP2730666B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08208341A (ja) | 1996-08-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4264547A (en) | Silicon nitride-based sintering composition | |
| JP4106574B2 (ja) | 立方晶窒化ホウ素焼結体およびその製造方法 | |
| JP2524201B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| US4801564A (en) | High-toughness ceramic tool materials | |
| JPH0248512B2 (ja) | ||
| JP2730666B2 (ja) | 超塑性窒化ケイ素系焼結体の製造方法 | |
| KR0155484B1 (ko) | 질화규소계 소결체의 제조방법 | |
| US5286684A (en) | Aluminum oxide-based sintered object and process for producing the same | |
| US6124225A (en) | Cutting tools and wear resistant articles and material for same | |
| JPH08310867A (ja) | 硼化物セラミックスの製造方法 | |
| JP2003221280A (ja) | 導電性窒化珪素系複合焼結体およびその製造方法 | |
| JPH05279121A (ja) | 炭化タングステン−アルミナ質焼結体およびその製法 | |
| JP2944953B2 (ja) | 窒化ケイ素系セラミックスの成形方法 | |
| JP2723170B2 (ja) | 超塑性窒化ケイ素焼結体 | |
| JP3853438B2 (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPH0681071A (ja) | 靭性のすぐれた炭窒化チタン基サーメット | |
| JP2958731B2 (ja) | 酸化アルミニウム基焼結体及びその製造方法 | |
| JP2796011B2 (ja) | ウイスカー強化超硬合金 | |
| JPH02157169A (ja) | 導電性サイアロン焼結体及びその製造方法及び伸線用ダイス | |
| JP2003034577A (ja) | 窒化ケイ素系複合焼結体およびその製造方法 | |
| JPH11322310A (ja) | 立方晶窒化ホウ素多結晶砥粒およびその製造方法 | |
| JP2700786B2 (ja) | 高温高強度窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JP3498096B2 (ja) | 金属接合用β型窒化ケイ素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP2534159B2 (ja) | Ｎｉ−Ｍｏ−Ｗ系複硼化物サ−メット焼結体とその製造方法 | |
| JP2657979B2 (ja) | 複合セラミックスの成形加工法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |