JP2728202B2 - 半球型流体ベアリング - Google Patents
半球型流体ベアリングInfo
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- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/10—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for both radial and axial load
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- F16C2240/60—Thickness, e.g. thickness of coatings
Description
特に、半球型流体ベアリングに関する。
する所に利用される。通常の接触式ベアリングであるボ
ールベアリングやローラーベアリング等は高速回転時、
振動及び騒音が発生し、回転が不安定である。これに対
し、流体ベアリングは高速で非接触式で回転するので振
動がほどんどなく、安定した回転を期待しうる。従っ
て、流体ベアリングは高速回転が要求されるハードディ
スクドライブのスピンドルモーターやレーザープリンタ
またはレーザースキャナに使用される回転多面鏡の駆動
モーター等に利用されうる。
半球型流体ベアリングを示した断面図である。図1に示
されるように、従来の半球型流体ベアリングは、例え
ば、モーターの軸10に相互対面するように固定され、
外周面が球形の上部内輪120及び下部内輪130と、
ベアリングハウジング140内に固定される外輪150
と、上部内輪120及び下部内輪130を軸から離脱し
ないように圧搾させるリング160と、上部内輪120
と下部内輪130の間に位置して、上、下部内輪12
0、130と外輪150の間のクリアランスを維持させ
るためのスペーサ170を含む。
130が回転されうるように支持する。上、下部内輪1
20、130と外輪150の間には潤滑油が介されてい
るので上、下部内輪120、130は外輪150と流体
摩擦によって接触しない状態で回転されうる。従って、
半球型流体ベアリングを使用するモーターは高速回転で
振動が発生せず安定した回転力を得ることが出来る。
設置された半球型流体ベアリングはモーターの起動及び
停止時に、上、下部内輪120、130と外輪150が
接触して、その接触面が磨耗する問題点がある。即ち、
臨界速度以下では上、下部内輪120、130と外輪1
50の間で固体摩擦が起こって磨耗が促進され、その結
果、半球型流体ベアリングの寿命が短縮される。
る磨耗を効果的に減少させうる半球型流体ベアリングを
提供することである。
に本発明による半球型流体ベアリングは外周潤滑面が球
形で回転する軸に互いに対面するように固定される一対
の内輪と、前記内輪の潤滑面に対応する潤滑面を有し、
前記内輪の回転を支持する外輪とを具備する半球型流体
ベアリングにおいて、前記内輪及び外輪のうちの何れか
一つの潤滑面にチタンまたはセラミックよりなる第1コ
ーティング膜を形成したことを特徴とする。そして、前
記外輪はセラミック材料よりなることが望ましい。そし
て、前記第1コーティング膜上にDLCよりなる第2コー
ティング膜がさらに形成されることと、前記第2コーテ
ィング膜に所定の溝が形成されることと、前記溝は第1
コーティング膜まで延長されることと、前記第1コーテ
ィング膜の厚さが5μm〜20μmであることと、前記第
2コーティング膜の厚さが5μm〜10μmであることを
特徴とする。
について添付図面を参照して詳細に説明する。
施形態による半球型流体ベアリングは外周面が球形で、
例えば、モーターの軸10に相互対面するように固定さ
れた上部内輪20及び下部内輪30と、ベアリングハウ
ジング40内に固定されて上部内輪20及び下部内輪3
0が回転されうるように支持する外輪50と、上部内輪
20及び下部内輪30を軸10から離脱しないように圧
搾するリング60と、上部内輪20と下部内輪30の間
に設置されて、上、下部内輪20、30と外輪50の間
のクリアランスを維持するためのスペーサ70とを含ん
で構成されている。ここで、リング60は軸10と圧力
ばめまたはねじ構造で結合されうる。
たところの上、下部内輪20、30には、5μm〜20
μmの厚さのチタン膜21がコーティングされている。
同様に、高炭素鋼またはWCoを主成分にする外輪50の
潤滑面には5μm〜20μmの厚さのチタン膜51がコー
ティングされている。前記チタンコーティング膜21、
51の代りにセラミック、例えば、Al2O3よりなるコ
ーティング膜を形成してもよい。そして、上、下部内輪
20、30と外輪50はセラミック材質で形成してもよ
い。前記のコーティング膜はモーターの起動または停止
時、即ち、臨界速度以下で上、下部内輪20、30と外
輪50の間の固体摩擦によって上、下部内輪20、30
と外輪50が磨耗することを緩和させる役割をする。
せるために、上、下部内輪20、30にコーティングさ
れたチタンコーティング膜21の上に厚さ5μm〜10
μmのDLC(Diamond Like Carbon)膜22がコーティン
グされている。前記DLCコーティング膜22はチタンコ
ーティング膜21との線膨張係数が類似して剥離問題や
クリアランスの変化の問題を起こさないたけではなく、
チタンコーティング膜21より磨耗に強いので固体摩擦
の影響をさらに効果的に減少させうる。
形成されている。溝23は必要ならDLCコーティング膜
22の厚さによってDLCコーティング膜22を通してチ
タンコーティング膜21まで延長されうる。この溝23
は上、下部内輪20、30が回転される時オイルまたは
空気圧を発生させ、上、下部内輪20、30を外輪50
から浮上させる機能を果たす。さらに、前記DLCコーテ
ィング膜22と溝23は外輪50に形成するようにして
もよい。
の製造方法の一実施形態を詳しく説明する。
たところの上、下部内輪20、30を真球度が0.15
μm〜0.25μmになるようにラッピングし、その周面
に5μm〜20μmの厚さのチタン膜をコーティングす
る。そして、チタンコーティング膜の上に5μm〜10
μmの厚さのDLC膜をコーティングする。
イオンビームを照射する方法またはチタンガスを蒸着す
る方法が使用されうる。このような方法を利用してチタ
ン膜の代りにセラミック膜をコーティングすることもで
きる。
〜20μmの厚さのチタンまたはセラミック膜がコーテ
ィングされる。
が形成される。溝23の形成は溝を形成する部分を化学
的に腐蝕する方法または電気放電加工(Electric Disch
argemachining)方法によって行うことができる。
型流体ベアリングによれば、内輪と外輪の間の固体摩擦
による磨耗を効果的に防止することができ、従来のベア
リングが10万回〜20万回の停止、起動の耐久性を有
することに比べて約50万回の停止、起動の耐久性を有
する長所がある。
ある。
グを示した断面図である。
Claims (8)
- 【請求項1】 外周潤滑面が球形で回転する軸に互いに
対面するように固定される一対の内輪と、前記内輪の潤
滑面に対応する潤滑面を有し、前記内輪の回転を支持す
る外輪とを具備する半球型流体ベアリングにおいて、 前記内輪及び外輪のうちの何れか一つの潤滑面にチタン
またはセラミックよりなる第1コーティング膜を形成し
たことを特徴とする半球型流体ベアリング。 - 【請求項2】 前記外輪はセラミック材料よりなること
を特徴とする請求項1記載の半球型流体ベアリング。 - 【請求項3】 前記第1コーティング膜上にDLCよりな
る第2コーティング膜をさらに形成したことを特徴とす
る請求項1記載の半球型流体ベアリング。 - 【請求項4】 前記第2コーティング膜に所定の溝を形
成したことを特徴とする請求項3記載の半球型流体ベア
リング。 - 【請求項5】 前記溝は第1コーティング膜まで延長さ
れていることを特徴とする請求項4記載の半球型流体ベ
アリング。 - 【請求項6】 前記第1コーティング膜の厚さが5μm
〜20μmであることを特徴とする請求項1記載の半球
型流体ベアリング。 - 【請求項7】 前記第2コーティング膜の厚さが5μm
〜10μmであることを特徴とする請求項3記載の半球
型流体ベアリング。 - 【請求項8】 前記第2コーティング膜の厚さが5μm
〜10μmであることを特徴とする請求項4記載の半球
型流体ベアリング。
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