JP2716272B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
- Publication number
- JP2716272B2 JP2716272B2 JP3011576A JP1157691A JP2716272B2 JP 2716272 B2 JP2716272 B2 JP 2716272B2 JP 3011576 A JP3011576 A JP 3011576A JP 1157691 A JP1157691 A JP 1157691A JP 2716272 B2 JP2716272 B2 JP 2716272B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser light
- processing
- galvanometer
- assist gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レ−ザ光を用いてＩＣ
パッケージ等の加工を行なうレーザ加工装置に関する。
パッケージ等の加工を行なうレーザ加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のレーザ加工装置は、図５に示す
ように、レーザ光を発生するレーザ発振器５１と、レー
ザ光を成形するビーム成形光学系５２と、レーザ光の照
射方向を決定するガルバノメータ５３と、レーザ光を集
光するｆθレンズ５４と、レーザ光照射位置へ向けてア
シストガス５５を噴出するアシストガスノズル５６と、
アシストガスノズルを駆動するアシストガスノズル用駆
動系５７と、レーザ発振器５１、ガルバノメータ５３、
及びアシストガスノズル用駆動系５７を制御する制御部
５８とを有している。このようなレーザ加工装置で加工
を行う場合。被加工品、例えばＩＣパッケージ５９に対
し、レーザ光の照射、照射中止、を繰り返して加工を行
う。ここで、レーザ発振器の発振を行なったり停止させ
たりすると加工面で得られるレーザ光が不安定となる。
そこで、従来は、レーザ発振器を連続発振させたままで
加工を行なうために、図６に示すような全反射ミラー６
１を用いる。このミラー６１はモータやロータリーソレ
ノイド等の駆動装置６２に取り付けられている。そし
て、図６（ａ）に示すようにレーザ光６３を遮断した
り、図６（ｂ）に示すように通過させたりするようにな
っている。
ように、レーザ光を発生するレーザ発振器５１と、レー
ザ光を成形するビーム成形光学系５２と、レーザ光の照
射方向を決定するガルバノメータ５３と、レーザ光を集
光するｆθレンズ５４と、レーザ光照射位置へ向けてア
シストガス５５を噴出するアシストガスノズル５６と、
アシストガスノズルを駆動するアシストガスノズル用駆
動系５７と、レーザ発振器５１、ガルバノメータ５３、
及びアシストガスノズル用駆動系５７を制御する制御部
５８とを有している。このようなレーザ加工装置で加工
を行う場合。被加工品、例えばＩＣパッケージ５９に対
し、レーザ光の照射、照射中止、を繰り返して加工を行
う。ここで、レーザ発振器の発振を行なったり停止させ
たりすると加工面で得られるレーザ光が不安定となる。
そこで、従来は、レーザ発振器を連続発振させたままで
加工を行なうために、図６に示すような全反射ミラー６
１を用いる。このミラー６１はモータやロータリーソレ
ノイド等の駆動装置６２に取り付けられている。そし
て、図６（ａ）に示すようにレーザ光６３を遮断した
り、図６（ｂ）に示すように通過させたりするようにな
っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ようにモータ等の駆動装置を用いる方法では、駆動装置
の応答速度に限界があり、高速動作が出来ないという問
題点がある。本発明は高速動作の可能なレーザ加工装置
の提供を目的とする。
ようにモータ等の駆動装置を用いる方法では、駆動装置
の応答速度に限界があり、高速動作が出来ないという問
題点がある。本発明は高速動作の可能なレーザ加工装置
の提供を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、レーザ
発振器と、該レーザ発振器からのレーザ光の照射方向を
制御するガルバノメータと、前記レーザ光による加工を
援助するアシストガスを噴出させるためのアシストガス
ノズルとを有するレーザ加工装置において、前記アシス
トガスノズルの前記ガルバノメータによるレーザ光照射
可能領域内にレーザ光を遮断するレーザ光遮断手段を設
け、加工を中断するときは前記レーザ光遮断手段に前記
レーザ光を照射するようにしたことを特徴とするレーザ
加工装置が得られる。また、本発明によれば、レーザ発
振器と、該レーザ発振器からのレーザ光の被加工物が載
置される加工面上における照射位置を制御するガルバノ
メータとを有するレーザ加工装置において、前記加工面
上の前記ガルバノメータによるレーザ光照射可能領域内
にレーザ光を遮断するためのレーザ光遮断手段を設け、
加工を中断するときは前記ガルバノメータを制御して前
記レーザ光遮断手段に前記レーザ光を照射するようにし
たことを特徴とするレーザ加工装置が得られる。
発振器と、該レーザ発振器からのレーザ光の照射方向を
制御するガルバノメータと、前記レーザ光による加工を
援助するアシストガスを噴出させるためのアシストガス
ノズルとを有するレーザ加工装置において、前記アシス
トガスノズルの前記ガルバノメータによるレーザ光照射
可能領域内にレーザ光を遮断するレーザ光遮断手段を設
け、加工を中断するときは前記レーザ光遮断手段に前記
レーザ光を照射するようにしたことを特徴とするレーザ
加工装置が得られる。また、本発明によれば、レーザ発
振器と、該レーザ発振器からのレーザ光の被加工物が載
置される加工面上における照射位置を制御するガルバノ
メータとを有するレーザ加工装置において、前記加工面
上の前記ガルバノメータによるレーザ光照射可能領域内
にレーザ光を遮断するためのレーザ光遮断手段を設け、
加工を中断するときは前記ガルバノメータを制御して前
記レーザ光遮断手段に前記レーザ光を照射するようにし
たことを特徴とするレーザ加工装置が得られる。
【０００５】
【実施例】以下に、図面を参照して本発明の実施例を説
明する。本発明のレーザ加工装置の全体的な構成は従来
と同様なのでその説明を省略する。図１に本発明の第１
の実施例のアシストガスノズルを示す。このアシストガ
スノズル１１は、レーザ光を通過させるレーザ光用穴１
２を有し、レーザ光用穴１２を挟んで対象な位置にレー
ザ光遮断用受板１３及び１４を有している。ここで、レ
ーザ光用受板１３及び１４はレーザ光に十分耐え得る材
質でなければならない。レーザ光は、ガルバノメータに
よってＡ，Ｂ，及びＣ方向に振ることが可能である。Ａ
方向にレーザ光を振るとレーザ光はレーザ光用穴１２を
通り被加工物の加工を行なうことができる。また、Ｂ方
向、Ｃ方向のいずれかに振ったときは加工を中断でき
る。また、レーザ光遮断用受板１３及び１４は、図２に
示すような位置に設けてもよい。本実施例によれば、光
の照射角度、即ちガルバノメータ内の鏡の角度を従来に
比べ、本の僅かに動かすだけで良いので、高速動作が可
能となる。なお、図１、図２のアシストガスノズルにレ
ーザ光遮断用受板１３、１４を２つ設けたのは、図３
（ａ）及び（ｂ）に示すように、レーザ光遮断用受板１
３及び１４の一方が加工エリア３１よりはみ出してガル
バノメータによってレーザ光を振ることができなくなる
からである。
明する。本発明のレーザ加工装置の全体的な構成は従来
と同様なのでその説明を省略する。図１に本発明の第１
の実施例のアシストガスノズルを示す。このアシストガ
スノズル１１は、レーザ光を通過させるレーザ光用穴１
２を有し、レーザ光用穴１２を挟んで対象な位置にレー
ザ光遮断用受板１３及び１４を有している。ここで、レ
ーザ光用受板１３及び１４はレーザ光に十分耐え得る材
質でなければならない。レーザ光は、ガルバノメータに
よってＡ，Ｂ，及びＣ方向に振ることが可能である。Ａ
方向にレーザ光を振るとレーザ光はレーザ光用穴１２を
通り被加工物の加工を行なうことができる。また、Ｂ方
向、Ｃ方向のいずれかに振ったときは加工を中断でき
る。また、レーザ光遮断用受板１３及び１４は、図２に
示すような位置に設けてもよい。本実施例によれば、光
の照射角度、即ちガルバノメータ内の鏡の角度を従来に
比べ、本の僅かに動かすだけで良いので、高速動作が可
能となる。なお、図１、図２のアシストガスノズルにレ
ーザ光遮断用受板１３、１４を２つ設けたのは、図３
（ａ）及び（ｂ）に示すように、レーザ光遮断用受板１
３及び１４の一方が加工エリア３１よりはみ出してガル
バノメータによってレーザ光を振ることができなくなる
からである。
【０００６】第２の実施例を図４に示す。本実施例はア
シストガスを使用しない、即ち、アシストガスノズルを
備えていないレーザ加工装置に使用される。これは、被
加工物を支持する台上で、加工エリア４１の周囲でガル
バノメータによって、レーザ光を振ることができる範囲
内にレーザ光遮断用受板４２を設けたものである。
シストガスを使用しない、即ち、アシストガスノズルを
備えていないレーザ加工装置に使用される。これは、被
加工物を支持する台上で、加工エリア４１の周囲でガル
バノメータによって、レーザ光を振ることができる範囲
内にレーザ光遮断用受板４２を設けたものである。
【０００７】
【発明の効果】本発明によれば、レーザ加工装置におい
て、ガルバノメータによってレーザ光を照射できる範囲
内に、レーザ光を遮断するレーザ光遮断手段を設け、加
工を中断するときに、レーザ光をレーザ光遮断手段に照
射するようにしたことで、簡易な構成でありながら、加
工、加工中断、の切り替えが高速で行える。
て、ガルバノメータによってレーザ光を照射できる範囲
内に、レーザ光を遮断するレーザ光遮断手段を設け、加
工を中断するときに、レーザ光をレーザ光遮断手段に照
射するようにしたことで、簡易な構成でありながら、加
工、加工中断、の切り替えが高速で行える。
【図１】本発明の第１の実施例のアシストガスノズルの
斜視図である。
斜視図である。
【図２】図１のアシストノズルの変形例の斜視図であ
る。
る。
【図３】図１のアシストノズルの使用方法の説明図であ
る。
る。
【図４】本発明の第２の実施例の正面図である。
【図５】レーザ加工装置の構成図である。
【図６】従来のレーザ光遮断方法の説明図である。
１１ アシストガスノズル １２ レーザ光用穴 １３ レーザ光遮断用受板 １４ レーザ光遮断用受板 ３１ 加工エリア ４１ 加工エリア ４２ レーザ光遮断用受板 ５１ レーザ発振器 ５２ ビーム整形光学系 ５３ ガルバノメータ ５４ ｆθレンズ ５５ アシストガス ５６ アシストガスノズル ５７ アシストガスノズル用駆動系 ５８ 制御部 ６１ 全反射ミラー ６２ モータ ６３ レーザ光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−148485（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−93359（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ発振器と、該レーザ発振器からの
レーザ光の照射方向を制御するガルバノメータと、前記
レーザ光による加工を援助するアシストガスを噴出させ
るためのアシストガスノズルとを有するレーザ加工装置
において、前記アシストガスノズルの前記ガルバノメー
タによるレーザ光照射可能領域内にレーザ光を遮断する
レーザ光遮断手段を設け、加工を中断するときは前記レ
ーザ光遮断手段に前記レーザ光を照射するようにしたこ
とを特徴とするレーザ加工装置。 - 【請求項２】 レーザ発振器と、該レーザ発振器からの
レーザ光の被加工物が載置される加工面上における照射
位置を制御するガルバノメータとを有するレーザ加工装
置において、前記加工面上の前記ガルバノメータによる
レーザ光照射可能領域内にレーザ光を遮断するためのレ
ーザ光遮断手段を設け、加工を中断するときは前記ガル
バノメータを制御して前記レーザ光遮断手段に前記レー
ザ光を照射するようにしたことを特徴とするレーザ加工
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3011576A JP2716272B2 (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3011576A JP2716272B2 (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04238687A JPH04238687A (ja) | 1992-08-26 |
| JP2716272B2 true JP2716272B2 (ja) | 1998-02-18 |
Family
ID=11781743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3011576A Expired - Fee Related JP2716272B2 (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2716272B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104114316B (zh) * | 2012-02-14 | 2015-11-25 | 村田机械株式会社 | 激光加工机 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0114670Y2 (ja) * | 1985-11-29 | 1989-04-28 | ||
| JP2550370B2 (ja) * | 1987-12-02 | 1996-11-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造装置 |
-
1991
- 1991-01-08 JP JP3011576A patent/JP2716272B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04238687A (ja) | 1992-08-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20060266742A1 (en) | Apparatus for minimizing a heat affected zone during laser micro-machining | |
| KR20150126603A (ko) | 테이퍼 제어를 위한 빔 각도 및 작업물 이동의 공조 | |
| US6763045B2 (en) | Apparatus for and method of targeting | |
| JP2004042140A (ja) | 薄膜除去方法及び装置 | |
| JP3257157B2 (ja) | Ｃｏ２レーザ穴加工装置及び方法 | |
| JPH06285662A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
| JP2716272B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH03180294A (ja) | レーザ切断加工機 | |
| JP2798223B2 (ja) | レーザ切断方法 | |
| JPH0693402B2 (ja) | レ−ザ・トリミング方法及び同トリミング装置 | |
| JP2581574B2 (ja) | レ−ザ加工方法およびその装置 | |
| JP2003340577A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH0159076B2 (ja) | ||
| JP2003285175A (ja) | レーザ加工方法 | |
| JPS6139377B2 (ja) | ||
| JP2014111259A (ja) | レーザ加工方法、レーザ加工装置及びレーザ加工プログラム | |
| JP4243894B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2845552B2 (ja) | パルスレーザ加工方法 | |
| JPH02295688A (ja) | フィルムコーティング材のレーザ加工方法およびその方法に用いるレーザ加工ヘッド | |
| JPH0890273A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
| JPH06292986A (ja) | レーザ加工装置の制御方法 | |
| JPS63104794A (ja) | レ−ザ加工機 | |
| JPH06237037A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH01228689A (ja) | レーザ加工方法および装置 | |
| JPH0839283A (ja) | レ−ザ照射装置およびその方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19971007 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |