JP2712629B2 - 反射型光学素子の製造方法 - Google Patents
反射型光学素子の製造方法Info
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- JP2712629B2 JP2712629B2 JP24657889A JP24657889A JP2712629B2 JP 2712629 B2 JP2712629 B2 JP 2712629B2 JP 24657889 A JP24657889 A JP 24657889A JP 24657889 A JP24657889 A JP 24657889A JP 2712629 B2 JP2712629 B2 JP 2712629B2
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- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、反射型光学素子の製造方法に関するもので
ある。
ある。
［従来の技術］ 従来のこの種の製造方法を第７図に示す。第７図に於
いてガラス管１は、片側が解放しもう一方が閉じた試験
管状になっていた。従来の製造方法は、このガラス管１
の内部の閉じた下端に金型２を支持し、ガラス管１内を
不図示の真空ポンプで排気してほぼ真空にし、ヒーター
３を設けた加熱炉４中で加熱すると、ガラス管１は軟化
して金型２に押し付けられ、冷却後、金型２を除いて目
的の寸法形状の反射型光学素子を得ていた。
いてガラス管１は、片側が解放しもう一方が閉じた試験
管状になっていた。従来の製造方法は、このガラス管１
の内部の閉じた下端に金型２を支持し、ガラス管１内を
不図示の真空ポンプで排気してほぼ真空にし、ヒーター
３を設けた加熱炉４中で加熱すると、ガラス管１は軟化
して金型２に押し付けられ、冷却後、金型２を除いて目
的の寸法形状の反射型光学素子を得ていた。
［発明が解決しようとする課題］ 上記の如き従来の技術に於いては真空に引きながら加
熱すると金型２からガスが発生してガラス管１の閉じた
先端部分に溜ってしまうという問題があった。また、こ
の溜ったガスは、ガラス管１内を上部だけから真空に引
いている為ガラス管１が金型２に密着していく過程でま
だ完全に密着してない部分を通って上方向へ流れてい
き、金型２に離型膜として使っているAu又はPtと反応し
て膜自体を劣化させ表面精度を悪くするという問題があ
った。さらにガスが流れている途中で密着が進むとガス
が閉じ込められた状態で密着完了となり、結果として微
小泡としてガラス管１内面に点在するという問題があっ
た。
熱すると金型２からガスが発生してガラス管１の閉じた
先端部分に溜ってしまうという問題があった。また、こ
の溜ったガスは、ガラス管１内を上部だけから真空に引
いている為ガラス管１が金型２に密着していく過程でま
だ完全に密着してない部分を通って上方向へ流れてい
き、金型２に離型膜として使っているAu又はPtと反応し
て膜自体を劣化させ表面精度を悪くするという問題があ
った。さらにガスが流れている途中で密着が進むとガス
が閉じ込められた状態で密着完了となり、結果として微
小泡としてガラス管１内面に点在するという問題があっ
た。
本発明はこの様な従来の問題点を鑑みてなされたもの
で真空成形時に金型２から発生するガスを効率良く引
き、離型膜の劣化を防ぎ、さらに、成形終了時にガラス
管１内面に点在する微小泡を無くし、高精度に転写され
た反射型光学素子を製造することを目的とする。
で真空成形時に金型２から発生するガスを効率良く引
き、離型膜の劣化を防ぎ、さらに、成形終了時にガラス
管１内面に点在する微小泡を無くし、高精度に転写され
た反射型光学素子を製造することを目的とする。
［課題を解決する為の手段］ 上記問題の解決の為に本発明による反射型光学素子の
製造方法は、 反射型光学素子を形成する両端開放の管部材５内部に
所定形状の型２を配置する段階と、 該管部材５の両端から真空に引くと同時に該管部材５
を加熱し、該管部材５を該所定形状の型２に圧着成形す
る段階と、 該管部材５を冷却し該管部材５内に大気を導入するこ
とにより、該管部材５と該所定形状の型２を剥離させる
段階とから成る。
製造方法は、 反射型光学素子を形成する両端開放の管部材５内部に
所定形状の型２を配置する段階と、 該管部材５の両端から真空に引くと同時に該管部材５
を加熱し、該管部材５を該所定形状の型２に圧着成形す
る段階と、 該管部材５を冷却し該管部材５内に大気を導入するこ
とにより、該管部材５と該所定形状の型２を剥離させる
段階とから成る。
前記製造方法により、前記所定形状の型２から発生す
るガス、及び管部材５内部に残留している空気、また表
面に付着した異物やよごれが気化したガスを前記管部材
５の両端から効率良く真空に引きながら真空成形するこ
とができる。
るガス、及び管部材５内部に残留している空気、また表
面に付着した異物やよごれが気化したガスを前記管部材
５の両端から効率良く真空に引きながら真空成形するこ
とができる。
［作用］ 本発明によれば、所定形状の型２から発生するガスを
管部材５の両端から引くことができるので、ガス溜りが
出来ることがない。従って、従来のようなガス溜りから
ガスが型２と管部材５の密着不足の部分を通って流れる
ことがなくなり、離型膜（例えばAu又はPt）の劣化を防
止できる。
管部材５の両端から引くことができるので、ガス溜りが
出来ることがない。従って、従来のようなガス溜りから
ガスが型２と管部材５の密着不足の部分を通って流れる
ことがなくなり、離型膜（例えばAu又はPt）の劣化を防
止できる。
さらに、密着が進行する過程に於いても、ガスの流れ
がなくなるので、密着完了時に管部材５内面に微小泡が
できることもない。
がなくなるので、密着完了時に管部材５内面に微小泡が
できることもない。
［実施例］ 以下図面を参照して本発明による反射型光学素子の製
造方法を説明する。
造方法を説明する。
第１図は本発明の実施例であって、光学素子を形成す
る管部材としてのガラス管５は両端開放で所定形状の金
型２をガラス管５の内部の中間に配置している。金型２
をガラス管５の内部の中間に配置する方法としては、第
２図に示す様にガラス管５の内部の中間に金型支持用の
段差すなわち内径を縮小した絞り5aを設け、そのうえに
金型２を支持する方法と、第３図に示す様に金型２に雌
ねじ部2aを設け、雌ねじ部2aに螺合する雄ねじ部6aを設
けた支持部材６により金型２を上から吊り下げる方法
と、第４図に示す様に金型２を支持部材７により下から
支える方法とがある。
る管部材としてのガラス管５は両端開放で所定形状の金
型２をガラス管５の内部の中間に配置している。金型２
をガラス管５の内部の中間に配置する方法としては、第
２図に示す様にガラス管５の内部の中間に金型支持用の
段差すなわち内径を縮小した絞り5aを設け、そのうえに
金型２を支持する方法と、第３図に示す様に金型２に雌
ねじ部2aを設け、雌ねじ部2aに螺合する雄ねじ部6aを設
けた支持部材６により金型２を上から吊り下げる方法
と、第４図に示す様に金型２を支持部材７により下から
支える方法とがある。
金型２をガラス管５の中間に配置後、ガラス管５の両
端を真空シール部８に接続し、真空ライン９を介して真
空ポンプ10に接続する。ガラス管５は、位置決ストッパ
ー11で固定され、加熱炉４内を通して保持される。バル
ブ12を閉じバルブ13を開きガラス管５の内部を真空ポン
プ10により真空に引く。真空度は金型２の酸化を防ぐた
め、所定圧以下にする。真空度が真空度センサー14の示
す所定圧になったら加熱炉４内に設けられたヒーター３
の電源をONし、温度センサー15の示す温度がガラス管２
の軟化温度付近になるまで金型２及びガラス管５を加熱
し、ガラス管５を金型２に圧着させる。このとき金型２
から発生するガスはガラス管５の両端から効率良く引け
る。圧着完了後ヒーター３の電源をOFFし降温する。金
型２及びガラス管５が室温になったらバルブ13を閉じ、
バルブ12を開き大気を導入する。大気導入後真空シール
部８をガラス管５からはずし位置決ストッパー11をゆる
め加熱炉４からガラス管５を取り出す。そののちガラス
管５から金型２を取り出し金型転写面を切り出せば反射
型光学素子を製造することができる。
端を真空シール部８に接続し、真空ライン９を介して真
空ポンプ10に接続する。ガラス管５は、位置決ストッパ
ー11で固定され、加熱炉４内を通して保持される。バル
ブ12を閉じバルブ13を開きガラス管５の内部を真空ポン
プ10により真空に引く。真空度は金型２の酸化を防ぐた
め、所定圧以下にする。真空度が真空度センサー14の示
す所定圧になったら加熱炉４内に設けられたヒーター３
の電源をONし、温度センサー15の示す温度がガラス管２
の軟化温度付近になるまで金型２及びガラス管５を加熱
し、ガラス管５を金型２に圧着させる。このとき金型２
から発生するガスはガラス管５の両端から効率良く引け
る。圧着完了後ヒーター３の電源をOFFし降温する。金
型２及びガラス管５が室温になったらバルブ13を閉じ、
バルブ12を開き大気を導入する。大気導入後真空シール
部８をガラス管５からはずし位置決ストッパー11をゆる
め加熱炉４からガラス管５を取り出す。そののちガラス
管５から金型２を取り出し金型転写面を切り出せば反射
型光学素子を製造することができる。
以上、本発明による反射型光学素子の製造方法の実施
例を図面を参照して説明してきたが、本発明は、前記実
施例に限定して解釈されるべきではなく、その趣旨を損
ねない範囲において適宜変更、改良が可能であることは
もちろんである。
例を図面を参照して説明してきたが、本発明は、前記実
施例に限定して解釈されるべきではなく、その趣旨を損
ねない範囲において適宜変更、改良が可能であることは
もちろんである。
［発明の効果］ 以上の様に本発明によれば成形途中で金型から発生す
るガスをガラス管の両端から効率良く引くことができる
ので発生ガスによる離型膜の劣化を防ぐことができ、ま
た残留ガスによるガラス管内面の微小泡の発生も防ぐこ
とができるので非常に高精度の反射面を有する反射型光
学素子を得ることができる。
るガスをガラス管の両端から効率良く引くことができる
ので発生ガスによる離型膜の劣化を防ぐことができ、ま
た残留ガスによるガラス管内面の微小泡の発生も防ぐこ
とができるので非常に高精度の反射面を有する反射型光
学素子を得ることができる。
さらにこの方法によれば径の小さな軽い金型は勿論の
こと径の大きな重い金型でも支持部材を用いる方法で必
要な位置に配置できるので、小さい径から大きい径まで
巾広く反射型光学素子を製造することが可能になる。
こと径の大きな重い金型でも支持部材を用いる方法で必
要な位置に配置できるので、小さい径から大きい径まで
巾広く反射型光学素子を製造することが可能になる。
その他の効果として、製造された反射型光学素子は、
第５図に示す様に素子の一部16を切り出し凹面鏡とする
こともできるし、あるいは第６図に示す様に光源17の回
りに素子の一部18を配置して照明光学系として使用する
こともできる。
第５図に示す様に素子の一部16を切り出し凹面鏡とする
こともできるし、あるいは第６図に示す様に光源17の回
りに素子の一部18を配置して照明光学系として使用する
こともできる。
第１図は本発明の実施例を示す概略構成図、 第２図はガラス管５内部に金型２をガラス管５内部の内
径縮小部5aにより支持する方法を示す説明図、 第３図はガラス管５内部に金型２を支持部材６により上
部から吊って支持する方法を示す説明図、 第４図はガラス管５内部に金型２を支持部材７により下
部から受けて支持する方法を示す説明図、 第５図は本発明により製造された反射型光学素子の一部
を切り出し凹面鏡としたときの斜視図、 第６図は反射型光学素子を照明光学系に用いた場合の説
明図、 第７図は従来の反射型光学素子の製造方法を示す説明図
である。 ［主要部分の符号の説明］ ２……金型 ３……ヒーター ４……加熱炉 ５……両端開放のガラス管 5a……内径縮小部 ６……支持部材 ７……支持部材 10……真空ポンプ
径縮小部5aにより支持する方法を示す説明図、 第３図はガラス管５内部に金型２を支持部材６により上
部から吊って支持する方法を示す説明図、 第４図はガラス管５内部に金型２を支持部材７により下
部から受けて支持する方法を示す説明図、 第５図は本発明により製造された反射型光学素子の一部
を切り出し凹面鏡としたときの斜視図、 第６図は反射型光学素子を照明光学系に用いた場合の説
明図、 第７図は従来の反射型光学素子の製造方法を示す説明図
である。 ［主要部分の符号の説明］ ２……金型 ３……ヒーター ４……加熱炉 ５……両端開放のガラス管 5a……内径縮小部 ６……支持部材 ７……支持部材 10……真空ポンプ
Claims (2)
- 【請求項１】反射型光学素子を形成する両端開放の管部
材内部に所定形状の型を配置する段階と、 該管部材の両端から真空に引くと同時に該管部材を加熱
し、該管部材を該所定形状の型に圧着成形する段階と、 該管部材を冷却し該管部材内に大気を導入することによ
り、該管部材と該所定形状の型を剥離させる段階とから
成る反射型光学素子の製造方法。 - 【請求項２】反射型光学素子を形成する両端開放の管部
材内部に内径縮小部を設ける段階と、 該内径縮小部に所定形状の型を配置する段階と、 該管部材の両端から真空に引くと同時に該管部材を加熱
し、該管部材を該所定形状の型に圧着成形する段階と、 該管部材を冷却し該管部材内に大気を導入することによ
り、該管部材と該所定形状の型を剥離させる段階とから
成る反射型光学素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24657889A JP2712629B2 (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 反射型光学素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24657889A JP2712629B2 (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 反射型光学素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03109505A JPH03109505A (ja) | 1991-05-09 |
| JP2712629B2 true JP2712629B2 (ja) | 1998-02-16 |
Family
ID=17150505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24657889A Expired - Fee Related JP2712629B2 (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 反射型光学素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2712629B2 (ja) |
-
1989
- 1989-09-25 JP JP24657889A patent/JP2712629B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03109505A (ja) | 1991-05-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |