JP2692622B2 - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 70
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 4
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/17—Construction or disposition of windings
-
- G—PHYSICS
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- G11B5/40—Protective measures on heads, e.g. against excessive temperature
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜磁気ヘッドに係
り、とくに磁極とコイルの絶縁不良防止構造を備えた薄
膜磁気ヘッドに関する。
り、とくに磁極とコイルの絶縁不良防止構造を備えた薄
膜磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の薄膜磁気ヘッドにおけるコイル引
き出し部の絶縁膜構造に関しては、例えば特開昭６１−
２１０７９１号公報記載のものがある。
き出し部の絶縁膜構造に関しては、例えば特開昭６１−
２１０７９１号公報記載のものがある。
【０００３】この従来例は、コイルの下側に位置する有
機絶縁膜とコイルの端子引き出し線が交差する端縁の位
置が、コイルの上側の有機絶縁膜によって覆われること
によってコイルの段切れが防止されていた。
機絶縁膜とコイルの端子引き出し線が交差する端縁の位
置が、コイルの上側の有機絶縁膜によって覆われること
によってコイルの段切れが防止されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例にあっては、最上層のコイルの引き出し線が下層の
有機絶縁膜と交差する部分で、有機絶縁膜の界面にクラ
ック等によりコイルの下地金属残り等が生じた場合に
は、この下地金属残りを通じて磁極とコイルが導通する
という不都合があった。
来例にあっては、最上層のコイルの引き出し線が下層の
有機絶縁膜と交差する部分で、有機絶縁膜の界面にクラ
ック等によりコイルの下地金属残り等が生じた場合に
は、この下地金属残りを通じて磁極とコイルが導通する
という不都合があった。
【０００５】
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、とくに有機絶縁膜間の界面とコイルの引き出
し線部分での異物介在による接触を回避し、これによっ
てコイルと磁極の絶縁不良を有効に防止し得る薄膜磁気
ヘッドを提供することを、その目的とする。
を改善し、とくに有機絶縁膜間の界面とコイルの引き出
し線部分での異物介在による接触を回避し、これによっ
てコイルと磁極の絶縁不良を有効に防止し得る薄膜磁気
ヘッドを提供することを、その目的とする。
【０００６】
【０００７】請求項１記載の発明では、下部磁極および
ギャップ層上に、有機絶縁膜とコイルとが、第１層有機
絶縁膜，第１層コイル，第２層有機絶縁膜，第２層コイ
ル等の如く交互に順次所定回数積層され、その上に上部
磁性体が装備されてなる薄膜磁気ヘッドにおいて、最上
層のコイル引き出し線を、下層の各有機絶縁膜と交差す
るように当該各有機絶縁膜に沿って外部に向かって配設
すると共に、このコイル引き出し線の上下両面をその延
設部にわたって，その上下に位置する各有機絶縁膜にて
覆う構造とする、という構成を採っている。
ギャップ層上に、有機絶縁膜とコイルとが、第１層有機
絶縁膜，第１層コイル，第２層有機絶縁膜，第２層コイ
ル等の如く交互に順次所定回数積層され、その上に上部
磁性体が装備されてなる薄膜磁気ヘッドにおいて、最上
層のコイル引き出し線を、下層の各有機絶縁膜と交差す
るように当該各有機絶縁膜に沿って外部に向かって配設
すると共に、このコイル引き出し線の上下両面をその延
設部にわたって，その上下に位置する各有機絶縁膜にて
覆う構造とする、という構成を採っている。
【０００８】請求項２記載の発明では、下部磁性体およ
びギャップ材の上に有機絶縁膜とコイルとが、第１層有
機絶縁膜，第１層コイル，第２層有機絶縁膜，第２層コ
イル等の如く交互に順次所定回数積層され、その上に上
部磁性体が装備されてなる薄膜磁気ヘッドにおいて、最
下層の第１層コイルの引き出し線を前述した第２層有機
絶縁膜により覆う構造とし、且つ、最上層のコイル引き
出し線が下層の有機絶縁膜と交差する部分において一層
下の有機絶縁膜および最上層の有機絶縁膜が最上層のコ
イル引き出し線の上および下を覆う構造とする、という
構成を採っている。
びギャップ材の上に有機絶縁膜とコイルとが、第１層有
機絶縁膜，第１層コイル，第２層有機絶縁膜，第２層コ
イル等の如く交互に順次所定回数積層され、その上に上
部磁性体が装備されてなる薄膜磁気ヘッドにおいて、最
下層の第１層コイルの引き出し線を前述した第２層有機
絶縁膜により覆う構造とし、且つ、最上層のコイル引き
出し線が下層の有機絶縁膜と交差する部分において一層
下の有機絶縁膜および最上層の有機絶縁膜が最上層のコ
イル引き出し線の上および下を覆う構造とする、という
構成を採っている。
【０００９】
【作用】本発明では、各引き出し線をその元のコイルの
上下に配設された有機絶縁膜で覆ったことから、この有
機絶縁膜相互間の界面とコイルの引き出し線部分での異
物介在による接触を有効に防止することができる。
上下に配設された有機絶縁膜で覆ったことから、この有
機絶縁膜相互間の界面とコイルの引き出し線部分での異
物介在による接触を有効に防止することができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図３に基
づいて説明する。
づいて説明する。
【００１１】この図１乃至図３に示す実施例は、下部磁
極およびギャップ層上に、有機絶縁膜とコイルが、第１
層有機絶縁膜１，第１層コイル１１，第２層有機絶縁膜
２，第２層コイル１２等の如く交互に順次所定回数積層
され、その上に上部磁極９が装備されている。
極およびギャップ層上に、有機絶縁膜とコイルが、第１
層有機絶縁膜１，第１層コイル１１，第２層有機絶縁膜
２，第２層コイル１２等の如く交互に順次所定回数積層
され、その上に上部磁極９が装備されている。
【００１２】最下層の第１層コイル１１の引き出し線１
１Ａは、その外部への延設定部にわたってその上側の第
２層有機絶縁膜２にて覆われている。
１Ａは、その外部への延設定部にわたってその上側の第
２層有機絶縁膜２にて覆われている。
【００１３】また、最上層のコイル引き出し線，例えば
第４層コイル１４のコイル引き出し線１４Ａを、下層の
各有機絶縁膜１〜４と交差するようにして当該各有機絶
縁膜に沿って外部に向かって配設し、且つこのコイル引
き出し線１４Ａの上下両面をその延設部にわたって，そ
の上下に位置する各有機絶縁膜４，５にて覆う構造にな
っている。
第４層コイル１４のコイル引き出し線１４Ａを、下層の
各有機絶縁膜１〜４と交差するようにして当該各有機絶
縁膜に沿って外部に向かって配設し、且つこのコイル引
き出し線１４Ａの上下両面をその延設部にわたって，そ
の上下に位置する各有機絶縁膜４，５にて覆う構造にな
っている。
【００１４】これを更に詳述すると、図１において下部
磁極およびギャップ層上に、第１層有機絶縁膜１，第２
層有機絶縁膜２，第３層有機絶縁膜３，第４層有機絶縁
膜４，第５層有機絶縁膜５が、コイルを挟むようにして
積層されている。
磁極およびギャップ層上に、第１層有機絶縁膜１，第２
層有機絶縁膜２，第３層有機絶縁膜３，第４層有機絶縁
膜４，第５層有機絶縁膜５が、コイルを挟むようにして
積層されている。
【００１５】図１では最上層の第４層コイル１４（点線
で表示）以外のコイルは省略してある。更に、その上に
は上部磁極９が装備されている。
で表示）以外のコイルは省略してある。更に、その上に
は上部磁極９が装備されている。
【００１６】各有機絶縁膜１〜５は、フォトリソグラフ
ィによって所定の形にパターニングされた後に熱硬化処
理される。この場合、上層の有機絶縁膜の熱硬化処理の
際、第１有機絶縁膜１と第２有機絶縁膜２の界面６，第
２有機絶縁膜２と第３有機絶縁膜３の界面７，第３有機
絶縁膜３と第４有機絶縁膜４の界面８には、各有機絶縁
膜１〜４の収縮によりクラックが生じるが、これらの界
面６〜８にコイルや上部磁極の下地残りが付着するっと
各磁極とコイルが導通する。これを防ぐため、前述した
ように、第２有機絶縁膜２で第１層コイル引き出し線１
１Ａの上を覆い、第４層コイル１４のコイル引き出し線
１４Ａの上下を第５層有機絶縁膜５及び第４層有機絶縁
膜４で覆っている。
ィによって所定の形にパターニングされた後に熱硬化処
理される。この場合、上層の有機絶縁膜の熱硬化処理の
際、第１有機絶縁膜１と第２有機絶縁膜２の界面６，第
２有機絶縁膜２と第３有機絶縁膜３の界面７，第３有機
絶縁膜３と第４有機絶縁膜４の界面８には、各有機絶縁
膜１〜４の収縮によりクラックが生じるが、これらの界
面６〜８にコイルや上部磁極の下地残りが付着するっと
各磁極とコイルが導通する。これを防ぐため、前述した
ように、第２有機絶縁膜２で第１層コイル引き出し線１
１Ａの上を覆い、第４層コイル１４のコイル引き出し線
１４Ａの上下を第５層有機絶縁膜５及び第４層有機絶縁
膜４で覆っている。
【００１７】図２及び図３は、それぞれ図１のＡ−Ａ，
Ｂ−Ｂの各断面図である。
Ｂ−Ｂの各断面図である。
【００１８】図３においては、第２層有機絶縁膜２は第
１層コイル１１の引き出し線１１Ａの上をその延設端部
Ｃの位置まで覆っている。
１層コイル１１の引き出し線１１Ａの上をその延設端部
Ｃの位置まで覆っている。
【００１９】図２においては、第４層コイル１４のコイ
ル引き出し線１４Ａの下部をその延設端部Ｄの位置まで
第４層有機絶縁膜４が、また当該コイル引き出し線１４
Ａの上部をＥの位置まで第５層有機絶縁膜が覆ってい
る。
ル引き出し線１４Ａの下部をその延設端部Ｄの位置まで
第４層有機絶縁膜４が、また当該コイル引き出し線１４
Ａの上部をＥの位置まで第５層有機絶縁膜が覆ってい
る。
【００２０】このため、上記実施例によると、有機絶縁
膜相互間の界面と各コイルの引き出し線との異物による
接触を予め有効に排除し得るため、コイルと磁極との絶
縁不良を確実に防止することができる。
膜相互間の界面と各コイルの引き出し線との異物による
接触を予め有効に排除し得るため、コイルと磁極との絶
縁不良を確実に防止することができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明は以上のように構成され機能する
ので、これによると、各引き出し線をその元のコイルの
上下に配設された有機絶縁膜で覆うようにしたので、有
機絶縁膜間の界面とコイルの引き出し線部分での異物介
在による接触，即ちコイルと磁極の絶縁不良を有効に防
止し得るという従来にない優れた薄膜磁気ヘッドを提供
することができる。
ので、これによると、各引き出し線をその元のコイルの
上下に配設された有機絶縁膜で覆うようにしたので、有
機絶縁膜間の界面とコイルの引き出し線部分での異物介
在による接触，即ちコイルと磁極の絶縁不良を有効に防
止し得るという従来にない優れた薄膜磁気ヘッドを提供
することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す概略平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【符号の説明】 １ 第１層有機絶縁膜 ２ 第２層有機絶縁膜 ３ 第３層有機絶縁膜 ４ 第４層有機絶縁膜 ５ 第５層有機絶縁膜 ６，７，８ 界面 ９ 上部磁極 １１ 第１層コイル １１Ａ 第１層コイルのコイル引き出し線 １２ 第２層コイル １３ 第３層コイル １４ 第４層コイル １４Ａ 第４層コイルのコイル引き出し線
Claims (2)
- 【請求項１】 下部磁極およびギャップ層上に、有機絶
縁膜とコイルとが、第１層有機絶縁膜，第１層コイル，
第２層有機絶縁膜，第２層コイル等の如く交互に順次所
定回数積層され、その上に上部磁性体が装備されてなる
薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記最上層のコイル引き出し線を、下層の各有機絶縁膜
と交差するように当該各有機絶縁膜に沿って外部に向か
って配設すると共に、このコイル引き出し線の上下両面
をその延設部にわたって，その上下に位置する各有機絶
縁膜にて覆う構造としたことを特徴とする薄膜磁気ヘッ
ド。 - 【請求項２】 下部磁性体およびギャップ材の上に有機
絶縁膜とコイルとが、第１層有機絶縁膜，第１層コイ
ル，第２層有機絶縁膜，第２層コイル等の如く交互に順
次所定回数積層され、その上に上部磁性体が装備されて
なる薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記最下層の第１層コイルの引き出し線を前記第２層有
機絶縁膜により覆う構造とし、 且つ最上層のコイル引き出し線が下層の有機絶縁膜と交
差する部分において一層下の有機絶縁膜および最上層の
有機絶縁膜が最上層のコイル引き出し線の上および下を
覆う構造としたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6321920A JP2692622B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 薄膜磁気ヘッド |
| US08/577,194 US5706152A (en) | 1994-12-26 | 1995-12-22 | Thin film magnetic head having improved insulation of upper side lead terminal |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6321920A JP2692622B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08180324A JPH08180324A (ja) | 1996-07-12 |
| JP2692622B2 true JP2692622B2 (ja) | 1997-12-17 |
Family
ID=18137893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6321920A Expired - Fee Related JP2692622B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5706152A (ja) |
| JP (1) | JP2692622B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5880915A (en) | 1996-10-21 | 1999-03-09 | International Business Machines Corporation | Crack resistant magnetic write head |
| US6204997B1 (en) * | 1998-05-19 | 2001-03-20 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head with a plurality of engaged thin-film coils and method of manufacturing the same |
| US6400527B1 (en) | 1998-11-13 | 2002-06-04 | Alps Electric Co., Ltd. | Thin film magnetic head having upper core layer with narrow track width |
| US6829819B1 (en) | 1999-05-03 | 2004-12-14 | Western Digital (Fremont), Inc. | Method of forming a magnetoresistive device |
| US6944938B1 (en) | 1999-05-03 | 2005-09-20 | Western Digital (Fremont), Inc. | Method of forming a magnetoresistive device |
| US6483662B1 (en) | 1999-07-09 | 2002-11-19 | Read-Rite Corporation | High density multi-coil magnetic write head having a reduced yoke length and short flux rise time |
| US6496330B1 (en) | 1999-09-09 | 2002-12-17 | Read-Rite Corporation | Magnetic write head having a splitcoil structure |
| WO2003019537A1 (fr) * | 2001-08-27 | 2003-03-06 | Fujitsu Limited | Tete magnetique a film mince |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4950914A (ja) * | 1972-09-14 | 1974-05-17 | ||
| JPS6366710A (ja) * | 1986-09-09 | 1988-03-25 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
-
1994
- 1994-12-26 JP JP6321920A patent/JP2692622B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-12-22 US US08/577,194 patent/US5706152A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5706152A (en) | 1998-01-06 |
| JPH08180324A (ja) | 1996-07-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970805 |
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