JP2690973B2 - Ｘ線検査装置 - Google Patents
Ｘ線検査装置Info
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- JP2690973B2 JP2690973B2 JP63263987A JP26398788A JP2690973B2 JP 2690973 B2 JP2690973 B2 JP 2690973B2 JP 63263987 A JP63263987 A JP 63263987A JP 26398788 A JP26398788 A JP 26398788A JP 2690973 B2 JP2690973 B2 JP 2690973B2
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- Japan
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- inspection
- ray
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- inspected
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、繰り返し供給される被検査物にＸ線を照射
し透過したＸ線で内部の欠陥などを検査するＸ線検査装
置に関する。
し透過したＸ線で内部の欠陥などを検査するＸ線検査装
置に関する。
（従来の技術） 例えば、樹脂成形品や金属の鋳造品のなかには、形状
が複雑で一方向からだけのＸ線透視だけでは、内部の欠
陥の状態を検査できないものが多い。そのため、これら
の被検査物にＸ線を照射するときには、Ｘ線の出射条件
の他に、Ｘ線の透視角度と被検査物の位置も最適条件に
設定しなければならない。
が複雑で一方向からだけのＸ線透視だけでは、内部の欠
陥の状態を検査できないものが多い。そのため、これら
の被検査物にＸ線を照射するときには、Ｘ線の出射条件
の他に、Ｘ線の透視角度と被検査物の位置も最適条件に
設定しなければならない。
ところが、従来のＸ線検査装置では、Ｘ線の出射条件
は自動化されているが、透視角度の被検査物の位置は、
その都度手動で合わせているものがある。
は自動化されているが、透視角度の被検査物の位置は、
その都度手動で合わせているものがある。
（発明が解決しようとする課題） もとより、品質一定の製品を得るためには、同一種別
の製品は同一条件で検査しなければならない。しかし、
製品の種別が増えてその種別の変わる頻度も高く、且
つ、繰り返し供給されるときには、Ｘ線の出射条件及び
透視角度と被検査物の位置をその都度同一に設定するの
は面倒である。
の製品は同一条件で検査しなければならない。しかし、
製品の種別が増えてその種別の変わる頻度も高く、且
つ、繰り返し供給されるときには、Ｘ線の出射条件及び
透視角度と被検査物の位置をその都度同一に設定するの
は面倒である。
そこで、本発明の目的は、複数の種別の被検査物の内
部を、種別毎に同一条件で容易に繰り返し検査すること
のできるＸ線検査装置を得ることである。
部を、種別毎に同一条件で容易に繰り返し検査すること
のできるＸ線検査装置を得ることである。
（課題を解決するための手段と作用） 本発明は、被検査物が供給されるＸ−Ｙテーブル及び
被検査物にＸ線を照射するＸ線管が設けられた揺動軸を
個別に駆動する駆動部と、Ｘ線管の出射条件を制御する
Ｘ線制御部と、被検査物を透過したＸ線の検出情報を透
過画像として表示する表示部と、駆動部とＸ線制御部を
手動で駆動して表示部の透過画像から選んだＸ−Ｙテー
ブルに供給された条件設定用検査物の透過画像に対応す
るＸ−Ｙテーブルの位置及びＸ線の出射条件と揺動軸の
角度を含む検査条件を、条件設定用検査物の種別と検査
工程毎に記憶指令で記憶部に入力し、Ｘ−Ｙテーブルに
繰り返し供給される被検査物の種別に対応する検査条件
を検査工程毎に選ぶとともに、駆動部とＸ線制御部を検
査条件に従って駆動してＸ−Ｙテーブルに繰り返し供給
される被検査物の内部の検査を実行する制御部に対して
実行指令を出力する記憶選択部とを備えることで、繰り
返し供給される多種別の被検査物の内部の検査を種別毎
に同一条件で容易に行うようにしたＸ線検査装置であ
る。
被検査物にＸ線を照射するＸ線管が設けられた揺動軸を
個別に駆動する駆動部と、Ｘ線管の出射条件を制御する
Ｘ線制御部と、被検査物を透過したＸ線の検出情報を透
過画像として表示する表示部と、駆動部とＸ線制御部を
手動で駆動して表示部の透過画像から選んだＸ−Ｙテー
ブルに供給された条件設定用検査物の透過画像に対応す
るＸ−Ｙテーブルの位置及びＸ線の出射条件と揺動軸の
角度を含む検査条件を、条件設定用検査物の種別と検査
工程毎に記憶指令で記憶部に入力し、Ｘ−Ｙテーブルに
繰り返し供給される被検査物の種別に対応する検査条件
を検査工程毎に選ぶとともに、駆動部とＸ線制御部を検
査条件に従って駆動してＸ−Ｙテーブルに繰り返し供給
される被検査物の内部の検査を実行する制御部に対して
実行指令を出力する記憶選択部とを備えることで、繰り
返し供給される多種別の被検査物の内部の検査を種別毎
に同一条件で容易に行うようにしたＸ線検査装置であ
る。
（実施例） 以下、本発明のＸ線検査装置の一実施例を図面を参照
して説明する。
して説明する。
第１図において、一点鎖線で示すＸ線遮蔽箱11の内部
の上部に対して、矢印で示すようにＺ方向に移動自在に
下向きに、且つ、符号θで示すように旋回するＺ軸に設
けられたＸ線管４の下方には、Ｘ−Ｙテーブル６の上面
に対して、被検査物５としての自動車のタイヤが横向き
に所定の位置に載置されている。図示しない旋回機構に
は、Ｘ線管４とともに揺動するイメージインテンシファ
イア７とテレビカメラ８が被検査物５の下側の位置に一
体に取り付けられている。このうち、テレビカメラ８の
信号線は、モニタテレビ10に接続されている。
の上部に対して、矢印で示すようにＺ方向に移動自在に
下向きに、且つ、符号θで示すように旋回するＺ軸に設
けられたＸ線管４の下方には、Ｘ−Ｙテーブル６の上面
に対して、被検査物５としての自動車のタイヤが横向き
に所定の位置に載置されている。図示しない旋回機構に
は、Ｘ線管４とともに揺動するイメージインテンシファ
イア７とテレビカメラ８が被検査物５の下側の位置に一
体に取り付けられている。このうち、テレビカメラ８の
信号線は、モニタテレビ10に接続されている。
また、Ｘ線遮蔽箱11の内部には、前述した旋回機構を
駆動する駆動用のモータMOと、Ｘ線管４を上下に駆動す
る駆動用のモータMZと、Ｘ−Ｙテーブル６をＸ方向に駆
動する駆動用モータMXと、同じくＹ方向に駆動する駆動
用のモータMYが設けられ、別置のシーケンスコントロー
ラ９にそれぞれ接続されている。
駆動する駆動用のモータMOと、Ｘ線管４を上下に駆動す
る駆動用のモータMZと、Ｘ−Ｙテーブル６をＸ方向に駆
動する駆動用モータMXと、同じくＹ方向に駆動する駆動
用のモータMYが設けられ、別置のシーケンスコントロー
ラ９にそれぞれ接続されている。
一方、旋回機構には、角度θで示す旋回過度を検出す
るエンコーダEOが取り付けられ、Ｘ線管４を上下に駆動
する駆動機構には、エンコーダEZが取り付けられ、同じ
くＸ−Ｙテーブル６をＸ方向に駆動する駆動機構にはエ
ンコーダEXが、Ｘ−Ｙテーブル６をＹ方向に駆動する駆
動機構にはエンコーダEYがそれぞれ設けられている。こ
れらのエンコーダの信号線は、シーケンスコントローラ
９に接続されている。
るエンコーダEOが取り付けられ、Ｘ線管４を上下に駆動
する駆動機構には、エンコーダEZが取り付けられ、同じ
くＸ−Ｙテーブル６をＸ方向に駆動する駆動機構にはエ
ンコーダEXが、Ｘ−Ｙテーブル６をＹ方向に駆動する駆
動機構にはエンコーダEYがそれぞれ設けられている。こ
れらのエンコーダの信号線は、シーケンスコントローラ
９に接続されている。
このシーケンスコントローラ９には、第１図とこの第
１図の部分詳細図を示す第２図のように、片側がＸ線管
４に接続されたＸ線制御装置３の他側と、記憶部として
の詳細後述する検査条件記憶装置１の片側が接続され、
この検査条件記憶装置１の他側には、後述する記憶選択
装置２が接続されている。
１図の部分詳細図を示す第２図のように、片側がＸ線管
４に接続されたＸ線制御装置３の他側と、記憶部として
の詳細後述する検査条件記憶装置１の片側が接続され、
この検査条件記憶装置１の他側には、後述する記憶選択
装置２が接続されている。
次に、このように構成されたＸ線検査装置の作用を説
明する。
明する。
まず、被検査物の検査条件を手動で設定するために、
ボタンMANを押してモータMZを駆動し、Ｘ線管４を上下
動させると、その位置はエンコーダEZで検出され、シー
ケンスコントローラ９を介して検査条件記憶装置１に記
憶される。
ボタンMANを押してモータMZを駆動し、Ｘ線管４を上下
動させると、その位置はエンコーダEZで検出され、シー
ケンスコントローラ９を介して検査条件記憶装置１に記
憶される。
同じく、モータMX,MYを駆動してＸ−Ｙテーブル６を
駆動すると、その位置はエンコーダEX,EYで検出されて
検査条件記憶装置１に記憶され、同じくモータMOで駆動
されて傾いたＸ線管４の傾き角θも同様に記憶される。
駆動すると、その位置はエンコーダEX,EYで検出されて
検査条件記憶装置１に記憶され、同じくモータMOで駆動
されて傾いたＸ線管４の傾き角θも同様に記憶される。
一方、Ｘ線の出射条件を決めるＸ線管４の管電圧・管
電流は、Ｘ線制御装置３で制御され、被検査物５を透過
したＸ線は、イメージインテンシファイア７で可視光に
変換されて増幅され、さらに、テレビカメラ８で電気信
号に変換されてモニタテレビ10に入力され、画像として
表示される。
電流は、Ｘ線制御装置３で制御され、被検査物５を透過
したＸ線は、イメージインテンシファイア７で可視光に
変換されて増幅され、さらに、テレビカメラ８で電気信
号に変換されてモニタテレビ10に入力され、画像として
表示される。
被検査物の種別と駆動される工程毎の前述した検査条
件は、記憶選択装置２に記憶され、シーケンスコントロ
ーラ９では、装置全体の制御と手動時の各駆動軸の動き
を制御する。
件は、記憶選択装置２に記憶され、シーケンスコントロ
ーラ９では、装置全体の制御と手動時の各駆動軸の動き
を制御する。
次に、このＸ線検査装置では、第２図の詳細図で以下
説明するように、被検査物の種別は５種で、各種別につ
いて５工程（注；自動車のタイヤでは、ゴムの厚さ，ワ
イヤの間隔，ボイドの位置と大きさなどの検査項目の
数）の検査ができる。
説明するように、被検査物の種別は５種で、各種別につ
いて５工程（注；自動車のタイヤでは、ゴムの厚さ，ワ
イヤの間隔，ボイドの位置と大きさなどの検査項目の
数）の検査ができる。
すなわち、例えば、種別Ａの被検査物の第１工程で、
Ｘ線管４の上下位置がZ1,回転角がθ1,X−Ｙテーブル６
の位置がX1,Y1で、そのときのＸ線管の管電圧E1,管電流
I1が、それぞれ手動で設定したときの最適値とすると、
その各値を検査条件記憶装置１に記憶させる。次に、第
２工程でもこのようにして手動で設定した各条件を記憶
させ、検査工程が５工程の検査対象物の場合には、５工
程まで最適値を出して記憶させる。
Ｘ線管４の上下位置がZ1,回転角がθ1,X−Ｙテーブル６
の位置がX1,Y1で、そのときのＸ線管の管電圧E1,管電流
I1が、それぞれ手動で設定したときの最適値とすると、
その各値を検査条件記憶装置１に記憶させる。次に、第
２工程でもこのようにして手動で設定した各条件を記憶
させ、検査工程が５工程の検査対象物の場合には、５工
程まで最適値を出して記憶させる。
この作業は、第１図で示すようにテレビカメラ８に接
続されこのテレビカメラ８から画像信号が入力されたモ
ニタテレビ10の画像を見ながら行い、それぞれの最適の
条件を記憶選択装置２の操作面に取り付けられたプリセ
ット用のボタンSETを押して記憶させる。
続されこのテレビカメラ８から画像信号が入力されたモ
ニタテレビ10の画像を見ながら行い、それぞれの最適の
条件を記憶選択装置２の操作面に取り付けられたプリセ
ット用のボタンSETを押して記憶させる。
このようにして、種別Ａから種別Ｅまでの被検査物の
最適条件を検査条件記憶装置１に記憶された後に、コン
ベアなどで搬送されてＸ−Ｙテーブルの所定位置に所定
の姿勢で位置決めされる同一種別の被検査物を検査する
ときには、第２図で示した記憶選択装置２の操作面の種
別ボタンＡ〜Ｅのなかから被検査物の種別を選び、自動
押ボタンAUTを押して起動させる。
最適条件を検査条件記憶装置１に記憶された後に、コン
ベアなどで搬送されてＸ−Ｙテーブルの所定位置に所定
の姿勢で位置決めされる同一種別の被検査物を検査する
ときには、第２図で示した記憶選択装置２の操作面の種
別ボタンＡ〜Ｅのなかから被検査物の種別を選び、自動
押ボタンAUTを押して起動させる。
すると、シーケンスコントローラ９は、まず、第１工
程から記憶条件を読み出して自動的にその検査条件に移
る。良否の判断が済むと、次の工程に移って、最終工程
まで行なうと、種別Ａの被検査物の検査完了となる。
程から記憶条件を読み出して自動的にその検査条件に移
る。良否の判断が済むと、次の工程に移って、最終工程
まで行なうと、種別Ａの被検査物の検査完了となる。
以下、同様にして、種別Ｂ〜Ｅの被検査物の検査を記
憶の再生で行わせることで、同様に任意の種別の被検査
物の検査を、習熟者でなくても容易に同一条件で繰り返
し行なうことができる。
憶の再生で行わせることで、同様に任意の種別の被検査
物の検査を、習熟者でなくても容易に同一条件で繰り返
し行なうことができる。
なお、上記実施例では、検査条件記憶装置１は別置と
したが、シーケンスコントローラ９に記憶させてもよ
く、記憶選択装置２はキーボードなどを使ってもよい。
したが、シーケンスコントローラ９に記憶させてもよ
く、記憶選択装置２はキーボードなどを使ってもよい。
また上記実施例では、検査できる被検査物の種別は５
種で、検査工程も５工程の場合で説明したが、検査条件
記憶装置１の容量を変えることで、用途に応じて増減す
ることができる。
種で、検査工程も５工程の場合で説明したが、検査条件
記憶装置１の容量を変えることで、用途に応じて増減す
ることができる。
さらに、上記実施例では、被検査物としては、自動車
のタイヤの場合で説明したが、従来の技術で挙げた鋳造
品や樹脂成形品の内部に形成する巣などや溶接構成品で
も、検査条件設定後に供給する被検査物の外形や内部が
手動設定品と同一状態を維持して変化せず、あらかじめ
設定した検査条件で検査する（設定後に設定時の温度や
圧力が変っても形や状態が変化しないもの）であれば、
同様に適用することができる。
のタイヤの場合で説明したが、従来の技術で挙げた鋳造
品や樹脂成形品の内部に形成する巣などや溶接構成品で
も、検査条件設定後に供給する被検査物の外形や内部が
手動設定品と同一状態を維持して変化せず、あらかじめ
設定した検査条件で検査する（設定後に設定時の温度や
圧力が変っても形や状態が変化しないもの）であれば、
同様に適用することができる。
［発明の効果］ 以上、本発明によれば、被検査物が供給されるＸ−Ｙ
テーブル及び被検査物にＸ線を照射するＸ線管が設けら
れた揺動軸を個別に駆動する駆動部と、Ｘ線管の出射条
件を制御するＸ線制御部と、被検査物を透過したＸ線の
検出情報を透過画像として表示する表示部と、駆動部と
Ｘ線制御部を手動で駆動して表示部の透過画像から選ん
だＸ−Ｙテーブルに供給された条件設定用検査物の透過
画像に対応するＸ−Ｙテーブルの位置及びＸ線の出射条
件と揺動軸の角度を含む検査条件を、条件設定用検査物
の種別と検査工程毎に記憶指令で記憶部に入力し、Ｘ−
Ｙテーブルに繰り返し供給される被検査物の種別に対応
する検査条件を検査工程毎に選ぶとともに、駆動部とＸ
線制御部を検査条件に従って駆動してＸ−Ｙテーブルに
繰り返し供給される被検査物の内部の検査を実行する制
御部に対して実行指令を出力する記憶選択部とを備える
ことで、被検査物の検査位置とＸ線管から被検査物に照
射するＸ線の強度を制御部で最適位置と最適条件に駆動
実行したので、多種類の被検査物の検査を繰り返し同一
条件で容易に行なうことのできるＸ線検査装置を得るこ
とができる。
テーブル及び被検査物にＸ線を照射するＸ線管が設けら
れた揺動軸を個別に駆動する駆動部と、Ｘ線管の出射条
件を制御するＸ線制御部と、被検査物を透過したＸ線の
検出情報を透過画像として表示する表示部と、駆動部と
Ｘ線制御部を手動で駆動して表示部の透過画像から選ん
だＸ−Ｙテーブルに供給された条件設定用検査物の透過
画像に対応するＸ−Ｙテーブルの位置及びＸ線の出射条
件と揺動軸の角度を含む検査条件を、条件設定用検査物
の種別と検査工程毎に記憶指令で記憶部に入力し、Ｘ−
Ｙテーブルに繰り返し供給される被検査物の種別に対応
する検査条件を検査工程毎に選ぶとともに、駆動部とＸ
線制御部を検査条件に従って駆動してＸ−Ｙテーブルに
繰り返し供給される被検査物の内部の検査を実行する制
御部に対して実行指令を出力する記憶選択部とを備える
ことで、被検査物の検査位置とＸ線管から被検査物に照
射するＸ線の強度を制御部で最適位置と最適条件に駆動
実行したので、多種類の被検査物の検査を繰り返し同一
条件で容易に行なうことのできるＸ線検査装置を得るこ
とができる。
第１図は本発明のＸ線検査装置の一実施例を示す図、第
２図は本発明のＸ線検査装置の部分詳細図である。 １……検査条件記憶装置、２……記憶選択装置、３……
Ｘ線制御装置、４……Ｘ線管、５……被検査物、６……
Ｘ−Ｙテーブル、７……イメージインテンシファイア、
３……テレビカメラ、９……シーケンスコントローラ、
10……モニタテレビ。
２図は本発明のＸ線検査装置の部分詳細図である。 １……検査条件記憶装置、２……記憶選択装置、３……
Ｘ線制御装置、４……Ｘ線管、５……被検査物、６……
Ｘ−Ｙテーブル、７……イメージインテンシファイア、
３……テレビカメラ、９……シーケンスコントローラ、
10……モニタテレビ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−61155（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−85803（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−5335（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−130049（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−165884（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−100232（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−72325（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−168489（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−79907（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】被検査物が供給されるＸ−Ｙテーブル及び
前記被検査物にＸ線を照射するＸ線管が設けられた揺動
軸を個別に駆動する駆動部と、前記Ｘ線管の出射条件を
制御するＸ線制御部と、前記被検査物を透過した前記Ｘ
線の検出情報を透過画像として表示する表示部と、前記
駆動部と前記Ｘ線制御部を手動で駆動して前記表示部の
前記透過画像から選んだ前記Ｘ−Ｙテーブルに供給され
た条件設定用検査物の前記透過画像に対応する前記Ｘ−
Ｙテーブルの位置及び前記Ｘ線の出射条件と前記揺動軸
の角度を含む検査条件を、前記条件設定用検査物の種別
と検査工程毎に記憶指令で記憶部に入力し、前記Ｘ−Ｙ
テーブルに繰り返し供給される前記被検査物の種別に対
応する前記検査条件を前記検査工程毎に選ぶとともに、
前記駆動部と前記Ｘ線制御部を前記検査条件に従って駆
動して前記Ｘ−Ｙテーブルに繰り返し供給される前記被
検査物の内部の検査を実行する制御部に対して実行指令
を出力する記憶選択部とを備えたＸ線検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63263987A JP2690973B2 (ja) | 1988-10-21 | 1988-10-21 | Ｘ線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63263987A JP2690973B2 (ja) | 1988-10-21 | 1988-10-21 | Ｘ線検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02112747A JPH02112747A (ja) | 1990-04-25 |
| JP2690973B2 true JP2690973B2 (ja) | 1997-12-17 |
Family
ID=17396968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63263987A Expired - Lifetime JP2690973B2 (ja) | 1988-10-21 | 1988-10-21 | Ｘ線検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2690973B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0743329B2 (ja) * | 1986-05-21 | 1995-05-15 | 株式会社日立製作所 | 内部欠陥検査方法及びその装置 |
| JPS6379907U (ja) * | 1986-11-12 | 1988-05-26 |
-
1988
- 1988-10-21 JP JP63263987A patent/JP2690973B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02112747A (ja) | 1990-04-25 |
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Legal Events
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