JP2663766B2 - 共焦点用光スキャナ - Google Patents
共焦点用光スキャナInfo
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- JP2663766B2 JP2663766B2 JP3286112A JP28611291A JP2663766B2 JP 2663766 B2 JP2663766 B2 JP 2663766B2 JP 3286112 A JP3286112 A JP 3286112A JP 28611291 A JP28611291 A JP 28611291A JP 2663766 B2 JP2663766 B2 JP 2663766B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、共焦点顕微鏡などに用
いる共焦点用光スキャナに関し、特に共焦点用光スキャ
ナを構成するピンホ−ル基板上のピンホ−ルの配置方法
に関するものである。
いる共焦点用光スキャナに関し、特に共焦点用光スキャ
ナを構成するピンホ−ル基板上のピンホ−ルの配置方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は共焦点用光スキャナを用いた共焦
点顕微鏡の一例を示す構成図、図４は共焦点用光スキャ
ナに用いるピンホ−ル基板の従来例である。図３および
図４において、図示しない光源からの出射光は、偏向子
１ａ、ビ−ムスプリッタ２を通って、基板３１に複数の
ピンホ−ル３２が螺旋状に形成されているピンホ−ル基
板３に照射される。この照射光の内、ピンホ−ル基板３
に螺旋状に配置された多数のピンホ−ル３２の幾つかを
通過した光は、１／４波長板４、対物レンズ５を経て試
料６に集光される。試料６からの反射光は、同一の光路
を通って、ピンホ−ル基板３のピンホ−ル３２の１つに
集光され、ピンホ−ル３２を通って、ビ−ムスプリッタ
２、偏向子１ｂを経て、接眼レンズ７を介して、試料６
の像を目で捕らえることができる。この装置では、ピン
ホ−ル基板３をモ−タ８で一定速度で回転させており、
ピンホ−ル基板３の回転に伴うピンホ−ル３２の移動に
より、試料６への集束光点を走査している。
点顕微鏡の一例を示す構成図、図４は共焦点用光スキャ
ナに用いるピンホ−ル基板の従来例である。図３および
図４において、図示しない光源からの出射光は、偏向子
１ａ、ビ−ムスプリッタ２を通って、基板３１に複数の
ピンホ−ル３２が螺旋状に形成されているピンホ−ル基
板３に照射される。この照射光の内、ピンホ−ル基板３
に螺旋状に配置された多数のピンホ−ル３２の幾つかを
通過した光は、１／４波長板４、対物レンズ５を経て試
料６に集光される。試料６からの反射光は、同一の光路
を通って、ピンホ−ル基板３のピンホ−ル３２の１つに
集光され、ピンホ−ル３２を通って、ビ−ムスプリッタ
２、偏向子１ｂを経て、接眼レンズ７を介して、試料６
の像を目で捕らえることができる。この装置では、ピン
ホ−ル基板３をモ−タ８で一定速度で回転させており、
ピンホ−ル基板３の回転に伴うピンホ−ル３２の移動に
より、試料６への集束光点を走査している。
【０００３】しかしながら、上記従来技術に示す共焦点
用光スキャナにおいては、ピンホ−ル基板３に螺旋状に
形成された複数のピンホ−ル３２は、径方向の列で見る
と、等角度で配置形成されている。これはマスク製作上
の理由からであり、径方向の列パタ−ンを順次等しい角
度で複写することにより、ピンホ−ル基板全体のパタ−
ンを作成しているためである。したがって、ピンホ−ル
基板外周側のピンホ−ル間ピッチの方がピンホ−ル基板
内周側のピンホ−ル間ピッチに比べて広くなる。つま
り、ピンホ−ル基板の透過光量で考えると、外周側が暗
く、内周側は明かるくなるため、ピンホ−ル基板の内外
周で、光走査に明暗むらが生じるという課題があった。
用光スキャナにおいては、ピンホ−ル基板３に螺旋状に
形成された複数のピンホ−ル３２は、径方向の列で見る
と、等角度で配置形成されている。これはマスク製作上
の理由からであり、径方向の列パタ−ンを順次等しい角
度で複写することにより、ピンホ−ル基板全体のパタ−
ンを作成しているためである。したがって、ピンホ−ル
基板外周側のピンホ−ル間ピッチの方がピンホ−ル基板
内周側のピンホ−ル間ピッチに比べて広くなる。つま
り、ピンホ−ル基板の透過光量で考えると、外周側が暗
く、内周側は明かるくなるため、ピンホ−ル基板の内外
周で、光走査に明暗むらが生じるという課題があった。
【０００４】本発明は上記従来技術の課題を踏まえて成
されたものであり、ピンホ−ル基板の内外周で明暗むら
のない光走査が可能な共焦点用光スキャナを提供するこ
とを目的としたものである。
されたものであり、ピンホ−ル基板の内外周で明暗むら
のない光走査が可能な共焦点用光スキャナを提供するこ
とを目的としたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の構成は、複数のピンホ−ルが形成されたピン
ホ−ル基板を回転させ、このピンホ−ル基板を通過した
照射光を試料に対して走査する共焦点用光スキャナにお
いて、前記ピンホ−ル基板に形成された複数のピンホ−
ルは、螺旋状に配置された１条以上のピンホ−ル列であ
って、かつ、このピンホ−ル列を構成する複数のピンホ
−ルの中心を結ぶ仮想中心線の軌跡の径方向のピッチと
螺旋に沿った周方向のピッチが等しくなるように配置し
たことを特徴とするものである。また、前記共焦点用光
スキャナにおいて、前記ピンホ−ル基板に形成された各
ピンホ−ルの中心座標が前記数１の値となるように配置
することにより、径方向および周方向のピッチを等しく
なるように配置したことを特徴とするものである。さら
に、前記共焦点用光スキャナにおいて、その焦点位置に
前記ピンホ−ル基板が配置されると共に、前記ピンホ−
ル基板に配置形成された前記複数のピンホ−ルとは光軸
に対して同位置となるように配置形成された複数のマイ
クロレンズを有する集光基板を備えた構成としたことを
特徴とするものである。
の本発明の構成は、複数のピンホ−ルが形成されたピン
ホ−ル基板を回転させ、このピンホ−ル基板を通過した
照射光を試料に対して走査する共焦点用光スキャナにお
いて、前記ピンホ−ル基板に形成された複数のピンホ−
ルは、螺旋状に配置された１条以上のピンホ−ル列であ
って、かつ、このピンホ−ル列を構成する複数のピンホ
−ルの中心を結ぶ仮想中心線の軌跡の径方向のピッチと
螺旋に沿った周方向のピッチが等しくなるように配置し
たことを特徴とするものである。また、前記共焦点用光
スキャナにおいて、前記ピンホ−ル基板に形成された各
ピンホ−ルの中心座標が前記数１の値となるように配置
することにより、径方向および周方向のピッチを等しく
なるように配置したことを特徴とするものである。さら
に、前記共焦点用光スキャナにおいて、その焦点位置に
前記ピンホ−ル基板が配置されると共に、前記ピンホ−
ル基板に配置形成された前記複数のピンホ−ルとは光軸
に対して同位置となるように配置形成された複数のマイ
クロレンズを有する集光基板を備えた構成としたことを
特徴とするものである。
【０００６】
【作用】本発明によれば、ピンホ−ルを螺旋状のトラッ
クに沿って、等間隔で配置形成したため、ピンホ−ル基
板の内周と外周での光走査時の明暗むらが生じなくな
る。
クに沿って、等間隔で配置形成したため、ピンホ−ル基
板の内周と外周での光走査時の明暗むらが生じなくな
る。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
１は本発明の共焦点用光スキャナに用いるピンホ−ル基
板のピンホ−ルパタ−ンの具体例である。なお、このピ
ンホ−ルパタ−ンは、前述の数１により作画したもので
あり、作画条件は、 ピンホ−ルピッチａ：螺旋の最内周半径ｒo ＝約１：６
０ 螺旋の条数ｍ＝１２ で行ったものである。
１は本発明の共焦点用光スキャナに用いるピンホ−ル基
板のピンホ−ルパタ−ンの具体例である。なお、このピ
ンホ−ルパタ−ンは、前述の数１により作画したもので
あり、作画条件は、 ピンホ−ルピッチａ：螺旋の最内周半径ｒo ＝約１：６
０ 螺旋の条数ｍ＝１２ で行ったものである。
【０００８】ここで、前述の数１について説明する。頭
２（イ）および（ロ）に示すように、ピンホール基板が
１周した時、螺旋のトラックの始点と終点では、半径が
ｍ・ａだけ大きくなる。したがって、半径ｒは、 となる。また、弧の長さｌは一般に、 と表わされる。 ここで、「Δθ＝ａ／ｒ０」、また、
「Δｒ０＝ｍ・ａ・ａ／(２π・ｒ０)」であるので「Δ
ｒ０／Δθ＝ｍ・ａ／２π」となる。式（ａ）内の第１
項および第２項を比較すると、前述の作画条件から となる。 従って、式（ａ）内の第２項（ｄｒ／ｄθ） 2
は無視することができるため、
２（イ）および（ロ）に示すように、ピンホール基板が
１周した時、螺旋のトラックの始点と終点では、半径が
ｍ・ａだけ大きくなる。したがって、半径ｒは、 となる。また、弧の長さｌは一般に、 と表わされる。 ここで、「Δθ＝ａ／ｒ０」、また、
「Δｒ０＝ｍ・ａ・ａ／(２π・ｒ０)」であるので「Δ
ｒ０／Δθ＝ｍ・ａ／２π」となる。式（ａ）内の第１
項および第２項を比較すると、前述の作画条件から となる。 従って、式（ａ）内の第２項（ｄｒ／ｄθ） 2
は無視することができるため、
【数２】 となる。この式をθについて表わすと、
【数３】 となる。この式と より、
【数４】 が得られる。この式および式を用いて、前記作画条
件により作画したものが、図１のピンホールパターンで
ある。
件により作画したものが、図１のピンホールパターンで
ある。
【０００９】この図１に示すピンホ−ルパタ−ンのピン
ホ−ルの配置は、図２（ハ）に示すように、径方向およ
び周方向共に等しいピンホ−ルピッチａで形成される。
つまり、径が１ピッチ（ａ）変化すると、内周とのずれ
ｃは生じるが、単位面積当りのピンホ−ル数は変わらな
い。したがって、密度はピンホ−ルを正方に並べたもの
と等しくなり、半径によらず、密度は一定となる。
ホ−ルの配置は、図２（ハ）に示すように、径方向およ
び周方向共に等しいピンホ−ルピッチａで形成される。
つまり、径が１ピッチ（ａ）変化すると、内周とのずれ
ｃは生じるが、単位面積当りのピンホ−ル数は変わらな
い。したがって、密度はピンホ−ルを正方に並べたもの
と等しくなり、半径によらず、密度は一定となる。
【００１０】次に、ピンホ−ル基板が回転している場
合、１つのピンホ−ルの光量をＩ（Ｗ：ワット）とする
と、このピンホ−ルが幅ａ、隣接ピンホ−ルまでの長さ
ａの範囲を走査するため、照度Ｅは、 Ｅ＝Ｉ／（ａ・ａ） （Ｗ／ｍ2 ） となる。従来の等角度配置のピンホ−ル基板では、図２
（ニ）に示すように、外周側で、単位時間内での走査距
離（隣接ピンホ−ルまでの距離）ａ´は、内周側の弧の
長さｌより大きい。したがって、外周側の照度Ｅ´は内
周側の照度Ｅより小さくなる。これに対して、本発明の
等ピッチ配置によるピンホ−ル基板では、図２（ホ）に
示すように、内周側でも外周側でも同一の弧の長さｌを
走査する。したがって、照度は内周外周の半径にかかわ
らず一定となる。つまり、走査時、内周は１ピッチの走
査にｔ秒かかるとすると、外周はｔ´秒（＜ｔ）で走査
が終了するが、残りのｔ´−ｔ秒を隣接ピンホ−ルが照
射することで光量が内周外周一定となる。
合、１つのピンホ−ルの光量をＩ（Ｗ：ワット）とする
と、このピンホ−ルが幅ａ、隣接ピンホ−ルまでの長さ
ａの範囲を走査するため、照度Ｅは、 Ｅ＝Ｉ／（ａ・ａ） （Ｗ／ｍ2 ） となる。従来の等角度配置のピンホ−ル基板では、図２
（ニ）に示すように、外周側で、単位時間内での走査距
離（隣接ピンホ−ルまでの距離）ａ´は、内周側の弧の
長さｌより大きい。したがって、外周側の照度Ｅ´は内
周側の照度Ｅより小さくなる。これに対して、本発明の
等ピッチ配置によるピンホ−ル基板では、図２（ホ）に
示すように、内周側でも外周側でも同一の弧の長さｌを
走査する。したがって、照度は内周外周の半径にかかわ
らず一定となる。つまり、走査時、内周は１ピッチの走
査にｔ秒かかるとすると、外周はｔ´秒（＜ｔ）で走査
が終了するが、残りのｔ´−ｔ秒を隣接ピンホ−ルが照
射することで光量が内周外周一定となる。
【００１１】このように、本発明の共焦点用光スキャナ
では、共焦点用光スキャナを構成するピンホ−ル基板上
のピンホ−ルを螺旋のトラックに沿って径方向および周
方向のピッチが等しくなるように配列しており、内周と
外周での光走査時の明暗むらが生じなくなる。
では、共焦点用光スキャナを構成するピンホ−ル基板上
のピンホ−ルを螺旋のトラックに沿って径方向および周
方向のピッチが等しくなるように配列しており、内周と
外周での光走査時の明暗むらが生じなくなる。
【００１２】次に、図示にての説明は省略するが、上記
ピンホ−ル基板がその焦点位置に配置されると共に、ピ
ンホ−ル基板に螺旋のトラックに沿って径方向および周
方向のピッチが等しくなるように配置形成された複数の
ピンホ−ルとは、それぞれ光軸に対して同位置となるよ
うに、螺旋のトラックに沿って径方向および周方向のピ
ッチが等しくなるように配置形成された複数のマイクロ
レンズを有する集光基板を備えた共焦点用光スキャナと
することにより、内周と外周での光走査時の明暗むらが
生じなくなると共に、光利用効率をさらに向上すること
ができる。
ピンホ−ル基板がその焦点位置に配置されると共に、ピ
ンホ−ル基板に螺旋のトラックに沿って径方向および周
方向のピッチが等しくなるように配置形成された複数の
ピンホ−ルとは、それぞれ光軸に対して同位置となるよ
うに、螺旋のトラックに沿って径方向および周方向のピ
ッチが等しくなるように配置形成された複数のマイクロ
レンズを有する集光基板を備えた共焦点用光スキャナと
することにより、内周と外周での光走査時の明暗むらが
生じなくなると共に、光利用効率をさらに向上すること
ができる。
【００１３】
【発明の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに、本発明によれば、ピンホ−ルを螺旋のトラックに
沿って等ピッチで配列したために、ピンホ−ル基板の内
周と外周で明暗むらが生じない光走査が可能な共焦点用
光スキャナを実現できる。
うに、本発明によれば、ピンホ−ルを螺旋のトラックに
沿って等ピッチで配列したために、ピンホ−ル基板の内
周と外周で明暗むらが生じない光走査が可能な共焦点用
光スキャナを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の共焦点用光スキャナに用いるピンホ−
ル基板のピンホ−ルパタ−ンの具体例である。
ル基板のピンホ−ルパタ−ンの具体例である。
【図２】本発明の共焦点用光スキャナに用いるピンホ−
ル基板のピンホ−ルの配置方法を説明する図である。
ル基板のピンホ−ルの配置方法を説明する図である。
【図３】共焦点用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡の一
例を示す構成図である。
例を示す構成図である。
【図４】共焦点用光スキャナに用いるピンホ−ル基板の
従来例である。
従来例である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−503493（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−302215（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−119262（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−55510（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−265918（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−189601（ＪＰ，Ａ) ＡＰＰＬ．ＰＨＹＳ．ＬＥＴＴ．，Ｖ ＯＬ．53〜８！（1988），ＰＡＧＥＳ 716−718 ＩＢＭ ＴＥＣＨＮＩＣＡＬ ＤＩＳ ＣＬＯＳＵＲＥ ＢＵＬＬＥＴＩＮ，Ｖ ＯＬ．28〜６！（1985），ＰＡＧＥＳ 2409−2412 ＳＰＩＥ，ＶＯＬ．1128（1989）＜Ｐ ＡＧＥＳ 74−79
Claims (3)
- 【請求項１】 複数のピンホ−ルが形成されたピンホ−
ル基板を回転させ、このピンホ−ル基板を通過した照射
光を試料に対して走査する共焦点用光スキャナにおい
て、 前記ピンホ−ル基板に形成された複数のピンホ−ルは、
螺旋状に配置された１条以上のピンホ−ル列であって、
かつ、このピンホ−ル列を構成する複数のピンホ−ルの
中心を結ぶ仮想中心線の軌跡の径方向のピッチと螺旋に
沿った周方向のピッチが等しくなるように配置したこと
を特徴とする共焦点用光スキャナ。 - 【請求項２】 請求項１記載の共焦点用光スキャナにお
いて、 前記ピンホ−ル基板に形成された各ピンホ−ルの中心座
標が下記数１の値となるように配置することにより、径
方向および周方向のピッチを等しくなるように配置した
ことを特徴とする共焦点用光スキャナ。 【数１】 ただし、ｉ＝０，１，２，……，ｎ（螺旋の内側からの
順番） ｒi ：ｉ番目のピンホ−ルの半径 ｒo ：螺旋の最内周半径 θi ：ｉ番目のピンホ−ルの角度 ｍ：螺旋の条数 ａ：ピンホ−ルのピッチ - 【請求項３】 請求項１または２記載の共焦点用光スキ
ャナにおいて、 その焦点位置に前記ピンホ−ル基板が配置されると共
に、前記ピンホ−ル基板に配置形成された前記複数のピ
ンホ−ルとは光軸に対して同位置となるように配置形成
された複数のマイクロレンズを有する集光基板を備えた
構成としたことを特徴とする共焦点用光スキャナ。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3286112A JP2663766B2 (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 共焦点用光スキャナ |
| EP96102181A EP0727684B1 (en) | 1991-10-31 | 1992-08-28 | Confocal optical scanner |
| DE69222733T DE69222733T2 (de) | 1991-10-31 | 1992-08-28 | Nipkowscheibe für konfokalen optischen Scanner |
| EP92114750A EP0539691B1 (en) | 1991-10-31 | 1992-08-28 | Nipkow disk for confocal optical scanner |
| DE92114750T DE539691T1 (de) | 1991-10-31 | 1992-08-28 | Nipkowscheibe für konfokalen optischen Scanner. |
| DE0727684T DE727684T1 (de) | 1991-10-31 | 1992-08-28 | Konfokaler optischer Scanner |
| DE69231596T DE69231596T2 (de) | 1991-10-31 | 1992-08-28 | Konfokaler optischer Scanner |
| US07/942,156 US5428475A (en) | 1991-10-31 | 1992-09-08 | Confocal optical scanner |
| US08/606,462 US5579157A (en) | 1991-10-31 | 1996-03-04 | Confocal optical scanner |
| US08/626,014 US5633751A (en) | 1991-10-31 | 1996-03-22 | Confocal optical scanner |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3286112A JP2663766B2 (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 共焦点用光スキャナ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05127090A JPH05127090A (ja) | 1993-05-25 |
| JP2663766B2 true JP2663766B2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=17700091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3286112A Expired - Fee Related JP2663766B2 (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 共焦点用光スキャナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2663766B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005032104B4 (de) | 2004-07-09 | 2018-06-28 | Yokogawa Electric Corporation | Biochip-Lesegerät |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006201207A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Nikon Corp | 共焦点光学装置 |
| EP2018586B9 (de) * | 2006-04-20 | 2016-04-13 | NanoFocus AG | Verfahren zur generierung eines universellen pinholemusters zur anwendung in konfokalmikroskopen |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2836829B2 (ja) * | 1987-03-27 | 1998-12-14 | ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ リーランド スタンフォード ジュニア ユニバーシティ | 走査式共焦点型光学顕微鏡 |
| US4802748A (en) * | 1987-12-14 | 1989-02-07 | Tracor Northern, Inc. | Confocal tandem scanning reflected light microscope |
-
1991
- 1991-10-31 JP JP3286112A patent/JP2663766B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| ＡＰＰＬ．ＰＨＹＳ．ＬＥＴＴ．，ＶＯＬ．５３〜８！（１９８８），ＰＡＧＥＳ ７１６−７１８ |
| ＩＢＭ ＴＥＣＨＮＩＣＡＬ ＤＩＳＣＬＯＳＵＲＥ ＢＵＬＬＥＴＩＮ，ＶＯＬ．２８〜６！（１９８５），ＰＡＧＥＳ ２４０９−２４１２ |
| ＳＰＩＥ，ＶＯＬ．１１２８（１９８９）＜ＰＡＧＥＳ ７４−７９ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005032104B4 (de) | 2004-07-09 | 2018-06-28 | Yokogawa Electric Corporation | Biochip-Lesegerät |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05127090A (ja) | 1993-05-25 |
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Legal Events
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