JP2654506B2 - 仕事関数測定方法 - Google Patents
仕事関数測定方法Info
- Publication number
- JP2654506B2 JP2654506B2 JP62257879A JP25787987A JP2654506B2 JP 2654506 B2 JP2654506 B2 JP 2654506B2 JP 62257879 A JP62257879 A JP 62257879A JP 25787987 A JP25787987 A JP 25787987A JP 2654506 B2 JP2654506 B2 JP 2654506B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work function
- control system
- signal
- frequency
- value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、STM（走査型トンネル顕微鏡）において、
試料表面及び探針間のトンネル電流を目標基準値に制御
するためのＺ軸制御系に利用される。さらにSTM（走査
型トンネル顕微鏡）の基本原理を応用した科学機器、分
析機器及び、仕事関数を算出することを目的とする計測
機器等に利用される。
試料表面及び探針間のトンネル電流を目標基準値に制御
するためのＺ軸制御系に利用される。さらにSTM（走査
型トンネル顕微鏡）の基本原理を応用した科学機器、分
析機器及び、仕事関数を算出することを目的とする計測
機器等に利用される。
本発明は、制御系が、閉ループの状態で、該制御系を
構成する単数あるいは複数の伝達要素の伝達特性又は伝
達関数を測定する方法を応用したものである。
構成する単数あるいは複数の伝達要素の伝達特性又は伝
達関数を測定する方法を応用したものである。
制御系が閉ループの状態で、制御系内に信号を加算し
た時の、他の複数点における信号振幅値を演算する方
法、又は前記目標基準値を変化させた時の、他の複数点
による信号振幅値を演算する方法に関するものである。
た時の、他の複数点における信号振幅値を演算する方
法、又は前記目標基準値を変化させた時の、他の複数点
による信号振幅値を演算する方法に関するものである。
前記加算信号又は目標基準値変化にかかる基本波周波
数は、該制御系の開ループ周波数特性における0dB交差
点付近の周波数であり、かつ制御対象の応答帯域内であ
る。すなわち制御対象の機械的又は電気的共振周波数の
どちらか低い方より低く、かつ共振による周波数特性の
ピークが関与しない値に選定される。
数は、該制御系の開ループ周波数特性における0dB交差
点付近の周波数であり、かつ制御対象の応答帯域内であ
る。すなわち制御対象の機械的又は電気的共振周波数の
どちらか低い方より低く、かつ共振による周波数特性の
ピークが関与しない値に選定される。
本発明は、前記複数点において、検出される該基本波
周波数の信号振幅値を直接に電子回路で演算もしくは２
値データに変換後のデータをCPU内で演算する方法に関
するものである。
周波数の信号振幅値を直接に電子回路で演算もしくは２
値データに変換後のデータをCPU内で演算する方法に関
するものである。
一般に制御系を構成する単数あるいは複数の伝達要素
の伝達特性又は伝達関数を測定する方法としては、第２
図に示すように、制御系を一時間ループ状態にし、前記
単数あるいは複数の伝達要素を介在する２点の信号を演
算し算出していた。
の伝達特性又は伝達関数を測定する方法としては、第２
図に示すように、制御系を一時間ループ状態にし、前記
単数あるいは複数の伝達要素を介在する２点の信号を演
算し算出していた。
該伝達要素を介在する２点の信号の振幅値の比を算出
する場合も前記伝達特性又は伝達関数を測定する方法に
包括される。
する場合も前記伝達特性又は伝達関数を測定する方法に
包括される。
第２図は一般的な伝達関数測定時の制御系ブロック線
図である。
図である。
制御系は、開ループ時にS1は開放又はサンプルホール
ド回路等により閉ループ時の制御電圧は保持される。開
ループの状態で伝達要素G2（Ｓ）の伝達関数を測定する
場合には、A2（Ｓ）/A0（Ｓ）の値を演算する。また伝
達要素G2（Ｓ）・G3（Ｓ）の伝達関数を測定する場合に
は、A3（Ｓ）/A0（Ｓ）の値を演算する。
ド回路等により閉ループ時の制御電圧は保持される。開
ループの状態で伝達要素G2（Ｓ）の伝達関数を測定する
場合には、A2（Ｓ）/A0（Ｓ）の値を演算する。また伝
達要素G2（Ｓ）・G3（Ｓ）の伝達関数を測定する場合に
は、A3（Ｓ）/A0（Ｓ）の値を演算する。
第２図において、任意の２点間の振幅値比を算出する
場合も前記伝達関数測定法と同様であることは明らかで
ある。
場合も前記伝達関数測定法と同様であることは明らかで
ある。
STM（走査型トンネル顕微鏡）において、探針及び試
料間の仕事関係の測定は一般に第２図に記載のブロック
線図による方法に準じている。
料間の仕事関係の測定は一般に第２図に記載のブロック
線図による方法に準じている。
尚、STMによる前記探針及び試料間のトンネル電流値
を制御するいわゆるＺ軸制御系に第２図のブロック図を
対応させると、目標値、基準値VRは設定トンネル電流
値、G1（Ｓ）はPI制御器、G2（Ｓ）は探針制御用圧電素
子の駆動用増幅器及び圧電素子の電圧→変位伝達関数、
G3（Ｓ）は変位→トンネル電流変換部及び対数増幅器で
ある。従ってA2（Ｓ）は探針の変位量となる。
を制御するいわゆるＺ軸制御系に第２図のブロック図を
対応させると、目標値、基準値VRは設定トンネル電流
値、G1（Ｓ）はPI制御器、G2（Ｓ）は探針制御用圧電素
子の駆動用増幅器及び圧電素子の電圧→変位伝達関数、
G3（Ｓ）は変位→トンネル電流変換部及び対数増幅器で
ある。従ってA2（Ｓ）は探針の変位量となる。
次に仕事関数φの測定方法について具体化した図が、
第３図のブロック図である。各点の信号名称及び構成要
素は第２図に対応している。しかし該信号名称及び構成
要素に関しては周波数特性は考慮しない、例えば加算信
号A0（Ｓ）の基本波周波数より前記圧電素子の共振周波
数は十分高く、前記増幅器等も十分広帯域であるとす
る。
第３図のブロック図である。各点の信号名称及び構成要
素は第２図に対応している。しかし該信号名称及び構成
要素に関しては周波数特性は考慮しない、例えば加算信
号A0（Ｓ）の基本波周波数より前記圧電素子の共振周波
数は十分高く、前記増幅器等も十分広帯域であるとす
る。
第３図に示した構成要素において、 は近似式である。（ａは定数） 第２図のブロック図を総合すると、 （１）式−（２）式を求めると、 （３）式により仕事関数φを求めると、 （４）式よりφの値は、前記加算記号の振幅と、出力信
号A3（Ｓ）の振幅の比により算出される。
号A3（Ｓ）の振幅の比により算出される。
以上が仕事関数φを算出する原理である。
前記従来技術の項記載の方法においては、該制御系が
開ループ状態で計測及び演算を行うために次の２つの問
題点が存在する。
開ループ状態で計測及び演算を行うために次の２つの問
題点が存在する。
第１の問題点は、該制御系が開ループ状態における制
御対象の挙動である。
御対象の挙動である。
開ループ状態における制御対象の挙動は外乱に依存さ
れ、特に超精密な位置決め精度を必要とする制御系にお
いては、外乱による影響は非常に大きい。
れ、特に超精密な位置決め精度を必要とする制御系にお
いては、外乱による影響は非常に大きい。
特にSTMにおいては、温度ドリフトあるいは外部振動
等の外乱による探針位置の移動は、開ループ状態では非
常に顕著になり、最悪の場合には該探針が試料に衝突す
る結果となる。従ってSTMのような超精密な位置決め精
度を必要とする制御系においては、計測及び演算を目的
とする開ループ状態時間の制限を余儀なくされる。
等の外乱による探針位置の移動は、開ループ状態では非
常に顕著になり、最悪の場合には該探針が試料に衝突す
る結果となる。従ってSTMのような超精密な位置決め精
度を必要とする制御系においては、計測及び演算を目的
とする開ループ状態時間の制限を余儀なくされる。
第２の問題点は、該制御系が開ループ状態→閉ループ
状態へ切り換わる瞬間の過渡状態での該制御系及び制御
対象の挙動である。開ループ状態において外乱の影響に
より位置誤差が生じるために制御電圧にも誤差が生じ、
該制御電圧の誤差は前記サンプルホールド回路等により
保持されている電圧との誤差となる。当然ながら該誤差
は開ループ状態時間が長い程大きくなる。
状態へ切り換わる瞬間の過渡状態での該制御系及び制御
対象の挙動である。開ループ状態において外乱の影響に
より位置誤差が生じるために制御電圧にも誤差が生じ、
該制御電圧の誤差は前記サンプルホールド回路等により
保持されている電圧との誤差となる。当然ながら該誤差
は開ループ状態時間が長い程大きくなる。
開ループ→閉ループ状態の切換時には、該誤差に起因
する制御対象へのステップ印加により、該制御系は該制
御対象の伝達特性に依存するステップ応答となる。従っ
て該制御対象の共振周波数のＱ値が大きい場合にはオー
バシュートが生じるため、該制御対象の挙動は、伝達特
性に依存した不安定な状態となり、起精密な位置決め制
御に与える影響は大きい。
する制御対象へのステップ印加により、該制御系は該制
御対象の伝達特性に依存するステップ応答となる。従っ
て該制御対象の共振周波数のＱ値が大きい場合にはオー
バシュートが生じるため、該制御対象の挙動は、伝達特
性に依存した不安定な状態となり、起精密な位置決め制
御に与える影響は大きい。
STMにおいては、前記オーバシュート等、不安定な状
態が原因となり探針の試料への衝突が起きる場合があ
る。
態が原因となり探針の試料への衝突が起きる場合があ
る。
前記第１及び第２の問題点を同時に解決するために、
本発明では制御系が閉ループの状態で該制御系を構成す
る単数あるいは複数の伝達要素の伝達特性又は伝達関数
を測定する方法を応用した。
本発明では制御系が閉ループの状態で該制御系を構成す
る単数あるいは複数の伝達要素の伝達特性又は伝達関数
を測定する方法を応用した。
本発明では、制御系が閉ループの状態で制御系内に信
号を加算した時の、他の複数点における信号振幅値を演
算する方法、又は目標基準値もしくは他の基準値を変化
させた時の、他の複数点における信号振幅値を演算する
方法により仕事関数φを算出するものである。
号を加算した時の、他の複数点における信号振幅値を演
算する方法、又は目標基準値もしくは他の基準値を変化
させた時の、他の複数点における信号振幅値を演算する
方法により仕事関数φを算出するものである。
前記本発明に基づいた閉ループ状態での仕事関数の算
出方法により、前記第１の問題点すなわち外乱等を起因
とする制御対象の挙動、特に制御位置の移動は該制御系
の閉ループ特性に依存され著しく低減される。さらに、
前記第２の問題点すなわち過渡状態での挙動であるが、
本発明に基づいた方法では制御系ループを断続する必要
はなく、明らかに論外である、 〔実施例〕 以下に本発明の実施例を図面等に基づいて説明する。
出方法により、前記第１の問題点すなわち外乱等を起因
とする制御対象の挙動、特に制御位置の移動は該制御系
の閉ループ特性に依存され著しく低減される。さらに、
前記第２の問題点すなわち過渡状態での挙動であるが、
本発明に基づいた方法では制御系ループを断続する必要
はなく、明らかに論外である、 〔実施例〕 以下に本発明の実施例を図面等に基づいて説明する。
第１図は本発明に基づいた仕事関数測定法に係るブロ
ック図である。
ック図である。
第１図はSTMにおける前記Ｚ軸制御系の一般的かつ概
略のブロック図に基づいており、構成要素9,10,11,12で
構成されるループは、前記従来技術の項に記載の第２図
及び第３図と基本的な構成は同様である。
略のブロック図に基づいており、構成要素9,10,11,12で
構成されるループは、前記従来技術の項に記載の第２図
及び第３図と基本的な構成は同様である。
第１図に基づき次の３つの実施例が考えられる。ブロ
ック13の仕事関数φ演算ブロック図については、３つの
実施例について共通であり後述する。
ック13の仕事関数φ演算ブロック図については、３つの
実施例について共通であり後述する。
（実施例１） 第１図に基づいて一定周波数で変化するA0信号を加算
した場合の信号S1及びS2の振幅比より仕事関数φを算出
する。該算出方法については、後述の実施例Ａ又は実施
例Ｂに基づく。
した場合の信号S1及びS2の振幅比より仕事関数φを算出
する。該算出方法については、後述の実施例Ａ又は実施
例Ｂに基づく。
前記A0信号の周波数は、第４図における範囲ａにほぼ
設定され、Ｚ軸制御系の応答は0dB付近であり、かつ第
４図に記載したように制御対象の特性において、共振周
波数f0より十分低周波に設定される。
設定され、Ｚ軸制御系の応答は0dB付近であり、かつ第
４図に記載したように制御対象の特性において、共振周
波数f0より十分低周波に設定される。
前記A0信号は、任意のスペクトルを有する波形である
が、一般的には三角波、正弦波、方形波が望ましい。ま
た正弦波以外の場合には、基本波周波数が、第４図にお
ける範囲ａにほぼ設定され、かつ制御対象の共振周波数
f0より十分低周波に設定される。
が、一般的には三角波、正弦波、方形波が望ましい。ま
た正弦波以外の場合には、基本波周波数が、第４図にお
ける範囲ａにほぼ設定され、かつ制御対象の共振周波数
f0より十分低周波に設定される。
本実施例の場合、目標基準値VR及びバイアス電圧VTの
値は、仕事関数測定時には一定値に保持される。
値は、仕事関数測定時には一定値に保持される。
（実施例２） 第３図に基づいて、目標基準値VRを一定周波数で変化
させ、信号S1及びS2の振幅比より仕事関数φを算出す
る。該算出方法については、後述の実施例Ａ又は実施例
Ｂに基づく。
させ、信号S1及びS2の振幅比より仕事関数φを算出す
る。該算出方法については、後述の実施例Ａ又は実施例
Ｂに基づく。
前記目標基準値VRの波形及び周波数は、実施例１に準
じる。
じる。
本実施例の場合、加算信号A0及びバイアス電圧VTの値
は、仕事関数測定時には一定値に保持される。
は、仕事関数測定時には一定値に保持される。
（実施例３） 第３図に基づいて、バイアス電圧VTを一定の周波数で
変化させ、信号S1及びS2の振幅比より仕事関数φを算出
する。該算出方法については、後述の実施例Ａ又は実施
例Ｂに基づく。
変化させ、信号S1及びS2の振幅比より仕事関数φを算出
する。該算出方法については、後述の実施例Ａ又は実施
例Ｂに基づく。
前記バイアス電圧VTの波形及び周波数は、実施例１に
準じる。
準じる。
本実施例の場合、加算信号A0及び目標基準値VRの値
は、仕事関数測定時には一定値に保持される。
は、仕事関数測定時には一定値に保持される。
次に、仕事関数算出方法に関しては２つの方法が考え
られる。第１の方法は、制御系内の信号の振幅値を直接
に電子回路を介在させて演算結果を電気信号として出力
する方法であり、その概略ブロック図を第５図に示し、
その実施例を実施例Ａとする。第２の方法として制御系
内の信号の振幅値を２値データに変換して変換後のデー
タをCPU内で演算する方法に基づいた実施例を実施例Ｂ
とする。又、CPU内での演算アルゴリズムを第７図に示
す。
られる。第１の方法は、制御系内の信号の振幅値を直接
に電子回路を介在させて演算結果を電気信号として出力
する方法であり、その概略ブロック図を第５図に示し、
その実施例を実施例Ａとする。第２の方法として制御系
内の信号の振幅値を２値データに変換して変換後のデー
タをCPU内で演算する方法に基づいた実施例を実施例Ｂ
とする。又、CPU内での演算アルゴリズムを第７図に示
す。
（実施例Ａ） 以下第５図に基づいて仕事関数φ演算部について説明
する。
する。
信号S1は、前記第１図における探針制御用圧電素子駆
動電圧であり、実際の探針位置変位量にほぼ線形に対応
する。また、信号S2は対数増幅器12の出力である。
動電圧であり、実際の探針位置変位量にほぼ線形に対応
する。また、信号S2は対数増幅器12の出力である。
信号S1及び信号S2はAC結合された増副器14及び15にア
ナログ演算可能な最適レベル化される。ここでAC結合増
幅器14及び15は同一利得である。さらに信号S3及び信号
S4のエンベロープすなわち振幅値は、エンベロープ検出
器16及び17により検出される。該振幅値Ｐ及びＱは、ア
ナログ割算器によりＲ＝Q/Pが算出される。さらにアナ
ログ掛算器19によりφ＝1R2が算出される。
ナログ演算可能な最適レベル化される。ここでAC結合増
幅器14及び15は同一利得である。さらに信号S3及び信号
S4のエンベロープすなわち振幅値は、エンベロープ検出
器16及び17により検出される。該振幅値Ｐ及びＱは、ア
ナログ割算器によりＲ＝Q/Pが算出される。さらにアナ
ログ掛算器19によりφ＝1R2が算出される。
本実施例に基づく仕事関数φの算出式は、前記（４）
式に準じている。（４）式に示した係数Ｋは、電圧源又
は電流源21により発生され、アナログ掛算器又は利得可
変増幅器20において仕事関数φ＝Ｋ・φ１が算出され
る。
式に準じている。（４）式に示した係数Ｋは、電圧源又
は電流源21により発生され、アナログ掛算器又は利得可
変増幅器20において仕事関数φ＝Ｋ・φ１が算出され
る。
次に信号A0又はVR又はVTは発振器22により発生され、
少なくとも仕事関数測定時には前記然るべき位置に加算
される。
少なくとも仕事関数測定時には前記然るべき位置に加算
される。
（実施例Ｂ） 以下第６図及び第７図に基づいて仕事関数φ演算部に
ついて説明する。
ついて説明する。
信号S1及び信号S2は、前記実施例Ａと同様に振幅値Ｐ
及びＱが検出される。該振幅値Ｐ及びＱはＡ→Ｄ変換器
27及び28により２値データに変換される。ここで、振幅
値Ｐはｎビットの２値データD0U、振幅値Ｑはｎビット
の２値データD0Lにそれぞれ変換される。CPU30はここで
は、コンピュータシステム全般を表しており、2nビット
データ処理可能なシステムであるとする。
及びＱが検出される。該振幅値Ｐ及びＱはＡ→Ｄ変換器
27及び28により２値データに変換される。ここで、振幅
値Ｐはｎビットの２値データD0U、振幅値Ｑはｎビット
の２値データD0Lにそれぞれ変換される。CPU30はここで
は、コンピュータシステム全般を表しており、2nビット
データ処理可能なシステムであるとする。
前記２値データD0Uは上位ｎビット、D0Lは下位ビット
として扱われる。上位及び下位の逆も当然可能である。
として扱われる。上位及び下位の逆も当然可能である。
前記２値データは、CPU30よりアドレスデコーダ31を
介在するタイミングT1により、データラッチ及びレジス
タ29においてラッチされレジスタに書き込まれ、CPU30
の2nビットのデータD0となる。
介在するタイミングT1により、データラッチ及びレジス
タ29においてラッチされレジスタに書き込まれ、CPU30
の2nビットのデータD0となる。
実施例Ａと同様に、信号A0又はVR又はVTは発振器33に
より発生され、少なくとも仕事関数測定時には前記然る
べき位置に加算される。また加算のタイミングは、CPU3
0よりアドレスデコーダ31を介在するタイミングT2によ
り設定され、スイッチ32は開閉される。
より発生され、少なくとも仕事関数測定時には前記然る
べき位置に加算される。また加算のタイミングは、CPU3
0よりアドレスデコーダ31を介在するタイミングT2によ
り設定され、スイッチ32は開閉される。
そして前記データD0を処理し仕事関数φを算出するに
至るまでのCPU30におけるアルゴリズムは第７図に示さ
れる。順次説明すると、データD0はレジスタ29よりCPU3
0に読み込まれた後、下位データ、上位データ及び前記
（４）式における定数Ｋは夫々変数ｘ、変数ｙ、変数ｋ
に割り当てられた後、前記実施例Ａと同様にプログラム
上（Ｖ）ルーチンにて演算が行われ仕事関数φは算出さ
れる。ここで仕事関数φの値は変数Ｗに割り当てられて
おり、その後の処理は任意である。
至るまでのCPU30におけるアルゴリズムは第７図に示さ
れる。順次説明すると、データD0はレジスタ29よりCPU3
0に読み込まれた後、下位データ、上位データ及び前記
（４）式における定数Ｋは夫々変数ｘ、変数ｙ、変数ｋ
に割り当てられた後、前記実施例Ａと同様にプログラム
上（Ｖ）ルーチンにて演算が行われ仕事関数φは算出さ
れる。ここで仕事関数φの値は変数Ｗに割り当てられて
おり、その後の処理は任意である。
以上実施例としては、実施例１〜３と実施例Ａ〜Ｂを
夫々組み合わせることにより６通り存在する。
夫々組み合わせることにより６通り存在する。
従来技術の項記載の方法に比し、本発明に基づいた方
法においては、制御系を閉ループ状態にて仕事関数の測
定が可能であるため、特にSTM装置等においては、該装
置動作時にリアルタイムで仕事関数の測定が可能とな
り、該装置動作時における仕事関数φ値の変化に対応し
た補正が可能となる。すなわちSTM装置等の動作時にお
いて、試料表面上各所の仕事関数φ値を本発明に基づい
た方法により測定し、リアルタイムで前記Ｚ軸制御系の
ループ利得を補正することは有効である。
法においては、制御系を閉ループ状態にて仕事関数の測
定が可能であるため、特にSTM装置等においては、該装
置動作時にリアルタイムで仕事関数の測定が可能とな
り、該装置動作時における仕事関数φ値の変化に対応し
た補正が可能となる。すなわちSTM装置等の動作時にお
いて、試料表面上各所の仕事関数φ値を本発明に基づい
た方法により測定し、リアルタイムで前記Ｚ軸制御系の
ループ利得を補正することは有効である。
また、従来技術の項記載の方法においては、仕事関数
の測定は断続的であるが、本発明に基づいた方法におい
ては、連続的に仕事関数の測定は可能となる。従って、
STM装置等における試料表面の仕事関数φ値分布が正確
かつ容易に測定でき、該試料表面状態の物理学的考案に
関する用途にも本発明に基づいた方法は有効である。
の測定は断続的であるが、本発明に基づいた方法におい
ては、連続的に仕事関数の測定は可能となる。従って、
STM装置等における試料表面の仕事関数φ値分布が正確
かつ容易に測定でき、該試料表面状態の物理学的考案に
関する用途にも本発明に基づいた方法は有効である。
第１図は本発明に基づいた仕事関数測定法に係るブロッ
ク図。 第２図は一般的な伝達関数測定時の制御系ブロック図。 第３図は仕事関数測定に係るブロック図。 第４図はＺ軸制御系開ループ利得特性及び制御対象の周
波数特性図。 第５図は実施例Ａに基づいたブロック図。 第６図は実施例Ｂに基づいたブロック図。 第７図は実施例Ｂに基づいた仕事関数算出に係るCPUに
於けるアルゴリズムの説明図。
ク図。 第２図は一般的な伝達関数測定時の制御系ブロック図。 第３図は仕事関数測定に係るブロック図。 第４図はＺ軸制御系開ループ利得特性及び制御対象の周
波数特性図。 第５図は実施例Ａに基づいたブロック図。 第６図は実施例Ｂに基づいたブロック図。 第７図は実施例Ｂに基づいた仕事関数算出に係るCPUに
於けるアルゴリズムの説明図。
Claims (5)
- 【請求項１】制御系が閉ループの状態で、目標基準値に
一定周波数で変化する信号を加算した後、少なくとも１
つの伝達要素を介在させて前記目標基準値にフィードバ
ックさせる回路において前記伝達要素を通る前と後との
信号の振幅を演算した結果より仕事関数を算出すること
を特徴とする仕事関数測定方法。 - 【請求項２】前記演算は、前記伝達要素を通る前と後と
の信号の振幅の比を求めることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の仕事関数測定方法。 - 【請求項３】前記加算信号の周波数は、前記制御系の開
ループ周波数特性における0dB交差点付近の周波数であ
り、かつ、制御対象の応答帯域内であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項または第２項記載の方法。 - 【請求項４】前記前と後との信号の振幅値を電子回路に
入力させ演算結果を電気信号として出力することを特徴
とする特許請求の範囲第１項から第３項にいずれか記載
の仕事関数測定方法。 - 【請求項５】前記前と後との信号の振幅値を２値データ
に変換し変換後のデータをCPU内で演算することを特徴
とする特許請求の範囲第１項から第３項にいずれか記載
の仕事関数測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62257879A JP2654506B2 (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 仕事関数測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62257879A JP2654506B2 (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 仕事関数測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01100422A JPH01100422A (ja) | 1989-04-18 |
| JP2654506B2 true JP2654506B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=17312452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62257879A Expired - Fee Related JP2654506B2 (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 仕事関数測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2654506B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10495665B2 (en) * | 2016-09-19 | 2019-12-03 | Zyvex Labs, Llc | Methods, devices and systems for scanning tunneling microscopy control system design |
-
1987
- 1987-10-13 JP JP62257879A patent/JP2654506B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01100422A (ja) | 1989-04-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6556156B1 (en) | Circuit and method for calibrating the phase shift between a plurality of digitizers in a data acquisition system | |
| US6943544B2 (en) | Adjustment of a magneto-resistive angle sensor | |
| CN1371467A (zh) | 用于传感器响应线性化的系统和方法 | |
| JPH06148279A (ja) | 電子デバイス試験・測定装置、およびそのタイミングならびに電圧レベル校正方法 | |
| US7904265B2 (en) | Circuits and methods for calibrating a delay element | |
| JP2654506B2 (ja) | 仕事関数測定方法 | |
| US11698656B2 (en) | Frequency characteristic measurement device, controller and frequency characteristic measurement method | |
| US4798920A (en) | Stylus coordinate determining device with distortion compensation | |
| US4400809A (en) | Arbitrary drive for magnetic field waveform control | |
| Ghosh et al. | Software based linearisation of thermistor type nonlinearity | |
| JP3091897B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| JP2007170891A (ja) | 演算装置及び試験装置 | |
| JPH0783672A (ja) | 光ファイバジャイロ | |
| JPH0712852A (ja) | 波形生成機能付き波形測定装置 | |
| JPS59103113A (ja) | 位置決めサ−ボ制御方式 | |
| JP3142252B2 (ja) | 温度検出装置及びそれを用いた温度制御装置 | |
| RU2017326C1 (ru) | Способ термостабилизации активной индуктивности | |
| JPS63153604A (ja) | 制御系位相余裕の測定方法 | |
| JPH056305U (ja) | 探針走査型顕微鏡 | |
| JPH04117186A (ja) | 高精度移動ステージ装置 | |
| RU1788446C (ru) | Многоканальный измеритель температуры | |
| JPH0743608B2 (ja) | 未来目標値と過去の操作量の情報を用いるディジタル制御装置 | |
| SU1336054A1 (ru) | Устройство дл определени коэффициента формы случайного сигнала | |
| JPH0217455A (ja) | ストレージ波形の出力表示方法 | |
| CN116360119A (zh) | 适于低频振动的角度偏差补偿系统、方法、设备及介质 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |