JP2618790B2

JP2618790B2 - 金属薄板搬送装置

Info

Publication number: JP2618790B2
Application number: JP22218292A
Authority: JP
Inventors: 武文神鳥; 裕之北澤; 学矢部; 良一安藤; 正司外海
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1992-07-27
Filing date: 1992-07-27
Publication date: 1997-06-11
Anticipated expiration: 2012-06-11
Also published as: JPH0648603A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、カラーＣＲＴ用シャ
ドウマスク、半導体装置用リードフレーム、電気かみそ
りの刃といった各種の金属薄板を無端搬送ベルトに支持
して搬送する金属薄板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーＣＲＴにおいては、電子銃から放
射されて蛍光体の方へ向かう電子ビームの多くは不要な
方向の電子ビームとしてシャドウマスクに衝突して吸収
される。このため、シャドウマスクが加熱されてその温
度が上昇し、熱膨張によってドーミング現象と呼ばれる
熱変形が生じ、電子ビームの軌道が変化して色ずれが発
生するという問題点がある。そこで、これを防止する対
策として、シャドウマスクにテンションをかけるという
方法があるが、このテンションをかけるためには、シャ
ドウマスクの厚さを薄くする方が単位面積当りのテンシ
ョンを小さくできるので効果的であり、このため、厚さ
８０μｍ以下のシャドウマスクが一般に用いられる。

【０００３】また、従来から、金属薄板の厚さが薄いほ
ど、エッチング加工を行なう場合に加工精度が良くなる
ことが一般的に知られている。特に、金属薄板の厚さが
８０μｍ以下であるときには、金属薄板の片面からだけ
のエッチング処理によって十分な加工精度が得られる。

【０００４】そこで、この厚さの薄いシャドウマスク等
を製造するときに使用する金属薄板を搬送する装置とし
て、ゴム状の無端磁気ベルトを用い、金属薄板を直接支
持して搬送するものが提案されている。この搬送装置
は、無端磁気ベルトの外周面に金属薄板を直接吸引密着
させ、無端搬送ベルトの周回移動によって金属薄板を搬
送するようにしている。

【０００５】また、図７に示すように、離間した一対の
ローラ10、12間に無端搬送ベルト14を掛け渡し、無端搬
送ベルト14の下方側平面部の内側に、無端搬送ベルト14
とは別体の平板状磁石16を無端搬送ベルト14の平面部に
沿って配設した金属薄板搬送装置も提案されている。こ
の装置では、各ローラ10、12を回転駆動させることによ
り無端搬送ベルト14が周回移動し、平板状磁石16の磁力
が金属薄板１に作用して、金属薄板１が無端搬送ベルト
14上に支持され、無端搬送ベルト14の周回動作に従って
金属薄板１が搬送される。そして、無端搬送ベルト14の
下方側平面部の終端部分において、金属薄板１に対して
平板状磁石16の磁力が作用しなくなり、金属薄板１は無
端搬送ベルト14から剥離され、次の工程へ搬送されるよ
うになっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、金属薄
板を搬送するために、ゴム状の無端磁気ベルトを用いた
場合、無端磁気ベルトの外周面に金属薄板が直接吸引密
着されているため、無端磁気ベルトから金属薄板が簡単
に剥がれず、無端磁気ベルトの磁力を弱くしても、金属
薄板の厚さが薄いため、無端磁気ベルトから金属薄板を
無理矢理剥がそうとすると金属薄板が折れてしまうとい
う問題がある。また、無端磁気ベルトの外周面に鉄粉な
どのように磁化し易いごみが吸着され、それにより、無
端磁気ベルト上に支持されている金属薄板に傷や凹みな
どが付いてしまうことがある。

【０００７】さらに、金属薄板を搬送するために無端搬
送ベルトの下方側平面部の内側に沿って平板状磁石を配
設した場合、金属薄板が水や酸、アルカリといった液体
で濡れている状態では、金属薄板と無端搬送ベルトとの
摩擦力が弱くなり、無端搬送ベルトの周回速度に比較し
て金属薄板が搬送される速度が遅くなったり、金属薄板
が途中で或いは平板状磁石の端部位置で止まってしまっ
たりするという問題がある。そして、特に金属薄板の厚
さが薄くなるほど、このような現象が頻繁に起こるよう
になり、さらに金属薄板の厚さが８０μｍ以下になる
と、同じ無端搬送ベルト上で動いている部分と止まって
いる部分とができて、金属薄板にしわが発生してしまう
こともある。

【０００８】この発明は、このような従来の問題点を解
決するためになされたものであって、搬送中に金属薄板
に生じる傷や凹みを防止し、金属薄板の搬送途中でしわ
が生じたりしないように円滑に金属薄板を搬送する金属
薄板搬送装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、この発明は、一対のローラ間に周回移動自在に無
端搬送ベルト端ベルトを掛け渡し、金属薄板を前記無端
搬送ベルトに支持して搬送する金属薄板搬送装置におい
て、前記無端搬送ベルトの内側においてその無端搬送ベ
ルトと共に周回移動しながら、金属薄板を前記無端搬送
ベルトに支持する吸引力を金属薄板に対して作用させる
無端磁気ベルトを前記無端搬送ベルトの平面部に沿って
配設した。

【００１０】また、上記の要素の無端搬送ベルトが、そ
れぞれ片面側に樹脂被覆層が被着され互いに近接して並
設された多数枚の磁気シートを、互いに平行に配置され
た２条以上のコンベアチェーンの外周側に、各磁気シー
トの長手方向とコンベアチェーンの移動方向とが直交す
るように、一体的に固着したものであることが望まし
い。

【００１１】

【作用】この発明に係る金属薄板搬送装置は、一対のロ
ーラ間に掛け渡されている無端搬送ベルトの内側に無端
磁気ベルトを配設している。この無端磁気ベルトと無端
搬送ベルトとが周回移動すると、無端磁気ベルトの磁力
が金属薄板に吸引力を作用させて無端搬送ベルトに金属
薄板を支持し、無端搬送ベルトの周回移動に従って金属
薄板が搬送される。そして、無端磁気ベルトの搬送方向
の終端部分において、金属薄板に対する無端磁気ベルト
の磁力が作用しなくなり、金属薄板は無端搬送ベルトか
ら剥離され、次の工程へ円滑に搬送される。

【００１２】

【実施例】以下、この発明の好適な実施例について図面
を参照しながら説明する。

【００１３】図１は、この発明に係る金属薄板搬送装置
の概略構成を示す模式的側面図である。この搬送装置
は、離間した互いに平行な一対のローラ10、12間に長尺
帯状の金属薄板１を搬送する無端搬送ベルト14を掛け渡
し、無端搬送ベルト14の内側には、互いに平行な一対の
スプロケット18、20間に掛け渡された無端磁気ベルト22
が配設されている。この無端磁気ベルト22は、金属薄板
１を無端搬送ベルト14に支持させるため、無端磁気ベル
ト22の下方側平面部の外周側が無端搬送ベルト14の下方
側平面部の内周側と接触もしくは近接するように、無端
搬送ベルト14の平面部に沿って配置されている。

【００１４】そして、ローラ10或いはローラ12を駆動手
段（図示せず）により回転駆動させ、この回転駆動によ
り無端搬送ベルト14は周回移動し、その移動と同時に、
別の駆動手段（図示せず）により、スプロケット18或い
はスプロケット20を回転駆動させて、無端搬送ベルト14
の内側に配設された無端磁気ベルト22を周回移動させ
る。これにより、金属薄板１に無端磁気ベルト22の磁力
が作用して、金属薄板１を無端搬送ベルト14に支持しな
がら、無端搬送ベルト14及び無端磁気ベルト22の周回動
作に従って金属薄板１を搬送する。このとき、無端搬送
ベルト14と無端磁気ベルト22との周回移動は、金属薄板
１を搬送する方向へ同一速度で行なわれるので、金属薄
板１が、搬送途中に止まったりしてしまうことはない。
そして、搬送されている金属薄板１は、無端磁気ベルト
22の搬送方向の終端部分において、無端磁気ベルト22の
磁力が作用しなくなり、金属薄板１は、無端搬送ベルト
14からスムーズに剥離されて次の工程へ搬送される。

【００１５】この搬送装置で使用される無端搬送ベルト
14の厚さは１〜２mm程度であり、この無端搬送ベルト14
は、例えば、ポリエステルを芯材とし、その表裏両面に
クッション材を介在させて耐薬品性に優れた高硬度ナイ
ロンや特殊樹脂を被着して形成されている。従って、こ
の無端搬送ベルト14にエッチング液が降りかかっても、
無端搬送ベルト14が腐食させられることはない。そし
て、無端搬送ベルト14の下方側から金属薄板１に向けて
エッチング液が吹き付けられたとしても、表面が耐腐食
性を備えた無端搬送ベルト14によってエッチング液が遮
られ、無端搬送ベルト14の内側に配設されている無端磁
気ベルト22にエッチング液が大量にかかって、その無端
磁気ベルト22が腐食されるといったことが防止される。
また、無端磁気ベルト22に鉄粉などの磁化し易いごみが
吸着されることがあっても、無端磁気ベルト22と金属薄
板１との間には、１〜２mm程度の厚さの無端搬送ベルト
14があり、無端磁気ベルト22と金属薄板１とは直接接触
しないので、無端磁気ベルト22に吸着されたごみによっ
て金属薄板１に傷や凹みが生じることもない。

【００１６】図２は、図１に示した搬送装置の構成をよ
り具体的に示した側面図であり、図２では、短尺の金属
薄板１’を搬送する場合を示している。また、図３は、
この搬送装置において、エッチング液を金属薄板１に下
方側から供給している状態を示した斜視図である。図２
及び図３において、無端搬送ベルト14の周囲には、無端
搬送ベルト14を周回移動させる一対のローラ10、12以外
に、無端搬送ベルト14の蛇行を防止する逆Ｕ字ローラ34
と、無端搬送ベルト14のテンションを一定に保つテンシ
ョンローラ36と、無端搬送ベルト14の下方側平面部が下
に弛まないように支持する支持ローラ38とを配設してい
る。また、図３において、スプレイ管42がシャドウマス
ク用板材40の搬送経路の下方に搬送方向と平行に複数本
配設されており、このスプレイ管42には、多数のスプレ
イノズル44が所定の間隔で形成されている。そして、こ
のシャドウマスク用板材40にエッチング液を供給する際
には、無端磁気ベルト22及び無端搬送ベルト14を同じ速
度で周回移動させて、シャドウマスク用板材40を無端搬
送ベルト14に支持して搬送しながら、スプレイノズル44
からエッチング液46を上方に向けて噴出させ、シャドウ
マスク用板材40に対してシャワー状のエッチング液46を
吹き付けるようにしている。尚、図中の符号48は、シャ
ドウマスク用板材40の表面に被着形成されたレジスト膜
における画像部である。

【００１７】図４は、この搬送装置に使用されている無
端磁気ベルト22の一部を拡大した斜視図である。この無
端磁気ベルト22は、多数枚の磁気シート50と２条もしく
はそれ以上のコンベアチェーン56とから構成されてい
る。磁気シート50は、細長い板状をなすシート状磁石52
の片面側にフッ化樹脂等の樹脂被覆層54を被着して形成
されており、この磁気シート50が多数枚、互いに隣り合
うもの同士を近接させて並設されている。また、コンベ
アチェーン56は、ポリアセタール樹脂等のプラスチック
材により取付け板60が一体成形されたリンク対58を多数
個、連結ピン62で連結して形成されており、このコンベ
アチェーン56が２条もしくはそれ以上互いに平行に配置
されている。そして、多数枚の磁気シート50をコンベア
チェーン56の外周側から掛け渡し、磁気シート50の長手
方向とコンベアチェーン56の移動方向とが直行するよう
に、各磁気シート50の、樹脂被覆層54が被着されていな
い面側をコンベアチェーン56の各取付け板60にボルト64
を介してそれぞれ一体的に固着している。この無端磁気
ベルト22のコンベアチェーン56をスプロケット18及びス
プロケット20に掛け渡しており、スプロケット18又はス
プロケット20の駆動手段（図示せず）の駆動により、無
端磁気ベルト22が周回移動可能になっている。

【００１８】尚、磁気シート50は、図５に示すように、
単極着磁となるように多数枚、互いに近接して並設され
ている。このようにするのは、金属薄板を直接支持して
搬送していた従来のゴム状の無端磁気ベルトでは、Ｎ極
とＳ極とが交互に繰り返し現出する多極着磁であったた
め、磁力の向きと強さとが一様にはならず、その無端磁
気ベルトに金属薄板を支持してエッチング処理したとき
に、エッチング液が供給された金属薄板に、図８に示す
ような筋状のむら５が生じてしまうからである。そこ
で、磁気シート50を単極着磁になるように並設すれば、
磁気シート50の磁力28の向きと強さとが一様になり、し
かも、エッチングによる孔の広がり速度も、場所の如何
に拘らず一定になるので、筋状のむら５をより完全に防
止することができる。

【００１９】また、図６に示すように、金属薄板１の搬
送方向と直交する方向に配設され、無端搬送ベルト14の
下方側平面部が下へ弛まないように支持する支持ローラ
38は、両端部に一対の大径部66、66が設けられている段
付きローラからなる。この支持ローラ38は、無端搬送ベ
ルト14を、金属薄板１の保持位置を外れた両側端辺部で
だけ支持するため、金属薄板１が支持ローラ38と接触す
ることがない。従って、金属薄板１と支持ローラ38との
接触部分にエッチング液が溜まってエッチングむらが生
じるといったことはない。図６中の符号68は、無端磁気
ベルト22のガイド、70は、支持ローラ38の軸受である。

【００２０】この発明に係る金属薄板搬送装置は上述し
たような構成を有しているが、この発明の範囲は上記説
明並びに図面の内容によって限定されず、要旨を逸脱し
ない範囲で種々の変形例を包含し得る。例えば、上記実
施例では、無端搬送ベルトの下方側平面部の内側に無端
磁気ベルトを配設し、金属薄板を無端磁気ベルトの下方
側平面部の下面に支持して搬送するようにしているが、
無端搬送ベルトを上方側平面部の内側に配設し、金属薄
板を上方側平面部の上面に支持して搬送するような構成
としてもよい。

【００２１】また、この搬送装置は、幅寸法に対して搬
送方向の長さが数倍以上であるような長尺状のものか
ら、幅寸法よりも搬送方向の長さが短いものまで、各種
サイズの金属薄板を搬送することができる。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る金
属薄板搬送装置を使用すれば、無端搬送ベルトの内側に
配設された無端磁気ベルトが金属薄板に磁力を作用させ
て金属薄板を無端搬送ベルトに支持し、その状態で金属
薄板を搬送するので、金属薄板の傷や凹みの発生を防止
することができる。また、無端搬送ベルトと無端磁気ベ
ルトとの周回移動により金属薄板を搬送するようにして
いるので、金属薄板が搬送途中で止まって金属薄板にし
わを生じさせたりすることなく、金属薄板を円滑に搬送
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の構成の１例を示す金属薄板搬送装置
の模式的側面図である。

【図２】図１に示した搬送装置の構成をより具体的に示
した側面図である。

【図３】この発明に係る金属薄板搬送装置の具体的構成
例を示す斜視図である。

【図４】この発明に係る搬送装置に使用される無端磁気
ベルトの構成の１例を示し、その一部を拡大して表した
斜視図である。

【図５】無端磁気ベルトを単極着磁としたときの磁力の
強さと方向とを説明するための図である。

【図６】無端搬送ベルトの下方側平面部を支持する支持
ローラの構成の１例を示す断面図である。

【図７】無端搬送ベルトの内側に平板状磁石を配設した
従来の金属薄板搬送装置の概略構成を示す模式的側面図
である。

【図８】従来の金属薄板搬送装置における問題点を説明
するための図であって、エッチング加工された金属薄板
を示した平面図である。

【符号の説明】

10、12 ローラ 14 無端搬送ベルト 18、20 スプロケット 22 無端磁気ベルト 40 シャドウマスク用板材 50 磁気シート 54 樹脂被覆層 56 コンベアチェーン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者矢部学京都市伏見区羽束師古川町322番地大日本スクリーン製造株式会社洛西工場内 (72)発明者安藤良一滋賀県彦根市高宮町480番地の１大日本スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (72)発明者外海正司滋賀県彦根市高宮町480番地の１大日本スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (56)参考文献特開昭48−33562（ＪＰ，Ａ) 特開昭51−143275（ＪＰ，Ａ) 実開昭60−110306（ＪＰ，Ｕ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】一対のローラ間に周回移動自在に無端搬
送ベルトを掛け渡し、金属薄板を前記無端搬送ベルトに
支持して搬送する金属薄板搬送装置において、前記無端搬送ベルトの内側においてその無端搬送ベルト
と共に周回移動しながら、金属薄板を前記無端搬送ベル
トに支持する吸引力を金属薄板に対して作用させる無端
磁気ベルトを前記無端搬送ベルトの平面部に沿って配設
したことを特徴とする金属薄板搬送装置。
【請求項２】無端磁気ベルトが、それぞれ片面側に樹
脂被覆層が被着され互いに近接して並設された多数枚の
磁気シートを、互いに平行に配置された２条以上のコン
ベアチェーンの外周側に、各磁気シートの長手方向とコ
ンベアチェーンの移動方向とが直交するように、一体的
に固着したものである請求項１記載の金属薄板搬送装
置。