JP2617726B2 - 熱処理用反応管 - Google Patents
熱処理用反応管Info
- Publication number
- JP2617726B2 JP2617726B2 JP62203546A JP20354687A JP2617726B2 JP 2617726 B2 JP2617726 B2 JP 2617726B2 JP 62203546 A JP62203546 A JP 62203546A JP 20354687 A JP20354687 A JP 20354687A JP 2617726 B2 JP2617726 B2 JP 2617726B2
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- JP
- Japan
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- quartz glass
- reaction tube
- reinforcing member
- tube
- heat treatment
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/02—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor
- C03B37/025—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor from reheated softened tubes, rods, fibres or filaments, e.g. drawing fibres from preforms
- C03B37/026—Drawing fibres reinforced with a metal wire or with other non-glass material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/04—Re-forming tubes or rods
- C03B23/047—Re-forming tubes or rods by drawing
- C03B23/0476—Re-forming tubes or rods by drawing onto a forming die, e.g. a mandrel or a wire
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/20—Uniting glass pieces by fusing without substantial reshaping
- C03B23/207—Uniting glass rods, glass tubes, or hollow glassware
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明はウエハなどの半導体材料やその他の被処理
物を熱処理する反応管に関するものである。
物を熱処理する反応管に関するものである。
従来の技術 一般にダイオードやトランジスタなどの半導体を製造
するには、種々の熱処理が必要であり、なかでも半導体
材料としてのシリコンウエハの酸化処理工程や拡散処理
工程は極めて重要である。
するには、種々の熱処理が必要であり、なかでも半導体
材料としてのシリコンウエハの酸化処理工程や拡散処理
工程は極めて重要である。
従来、このような熱処理をするために、一般に拡散炉
と呼ばれている電気炉を使用している。電気路には石英
ガラス製の反応管が設けられている。その反応管の外側
にはコイル状の発熱体が設けられている。
と呼ばれている電気炉を使用している。電気路には石英
ガラス製の反応管が設けられている。その反応管の外側
にはコイル状の発熱体が設けられている。
石英ガラスは1050℃付近で歪を生じ、特に高温で長時
間使用すると、熱変形を起こして、わん曲する。
間使用すると、熱変形を起こして、わん曲する。
そのような観点から、特開昭57−35336号発明が提案
された。すなわち、石英ガラス製反応管本体の加熱部外
域を耐熱性セラミック管で囲み、さらにその耐熱性セラ
ミック管を石英ガラス保護管で包囲したのである。
された。すなわち、石英ガラス製反応管本体の加熱部外
域を耐熱性セラミック管で囲み、さらにその耐熱性セラ
ミック管を石英ガラス保護管で包囲したのである。
発明が解決しようとする問題点 前述のような熱処理用反応管にあっては、製造が極め
て困難であるばかりでなく、耐熱性セラミック管と石英
ガラス製反応管または石英ガラス保護管とは、熱膨脹率
が相違しており、高温時に損傷を受ける危険がある。
て困難であるばかりでなく、耐熱性セラミック管と石英
ガラス製反応管または石英ガラス保護管とは、熱膨脹率
が相違しており、高温時に損傷を受ける危険がある。
発明の目的 この発明は前述のような従来技術の欠点を解消して、
高温状態で長時間使用しても反応管が熱変形のために過
度にわん曲することのない熱処理用反応管を提供するこ
とを目的としている。
高温状態で長時間使用しても反応管が熱変形のために過
度にわん曲することのない熱処理用反応管を提供するこ
とを目的としている。
発明の要旨 このような目的を達成するために、本発明は、半導体材
料等の被処理物を内部で熱処理するための石英ガラス製
反応管において、線状の補強部材を石英ガラスで被覆し
たうえ石英ガラス製反応管本体の外表面にスパイラル状
に巻き、かつ前記補強部材がM0またはＷで作られている
ことを特徴とする熱処理用反応管を要旨としている。
料等の被処理物を内部で熱処理するための石英ガラス製
反応管において、線状の補強部材を石英ガラスで被覆し
たうえ石英ガラス製反応管本体の外表面にスパイラル状
に巻き、かつ前記補強部材がM0またはＷで作られている
ことを特徴とする熱処理用反応管を要旨としている。
問題点を解決するための手段 この発明にあっては、線状の補強部材を石英ガラスで
被覆したうえ石英ガラス製反応管本体の外表面にスパイ
ラル状に巻いている。特にそのような補強部材をＷまた
はM0で構成すると極めて顕著な効果が得られる。
被覆したうえ石英ガラス製反応管本体の外表面にスパイ
ラル状に巻いている。特にそのような補強部材をＷまた
はM0で構成すると極めて顕著な効果が得られる。
補強部材を石英ガラスで被覆する方法としては、例え
ば直径0.3mmのM0型の線材を肉厚3mmの石英ガラス管で被
覆する方法や、直径0.3mmのM0製線材に200〜300μｍ厚
の石英ガラスのコーティングを形成する方法がある。石
英ガラス管で被覆する際には、部分的に軟化状態にした
石英ガラス管の中で補強部材を引っぱり、それによって
連続して石英ガラス管を自動的に補強部材に被覆させる
のが好ましい。
ば直径0.3mmのM0型の線材を肉厚3mmの石英ガラス管で被
覆する方法や、直径0.3mmのM0製線材に200〜300μｍ厚
の石英ガラスのコーティングを形成する方法がある。石
英ガラス管で被覆する際には、部分的に軟化状態にした
石英ガラス管の中で補強部材を引っぱり、それによって
連続して石英ガラス管を自動的に補強部材に被覆させる
のが好ましい。
また、石英ガラスで被覆された線状の補強部材をスパ
イラル状に密に巻いて小径の管を作り、その小径の管を
さらにスパイラル状に巻くこともできる。
イラル状に密に巻いて小径の管を作り、その小径の管を
さらにスパイラル状に巻くこともできる。
作用 ウエハなどの半導体材料を熱処理する際に、高温で長
時間使用したとき、石英ガラス製の反応管本体が熱変形
を起こして大きくわん曲しようとしても、スパイラル状
に配置した補強部材が存在しているので、それにより補
強されているため、過度の変形現象が発生しない。
時間使用したとき、石英ガラス製の反応管本体が熱変形
を起こして大きくわん曲しようとしても、スパイラル状
に配置した補強部材が存在しているので、それにより補
強されているため、過度の変形現象が発生しない。
実施例 まず、第１図に示すように、石英ガラス製の外径25mm
肉厚5mmの管１の内側で線状のM0やＷ製の補強部材２を
（管１内を真空雰囲気またはH2やH2＋N2などの還元性雰
囲気にしつつ）矢印Ｘの方向に引っぱり、その際、バー
ナ４等の加熱手段で管１を軟化させ、肉厚を変化させて
補強部材２を石英ガラス３で被覆する。最終的な石英ガ
ラス３の肉厚は3mmにする。補強部材２の直径は0.3mm
で、実質的に変化しない。
肉厚5mmの管１の内側で線状のM0やＷ製の補強部材２を
（管１内を真空雰囲気またはH2やH2＋N2などの還元性雰
囲気にしつつ）矢印Ｘの方向に引っぱり、その際、バー
ナ４等の加熱手段で管１を軟化させ、肉厚を変化させて
補強部材２を石英ガラス３で被覆する。最終的な石英ガ
ラス３の肉厚は3mmにする。補強部材２の直径は0.3mm
で、実質的に変化しない。
次に、第２図に示すように石英ガラス製反応管本体５
の外表面に、3mm厚の石英ガラス３を被覆した補強部材
２をスパイラル状に粗又は密に巻く。この時、石英ガラ
ス管３を加熱して軟化状態にしておいて、補強部材２を
設けると、互いに石英ガラス同志が溶着する。
の外表面に、3mm厚の石英ガラス３を被覆した補強部材
２をスパイラル状に粗又は密に巻く。この時、石英ガラ
ス管３を加熱して軟化状態にしておいて、補強部材２を
設けると、互いに石英ガラス同志が溶着する。
また、別の実施例として、線状の補強部材２の表面に
200〜300μｍ厚の石英ガラスのコーティングを被覆して
から、前述の実施例と同様にそのコーティングの石英ガ
ラスが軟化した状態で石英ガラス製反応管本体５の外表
面に密又は粗に補強部材２をスパイラル状に巻いてもよ
い。
200〜300μｍ厚の石英ガラスのコーティングを被覆して
から、前述の実施例と同様にそのコーティングの石英ガ
ラスが軟化した状態で石英ガラス製反応管本体５の外表
面に密又は粗に補強部材２をスパイラル状に巻いてもよ
い。
補強部材２の材料について説明すれば、いずれの実施
例においても、種々の観点より最も望ましいのはＷまた
はM0である。その理由は高温強度が高く、また、熱膨脹
係数も小さく、石英ガラス中に拡散しにくいからであ
る。
例においても、種々の観点より最も望ましいのはＷまた
はM0である。その理由は高温強度が高く、また、熱膨脹
係数も小さく、石英ガラス中に拡散しにくいからであ
る。
なお、被処理物を800〜1200℃程度に加熱する反応管
であれば、補強部材２そのものを加熱線として使用する
ことができる。
であれば、補強部材２そのものを加熱線として使用する
ことができる。
第１図は本発明による熱処理用反応管の製造方法の工程
の一部を示す説明図、第２図は本発明による熱処理用反
応管の一部を示す概略斜視図である。 １……石英ガラス管 ２……補強部材 ３……石英ガラス管 ４……バーナ ５……石英ガラス製反応管本体
の一部を示す説明図、第２図は本発明による熱処理用反
応管の一部を示す概略斜視図である。 １……石英ガラス管 ２……補強部材 ３……石英ガラス管 ４……バーナ ５……石英ガラス製反応管本体
フロントページの続き (72)発明者 佐々木 泰実 山形県西置賜郡小国町大字小国町378番 地 東芝セラミックス株式会社小国製造 所内 (56)参考文献 特開 昭62−101025（ＪＰ，Ａ) 実開 昭54−100559（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】半導体材料等の被処理物を内部で熱処理す
るための石英ガラス製反応管において、線状の補強部材
を石英ガラスで被覆したうえ石英ガラス製反応管本体の
外表面にスパイラル状に巻き、かつ前記補強部材がM0ま
たはＷで作られていることを特徴とする熱処理用反応
管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62203546A JP2617726B2 (ja) | 1987-08-18 | 1987-08-18 | 熱処理用反応管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62203546A JP2617726B2 (ja) | 1987-08-18 | 1987-08-18 | 熱処理用反応管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6447022A JPS6447022A (en) | 1989-02-21 |
| JP2617726B2 true JP2617726B2 (ja) | 1997-06-04 |
Family
ID=16475931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62203546A Expired - Lifetime JP2617726B2 (ja) | 1987-08-18 | 1987-08-18 | 熱処理用反応管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2617726B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0649583B2 (ja) * | 1989-12-18 | 1994-06-29 | 日本電信電話株式会社 | 光ファイバ加工用小型電気炉 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54100559U (ja) * | 1977-12-26 | 1979-07-16 | ||
| JPS62101025A (ja) * | 1985-10-28 | 1987-05-11 | Toshiba Corp | 半導体製造治具 |
-
1987
- 1987-08-18 JP JP62203546A patent/JP2617726B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6447022A (en) | 1989-02-21 |
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