JP2617721B2 - ウエハ押し上げ具及びウエハ移し替え装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、ウエハ押上げ具及びウエハ移し替え装置
に関する。

従来の技術 半導体装置の製造に際し、ウエハは、キャリアからウ
エハボートに移し替えられたり、または、その逆に移し
替えられるが、この移し替えは、第８図、第９図に示す
ようなウエハ移し替え装置を用いて行われる。

即ち、テーブル１にウエハＷを収容したウエハ容器、
例えば、カセット２を載置し、該ウエハＷをウエハ押し
上げ具３により押し上げえウエハ爪４のウエハ溝５に挿
入し、その後ウエハ爪を矢印A4、方向にそれぞれ回転さ
せて一点鎖線で示す状態4Aにし、ウエハＷをすくい上げ
るようにしながら保持する。

そして、この状態で、ウエハ爪４を水平方向に移動し
て他のウエハ容器、例えば、ウエハボートの真上に位置
せしめ、その後該ウエハ爪４を降下させてウエハＷをウ
エハボートに収容すると共にウエハ爪４を開きウエハＷ
を開放している。

発明が解決しようとする問題点 従来例のウエハ押し上げ具３は、押し上げ板3aの上面
に水平方向の支持溝3bが設けられているが、この支持溝
3bでは、ウエハＷが回転したり、または、水平方向に移
動したりして所謂逃げやずれが生じ、ウエハＷの位置が
変化することがある。

そのため、予め位置合わせしてあるウエハ爪のウエハ
溝と対応しなくなり、ウエハＷの破損事故が生じる事が
ある。

また、ウエハ支持溝3b内に位置するウエハ下端部は、
第９図に示すように、側壁3Cと面接触しながら支持され
るので半円形状の接触部Waが生じ、歩留が悪くなる。

更にウエハ爪４でウエハＷを保持しするときには、前
述のようにウエハ爪４を回すので装置の機構が複雑とな
り操作も面倒になる。

その上、ウエハ爪４の回転にともないウエハＷの外周
縁部（エッジ）がこすられるので、傷がつき歩留が悪く
なる。

この発明は、上記事情に鑑みウエハの逃げやずれを防
止すると共にウエハの接触部を少なく出来るようにする
ことである。他の目的は操作を簡単にし、しかも、ウエ
ハを傷めないようにすることである。

問題を解決するための手段 この発明は、ウエハが収納されている、ウエハ容器を
載置するテーブルの下方に設けられ、かつ、上下動可能
なウエハ押し上げ板を有するウエハ押し上げ具と、該テ
ーブルの上方に設けられ、かつ、前記ウエハ押し上げ板
に対応する、位置に移動可能な一対のウエハ爪を有する
ウエハチャックと、を備えたウエハ移し替え装置におい
て；該ウエハ押し上げ板が、その上面に該ウエハの外周
縁と適合する形状の円弧状支持溝を備えており、該一対
のウエハ爪が、互いに水平方向に摺動して開閉され、該
各ウエハ爪が、その内面に該ウエハの径より若干大きく
形成された円弧状ウエハ溝を備えており、該ウエハが、
前記ウエハ爪の下端部側の円弧状ウエハ溝で支持される
ことを特徴とするウエハ移し替え装置である。

作用 テーブルにウエハの入つたカセットを載置しウエハの
下端部をウエハ押し上げ具の円弧状支持溝に収容しなが
ら該ウエハ押し上げ具を上方に移動し、ウエハを所定位
置まで運ぶ。

この時、ウエハは、円弧状支持溝に収容されているの
で水平方向への移動は阻止されると共にウエハは、その
外周縁に沿って太曲線状に支持溝の側壁と接触する。

次に、ウエハ爪を互いに内方に移動しウエハを円弧状
ウエハ溝に収容すると共に該ウエハ爪を所定位置まで運
びウエハボートにウエハを収容した後該ウエハ爪を互い
に反対方向に移動しウエハを開放する。

この時ウエハは、ウエハ溝の下端部即ちウエハの中心
より下方の位置で支持されながら移動する。

実施例 この発明の一実施例を添付図面により説明するが、同
一図面符号はその名称も機能も同一である。

第１図、第２図は、ウエハ押し上げ具Ｐを示す図で、
押し上げ板10の上面10aにはウエハＷの外周縁W1と適合
する形状の円弧状支持溝11か形成されている。

この支持溝11は、並列に複数個、例えば、25個設けら
てれており、また、その径ｒは、ウエハの径Ｒと等しく
形成されているが、この径ｒはウエハの径Ｒより若干大
きく形成しても良い。

押し上げ板の上面10aは、支持溝11の径ｒより小径の
円弧上面に形成されている。

第３図、第４図は、ウエハチャックＣを示す図で、ウ
エハ爪30とウエハ爪31は、互いに対向しており、その内
面30a、31aには、円弧状ウエハ溝32、33が形成されてい
る。

このウエハ溝32、33は、ウエハＷの外周縁W1と適合す
る形状、即ち、ウエハＷの径Ｒより若干大きい径ｂの円
弧状に形成される。このウエハ溝32、33は、並列に複数
個、例えば、25個設けられるが、その個数は、前記支持
溝11の数と対応している。

なお、ウエハ爪30、31は、開閉自在に、かつ、移動可
能に支持されている。

次に、この実施例の作動について説明すると第５図、
第６図に示すように、テーブル50にウエハＷの入ったカ
セット51を載置した後ウエハ押し上げ具Ｐを上方A10に
移動し、各支持溝11にウエハＷの下端部を収容して10A
の状態にする。

この時、ウエハＷは、その外周縁W1の下端部が支持溝
11の底部と側壁10bに接触して支持されるが、第２図に
示すように、ウエハＷの接触部10cは、ウエハの外周縁W
1に沿って太曲線に形成される。

従って、その接触部10cは、極めて小さい上ウエハの
水平方向への移動が阻止される。

ウエハＷが、所定の位置まで移動したらウエハ押し上
げ具Ｐの移動を停止すると共にウエハ爪30、31を矢印A3
0、31を矢印A30、A31方向に移動して第５図30A、31Aの
状態にしウエハＷを保持する。

この時、ウエハＷは、第４図に示すように、ウエハ溝
32、33の下端部32a、33a、即ち、ウエハＷの中心０より
下方で支持されるので、従来例のようにウエハ爪30、31
を回転させなくてもウエハＷは、落下することが無い。

次にウエハＷを保持しているウエハ爪30、31を第６図
に示すようにウエハボード60の上方に移動すると共にウ
エハ押し上げ具Ｐを上方に移動して支持溝11にウエハＷ
の下端部を収容し第６図10Bの状態にした後ウエハ爪3
0、31を矢印B30、B31方向に移動してウエハＷを開放す
る。

この時、ウエハＷは、前記10Aの状態と同じ状態とな
るので、ウエハＷの接触部10cは、ウエハＷの外周縁W1
に沿って太曲線状に形成される。

従って、その接触部10cは、極めて小さい上ウエハＷ
の水平方向への移動が阻止される。

次に、ウエハ押し上げ具Ｐを下方B10に降下させ、ウ
エハＷをウエハボート60に収容するが、この際、ウエハ
押し上げ具Ｐを使用しないで、例えば、第７図に示すよ
うに、ウエハボート60上に位置するウエハチャックＣを
そのまま下降させウエハＷを直接ウエハボードに移動し
替えても良い。

なお、ウエハボート60からカセット51にウエハＷを移
し替えるときには、前記と逆の要領で行うことは勿論で
ある。

発明の効果 この発明は円弧状ウエハ溝の径が挟持されるウエハの
径より若干大きく形成され、該ウエハが該ウエハ溝の下
端部で支持されるので、挟持されているウエハは、該ウ
エハの中心より下方で支持されることになる。そのた
め、従来例のようにウエハ爪を回転させなくてもウエハ
は落下することがない。

又、ウエハとウエハ押し上げ板の円弧状支持溝及びウ
エハチャックの円弧状ウエハ溝との接触部は、従来例に
比べて極めて小さくなるので、歩留の向上を図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図は、この発明の実施例を示す図、第１図
は、ウエハ押し上げ具の平面図、第２図は、その一部断
面側面図、第３図は、ウエハチャックの平面図、第４図
は、その一部断面側面図、第５図第６図は、各々この発
明の使用状態を示す図、第７図は、他の使用状態を示す
図、第８図は、従来例を示す平面図、第９図は第８図の
一部を示す拡大一部断面図である。 10……押し上げ板 11……円弧状支持溝 30……ウエハ爪 31……ウエハ爪 32……円弧状ウエハ溝 33……円弧状ウエハ溝 Ｃ……ウエハチャック Ｐ……ウエハ押し上げ具 Ｗ……ウエハ

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウエハが収納されているウエハ容器を載置
   するテーブルの下方に設けられ、かつ、上下動可能なウ
   エハ押し上げ板を有するウエハ押し上げ具と、 該テーブルの上方に設けられ、かつ、前記ウエハ押し上
   げ板に対応する位置に移動可能な一対のウエハ爪を有す
   るウエハチャックと、 を備えたウエハ移し替え装置において； 該ウエハ押し上げ板が、その上面に該ウエハの外周縁と
   適合する形状の円弧状支持溝を備えており、 該一対のウエハ爪が、互いに水平方向に摺動して開閉さ
   れ、該各ウエハ爪が、その内面に該ウエハの径より若干
   大きく形成された円弧状ウエハ溝を備えており、 該ウエハが、前記ウエハ爪の下端部側の円弧状ウエハ溝
   で支持される ことを特徴とするウエハ移し替え装置。
2. 【請求項２】円弧状ウエハ溝が、並列に複数個形成され
   ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウ
   エハ移し替え装置。
3. 【請求項３】円弧状ウエハ溝の側壁が、ウエハの下部周
   縁を覆うことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   ウエハ移し替え装置。