JP2614026B2 - 気化ガス供給装置 - Google Patents
気化ガス供給装置Info
- Publication number
- JP2614026B2 JP2614026B2 JP6322664A JP32266494A JP2614026B2 JP 2614026 B2 JP2614026 B2 JP 2614026B2 JP 6322664 A JP6322664 A JP 6322664A JP 32266494 A JP32266494 A JP 32266494A JP 2614026 B2 JP2614026 B2 JP 2614026B2
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- JP
- Japan
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- temperature
- vaporized gas
- pressure
- container
- liquid source
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
- C03B19/1415—Reactant delivery systems
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は気化ガス供給装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の気化ガス供給装置は、図３に示す
ように、密閉され入力側のバルブ２を開いて注入された
液体ソース５をヒータ６で加熱して気化させ、気化ガス
を得るための気化容器１５と、熱電対７により気化容器
１５内の液体ソースの温度を検出する温度センサ８の信
号を用いヒータ６の温度を制御して気化容器１５内の飽
和蒸気圧を一定に保つための温度調節器１６と、出力側
のバルブ３を開いて反応炉に送出する気化ガスの流量を
制御するマスフローコントローラ４とを備えて構成され
る。
ように、密閉され入力側のバルブ２を開いて注入された
液体ソース５をヒータ６で加熱して気化させ、気化ガス
を得るための気化容器１５と、熱電対７により気化容器
１５内の液体ソースの温度を検出する温度センサ８の信
号を用いヒータ６の温度を制御して気化容器１５内の飽
和蒸気圧を一定に保つための温度調節器１６と、出力側
のバルブ３を開いて反応炉に送出する気化ガスの流量を
制御するマスフローコントローラ４とを備えて構成され
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の気化ガス供
給装置は、気化ガスの送出を停止している状態では、液
体ソースは一定温度に保持され、気化容器内はその温度
における液体ソースの飽和蒸気圧に保たれているが、図
４に示すように、気化ガスの送出を開始して気化容器内
の圧力降下が生じたときにも液体ソースの温度が殆ど変
化せず、加熱用ヒータの温度も変らず、その結果、蒸発
量が圧力降下を補償できないため、圧力変化に影響を受
け易いマスフローコントローラの流量制御に変調を来た
し送出ガスの流量が不足するという問題があった。この
現象は、枚葉式のＣＶＤ装置において特に大きな影響を
与えるという欠点があった。
給装置は、気化ガスの送出を停止している状態では、液
体ソースは一定温度に保持され、気化容器内はその温度
における液体ソースの飽和蒸気圧に保たれているが、図
４に示すように、気化ガスの送出を開始して気化容器内
の圧力降下が生じたときにも液体ソースの温度が殆ど変
化せず、加熱用ヒータの温度も変らず、その結果、蒸発
量が圧力降下を補償できないため、圧力変化に影響を受
け易いマスフローコントローラの流量制御に変調を来た
し送出ガスの流量が不足するという問題があった。この
現象は、枚葉式のＣＶＤ装置において特に大きな影響を
与えるという欠点があった。
【０００４】本発明の目的は、気化容器内の圧力を一定
にしてマスフローコントローラを安定に作動させ気化ガ
スの流量制御の精度を向上させることにある。
にしてマスフローコントローラを安定に作動させ気化ガ
スの流量制御の精度を向上させることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の気化ガス供給装
置は、密閉され且つ容積を可変できる容器内に注入され
た液体ソースをヒータで加熱して気化ガスを発生させる
気化容器と、前記気化容器から送られる気化ガスの流量
を制御して反応炉に供給するマスフローコントローラ
と、前記気化容器内の圧力を検出する圧力センサと、前
記液体ソースの温度を検出する温度センサと、前記圧力
センサおよび温度センサの信号により前記ヒータの温度
を制御する温度調節器と、前記圧力センサの信号により
前記気化容器の容積を制御するアクチュエータとを備え
ている。
置は、密閉され且つ容積を可変できる容器内に注入され
た液体ソースをヒータで加熱して気化ガスを発生させる
気化容器と、前記気化容器から送られる気化ガスの流量
を制御して反応炉に供給するマスフローコントローラ
と、前記気化容器内の圧力を検出する圧力センサと、前
記液体ソースの温度を検出する温度センサと、前記圧力
センサおよび温度センサの信号により前記ヒータの温度
を制御する温度調節器と、前記圧力センサの信号により
前記気化容器の容積を制御するアクチュエータとを備え
ている。
【０００６】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００７】図１は本発明の一実施例を説明するための
模式的ブロック図である。
模式的ブロック図である。
【０００８】図１に示すように、密閉された容器の一部
にベローズ（ｂｅｌｌｏｗｓ）等を設けて容積を可変で
きるようにした気化容器１内に入力側のバルブ２を開け
て注入したＴＥＯＳ等の液体ソース５をヒータ６で加熱
して気化させ、気化ガスが所望の圧力を得るために見合
う液体ソース５の温度を熱電対７を用いた温度センサ８
の信号と圧力センサ９の信号により温度調節器１０を作
動させてヒータ６に供給する電力を制御して気化容器１
内の圧力を一定に保持する。
にベローズ（ｂｅｌｌｏｗｓ）等を設けて容積を可変で
きるようにした気化容器１内に入力側のバルブ２を開け
て注入したＴＥＯＳ等の液体ソース５をヒータ６で加熱
して気化させ、気化ガスが所望の圧力を得るために見合
う液体ソース５の温度を熱電対７を用いた温度センサ８
の信号と圧力センサ９の信号により温度調節器１０を作
動させてヒータ６に供給する電力を制御して気化容器１
内の圧力を一定に保持する。
【０００９】この状態で出力側バルブ３を開きマスフロ
ーコントローラ４を介して反応炉へ気化ガスを送出する
と、図２（ａ）に示すように、気化容器１内の圧力が低
下し、送出ガス流量も低下するが、圧力センサ９の電位
変化量によりヒータ６の温度を上げて蒸発量を増加させ
て容器内圧力を上げることで送出ガス流量も回復させる
ことができるが、気化ガスの送出開始直後や停止直後の
圧力変動には追従しきれない。
ーコントローラ４を介して反応炉へ気化ガスを送出する
と、図２（ａ）に示すように、気化容器１内の圧力が低
下し、送出ガス流量も低下するが、圧力センサ９の電位
変化量によりヒータ６の温度を上げて蒸発量を増加させ
て容器内圧力を上げることで送出ガス流量も回復させる
ことができるが、気化ガスの送出開始直後や停止直後の
圧力変動には追従しきれない。
【００１０】そこで、圧力センサ９の信号でアクチュエ
ータコントローラ１１を作動させアクチュエータ１２を
制御することにより、図２（ｂ）に示すように、気化容
器１内の圧力を一定に保持できるようになり、マスフロ
ーコントローラ４に一定圧力で気化ガスを供給できるた
め、送出ガス流量を変動させることなく安定に制御する
ことができるようになる。
ータコントローラ１１を作動させアクチュエータ１２を
制御することにより、図２（ｂ）に示すように、気化容
器１内の圧力を一定に保持できるようになり、マスフロ
ーコントローラ４に一定圧力で気化ガスを供給できるた
め、送出ガス流量を変動させることなく安定に制御する
ことができるようになる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、密閉容器
の容積を可変可能にした気化容器の圧力を検出する圧力
センサの信号により、アクチュエータを作動させて気化
容器の容積を調節し、且つ液体ソースの温度センサと圧
力センサの信号によりヒータの温度を制御することによ
り、気化容器内の気化ガスの圧力を一定にしてマスフロ
ーコントローラによる送出ガス流量の変動を抑えること
ができるという効果を有する。
の容積を可変可能にした気化容器の圧力を検出する圧力
センサの信号により、アクチュエータを作動させて気化
容器の容積を調節し、且つ液体ソースの温度センサと圧
力センサの信号によりヒータの温度を制御することによ
り、気化容器内の気化ガスの圧力を一定にしてマスフロ
ーコントローラによる送出ガス流量の変動を抑えること
ができるという効果を有する。
【図１】本発明の一実施例を説明するための模式的ブロ
ック図。
ック図。
【図２】本発明の気化ガス供給装置の動作を説明するた
めの波形図。
めの波形図。
【図３】従来の気化ガス供給装置の一例を説明するため
の模式的ブロック図。
の模式的ブロック図。
【図４】従来の気化ガス供給装置の動作を説明するため
の波形図。
の波形図。
１，１５ 気化容器 ２，３ バルブ ４ マスフローコントローラ ５ 液体ソース ６ ヒータ ７ 熱電対 ８ 温度センサ ９ 圧力センサ １０，１６ 温度調節器 １１ アクチュエータコントローラ １２ アクチュエータ
Claims (1)
- 【請求項１】 密閉され且つ容積を可変できる容器内に
注入された液体ソースをヒータで加熱して気化ガスを発
生させる気化容器と、前記気化容器から送られる気化ガ
スの流量を制御して反応炉に供給するマスフローコント
ローラと、前記気化容器内の圧力を検出する圧力センサ
と、前記液体ソースの温度を検出する温度センサと、前
記圧力センサおよび温度センサの信号により前記ヒータ
の温度を制御する温度調節器と、前記圧力センサの信号
により前記気化容器の容積を制御するアクチュエータと
を備えたことを特徴とする気化ガス供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6322664A JP2614026B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 気化ガス供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6322664A JP2614026B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 気化ガス供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08173791A JPH08173791A (ja) | 1996-07-09 |
| JP2614026B2 true JP2614026B2 (ja) | 1997-05-28 |
Family
ID=18146230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6322664A Expired - Lifetime JP2614026B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 気化ガス供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2614026B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021124723A1 (ja) * | 2019-12-16 | 2021-06-24 | 株式会社フジキン | 気化供給方法及び気化供給装置 |
-
1994
- 1994-12-26 JP JP6322664A patent/JP2614026B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08173791A (ja) | 1996-07-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970114 |