JP2612949B2

JP2612949B2 - 光ファイバプリフォーム母材の製造方法

Info

Publication number: JP2612949B2
Application number: JP2336990A
Authority: JP
Inventors: 清横川
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 1990-02-01
Filing date: 1990-02-01
Publication date: 1997-05-21
Anticipated expiration: 2012-05-21
Also published as: JPH03228845A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は光ファイバプリフォーム母材の製造方法、特
には光ファイバーの構造特性を低下させることなく、大
型の光ファイバプリフォーム母材を高速で生産すること
のできる光ファイバプリフォーム母材の製造方法に関す
るものである。

（従来の技術）光ファイバプリフォームの製造については開発の初期
においてはコア（芯）用ガラスにガラス管を被覆すると
いう方法（特公昭41−11071号公報参照）で行なわれて
いたが、近年における特性、精度の著しい向上とプリフ
ォームサイズの大型化に伴なって気体ガラス原料を酸水
素火炎バーナーに導入し、その火炎加水分解で生成した
ガラス微粒子を回転しているコア用ガラス棒の外周に吹
きつけ、該バーナーまたはコア用ガラス棒のいずれか一
方（以下説明を簡単にするためにバーナー移動で説明す
る）を軸方向に平行に往復運動させることによって該ガ
ラス微粒子をコア用ガラス棒上に一層づつ積層させて多
孔質ガラス母材を形成させ、ついでこれを加熱し脱水、
透明ガラス化して光ファイバプリフォームとする方法
（特開昭49−84258号公報参照）に移行してきている。

しかして、この種の光ファイバプリフォームの製造方
法については垂直方向に連続して堆積する方法（特開昭
55−116638号公報参照）、多孔質ガラス母材に複数本の
バーナーから組成の異なるガラス形成原料を供給すると
共に芯棒をバーナーに対して相対的に往復運動させ、１
回の移動ごとにガラス形成原料の組成を変えることによ
って、半径方向に所望の屈折率分布を有するプリフォー
ムを得るという方法も提案されているし（特開昭57−18
3330号公報参照）、芯棒を回転させると共に長手方向に
運動させ、ガラス粒子の生成に振動運動を与える方法
（特開昭56−120528号、特開昭58−9835号公報参照）、
製造しようとするコア用ガラス棒の長さＬとほぼ等しい
長さの横幅をもつ薄型の酸水素火炎バーナー、または多
数の酸水素火炎バーナーを横に一列に並べてバーナー列
を作り、移動を行なわないでガラス微粒子をコア用ガラ
ス棒に吹きつける方法（特開昭53−70449号公報参
照）、さらに光ファイバ母材ではないが複数のバーナー
に供給されるガス量を調整するか、バーナー面とガラス
微粒子の堆積面との距離を調整し、あるいは耐熱性基体
の回転数を調整してガラス微粒子の堆積密度を半径方向
に沿って変化させて多孔質ガラス母材のひび割れを防止
する方法（特開昭64−9821号公報参照）も知られてい
る。

（発明が解決しようとする課題）しかし、これら従来の公知の方法で光ファイバプリフ
ォーム母材を製造しようとすると、特開昭49−84258号
公報に開示されている方法ではバーナーが一本であるた
めにガラス微粒子の堆積速度が遅いし、長尺、太径のも
のを製造する場合には熱量が不足し、堆積シリカ層が機
械的強度の小さいものとなるのでひび割れが発生すると
いう不利があり、特開昭56−120528号、特開昭57−1833
30号、特開昭58−9835号公報などに開示されている方法
にはコア層、クラッド層が一工程で得られるという利点
があるものの、コア層、クラッド層とも密度の低いもの
となるので大型化するときの取扱いが困難となるし設備
が大型化し、コアの屈折率分布が不明のまゝこれに厚い
クラッド層が付着されるので製品が目標値と外れたもの
になるという欠点があり、さらに特開昭53−70449号公
報に開示されている方法ではバーナーのスリットから噴
出するガスがコア用ガラス棒の全長上で同一の条件にす
るということが保証できないので、各バーナーおよびバ
ーナー間で堆積ムラが生じ、現実的には得られるプリフ
ォーム母材の堆積厚さの精度がわるくなり、特開昭64−
9821号公報に開示されている方法では堆積速度が早く、
大型のものが作れるという利点はあるものの、長さ方向
に一定の振幅で往復するのでこれにはバーナーの停止点
と移動部が常に同一位置でくり返されるために堆積ムラ
が生じ、得られる堆積体は表面に凹凸をもつものとなる
し、芯材としてのアルミニウムが金属不純物としてシリ
カ層にドープされるという欠点があるので光ファイバ母
材の製造用には利用できない。

（課題を解決するための手段）本発明はこのような不利を解決した光ファイバプリフ
ォーム母材の製造方法に関するものであり、これは気体
状ガラス原料を酸水素火炎バーナーに導入し、その火炎
加水分解によって生成したガラス微粒子を回転している
コア用ガラス棒の外周に吹きつけ、該バーナーまたはガ
ラス棒を軸方向に平行に相対的に往復運動させることに
よって該ガラス微粒子をコア用ガラス棒上に一層づつ積
層させて多孔質ガラス母材を形成させ、ついでこれを加
熱し、脱水、透明ガラス化して光ファイバプリフォーム
母材を製造する方法において、該コア用ガラス棒に対向
してその全長にわたり少なくとも３個以上の同一寸法の
バーナーを一定等間隔で配置し、これを１体としたバー
ナー列としその往復運動の開始位置を３点以上順次移動
分散させながらガラス微粒子を堆積させることを特徴と
するものである。

すなわち、本発明者らは光ファイバの構造特性を低下
させることなく、大型の光ファイバプリフォーム母材を
高速で生産する方法について種々検討した結果、従来公
知の多数個のバーナーを使用する場合には各バーナーお
よびバーナー間でガラス微粒子の堆積ムラが生じ、これ
を緩和するためにバーナーを移動させると停止点と移動
点でガラス微粒子の堆積ムラが生じ、得られる多孔質ガ
ラス母材は表面が凹凸をもつものになるので、本発明に
したがってここに使用する複数個のバーナーを同一設計
寸法のものに特定すると共にこのバーナー間隔を等間隔
とし、しかもこのバーナーの往復運動の開始位置を同じ
位置に止めないようにできるだけ異なる場所に分散する
ように順次移動させると、移動距離が特定されているこ
とから各バーナー停止位置も順次移動されるし、バーナ
ー寸法、堆積条件が一定のものとされているので、各バ
ーナー間におけるガラス微粒子の堆積ムラが最小とさ
れ、このバーナー間隔が一定とされているのでバーナー
移動部の堆積ムラも少なくなり、さらには往復運動の開
始位置を順次移動すれば停止点が毎回変るので停止点と
移動点との間における堆積ムラが平均化されるので、結
果において多孔質ガラス母材を表面に凹凸のないものと
することができ、したがってこれを透明ガラス化すれば
均質な光ファイバプリフォーム母材を容易に得ることが
できることを見出して本発明を完成させた。

以下にこれをさらに詳述する。

（作用）本発明による光ファイバプリフォーム母材の製造は気
体状ガラス原料を酸水素火炎で加水分解して生成させた
ガラス微粒子をコア用ガラス棒上に堆積させて多孔質ガ
ラス母材を作る際に同一設計寸法のバーナーの複数個を
等間隔で配置し、その往復運動の開始位置を順次移動分
散させるというものである。

本発明における光ファイバプリフォーム母材の製造は
基本的には公知の方法で行なわれる。したがって、これ
は四塩化けい素などのような気体状ガラス原料を酸水素
火炎バーナーに導入し、ここでの火炎加水分解で発生し
たガラス微粒子をバーナー列の移動または、回転してお
りかつその軸方向に平行に相対的に往復運動しているコ
ア用ガラス棒に吹きつけてこのガラス微粒子をコア用ガ
ラス棒の上に一層づつ堆積して多孔質ガラス母材を作
り、ついでこの多孔質ガラス母材を高温に加熱して脱
気、透明ガラス化するという方法で行なわれる。

ここに使用されるコア用ガラス棒は目的とする光ファ
イバプリフォーム母材のコア部となるものであることか
ら公知のVAD法、OVD法、MCVD法などで作られたグレーデ
ットインテックス型またはシングルモード型などのプロ
ファイルをもち、一定のクラッド層が存在し、ガラス化
後の屈折率、寸法などの構造パラメーターが測定確認さ
れたものが望ましい。コア用ガラス棒の全長は外径変動
が５％以下となるように仕上げたのち表面を洗浄し、フ
ァイヤーポリッシュしたものとすることが好ましい。

このコア用ガラス棒に対するガラス微粒子の堆積は堆
積速度を高めるためには原料ガスをできるだけ多く送る
必要があり、そのためにはガスの濃度を高めるか、大量
送付のためにバーナーを太くするか、バーナーの数を多
くすればよいが、一本のバーナーでは限界があるので、
本発明では少なくとも３本以上のバーナーとする方法が
とられている。これらのバーナー２・・・は第１図に示
されているようにコア用ガラス棒１に対向して直列に並
置され、これらはバーナー台３に固定されてコア用ガラ
ス棒に平行にバーナー列またはコア用ガラス棒のどちら
か一方を往復運動するようにされている。このバーナー
２・・・には基本ガスとしては水素ガス送入パイプ４、
酸素ガス送入パイプ５、キヤリアーガス（例えば酸素ガ
ス）に同伴された四塩化けい素送入パイプ６からのガス
が送入され、これが火炎７を形成し、この火炎加水分解
で発生したガラス微粒子がコア用ガラス棒１の上に堆積
して多孔質ガラス母材８が形成されるのであるが、多孔
質ガラス母材８の表面を凹凸の少ないものとするという
ことから、ここに使用されるバーナー２・・・はすべて
同一のデイメンシヨンで設計された例えば石英製の同心
円状多重管バーナーとし、各バーナーによる堆積条件を
同一のものとすることから、これらのバーナーはそれぞ
れ独立にガス条件がコントロールできる制御機構Ｃを備
えたものが望ましい。これらのバーナー２・・・はその
バーナー出口とガラス微粒子堆積面との距離がいずれの
バーナーも同一となるように設置することが好ましい
が、この各バーナー間の間隙は隣接する火炎同志の干渉
効果を低減させるということから火炎７の堆積体表面で
の炎の拡がりの1.5倍〜2.5倍の範囲で等間隔となるよう
にすればよい。炎の拡りは衝突面の径、ガスの線速、距
離に依存し、堆積の進行に伴なって拡大していくが、堆
積効率は太い径のほうがよいので、バーナー間隔は太い
堆積径を基準として決めるのがよい。また、図には多孔
質ガラス母材８の両側終端部が加熱バーナー９の火炎10
で加熱されていることが示されているが、これは終端部
ではガラス微粒子が密度の小さいものとなるし、この部
位には応力集中が起り易く、したがってこの部分でびび
割れなどが発生し易いことからこの部分を常時加熱して
密度を高くしておけばよい。

このような装置でコア用ガラス棒を回転させ、全バー
ナーに着火し、バーナー列とガラス棒を相対的に往復運
動させて、気体状ガラス原料の火炎加水分解で発生した
ガラス微粒子をコア用ガラス棒に堆積させて多孔質ガラ
ス母材を作ると、各バーナーが同一寸法のものとされ、
かつ堆積条件を合せているのでコア用ガラス棒に堆積さ
れるガラス微粒子の量は各部位において略々同量となる
が、往復運動時には当然一時停止して逆方向に運動が開
始されるので停止位置においては移動部にくらべてどう
しても堆積量が変り、これは長時間同じ位置で繰り返さ
れると可成り大きな差となってきて結果において目的と
する多孔質ガラス母材が第２図（ａ）のような凹凸をも
つものになる。

本発明はこのような不利を解決するためにこの往復運
動の開始位置を３点以上に順次移動させるものであり、
これによれば例えば第２図（ｂ）に示したようにバーナ
ー群の往復運動の開始位置がずれると、第２図（ａ）で
示した変形が軽減される。停止点のずれをさらに多くす
ると第１図のようになり、バーナーの停止による堆積厚
さの変動部分が順次ずれ込み、これをくり返していれば
この堆積量の変化が全体的に分散平均化されて目的とす
る多孔質ガラス母材は表面に凹凸のないものになるとい
う有利性が与えられる。

この発明では移動開始点を全体に分散させることが目
的とされるので、２点のバーナー間距離内では開始点の
多いほうが好ましい。本発明の移動開始点は第１図のよ
うに一方向の場合が基準とされるが、第２図（ｂ）、
（ｃ）に示したように往復、ジクザグ移動、またはラン
ダム移動が可能である。また１回毎ではなく、数回を単
位に開始点を移動したり、径の増大につれて変えるな
ど、目的、条件によってこれらを組合せてもよいが、い
ずれの場合も定常部の層の数が実質的に常に一定となる
ように移動スケジュールを定めることが重要である（第
２図、ｂ、ｃ図）。移動開始点は順次ずらせるが、隣接
バーナー位置までずれた点を１ユニットとし、少なくと
も１〜３ユニット間でくり返すことが望ましい。ユニッ
トが大きくなると、表面の平滑性は良好となるが、全長
の両端テーパー部がユニット数に比例して長くなり、無
駄となる（第３図）。付着量は重量検出装置などで連続
的に計測し、目標重量近くでは停止線の位置を幅広くと
り、層の数に過不足がなく、かつ目標重量が得られるよ
うなスケジュールで進めることがよい。

このようにバーナーの往復移動距離が大きいと両端の
テーパー部が増加し、定常部は減少するので、これは隣
接バーナー間隔の３倍を越えない範囲とすることがよ
く、さらにこのバーナーの往復運動の開始位置の間隔は
バーナー間隔、コア用ガラス棒の径、堆積体の径、バー
ナーの口径、炎の太さなどにより変るが、これが大きい
と効果が少なく、小さいと時間的に厚さ方向での堆積
量、密度などが異なり、変形を促進するので、バーナー
間隔の1/2〜3mmの範囲とすることがよい。

なお、このようにして得られた多孔質ガラス母材にお
けるガラス微粒子は密度が低くすぎるとガラス母材にひ
び割れが発生して取り扱い難いものとなるので堆積径が
大きいものは平均堆積密度も大きく設定し、少なくとも
0.3〜1.5g/cm³のものとすることが好ましいが、この多
孔質ガラス母材におけるガラス微粒子の堆積重量および
密度を調節するためには水素量、酸素量、気体状ガラス
原料の量比などのガス条件、バーナー出口の線速、バー
ナー出口と堆積面の距離、コア用ガラス棒の回転数、バ
ーナー火炎の移動速度などの１つまたは２つ以上をコン
トロールすればよい。

バーナー移動を行なうとバーナーやバーナー台、配管
などが移動の振動を受け、異物を発生し、堆積体表面に
付着し、気泡発生の原因となるので、移動はガラス棒で
行なうことが好ましい。また、これは横型だけでなく、
タテ型で行なうことも可能であり、軸移動で行なうと開
口部が少なく、外部からの異物を遮断できる。

この反応装置は排気口、給気口、バーナー差し込み口
および主回転伝達部の一部を除いて密閉にしておくこと
がよく、これによればゴミの付着、バーナー炎のゆれが
防止され、排ガスの管理ができるので、気泡のない多孔
質ガラス母材を容易に得ることができるという有利性が
与えられる。

なお、このようにして得られた多孔質ガラス母材はつ
いで公知の方法で透明ガラス化して光ファイバプリフォ
ーム母材とされるのであるが、この透明ガラス化は電気
炉中において必要に応じ添加する塩素ガス、SOCl₂、SiC
l₄、フッ素ガスなどを含むヘリウム、アルゴン、窒素ガ
スなどの不活性ガス雰囲気中で1,000℃以上に加熱して
脱水、透明ガラス化すればよく、このようにして得られ
た光ファイバプリフォーム母材はガラス旋盤または電気
炉で延伸加工し、プリフォームアナライザーによってプ
ロファイル検定およびデイメンジョンを確認し最終製品
とされる。

（実施例）つぎに本発明の実施例をあげる。

実施例１横型外付装置に直径20mmφ長さ800mmLの石英ガラス棒
を取りつけた。この石英棒の側面に対向して同一寸法で
設計された四重管同心円バーナーを中心間距離100mmで
６本を等間隔に並べ、その両端に加熱バーナーを取りつ
けた。各バーナーの中心軸は石英ガラス棒の軸中芯と合
うようにし、その距離を同一にしてバーナー台に固定し
た。各バーナーの炎はあらかじめ調べ、炎の形、温度が
同一になるよう、バーナーの向き、ガス条件を合わせ
た。

外付装置の回転数を30rpmで回転させ、バーナー列に
ガスを流して点火しバーナー列を60mm/minで往復運動さ
せた。バーナーは100mm移動したら逆方向にもどること
を確認し、左端で止った時点からキヤリヤーガスに同伴
させた四塩化珪素を流した。原料は炎の中で火炎加水分
解してシリカ微粒子を生成し、ガラス棒の表面に堆積し
た。バーナー列は100mm右を移動した時点で５秒間停止
し、次いで左側に60mm/minの速度で90mm移動させた。左
側へ移動してきたバーナー列は最初のスタート位置の10
mm手前で止めるが、この時点で各バーナーは各々10mm手
前で止まるので、堆積層は左側移動時には100mmおきに1
0mmずつ層が途切れた。次に５秒間停止后２回目のスタ
ートを行い100mm右に移動し、１回目より10mm右でバー
ナー列を止め、そして左へ90mm移動した。この停止点は
１回目のスタート開始点から20mm右にずれた点で、層は
各々10mmづつ途切れた。これを10回繰り返すと、スター
トから100mm右にずれた点が移動開始点のスタート点と
なり、これは第２バーナーの１回目の移動開始点にあた
り、これが１ユニットである。１往復につき10mmずつ不
足の層を生じたが10回の繰り返しで１層分（100mm）欠
け19層堆積した事になるが、１ユニット、100mm間にバ
ーナーの停止点は11ケ所、堆積層の途切れた異常点は10
ケ所に均等に分散された。

次に移動の開始点を順次左へずらせるが、スタートは
100mm右へずれた開始点からはじまり、まず100mm右へさ
らに移動させる。次に左へ移動するとき110mm移動す
る。すると各堆積層の左側で10mmだけ重ねて堆積され
る。左端で５秒間停止后右へ100mm移動させ、停止后再
び左へ110mm移動する。この動作を10回繰り返すと左端
のスタート点にもどる。左へもどる時は、１往復につき
10mmずつ重ねて堆積されるので１ユニットが終ると堆積
層が21層と１層多くなり、右へ移動時の19層と合せて40
層となる。

本実施例ではこのユニット間を４往復、移動堆積層が
160層で終了した。

ガス条件は堆積の途中で増加させ、特にユニットの切
りかえ時に大きく変えて、最終的にはH₂ 28/min、O₂
36/min、SiCl₄ 24g/min流した。また、これらの位置
移動、ガスの切りかえは全てコンピュータにより行っ
た。

作成した堆積体は、両端に約120mmLのコーン部を持っ
た均一な白色スートで、直胴部長さが約410mm、直径145
mmφ堆積物の重量は4.95kgで凸凹のない非常に平滑なス
ートが得られた。

このスートは1,520℃の電気炉で５％の塩素ガスを含
むHeガスを流しながら溶解したが、直胴部400mm間には
異常な径変動は無かった。

比較例１実施例１で用いた装置で、次の３種類の実験を行っ
た。（Ａ）は１本バーナーで600mmの全長を往復移動さ
せた。（Ｂ）は２本バーナーで600mmの範囲を往復移動
（定常部は400mm）した。但しこれは定常部は１回の移
動で２本バーナー堆積により２層となる。（Ｃ）は実施
例と同じ６本バーナーで100mm間を定点移動させた。層
の数はいずれも160層とし各方法とも合せた。バーナー
数が少ないと堆積している時間より冷却されている時間
が長くなり、熱量が不足するので酸水素量を多くした。
これ等の比較例を実施例１とともに第１表に示す。

比較例のＣは３時間を過ぎると変形部分が強調され出
し、次第に径が凹凸となるのでこれ以上堆積する事は困
難であり、堆積効率が著しく低下してきた。

実施例２直径24.0mmφ、長さ620mmLのシングルモード用コア石
英ガラス棒を準備しその両端にダミー用石英棒を溶接し
た。この条件で全体の芯を合せ、コア用石英ガラス棒の
外径変動が±200μ（±0.83％）以下となるようガラス
旋盤で修正した。コア部は英国ヨーク社製プリフオーム
アナライザーＰ−101により構造パラメータを測定し、
完成したプリフオームに必要なクラッドの厚さを計算で
求めた。

コア用石英ガラス棒はアセトンで表面の汚れを掃きと
り、タテ型の密閉式外付装置の回転部に垂直に装着し
た。回転駆動部はコアガラス棒を装着したまま秤量台に
載せられ、更にこの秤量台は上下に移動可能な大型引上
機の可動台に固定した。垂直に設置されたコア用ガラス
棒は回転させて軸芯を合せた后30rpmで回転させた。

バーナーは実施例１に用いた同心円状四重管バーナー
を８個、100mm等間隔でタテに直列に並べ固定した。排
気はバーナーの反対側にとりつけ、チャンバーの上下か
ら清浄な空気を送入した。ガス条件は実施例１に準じ
た。ガスを点火し、引上機を昇降させ移動速度を60mm/m
inに設定した。ガラス棒上に異物、欠陥が無いことを確
認し、コア用石英ガラス棒の最下端部よりSiCl₄ガスを
流し、100mm間を１ユニットとし位置の移動を10mmづつ
ずらせ、20往復、40層で元のスタート位置にもどった。
これを４回繰り返した后、重量調節のため停止点の間隔
を変えた。第１回目の調整はずれ間隔を25mmとし、５点
間移動を行い20層付着させた（第２図Ｃ）。第２調整は
３点間移動（第２図ｂ）を１回６層、最終的に２点間移
動（第２図ａ）を４回行い目標重量を達成した。でき上
ったスートは表面が一様で凹凸は全く無いものであり層
の数は190層、スートの重量6.046kg、時間は5.48時間で
あった。これを1,520℃、ヘリウム、塩素ガス中で脱
水、溶融したところ、78.9mmφの透明なインゴツトが得
られた。

本インゴットは電気炉を用い外径47φに延伸し定常部
を線引した。本ファイバの特性値は第３表に示すとおり
安定し、クラッド層の変動は全く見られなかった。

（発明の効果）本発明による光ファイバプリフォーム母材の製法は前
記したように気体状ガラス原料の火炎加水分解で発生し
たガラス微粒子をガラス棒に堆積して多孔質ガラス母材
を製造するときに、ガラス棒に対向してその全長にわた
り複数個の同一寸法のバーナーを一定間隔で配置し、そ
の往復運動の開始位置を順次移動分散させるというもの
であり、これによれば往復運動における停止点がずれる
ので長時間の運転後には得られる多孔質ガラス母材の表
面における凹凸が平均的に均一化され、構造特性を低下
させることなく、また軸移動を行ない、反応チャンバー
を密閉にすることで気泡の低減も可能となり、大型の光
ファイバプリファーム母材を生産性よく容易に得ること
ができるという有利性が与えられる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法に使用される多孔質ガラス母材製
造装置の縦断面図を示したものであり、第２図は本発明
の方法におけるバーナー群の往復運動の開始位置を順次
移動させることを示す模式図を、また第３図は１ユニッ
トをバーナー距離の２倍、３倍に拡大したときの末端部
の形状を示したものである。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】気体状ガラス原料を酸水素火炎バーナーに
導入し、その火炎加水分解で生成したガラス微粒子を回
転しているコア用ガラス棒の外周に吹きつけ、該バーナ
ーまたはガラス棒を軸方向に平行に相対的に往復移動さ
せることによって該ガラス微粒子をコア用ガラス棒上に
一層づつ積層させて多孔質ガラス母材を形成させ、つい
でこれを加熱し脱水、透明ガラス化して光ファイバプリ
フォーム母材を製造する方法において、該コア用ガラス
棒に対向してその全長にわたり少なくとも３個以上の同
一寸法のバーナーを一定等間隔で配置し、その往復運動
の開始位置を３点以上に順次移動分散させながらガラス
微粒子を堆積させることを特徴とする光ファイバプリフ
ォーム母材の製造方法。
【請求項２】往復運動距離および運動開始位置の最大ず
れ幅は隣接バーナー間隔の１倍以上３倍以下の範囲とさ
れる請求項１に記載した光ファイバプリフォーム母材の
製造方法。
【請求項３】往復運動の開始位置の移動が3mm以上バー
ナー間距離以内とされる請求項１に記載した光ファイバ
プリフォーム母材の製造方法。
【請求項４】移動開始点は遂次移動またはランダム移動
で行ない、いずれの場合も実質的に堆積層の数が等し
く、停止位置が等間隔である請求項１に記載した光ファ
イバプリフォーム母材の製造方法。
【請求項５】往復運動がコアガラス棒で行なわれる請求
項１に記載した光ファイバプリフォーム母材の製造方
法。