JP2605158B2 - 平坦度測定装置 - Google Patents
平坦度測定装置Info
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- JP2605158B2 JP2605158B2 JP2047824A JP4782490A JP2605158B2 JP 2605158 B2 JP2605158 B2 JP 2605158B2 JP 2047824 A JP2047824 A JP 2047824A JP 4782490 A JP4782490 A JP 4782490A JP 2605158 B2 JP2605158 B2 JP 2605158B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は長手方向に移動する帯状体上の幅方向の複数
箇所で帯状体表面の平坦度を測定する平坦度測定装置に
関する。
箇所で帯状体表面の平坦度を測定する平坦度測定装置に
関する。
［従来の技術］ 製鉄所における熱間圧延ラインにおいて、圧延体の幅
方向の中央部が伸びる中伸び状態，周辺部の形状が波打
つ耳波状態等の形状不良を検出するために、検査ライン
には帯状の圧延体表面の平坦度を測定する平坦度測定装
置がオンライン設置されている。
方向の中央部が伸びる中伸び状態，周辺部の形状が波打
つ耳波状態等の形状不良を検出するために、検査ライン
には帯状の圧延体表面の平坦度を測定する平坦度測定装
置がオンライン設置されている。
この種の平坦度測定装置合においては種々の手法で平
坦度を定量的に検出できる装置が開発されているが、そ
のような手法の一つとして、帯状体上の幅方向の複数箇
所で帯状体表面の平坦度を測定する平坦度測定装置が提
唱されている（特開昭61−178608号公報）。
坦度を定量的に検出できる装置が開発されているが、そ
のような手法の一つとして、帯状体上の幅方向の複数箇
所で帯状体表面の平坦度を測定する平坦度測定装置が提
唱されている（特開昭61−178608号公報）。
第６図は上述した手法で平坦度を測定する平坦度測定
装置の概略構成を示す模式図である。長手方向に一定速
度Ｖで移動する帯状体１の上方位置に帯状体１の幅方向
に複数の距離測定器２が配設されている。各距離測定器
２は、一定時間Δｔ毎に距離測定器２から帯状体１の表
面までの距離Ｙを測定して、それぞれ距離信号を次のロ
ーバスフィルタ３を介して弧長演算器４へ送出する。弧
長演算器４は、第７図に示すように、時刻tiと一定時間
Δｔ経過後の時刻ti+1における距離Yi,Yi+1、および該
当時間Δｔ内の移動距離ΔXi（＝Ｖ・Δｔ）から（１）
式に基づいて該当距離ΔXiにおける帯状体１の表面の長
さ、すなわち弧長ΔSiが算出される。
装置の概略構成を示す模式図である。長手方向に一定速
度Ｖで移動する帯状体１の上方位置に帯状体１の幅方向
に複数の距離測定器２が配設されている。各距離測定器
２は、一定時間Δｔ毎に距離測定器２から帯状体１の表
面までの距離Ｙを測定して、それぞれ距離信号を次のロ
ーバスフィルタ３を介して弧長演算器４へ送出する。弧
長演算器４は、第７図に示すように、時刻tiと一定時間
Δｔ経過後の時刻ti+1における距離Yi,Yi+1、および該
当時間Δｔ内の移動距離ΔXi（＝Ｖ・Δｔ）から（１）
式に基づいて該当距離ΔXiにおける帯状体１の表面の長
さ、すなわち弧長ΔSiが算出される。
但し、ΔYi＝Yi−Yi+1 したがって、帯状体１が長手方向にａ点からｂ点まで
の距離Ｌだけ移動した場合におけるその距離Ｌに対応す
る全体の弧長Ｓは、Ｌ＝（ｎ−１）ΔXiとすると、
（２）式で示される。
の距離Ｌだけ移動した場合におけるその距離Ｌに対応す
る全体の弧長Ｓは、Ｌ＝（ｎ−１）ΔXiとすると、
（２）式で示される。
よって、距離Ｌだけ移動した場合の伸び率βは（３）
式で定義され、各伸び率演算器５において算出される。
式で定義され、各伸び率演算器５において算出される。
β＝（Ｓ−Ｌ）/L …（３） 以上の手法を用いて幅方向の各位置における各伸び率
β１〜βｍが求まる。
β１〜βｍが求まる。
なお、第６図においては、測定された伸び率から帯状
体１のおおきなうねりによる要因を排除するために、幅
方向の各位置で測定された弧長S1,S2,…,Smのうちの最
小の弧長Sminを用いて各幅方向位置の各伸び率β１〜β
ｍを算出している。
体１のおおきなうねりによる要因を排除するために、幅
方向の各位置で測定された弧長S1,S2,…,Smのうちの最
小の弧長Sminを用いて各幅方向位置の各伸び率β１〜β
ｍを算出している。
βｍ＝（Sm−Smin）/Smin …（４） また、前記ローパスフィルタ３は測定された距離信号
に含まれる高周波の雑音成分を除去する機能を有してい
る。
に含まれる高周波の雑音成分を除去する機能を有してい
る。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら上記のように構成された平坦度測定装置
ににおいてもまだ解消すべき次のような問題があった。
ににおいてもまだ解消すべき次のような問題があった。
すなわち、この平坦度測定装置を用いて、例えば、製
鉄所における熱間圧延ラインにおいて、例えばローラー
コンベア上を連続移動している圧延帯の平坦度を測定す
る場合においては、測定対象となる帯状体は絶えず上下
左右に振動しながら移動するので、測定された平坦度に
この振動に起因する誤差が混入する。この搬送に伴って
発生する振動は、単純は上下動だけでなく、波打や，揺
れなどの複合された複雑な現象であるため、この振動を
完全に防止することは困難であるので、平坦度の測定精
度を例えば上下振動の振幅以下に向上させることは不可
能である。さらに、通常は、上下振動の振幅の方が平坦
度不良による帯状体の高さ振動より大きいので、精度良
く平坦度を測定することは難しい。
鉄所における熱間圧延ラインにおいて、例えばローラー
コンベア上を連続移動している圧延帯の平坦度を測定す
る場合においては、測定対象となる帯状体は絶えず上下
左右に振動しながら移動するので、測定された平坦度に
この振動に起因する誤差が混入する。この搬送に伴って
発生する振動は、単純は上下動だけでなく、波打や，揺
れなどの複合された複雑な現象であるため、この振動を
完全に防止することは困難であるので、平坦度の測定精
度を例えば上下振動の振幅以下に向上させることは不可
能である。さらに、通常は、上下振動の振幅の方が平坦
度不良による帯状体の高さ振動より大きいので、精度良
く平坦度を測定することは難しい。
なお、距離測定器２から出力される距離信号に含まれ
る前記振動に起因する振動成分を例えばローパスフィル
タ等で除去することが考えられるが、上下振動の周期と
測定時間間隔Δｔとが近似するとこの手法を採用できな
いので、帯状体１の移動速度を低下しなければならない
問題がある。
る前記振動に起因する振動成分を例えばローパスフィル
タ等で除去することが考えられるが、上下振動の周期と
測定時間間隔Δｔとが近似するとこの手法を採用できな
いので、帯状体１の移動速度を低下しなければならない
問題がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであ
り、ツインビーム型の距離測定器を用いて各測定位置に
おける傾斜値を測定することによって、被測定体として
の帯状体の上下振動の要因を確実に排除でき、平坦度の
測定精度を大幅に向上できる平坦度測定装置を提供する
ことを目的とする。
り、ツインビーム型の距離測定器を用いて各測定位置に
おける傾斜値を測定することによって、被測定体として
の帯状体の上下振動の要因を確実に排除でき、平坦度の
測定精度を大幅に向上できる平坦度測定装置を提供する
ことを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 上記課題を解消するために、長手方向に移動する帯状
体の幅方向にこの帯状体表面までの距離を測定する複数
の距離計測定器および前記帯状体の移動速度を検出する
速度検出器を設け、前記各距離測定器および速度検出器
から得られる各距離信号および速度信号に基づいて前記
帯状体の表面長さを示す各弧長を算出し、この各弧長か
ら前記帯状体の平坦度を得る平坦度測定装置において、
前記各距離測定器は、前記長手方向に微小間隔を有した
互いに平行な一対の測定用ビーム光を前記帯状体表面の
測定位置に照射して、この帯状体表面上の測定位置にお
ける微小間隔を有した各照射位置までの距離を同時に測
定するツインビーム型の距離測定器で構成され、この距
離測定器で測定された各照射位置までの距離から該当測
定位置における傾斜値を算出し、前記帯状体の各移動方
向位置に対応する各傾斜値に基づいて振動成分を除去し
た所定距離における弧長を算出するようにしている。
体の幅方向にこの帯状体表面までの距離を測定する複数
の距離計測定器および前記帯状体の移動速度を検出する
速度検出器を設け、前記各距離測定器および速度検出器
から得られる各距離信号および速度信号に基づいて前記
帯状体の表面長さを示す各弧長を算出し、この各弧長か
ら前記帯状体の平坦度を得る平坦度測定装置において、
前記各距離測定器は、前記長手方向に微小間隔を有した
互いに平行な一対の測定用ビーム光を前記帯状体表面の
測定位置に照射して、この帯状体表面上の測定位置にお
ける微小間隔を有した各照射位置までの距離を同時に測
定するツインビーム型の距離測定器で構成され、この距
離測定器で測定された各照射位置までの距離から該当測
定位置における傾斜値を算出し、前記帯状体の各移動方
向位置に対応する各傾斜値に基づいて振動成分を除去し
た所定距離における弧長を算出するようにしている。
［作用］ まず、帯状体上の任意の測定位置における傾斜値を測
定することによって、測定された平坦度から振動要因を
排除できる理由を説明する。
定することによって、測定された平坦度から振動要因を
排除できる理由を説明する。
幅方向に配列された各距離測定器にて測定された帯状
体表面までの距離Ｙは、第２図に示すように、基本的に
帯状体の移動位置Ｘの関数Ｆ（Ｘ）であるが、上下方向
の時間ｔによる振動成分Ｂ（ｔ）の関数でもある。よっ
て、距離Ｙは（５）式に示すように両者の和の関数とし
て表現できる。
体表面までの距離Ｙは、第２図に示すように、基本的に
帯状体の移動位置Ｘの関数Ｆ（Ｘ）であるが、上下方向
の時間ｔによる振動成分Ｂ（ｔ）の関数でもある。よっ
て、距離Ｙは（５）式に示すように両者の和の関数とし
て表現できる。
Ｙ（X,t）＝Ｆ（Ｘ）＋Ｂ（ｔ） …（５） ここで、（５）式の両辺を位置Ｘで微分すれば、 dY（X,t）/dX＝dF（Ｘ）/dX …（６） すなわち、（６）式の右辺（dF（Ｘ）/dX）は帯状体
表面の該当測定位置Ｘにおける傾斜値を示す。よって、
各距離測定器でもって該当測定位置における傾斜値を測
定し、各測定位置における傾斜値を集計することによっ
て、振動成分Ｂ（ｔ）の影響を除去した所定距離におけ
る弧長が得られる。したがって、この弧長から平坦度が
得られる。
表面の該当測定位置Ｘにおける傾斜値を示す。よって、
各距離測定器でもって該当測定位置における傾斜値を測
定し、各測定位置における傾斜値を集計することによっ
て、振動成分Ｂ（ｔ）の影響を除去した所定距離におけ
る弧長が得られる。したがって、この弧長から平坦度が
得られる。
なお、距離測定装置で各測定位置における傾斜値を得
る手段として、測定位置に微小間隔を有した平行する測
定用ビーム光線を照射し、微小間隔を有した各照射位置
までの距離を同時に測定して、各距離から該当測定位置
における傾斜度を得るようにしている。
る手段として、測定位置に微小間隔を有した平行する測
定用ビーム光線を照射し、微小間隔を有した各照射位置
までの距離を同時に測定して、各距離から該当測定位置
における傾斜度を得るようにしている。
［実施例］ 以下本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
第１図は実施例の平坦度測定装置の概略構成を示す模
式図である。長手方向に一定速度Ｖで移動する帯状体11
の上方位置で、かつ帯状体11の幅方向に複数のツインビ
ーム型の距離測定器12が配設されている。
式図である。長手方向に一定速度Ｖで移動する帯状体11
の上方位置で、かつ帯状体11の幅方向に複数のツインビ
ーム型の距離測定器12が配設されている。
このツインビーム型の各距離測定器12は、第２図に示
すように、帯状体１の移動方向に微小間隔dXを有した平
行な例えば高周波変調されたレーザ光線からなる測定用
ビーム12a,12bを帯状体１の測定位置に照射し、該当照
射位置に形成される各照射位置から反射された各反射光
を受光器で受光して、この距離測定器２から各照射位置
までの各距離Yi1,Yi2を測定する。
すように、帯状体１の移動方向に微小間隔dXを有した平
行な例えば高周波変調されたレーザ光線からなる測定用
ビーム12a,12bを帯状体１の測定位置に照射し、該当照
射位置に形成される各照射位置から反射された各反射光
を受光器で受光して、この距離測定器２から各照射位置
までの各距離Yi1,Yi2を測定する。
各距離測定器12で測定されたそれぞれ一対の各距離Y
i1,Yi2を示す各距離信号は電気／光変換器13で光信号に
変換されて、光ファイバ14を介して演算装置15内の光／
電気変換器16で元の距離信号に戻される。各距離信号は
次の各傾斜値演算部17へ入力される。この各傾斜値演算
部17は、入力された各距離信号から該当測定位置におけ
る傾斜値を算出する。すなわち、各距離測定器12におけ
る測定用ビーム光12a,12bの微小間隔dXは既知であるの
で、各照射位置までの距離の差（Yi1−Yi2）をdYとする
と、該当測定位置における傾斜度は（dY/dX）となる。
i1,Yi2を示す各距離信号は電気／光変換器13で光信号に
変換されて、光ファイバ14を介して演算装置15内の光／
電気変換器16で元の距離信号に戻される。各距離信号は
次の各傾斜値演算部17へ入力される。この各傾斜値演算
部17は、入力された各距離信号から該当測定位置におけ
る傾斜値を算出する。すなわち、各距離測定器12におけ
る測定用ビーム光12a,12bの微小間隔dXは既知であるの
で、各照射位置までの距離の差（Yi1−Yi2）をdYとする
と、該当測定位置における傾斜度は（dY/dX）となる。
各傾斜値演算部17にて算出された各幅方向位置におけ
る各傾斜度（dY/dX）は次の伸び率演算部18へ入力され
る。この伸び率演算部18にはカウンタ19が接続されてい
る。このカウンタ19には、帯状体11をほぼ一定速度Ｖで
移動させるための搬送ローラ20の回転速度を検出する検
出器21から搬送速度に応じたパルス信号が入力される。
カウンタ19はそのパルス数をカウントして、カウント値
が一定値に達すると伸び率演算部18へトリガ信号を送出
する。実施例においては、帯状体11が移動方向に前記測
定用ビーム12a,12bの微小間隔dXだけ移動するとトリガ
信号を出力する。よって、検出器21およびカウンタ19は
帯状体１の速度を検出する速度検出器を構成する。
る各傾斜度（dY/dX）は次の伸び率演算部18へ入力され
る。この伸び率演算部18にはカウンタ19が接続されてい
る。このカウンタ19には、帯状体11をほぼ一定速度Ｖで
移動させるための搬送ローラ20の回転速度を検出する検
出器21から搬送速度に応じたパルス信号が入力される。
カウンタ19はそのパルス数をカウントして、カウント値
が一定値に達すると伸び率演算部18へトリガ信号を送出
する。実施例においては、帯状体11が移動方向に前記測
定用ビーム12a,12bの微小間隔dXだけ移動するとトリガ
信号を出力する。よって、検出器21およびカウンタ19は
帯状体１の速度を検出する速度検出器を構成する。
そして、伸び率演算部18は次に示す演算を行って、第
２図に示すように、位置ａから位置ｂまでの距離Ｌに対
応する弧長Ｓおよび伸び率βを算出する。
２図に示すように、位置ａから位置ｂまでの距離Ｌに対
応する弧長Ｓおよび伸び率βを算出する。
すなわち、第２図に示したように、微小距離dXに対応
する微小弧長をdSとすると、微小弧長dSは そして、距離Ｌに対応する弧長Ｓは また伸び率はβ＝（Ｓ−Ｌ）/Lで定義されるので、こ
の式に（７）式を代入すると、 なお、（８）式を実際に計算する場合には、カウンタ
19からトリガ信号が入力する毎に、傾斜値演算部17から
出力される傾斜値（dY/dX）の２乗値を位置ａから位置
ｂまで順次加算していけばよい。
する微小弧長をdSとすると、微小弧長dSは そして、距離Ｌに対応する弧長Ｓは また伸び率はβ＝（Ｓ−Ｌ）/Lで定義されるので、こ
の式に（７）式を代入すると、 なお、（８）式を実際に計算する場合には、カウンタ
19からトリガ信号が入力する毎に、傾斜値演算部17から
出力される傾斜値（dY/dX）の２乗値を位置ａから位置
ｂまで順次加算していけばよい。
以上の手法を用いて帯状体11の幅方向の各位置におけ
る各伸び率β１〜βｍが求まる。
る各伸び率β１〜βｍが求まる。
また、実際には連続測定しているので、距離Ｌは一定
であるが、位置a,bが順次移動していく。その結果、伸
び率βは連続的に出力される。
であるが、位置a,bが順次移動していく。その結果、伸
び率βは連続的に出力される。
得られた各伸び率β１〜βｍは出力制御部22を介して
外部のホストコンピュータ23,ダスク制御装置24、記録
計25、CRT表示装置26等へ出力される。
外部のホストコンピュータ23,ダスク制御装置24、記録
計25、CRT表示装置26等へ出力される。
次に、このように構成され平坦度測定装置を用いて、
幅方向にチャンネル１（CH1）からチャンネル５（CH5）
までの５個の距離測定器12を配設した場合における各伸
び率β１〜β５の変化を第３図および第４図に示す。第
３図は幅方向の各測定位置における各伸び率β１〜β５
の経時変化を記録計25を用いて出力した波形図であり、
第４図（ａ）は第３図における右側の中伸び状態が生じ
ている瞬間における各軸方向位置（各チャンネル）にお
ける伸び率β１〜β５の値をCRT表示装置26を用いてリ
アルタイムで表示した図であり、第４図（ｂ）は第３図
における中央の耳波状態が生じている瞬間における各軸
方向位置（各チャネル）における伸び率β１〜β５の値
をリアルタイムで表示した図である。
幅方向にチャンネル１（CH1）からチャンネル５（CH5）
までの５個の距離測定器12を配設した場合における各伸
び率β１〜β５の変化を第３図および第４図に示す。第
３図は幅方向の各測定位置における各伸び率β１〜β５
の経時変化を記録計25を用いて出力した波形図であり、
第４図（ａ）は第３図における右側の中伸び状態が生じ
ている瞬間における各軸方向位置（各チャンネル）にお
ける伸び率β１〜β５の値をCRT表示装置26を用いてリ
アルタイムで表示した図であり、第４図（ｂ）は第３図
における中央の耳波状態が生じている瞬間における各軸
方向位置（各チャネル）における伸び率β１〜β５の値
をリアルタイムで表示した図である。
さらに、第５図は、実測された各伸び率βと熱練作業
員が目視で伸び率を評価した場合の５段階評価点との相
関を示した図である。図示するように、測定結果は熟練
者の目視評価と良い相関関係にあることが確認された。
員が目視で伸び率を評価した場合の５段階評価点との相
関を示した図である。図示するように、測定結果は熟練
者の目視評価と良い相関関係にあることが確認された。
このように、記録計25に記録し、CRT表示装置26に表
示することによって、帯状体11の平坦度を的確に把握で
きる。
示することによって、帯状体11の平坦度を的確に把握で
きる。
また、各距離測定器12をツインビーム型の距離測定器
を用いて、高速で移動している帯状体11の表面の測定位
置における傾斜値を算出することにより、最終的に算出
される伸び率βから帯状体11が振動することに起因する
誤差成分を完全に除去できる。その結果、伸び率βで示
される平坦度の測定精度を振動成分以下に抑制すること
が可能になるので、たとえ被測定対象である帯状体11の
搬送時における振動が従来装置と同じ程度であったとし
ても、従来装置に比較して測定精度を大幅に向上でき
る。
を用いて、高速で移動している帯状体11の表面の測定位
置における傾斜値を算出することにより、最終的に算出
される伸び率βから帯状体11が振動することに起因する
誤差成分を完全に除去できる。その結果、伸び率βで示
される平坦度の測定精度を振動成分以下に抑制すること
が可能になるので、たとえ被測定対象である帯状体11の
搬送時における振動が従来装置と同じ程度であったとし
ても、従来装置に比較して測定精度を大幅に向上でき
る。
ちなみに、実施例装置においては、伸び率βの測定範
囲は０〜５％と大きく、かつその測定範囲内において測
定精度を±0.2％に制御することができた。また、応答
特性も一つの伸び率βの測定に要する時間を約100msま
で短縮できた。
囲は０〜５％と大きく、かつその測定範囲内において測
定精度を±0.2％に制御することができた。また、応答
特性も一つの伸び率βの測定に要する時間を約100msま
で短縮できた。
また、この実施例においては、各距離測定器12から出
力される一対の測定用ビーム光12a,12bは高周波変調さ
れたレーザ光を使用しているので、帯状体11がたとえ高
温の熱鋼板で形成されていたとしても、この帯状体11か
ら出力される輻射雑音を除去できる。
力される一対の測定用ビーム光12a,12bは高周波変調さ
れたレーザ光を使用しているので、帯状体11がたとえ高
温の熱鋼板で形成されていたとしても、この帯状体11か
ら出力される輻射雑音を除去できる。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明の平坦度測定装置によれ
ば、ツインビーム型の距離測定器を用いて各測定位置に
おける傾斜値を同時に測定し、この傾斜値から伸び率等
の平坦度を算出するようにしている。したがって、算出
された平坦度から被測定対象としての帯状体の上下振動
の要因を確実に排除でき、平坦度の測定精度を大幅に向
上できる。
ば、ツインビーム型の距離測定器を用いて各測定位置に
おける傾斜値を同時に測定し、この傾斜値から伸び率等
の平坦度を算出するようにしている。したがって、算出
された平坦度から被測定対象としての帯状体の上下振動
の要因を確実に排除でき、平坦度の測定精度を大幅に向
上できる。
第１図乃至第５図は本発明の一実施例に係わる平坦度測
定装置を示すものであり、第１図は概略構成を示す模式
図、第２図は測定原理を説明するための図、第３図およ
び第４図は測定された平坦度を示す特性図、第５図は実
測値と目視による評価との相関を示す相関特性図であ
り、第６図は従来の平坦度測定装置を示すブロック図、
第７図は同従来装置における測定原理を説明するための
図である。 11……帯状体、12……距離測定器、17……傾斜値演算
部、18……伸び率演算部、19……カウンタ、25……記録
計、26……CRT表示装置。
定装置を示すものであり、第１図は概略構成を示す模式
図、第２図は測定原理を説明するための図、第３図およ
び第４図は測定された平坦度を示す特性図、第５図は実
測値と目視による評価との相関を示す相関特性図であ
り、第６図は従来の平坦度測定装置を示すブロック図、
第７図は同従来装置における測定原理を説明するための
図である。 11……帯状体、12……距離測定器、17……傾斜値演算
部、18……伸び率演算部、19……カウンタ、25……記録
計、26……CRT表示装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菊地 隆也 東京都千代田区丸の内１丁目１番２号 日本鋼管株式会社内 (72)発明者 斉藤 森生 東京都千代田区丸の内１丁目１番２号 日本鋼管株式会社内 (72)発明者 清水 鐐司 東京都千代田区丸の内１丁目１番２号 日本鋼管株式会社内 (72)発明者 植木 勝也 兵庫県神戸市兵庫区和田崎町１丁目１番 ２号 三菱電機株式会社制御製作所内 (72)発明者 杉山 昌之 兵庫県神戸市兵庫区和田崎町１丁目１番 ２号 三菱電機株式会社制御製作所内 (56)参考文献 特開 昭61−178608（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−156504（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】長手方向に移動する帯状体の幅方向にこの
帯状体表面までの距離を測定する複数の距離計測定器お
よび前記帯状体の移動速度を検出する速度検出器を設
け、前記各距離測定器および速度検出器から得られる各
距離信号および速度信号に基づいて前記帯状体の表面長
さを示す各弧長を算出し、この各弧長から前記帯状体の
平坦度を得る平坦度測定装置において、 前記各距離測定器は、前記長手方向に微小間隔を有した
互いに平行な一対の測定用ビーム光を前記帯状体表面の
測定位置に照射して、この帯状体表面上の測定位置にお
ける微小間隔を有した各照射位置までの距離を同時に測
定するツインビーム型の距離測定器で構成され、 この距離測定器で測定された各照射位置までの距離から
該当測定位置における傾斜値を算出し、前記帯状体の各
移動方向位置に対応する各傾斜値に基づいて振動成分を
除去した所定距離における弧長を算出することを特徴と
する平坦度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2047824A JP2605158B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 平坦度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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1990
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