JPH08146020A

JPH08146020A - 移動体の移動速度・移動量測定装置

Info

Publication number: JPH08146020A
Application number: JP28674594A
Authority: JP
Inventors: Yuji Adachi; 祐司安達
Original assignee: Sumitomo Metal Industries Ltd
Current assignee: Nippon Steel Corp
Priority date: 1994-11-21
Filing date: 1994-11-21
Publication date: 1996-06-07

Abstract

(57)【要約】【構成】ＬＳＶ手段２０及びＬＤＶ手段３０からの出
力を受け、ＬＳＶ手段２０による測定か、ＬＤＶ手段３
０による測定かを判断する判断手段４０を備え、判断手
段４０の判断に基づいて出力切換手段５０の切り換えを
行なう移動体の移動速度・移動量測定装置１０。【効果】高速から低速までの広い範囲で移動している
鋼板１１の移動方向・移動速度・移動量を常時非接触、
かつ確実・安全に測定することができ、したがって鋼板
１１を傷付けることもなく、測定値の補正も不要にする
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は移動体の移動速度・移動
量測定装置に関し、より詳細には、生産工程中において
繰り返し方向転換しつつ比較的高速に移動する、あるい
は移動速度が常時変化する、例えば鋼板、アルミニウム
板、フィルム、線材、レール、Ｈ形鋼等の移動速度及び
移動量を測定するのに用いられる移動体の移動速度・移
動量測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば圧延装置を用いてブルーム等から
鋼板を製造する場合、このブルームは圧延されて中間段
階の鋼板になり、さらにこの鋼板は前記圧延装置内を往
復しつつ、かつ次第に移動速度を速めながら目的の板厚
にまで連続的に圧延される。圧延工程中において、鋼板
の移動速度は常時測定されており、この移動速度は圧延
工程の品質管理情報として利用されている。また最終圧
延工程近傍では鋼板の移動量が測定された後、この移動
量等に基づき所定箇所で切断されて所定長さの鋼板が製
造される。このように生産工程中、繰り返し方向転換し
つつ比較的高速に移動している、あるいは移動速度が変
化している移動体の移動速度や移動量を確実に測定する
技術は、品質管理、歩留りの向上のために極めて重要で
ある。

【０００３】移動体の移動速度や移動量の測定装置とし
ては、従来からタッチロール式測定装置が用いられてお
り、多くの技術が提案されている（特開昭５１−３２６
５８号公報、実開昭５９−１０６００８号公報、特開昭
６３−２１５３５４号公報）。これらはいずれも所定直
径Ｄを有するタッチロールと、この回転数を計測・演算
する計測手段とにより構成されており、前記タッチロー
ルを移動体に当接させて回転させると、前記計測手段に
よりこの回転数ｎ及び回転時間ｔが計測され、π×Ｄ×
ｎから移動量が演算・測定され、π×Ｄ×ｎ／ｔから移
動速度が演算・測定される。この装置の場合、移動方向
が分かり易く、また機構が簡単であるため価格が比較的
安いという利点がある。

【０００４】また最近は、レーザドップラー速度計を応
用した測定装置が開発されている（特開平１−９７８０
４号公報、特開平４−１６６７０４号公報、最新精密計
測技術（総合技術センター発行、監修森村正直），
ｐ．２８０）。これらのレーザドップラー速度計は、例
えばレーザ発振部と、このレーザ発振部からの出力ビー
ムを２分割し、これらを相互に反対方向から移動体に照
射させる照射部と、前記移動体から散乱した光を受光し
て電気信号に変換・増幅する光検出部とを備えている。
またこの電気信号中のノイズ信号をカットするハイパス
フィルタ部と、電気信号中のドップラーシフト周波数を
検出する周波数検出部と、該周波数検出部から出力され
たパルス信号のパルス数をカウントするカウント手段と
を備えており、これらによりレーザドップラー速度計が
構成されている。さらこのレーザドップラー速度計は演
算処理手段を備えており、これらにより測定装置が構成
されている。

【０００５】このように構成された装置を用いる場合、
前記レーザ発振部から前記照射部を介して２分割したレ
ーザビームを移動体に照射すると、該移動体表面から反
射された散乱光がドップラー効果により移動速度に比例
した周波数変化を受ける。このドップラーシフトした散
乱光は前記光検出部において受光されて電気（ビート）
信号に変換・増幅され、このビート信号中の低周波ノイ
ズ信号が前記ハイパスフィルタ部においてカットされ、
このノイズカットされたビート信号が前記周波数検出部
においてパルス信号として出力される。さらにこのパル
ス信号のパルス数が前記カウント部においてカウントさ
れ、移動体の移動速度が測定されると共に、前記演算処
理手段において前記パルス信号が積分されて移動体の移
動量が測定される。この装置の場合、移動体に非接触
で、かつ約３６００Ｋｍ／Ｈｒ（レーザドップラー周波
数が数百ＭＨｚ）の高速まで測定できる利点がある。

【０００６】また、レーザスペックル速度計を応用した
測定装置が開発されている（最新精密計測技術（総合技
術センタ発行、監修森村正直），ｐ．２４１）。この
測定装置は、例えば移動体表面にレーザビームを照射す
るレーザ発振部と、各ピッチがｄに設定された複数個の
受光素子を有する１次元イメージセンサ部と、Ａ／Ｄ変
換部と、相関演算部と、移動速度・移動量演算処理部と
を含んで構成されている。このように構成された装置を
用いる場合、前記レーザ発振部から移動体にレーザビー
ムを照射すると、移動体粗面の各点で散乱した位相差の
異なる光が相互に干渉し合い、斑状模様のスペックルが
発生する。このスペックルは移動体の移動に伴って移動
し、この移動方向に沿って配設された前記１次元イメー
ジセンサ部において検出され、アナログ信号として出力
される。このアナログ信号は前記Ａ／Ｄ変換部において
デジタル信号に変換され、前記相関演算部において各受
光素子から出力された信号に関する相互相関関数のピー
ク値とこれらの間の遅延時間τとが求められる。すると
前記移動速度・移動量演算処理部においてスペックルす
なわち移動体の移動速度Ｖがｄ／τにより測定されると
共に、このｄ／τが積分されて移動体の移動量が測定さ
れる。この装置の場合、価格が比較的安価であり、かつ
遅い移動体の移動速度と移動方向とを非接触で測定でき
る利点がある。

【０００７】また、空間フィルタ検出器を応用した測定
装置が開発されている（特開昭５３−６０６４号公
報）。この測定装置は複数個の受光素子が等ピッチに配
列された空間フィルタ検出器と、移動体の前後端部を検
出する端部検出器と、制御回路とを含んで構成されてい
る。このように構成された装置では、前記端部検出器に
おいて移動体前端部の通過が検出されると、移動体表面
の歪みむら等から生じた表面パターンの光量変化に応
じ、前記空間フィルタ検出器において周波数信号が出力
され、この周波数信号が前記制御回路においてカウント
される。そして前記端部検出器において移動体後端部の
通過が検出されると、前記制御回路におけるカウントが
停止され、このカウント値により移動体の移動速度及び
移動量が測定される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記したタッチロール
式測定装置においては、特に移動体の移動速度が速い
と、前記タッチロールがスリップして測定誤差が生じ易
く（誤差０．５％が限界）、また前記タッチロールが摩
耗し易くなるため、常時直径Ｄの補正が必要となるとい
う課題があった。また移動速度が速いと前記タッチロー
ルにより製品としての移動体に傷がつき易く、またタッ
チロールの接触が危険となるため、測定速度に上限があ
るという課題があった。

【０００９】また上記したレーザードップラー速度計を
応用した測定装置においては、前記光検出手段で受光さ
れて電気信号に変換・増幅されたビート信号中には低周
波成分のノイズ信号が多く含まれており、このノイズ信
号に数ＫＨｚ以下の周波数を有するビート信号が埋もれ
てしまうため、約０．１ｍ／秒以下の移動速度を測定す
ることが難しいという課題があった。また移動体の移動
方向が正逆反転してもビート信号の周波数差は同様であ
るため、移動方向が判別し難いという課題があった。こ
れらの課題を解決するため、前記２光束のレーザビーム
中における１光束の周波数を音響光学素子等によりシフ
トさせ、速度０の状態でも測定可能とした装置が開発さ
れている（特開平１−９７８０４号公報）。しかしなが
らこの装置では光学系、信号処理系が複雑となり、装置
の大きさが大きくなるため、工程内に設置するのが困難
となり、また価格が高くつく等の課題があった。

【００１０】また上記したレーザスペックル速度計を応
用した測定装置においては、相互相関関数を求めるのに
工夫を施しても、実用上の信号処理はせいぜい０．２ｍ
／秒（移動速度は最大約５ｍ／秒）が限界であり、高速
度範囲の測定が難しいという課題があった。

【００１１】また上記した空間フィルタ検出器を応用し
た測定装置においては、移動体の移動速度が遅いと空間
フィルタからの周波数信号がノイズ信号に埋もれ易く、
比較的遅い移動体の測定が困難であり、また表面に歪み
むら等が少ない平滑な移動体では表面パターンの検出が
難しいという課題があった。

【００１２】本発明はこのような課題に鑑みなされたも
のであり、正逆方向を検知しつつ、高速から低速までの
広い範囲における移動体の移動速度・移動量を常時非接
触で、かつ確実・安全に測定することができ、製品を傷
付けることもなく、測定値の補正の必要性も少なくする
ことができる移動体の移動速度・移動量測定装置を提供
することを目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る移動体の移動速度・移動量測定装置は、
レーザスペックル速度測定手段（以下、ＬＳＶ手段と記
す）及びレーザドップラー速度測定手段（以下、ＬＤＶ
手段と記す）からの出力を受け、前記ＬＳＶ手段による
測定か、前記ＬＤＶ手段による測定かを判断する判断手
段を備え、該判断手段の判断に基づいて出力切換手段の
切り換えを行なうことを特徴としている（１）。

【００１４】また上記目的を達成するために本発明に係
る移動体の移動速度・移動量測定装置は、上記した移動
体の移動速度・移動量測定装置（１）のＬＳＶ手段にお
けるレーザ発振部とＬＤＶ手段におけるレーザ発振部と
を共用すべく、前記ＬＳＶ手段における光検出部と前記
ＬＤＶ手段における光検出部との間に、移動体からの反
射光を２分割する分割手段が介装されていることを特徴
としている。

【００１５】

【作用】上記構成の移動体の移動速度・移動量測定装置
（１）によれば、ＬＳＶ手段及びＬＤＶ手段からの出力
を受け、前記ＬＳＶ手段による測定か、前記ＬＤＶ手段
による測定かを判断する判断手段を備え、該判断手段の
判断に基づいて出力切換手段の切り換えを行なうので、
前記判断手段により前記ＬＳＶ手段及びＬＤＶ手段から
の速度データが所定速度より大きいか否かが判断され、
大きいと判断されると前記出力切換手段が作動させら
れ、前記ＬＤＶ手段により測定された所定速度以上で比
較的正確な移動方向、移動速度及び移動量が出力され
る。一方、小さいと判断されると前記出力切換手段が作
動させられ、前記ＬＳＶ手段により測定された所定速度
以下で比較的正確な移動方向、移動速度及び移動量が出
力されることとなる。この結果、高速から低速までの広
い範囲で移動している移動体の移動方向、移動速度・移
動量を常時非接触、かつ確実・安全に測定し得ることと
なり、したがって移動体が傷付くこともなく、測定値の
補正も不要となる。

【００１６】また上記構成の移動体の移動速度・移動量
測定装置（２）によれば、ＬＳＶ手段におけるレーザ発
振部とＬＤＶ手段におけるレーザ発振部とを共用すべ
く、前記ＬＳＶ手段における光検出部と前記ＬＤＶ手段
における光検出部との間に、移動体からの反射光を２分
割する分割手段が介装されているので、移動体と共に移
動する所定間隔のスペックルが前記分割手段を介して前
記ＬＳＶ手段の光検出部において検出されると共に、前
記移動体の移動速度に比例するレーザドップラー周波数
が前記分割手段を介して前記ＬＤＶ手段の光検出部にお
いて検出されることとなる。したがって移動速度・移動
量測定装置（１）と同様の作用が得られるほか、レーザ
発振部の共用により、前記ＬＳＶ手段及び前記ＬＤＶ手
段の一体化・コンパクト化が図られ、工程内へのこれら
の装着を容易にし得ることとなり、また装置のコストを
削減し得ることとなる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明に係る移動体の移動速度・移動
量測定装置の実施例を図面に基づいて説明する。図１は
実施例１に係る移動体の移動速度・移動量測定装置を模
式的に示したブロック図であり、図中１１は例えば圧延
工程中、矢印Ａ方向に移動している鋼板を示している。
鋼板１１上方の所定箇所にはレーザ発振部２１が配設さ
れ、レーザ発振部２１下方の所定箇所にはハーフミラー
２２が配設され、ハーフミラー２２側方の所定箇所には
光検出部としての一次元イメージセンサ２３が配設され
ており、一次元イメージセンサ２３は各ピッチがｄに設
定された複数個の受光素子２３ａにより構成されてい
る。さらに一次元イメージセンサ２３はＡ／Ｄ変換部２
４、相関演算部２５、移動速度・移動量演算処理部２６
を介して判断手段４０に接続されており、移動速度・移
動量演算処理部２６は予め受光素子間のピッチｄが記憶
されるメモリ部（図示せず）を含んで構成されている。
これらレーザ発振部２１、ハーフミラー２２、一次元イ
メージセンサ２３、Ａ／Ｄ変換部２４、相関演算部２
５、移動速度・移動量演算処理部２６を含んでＬＳＶ手
段２０が構成されている。

【００１８】また鋼板１１上方の所定箇所にはレーザ発
振部３１が配設されており、レーザ発振部３１下方の所
定箇所にはハーフミラー３２ａ、ミラー３２ｂ、３２
ｃ、…より構成された照射部３２が配設されている。そ
してレーザ発振部３１から発振された出力ビームｓ₁ が
ハーフミラー３２ａにより２分割され、一方のビームｓ
₂ はミラー３２ｂ、３２ｃを介して鋼板１１表面に入射
角θで照射され、他方のビームｓ₃ はミラー３２ｄ、３
２ｅを介し、ビームｓ₂ の反対方向から鋼板１１表面に
入射角θで照射されるようになっている。また鋼板１１
上方の所定箇所には、受光素子等を含んで構成された光
検出部３４がハーフミラーレンズ３３を挟んで配設され
ており、光検出部３４は遮断周波数が約３ＫＨｚに設定
されたハイパスフィルタ部３５、周波数検出部３６、移
動速度・移動量演算処理部３７を介して判断手段４０に
接続されている。これらレーザ発振部３１、照射部３
２、光検出部３４、ハイパスフィルタ部３５、周波数検
出部３６、移動速度・移動量演算処理部３７を含んでＬ
ＤＶ手段３０が構成されている。

【００１９】判断手段４０はメモリ部（図示せず）を含
んで構成されており、このメモリ部には切り換え判断基
準としての移動速度（約１ｍ／秒）が記憶されている。
また判断手段４０は出力切換手段５０を介して移動量積
算手段６０に接続されており、移動量積算手段６０にお
いて切り換え前の移動量に加えて切り換え後の移動量が
積算されるようになっている。これらＬＳＶ手段２０、
ＬＤＶ手段３０、判断手段４０、出力切換手段５０等を
含んで移動体の移動速度・移動量測定装置１０が構成さ
れている。

【００２０】このように構成された移動速度・移動量測
定装置１０では、レーザ発振部２１から鋼板１１に向け
てレーザビームｓ₁₁を照射すると、鋼板１１表面から反
射された散乱光中にスペックルｓ₁₂が発生し、鋼板１１
の移動と共に移動する。次にこのスペックルｓ₁₂はハー
フミラ２２を介して一次元イメージセンサ２３の受光素
子２３ａにおいて検出され、アナログ信号ｓ₁₃として出
力される。次にこのアナログ信号ｓ₁₃はＡ／Ｄ変換部２
４においてデジタル信号ｓ₁₄に変換され、相関演算部２
５においてデジタル信号ｓ₁₄に関する相互相関関数のピ
ーク値と、これらの間の遅延時間τとが演算される。次
に移動速度・移動量演算処理部２６においてそしてこの
遅延時間τとメモリ部に予め記憶された受光素子２３ａ
間のピッチｄとによりｄ／τ（＝Ｖ）が演算され、スペ
ックルｓ₁₂すなわち鋼板１１の移動方向、移動速度Ｖが
測定されると共に、この移動速度Ｖが積分されて鋼板１
１の移動量が測定される。

【００２１】一方、レーザ発振部３１から照射部３２を
介して２分割したレーザビームｓ₂、ｓ₃ を鋼板１１に
照射すると、鋼板１１表面から反射された散乱光ｓ₄ は
ドップラー効果により移動速度に比例した周波数変化を
受ける。このドップラーシフトした散乱光は光検出部３
４において受光され、電気（ビート）信号ｓ₅ に変換・
増幅される。次にビート信号ｓ₅ はハイパスフィルタ部
３５において約３ＫＨｚ以下の低周波ノイズ信号がカッ
トされ、周波数検出部３６において周波数が検出され、
移動速度・移動量演算処理部３７において鋼板１１の移
動速度と移動量とが測定される。

【００２２】以下、移動速度・移動量測定装置１０にお
ける測定手段の切り換え手順を図１及び図２に基づいて
説明する。図２は実施例に係る移動体の移動速度・移動
量測定装置を用いた際における、鋼板の移動速度と測定
手段の切り換え方法とを説明するため、時間と移動速度
との関係を模式的に示したグラフである。時間ｔ₀ 〜ｔ
₁ では鋼板１１（図１）は正（矢印Ａ）方向に１ｍ／秒
以上の比較的速い速度で移動しており、このときの移動
速度及び移動量はＬＤＶ手段３０において測定された値
が出力されている。次に判断手段４０において時刻ｔ₁
で鋼板１１の移動速度が基準速度（＋１ｍ／秒）より遅
くなったと判断されると、出力切換手段５０が作動し、
ＬＤＶ手段３０からＬＳＶ手段２０の測定値に切り換え
られ、鋼板１１の移動速度及び移動量が出力される。次
に時刻ｔ₂ で鋼板１１の移動方向が逆転したのが確認さ
れ、このときＬＳＶ手段２０の速度Ｖを負の値−Ｖとす
る。次に判断手段４０において時刻ｔ₃ で鋼板１１の移
動速度が基準速度（−１ｍ／秒）より速くなったと判断
されると、出力切換手段５０が作動し、ＬＳＶ手段２０
からＬＤＶ手段３０の測定値に切り換えられ、移動速度
及び移動量が出力される。次に判断手段４０において時
刻ｔ₄ で鋼板１１の移動速度が基準速度（−１ｍ／秒）
より遅くなったと判断されると、出力切換手段５０が作
動し、ＬＤＶ手段３０からＬＳＶ手段２０の測定値に切
り換えられ、以下同様にして鋼板１１の移動速度及び移
動量が出力される。

【００２３】上記説明から明らかなように、実施例１に
係る移動体の移動速度・移動量測定装置１０では、ＬＳ
Ｖ手段２０及びＬＤＶ手段３０からの出力を受け、ＬＳ
Ｖ手段２０による測定か、ＬＤＶ手段３０による測定か
を判断する判断手段４０を備え、判断手段４０の判断に
基づいて出力切換手段５０の切り換えを行なうので、判
断手段４０によりＬＳＶ手段２０及びＬＤＶ手段３０か
らの速度データが所定速度（１ｍ／秒）より大きいか否
かが判断され、大きいと判断されると出力切換手段５０
が作動させられ、ＬＤＶ手段３０により測定された所定
速度以上で比較的正確な移動方向、移動速度及び移動量
が出力される。一方、小さいと判断されると出力切換手
段５０が作動させられ、ＬＳＶ手段２０により測定され
た所定速度以下で比較的正確な移動方向、移動速度及び
移動量が出力される。この結果、高速から低速までの広
い範囲で移動している鋼板１１の移動方向、移動速度・
移動量を常時非接触、かつ確実・安全に測定することが
でき、したがって移動体が傷付くこともなく、測定値の
補正も不要となる。

【００２４】図３は実施例２に係る移動体の移動速度・
移動量測定装置を模式的に示したブロック図であり、図
中３０は図１に示したものと同様に構成されたＬＤＶ手
段を示している。ＬＤＶ手段３０における光検出部３４
とハーフミラーレンズ３３との間の所定箇所には、分割
手段としてのハーフミラー７１が配設されており、ハー
フミラー７１側方におけるＬＤＶ手段３０内の所定箇所
には、図１に示したものと同様の一次元イメージセンサ
２３が配設されている。また図１に示したものにおける
レーザ発振部２１は削除され、レーザ発振部３１が共用
されるようになっており、これらハーフミラー７１、一
次元イメージセンサ２３、Ａ／Ｄ変換部２４、相関演算
部２５、移動速度・移動量演算処理部２６を含んでＬＳ
Ｄ手段７０が構成されている。さらに図１に示したもの
と同様、移動速度・移動量演算処理部２６、３７はそれ
ぞれ判断手段４０に接続され、判断手段４０は出力切換
手段５０を介して移動量積算手段６０に接続されてい
る。その他の構成は図１に示したものと同様であるの
で、ここではその詳細な説明は省略することとする。こ
れらＬＳＶ手段７０、ＬＤＶ手段３０、判断手段４０、
出力切換手段５０等を含んで移動体の移動速度・移動量
測定装置１２が構成されている。

【００２５】このように構成された移動速度・移動量測
定装置１２では、レーザ発振部３１から照射部３２を介
して２分割したレーザビームｓ₂ 、ｓ₃ を鋼板１１に照
射すると、鋼板１１表面から反射された散乱光ｓ₄ はド
ップラー効果により移動速度に比例した周波数変化を受
けると共に、散乱光ｓ₄ 中にスペックルｓ₁₂が発生して
いる。したがって鋼板１１の移動と共に移動するスペッ
クルｓ₁₂はハーフミラ７１を介して一次元イメージセン
サ２３の受光素子２３ａにおいて検出され、アナログ信
号ｓ₁₃として出力される。すると図１に示したものと同
様、このアナログ信号ｓ₁₃はＡ／Ｄ変換部２４において
デジタル信号ｓ₁₄に変換される。

【００２６】上記説明から明らかなように、実施例２に
係る移動体の移動速度・移動量測定装置（２）にあって
は、ＬＳＶ手段７０におけるレーザ発振部３１とＬＤＶ
手段３０におけるレーザ発振部３１とを共用すべく、Ｌ
ＳＶ手段７０における一次元イメージセンサ２３とＬＤ
Ｖ手段３０における光検出部３４との間に、鋼板１１か
らの反射光ｓ₄ を２分割するハーフミラー７１が介装さ
れているので、鋼板１１と共に移動する所定間隔ｄのス
ペックルｓ₁₂をハーフミラー７１を介してＬＳＶ手段７
０の一次元イメージセンサ２３において検出することが
できると共に、鋼板１１の移動速度に比例するレーザド
ップラー周波数を照射部３２を介してＬＤＶ手段３０の
光検出部３４において検出することができる。したがっ
て図１に示した移動速度・移動量測定装置１０の場合と
同様の効果を得ることができるほか、レーザ発振部３１
が共用されるため、ＬＳＶ手段７０及びＬＤＶ手段３０
の一体化、コンパクト化が図られ、工程内へのこれらの
装着を容易にすることができ、また装置１２のコストを
削減することができる。

【００２７】なお、実施例１、２では、いずれも圧延工
程中における鋼板の移動速度及び移動量を測定する場合
について説明したが、何ら鋼板に限定されるものではな
く、生産工程中において繰り返し方向転換しつつ比較的
高速に移動している、あるいは移動速度が変化している
アルミニウム板、フィルム、線材、レール、Ｈ形鋼の移
動速度及び移動量を測定するのに適用可能である。

【００２８】また、実施例１、２では、ＬＳＶ手段２
０、７０における相関演算部２５、移動速度・移動量演
算処理部２６、ＬＤＶ手段３０における移動速度・移動
量演算処理部３７でそれぞれ移動方向、移動速度、移動
量を演算・測定する場合について説明したが、相関演算
部２５、移動速度・移動量演算処理部２６、３７をひと
つにまとめた演算処理部が判断手段４０の前に接続され
たものでもよい。

【００２９】

【発明の効果】以上詳述したように本発明に係る移動体
の移動速度・移動量測定装置（１）にあっては、ＬＳＶ
手段及びＬＤＶ手段からの出力を受け、前記ＬＳＶ手段
による測定か、前記ＬＤＶ手段による測定かを判断する
判断手段を備え、該判断手段の判断に基づいて出力切換
手段の切り換えを行なうので、前記判断手段により前記
ＬＳＶ手段及びＬＤＶ手段からの速度データが所定速度
より大きいか否かが判断され、大きいと判断されると前
記出力切換手段が作動させられ、前記ＬＤＶ手段により
測定された所定速度以上で比較的正確な移動方向、移動
速度及び移動量が出力される。一方、小さいと判断され
ると前記出力切換手段が作動させられ、前記ＬＳＶ手段
により測定された所定速度以下で比較的正確な移動方
向、移動速度及び移動量が出力される。この結果、高速
から低速までの広い範囲で移動している移動体の移動方
向、移動速度・移動量を常時非接触、かつ確実・安全に
測定することができ、したがって移動体が傷付くことも
なく、測定値の補正も不要となる。

【００３０】また本発明に係る移動体の移動速度・移動
量測定装置（２）にあっては、ＬＳＶ手段におけるレー
ザ発振部とＬＤＶ手段におけるレーザ発振部とを共用す
べくに前記ＬＳＶ手段における光検出部と前記ＬＤＶ手
段における光検出部との間にに移動体からの反射光を２
分割する分割手段が介装されているので、移動体と共に
移動する所定間隔のスペックルを前記分割手段を介して
前記ＬＳＶ手段の光検出部において検出することができ
ると共に、前記移動体の移動速度に比例するレーザドッ
プラー周波数を前記分割手段を介して前記ＬＤＶ手段の
光検出部において検出することができる。したがって移
動速度・移動量測定装置（１）と同様の効果を得ること
ができるほか、レーザ発振部が共用されるため、前記Ｌ
ＳＶ手段及び前記ＬＤＶ手段の一体化・コンパクト化を
図ることができ、工程内へのこれらの装着を容易にする
ことができ、また装置のコストを削減することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１に係る移動体の移動速度・移
動量測定装置を模式的に示したブロック図である。

【図２】実施例１に係る移動体の移動速度・移動量測定
装置を用いた際における、鋼板の移動速度と測定手段の
切り換え方法との関係を説明するため、時間と移動速度
との関係を模式的に示したグラフである。

【図３】実施例２に係る移動体の移動速度・移動量測定
装置を模式的に示したブロック図である。

【符号の説明】

１０移動体の移動速度・移動量測定装置１１鋼板２０レーザスペックル速度測定（ＬＳＶ）手段３０レーザドップラー速度測定（ＬＤＶ）手段４０判断手段５０出力切換手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザスペックル速度測定手段及びレー
ザドップラー速度測定手段からの出力を受け、前記レー
ザスペックル速度測定手段による測定か、前記レーザド
ップラー速度測定手段による測定かを判断する判断手段
を備え、該判断手段の判断に基づいて出力切換手段の切
り換えを行なうことを特徴とする移動体の移動速度・移
動量測定装置。
【請求項２】レーザスペックル速度測定手段における
レーザ発振部とレーザドップラー速度測定手段における
レーザ発振部とを共用すべく、前記レーザスペックル速
度測定手段における光検出部と前記レーザドップラー速
度測定手段における光検出部との間に、移動体からの反
射光を２分割する分割手段が介装されていることを特徴
とする請求項１記載の移動体の移動速度・移動量測定装
置。