JP2602058B2 - 高周波誘電体材料の製造法 - Google Patents
高周波誘電体材料の製造法Info
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- JP2602058B2 JP2602058B2 JP63118888A JP11888888A JP2602058B2 JP 2602058 B2 JP2602058 B2 JP 2602058B2 JP 63118888 A JP63118888 A JP 63118888A JP 11888888 A JP11888888 A JP 11888888A JP 2602058 B2 JP2602058 B2 JP 2602058B2
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Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、誘電体共振器,MIC基板，マイクロ波コンデ
ンサ等各種の電気通信分野、又はマイクロ波透過窓の如
き核融合関連設備分野において使用される高周波誘電体
材料を提供しようとするものである。
ンサ等各種の電気通信分野、又はマイクロ波透過窓の如
き核融合関連設備分野において使用される高周波誘電体
材料を提供しようとするものである。
「従来技術」 上記の高周波誘電体材料として本出願人は先に、特願
昭60−260777号（特開昭62−119157）においてAl2O3−S
nO2−TiO2系組成図の Al2O3 SnO2 TiO2 点Ｐ 0.95 0.025 0.025 点Ｑ 0.70 0.225 0.075 点Ｒ 0.70 0.075 0.225 （単位モル分率） を結ぶ３角形PQR区域内のアルミナ磁器組成物について
提案した。
昭60−260777号（特開昭62−119157）においてAl2O3−S
nO2−TiO2系組成図の Al2O3 SnO2 TiO2 点Ｐ 0.95 0.025 0.025 点Ｑ 0.70 0.225 0.075 点Ｒ 0.70 0.075 0.225 （単位モル分率） を結ぶ３角形PQR区域内のアルミナ磁器組成物について
提案した。
「発明が解決しようとする問題点」 上記特願昭60−260777号のAl2O3−SnO2−TiO2系組成
物は略々満足すべき成果を得たが、更に優れた誘電体損
失と、共振周波数の温度係数が要望されている。主成分
のAl2O3に対して配合されるSnO2,TiO2等の副成分を予
め、仮焼して固溶した後、再粉砕して混合する手段によ
って更に改善されるが、この場合も遊離のTiO2がAl2O3
の異常な結晶成長を誘起したり、遊離のTiO2自体によっ
て焼結体の内部、表面に大きな気孔を生じ、研磨あるい
は非研磨共、充分な平滑面、附随して電気的特性が得難
かった。
物は略々満足すべき成果を得たが、更に優れた誘電体損
失と、共振周波数の温度係数が要望されている。主成分
のAl2O3に対して配合されるSnO2,TiO2等の副成分を予
め、仮焼して固溶した後、再粉砕して混合する手段によ
って更に改善されるが、この場合も遊離のTiO2がAl2O3
の異常な結晶成長を誘起したり、遊離のTiO2自体によっ
て焼結体の内部、表面に大きな気孔を生じ、研磨あるい
は非研磨共、充分な平滑面、附随して電気的特性が得難
かった。
「問題点を解決するための手段」 Al2O3−SnO2−TiO2の３成分系からなり、原料中のSnO
2とTiO2を両者の固溶体ゾルとして用いて高周波誘電体
材料を得ることにより上記問題点を解決した。さらに、
前記のSnO2とTiO2が、SnO2とTiO2のモル比SnO2/TiO2を
横軸とし、総量に対するSnO2とTiO2の合計量（モル％）
を縦軸とする座標上に打点される点Ａ（0.2/0.8,10），
点Ｂ（0.2/0.8,2），点Ｃ（0.6/0.4,6），点Ｄ（0.6/0.
4,20），を結ぶ辺上を含む４辺形区域Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｄ−
Ａ内にあらしめることによって平均気孔径0.50μｍ以
下、表面粗さ0.20μｍ以下からなり、満足すべき諸特性
を呈する高周波誘電体材料を得ることに成功した。
2とTiO2を両者の固溶体ゾルとして用いて高周波誘電体
材料を得ることにより上記問題点を解決した。さらに、
前記のSnO2とTiO2が、SnO2とTiO2のモル比SnO2/TiO2を
横軸とし、総量に対するSnO2とTiO2の合計量（モル％）
を縦軸とする座標上に打点される点Ａ（0.2/0.8,10），
点Ｂ（0.2/0.8,2），点Ｃ（0.6/0.4,6），点Ｄ（0.6/0.
4,20），を結ぶ辺上を含む４辺形区域Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｄ−
Ａ内にあらしめることによって平均気孔径0.50μｍ以
下、表面粗さ0.20μｍ以下からなり、満足すべき諸特性
を呈する高周波誘電体材料を得ることに成功した。
「作用」 従来の単一又は固溶体として粉砕した粉末に比して著
しく微細なSnO2とTiO2の固溶体ゾルは主成分のAl2O3の
結晶粒子と均一な混合が得られ、遊離のTiO2が殆んど存
在しないから誘電損失が小さくなり、かつ焼結に際して
Al2O3の異常結晶成長を抑制し、緻密で気孔の少ない高
周波誘電体が得られる。
しく微細なSnO2とTiO2の固溶体ゾルは主成分のAl2O3の
結晶粒子と均一な混合が得られ、遊離のTiO2が殆んど存
在しないから誘電損失が小さくなり、かつ焼結に際して
Al2O3の異常結晶成長を抑制し、緻密で気孔の少ない高
周波誘電体が得られる。
「実施例」 Al2O3（市販品，平均粒径0.3μm,純度99.995％）100g
に対し、第１図の点A,B,C及びＤを順次結ぶ辺上を含む
４辺形区域内に打点される試料No.1〜12、及び区域外の
試料No.13〜20の組成となるよう、種々のモル比からな
る（SnO2＋TiO2）の固溶体ゾル（市販品，試薬特級）
を、総量（Al2O3＋SnO2＋TiO2）に対して各種のモル％
を呈するように配合した原料粉末に、それぞれ脱イオン
水30ml、ポリビニルアルコール1gを加えた上、内容積30
0mlのポリエチレンポットに入れ、純度99.99％、15mmφ
の球石300gと共に100RPM48時間の混合分散を行ないスラ
リー化した。
に対し、第１図の点A,B,C及びＤを順次結ぶ辺上を含む
４辺形区域内に打点される試料No.1〜12、及び区域外の
試料No.13〜20の組成となるよう、種々のモル比からな
る（SnO2＋TiO2）の固溶体ゾル（市販品，試薬特級）
を、総量（Al2O3＋SnO2＋TiO2）に対して各種のモル％
を呈するように配合した原料粉末に、それぞれ脱イオン
水30ml、ポリビニルアルコール1gを加えた上、内容積30
0mlのポリエチレンポットに入れ、純度99.99％、15mmφ
の球石300gと共に100RPM48時間の混合分散を行ないスラ
リー化した。
このスラリーを冷凍乾燥後、60メッシュの篩を通して
20種類の粉末素地を得た。
20種類の粉末素地を得た。
次に上記の各粉末素地を1500kg/cm2の金型プレスによ
って8.3mmφ×3.6mm tの円板形状に成形し、所定の焼成
温度で焼成した後6.6mmφ×2.9mm tに研磨加工を施して
試験片として諸特性を測定した結果を次表に示す。
って8.3mmφ×3.6mm tの円板形状に成形し、所定の焼成
温度で焼成した後6.6mmφ×2.9mm tに研磨加工を施して
試験片として諸特性を測定した結果を次表に示す。
「発明の効果」 上表から明らかにされるように、Ａ−Ｂ−Ｃ−D4辺形
区域内の試料No.1〜12は目的とする平均気孔径0.5μｍ
以下、表面粗さ0.2μｍ以下に収まり、同時にtanδ10×
10-5以下、共振周波数の温度係数±30以下に抑え、特に
小さな平均気孔径と平滑な表面粗さは、各種アルミナ磁
器基板として薄膜、厚膜等のメタライズに対して著効を
奏するが、（SnO2/TiO2）モル比と（SnO2＋TiO2）モル
％のいずれかが第１図のＡ−B,C−ＤとＡ−D,B−Ｃのそ
れぞれの線で囲われる４辺形区域外に打点される試料N
o.13〜20はいずれも満足すべき結果が得られなかった。
区域内の試料No.1〜12は目的とする平均気孔径0.5μｍ
以下、表面粗さ0.2μｍ以下に収まり、同時にtanδ10×
10-5以下、共振周波数の温度係数±30以下に抑え、特に
小さな平均気孔径と平滑な表面粗さは、各種アルミナ磁
器基板として薄膜、厚膜等のメタライズに対して著効を
奏するが、（SnO2/TiO2）モル比と（SnO2＋TiO2）モル
％のいずれかが第１図のＡ−B,C−ＤとＡ−D,B−Ｃのそ
れぞれの線で囲われる４辺形区域外に打点される試料N
o.13〜20はいずれも満足すべき結果が得られなかった。
第１図は本発明のSnO2とTiO2のモル比及びこれらSnO2と
TiO2の総量に対するモル％の関係を示す図面である。
TiO2の総量に対するモル％の関係を示す図面である。
Claims (2)
- 【請求項１】Al2O3−SnO2−TiO2の３成分系からなり、
原料中のSnO2とTiO2を両者の固溶体ゾルとして用いたこ
とを特徴とする高周波誘電体材料の製造法。 - 【請求項２】前記のSnO2とTiO2が、SnO2とTiO2のモル比
SnO2/TiO2を横軸とし、総量に対するSnO2とTiO2の合計
量（モル％）を縦軸とする座標上に打点される下記の点
A,B,C,Dを結ぶ辺上を含む４辺形区域Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｄ−
Ａ内にあることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の高周波誘電体材料の製造法。 点Ａ（0.2/0.8,10） 点Ｂ（0.2/0.8,2） 点Ｃ（0.6/0.4,6） 点Ｄ（0.6/0.4,20）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63118888A JP2602058B2 (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 高周波誘電体材料の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63118888A JP2602058B2 (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 高周波誘電体材料の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01289014A JPH01289014A (ja) | 1989-11-21 |
| JP2602058B2 true JP2602058B2 (ja) | 1997-04-23 |
Family
ID=14747627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63118888A Expired - Lifetime JP2602058B2 (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 高周波誘電体材料の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2602058B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2532737B2 (ja) * | 1990-09-25 | 1996-09-11 | 松下電器産業株式会社 | 高周波用誘電体磁器 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62119157A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-05-30 | 日本特殊陶業株式会社 | アルミナ磁器組成物 |
-
1988
- 1988-05-16 JP JP63118888A patent/JP2602058B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01289014A (ja) | 1989-11-21 |
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