JP2599827Y2 - ペリクルフレーム - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、半導体露光装置などに
用いるレチクル、マスク等の基板に装着するペリクルフ
レームに関するものである。

【０００２】

【従来技術】従来の接着剤付きペリクルフレームは、図
５（ａ）、（ｂ）に示すような構成になっていた。矩形
フレーム２の表面にはペリクル１が張設されている。フ
レーム２の裏面にはアクリル系の硬質の接着剤５３が全
面にわたってほぼ同じ厚さに塗布されていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術
においては、アクリル系の硬質の接着剤５３をフレーム
２の裏面に全面にわたって同じ厚さに塗布しているの
で、接着剤５３がつぶれにくかった。またレチクルとフ
レームとを圧着する際、フレーム２の各辺ＡＢ、ＢＣ、
ＣＤ、ＤＡに加わる力はフレーム２のコーナー部Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄに比べて小さかった。そのため、レチクル４
とフレーム２とを接着した後の断面は、コーナー部Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄでは、図５（ｃ）に示すように、レチクル４
とフレーム２とが接着剤５３により完全に接着される
が、辺ＡＢ、ＢＣ、ＣＤ、ＤＡの中央付近では、図５
（ｄ）に示すように、接着剤５３とレチクル４との間に
隙間５が生じてしまう場合があり、この隙間から塵等が
入り込みレチクル表面に付着してしまうという問題点が
あった。

【０００４】また、フレームとレチクルとをフレーム全
周にわたって連続的に隙間なく接着するために大きな荷
重を加えると、レチクルに歪みが生じてしまうという問
題点があった。本考案はこのような従来の問題点に鑑み
てなされたもので、大きな荷重を加えることなく、基板
と隙間なく接着又は接触できるペリクルフレームを提供
することを目的とする。また、接着剤に異物が食い込む
ことを防げるペリクルフレームを提供することを目的と
する。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記問題点の解決の為
に、請求項１の本考案は、フレームと、前記フレームの
一方の端面に設けられるペリクルと、前記フレームの他
方の端面に設けられる接着剤とを備えるペリクルフレー
ムにおいて、前記フレームの他方の端面と前記接着剤と
の間に、前記他方の端面の長手方向と交差する方向に所
定距離離して設けられ、前記他方の端面と前記接着剤と
が接着する少なくとも２つの接着領域と、前記少なくと
も２つの接着領域の間に設けられ、前記他方の端面と前
記接着剤とが接着しない非接着領域とを備えた。

【０００６】請求項２の本考案は、前記接着領域と前記
非接着領域は、前記長手方向に延びて形成されている。
請求項３の本考案は、前記接着剤は、前記フレームを基
板に接着させるための接着面を有し、前記接着面は、前
記長手方向に沿って突出している。請求項４の本考案
は、前記接着面は、凸面である。

【０００７】請求項１の本考案においては、少なくとも
２つの接着領域の間に非接着領域を設けることにより、
非接着領域に異物が存在していても、接着剤に異物が食
い込むことを防止できる。

【０００８】前記接着剤は、前記フレームを基板に接着
させるための接着面を有し、前記接着面は、前記長手方
向に沿って突出しているので、接着剤が潰れやすい。

【０００９】

【実施例】以下、図面を参照して本考案の実施例を説明
する。図１は本考案に係る接着剤付きペリクルフレーム
の第１の実施例を示す図であり、図１（ａ）は平面図、
図１（ｂ）はフレームの伸長方向に垂直な方向の断面図
である。なお、図５と同一の部材には同一符号を付し説
明は省略する。

【００１０】矩形のフレーム２の表面にはペリクル１が
張設されている。また、フレーム２の裏面には硬質の接
着剤３が塗布されている。接着剤３の表面にはフレーム
２の伸長方向と平行にＶ字型の溝が二本形成されてい
る。また凹部、凸部はそれぞれほぼ同じに厚さになって
いる。上述の如く構成された接着剤付きペリクルフレー
ムの接着剤３表面にレチクル４を圧着すると、フレーム
２のコーナー部では、図２（ａ）に示すように、接着剤
３表面の凸部がほとんどつぶれた状態で接着している。
フレーム２の各辺の中央付近にはコーナー部に比べて加
わる力が小さいけれども、コーナー部の変形が大きいの
で、図２（ｂ）に示すように、接着剤３表面の凸部が少
しつぶれた状態で接着する。

【００１１】なお本実施例においては、基板に圧着され
る接着剤の表面にフレームの伸長方向と平行に二本のＶ
字型の溝を形成したが、接着剤表面の凹凸の形状はこれ
に限るものではない。図３は本考案の第２の実施例を示
す図であり、フレームの伸長方向に垂直な方向の断面図
である。なお、図１と同一の部材には同一の符号を付し
説明は省略する。

【００１２】矩形のフレーム２の表面にはペリクル１が
張設されている。また、フレーム２の裏面には硬質の接
着剤３が、フレームの２の伸長方向と平行に二本、線状
に連続的に塗布されている。線状に塗布された接着剤３
はフレーム２の裏面から厚さがほぼ同じになっている。
上述の如く構成された接着剤付きペリクルフレームの接
着剤３の表面にレチクル４を圧着すると、フレーム２の
コーナー部では、図４（ａ）に示すように、接着剤がほ
とんどつぶれた状態で接着している。また、フレーム２
の各辺の中央付近はコーナー部に比べて加わる力が小さ
いが、コーナー部の接着剤のつぶれ方が大きいので、接
着剤の表面が少しつぶれて接着する。

【００１３】なお本実施例においては、フレームの伸長
方向に平行に二本の線状の接着剤を連続的に塗布した
が、接着剤の塗布方法はこれに限らない。

【００１４】

【考案の効果】上述したように、請求項１の本考案によ
れば、少なくとも２つの接着領域の間に非接着領域を設
けることにより、非接着領域に異物が存在していても、
接着剤に異物が食い込むことを防止できる。また、請求
項４の本考案によれば、基板に接着する接着面が長手方
向に沿って突出しているので、接触面がつぶれやすく、
大きな荷重を加えなくてもフレームと基板とを隙間なく
接触できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の接着剤付きペリクルフレームの第１
実施例を示す図である。

【図２】 本考案の第１実施例の接着剤付きペリクルフ
レームのコーナー部と辺部の接着状態を説明する図であ
る。

【図３】 本考案の第２実施例を示す図である。

【図４】 本考案の第２実施例の接着剤付きペリクルフ
レームのコーナー部と辺部の接着状態を説明する図であ
る。

【図５】 従来の接着剤付きペリクルフレームを示す図
である。

【符号の説明】

１ ペリクル ２ フレーム ３、３３ 接着剤 ４ レチクル

Claims (4)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】フレームと、前記フレームの一方の端面に
   設けられるペリクルと、前記フレームの他方の端面に設
   けられる接着剤とを備えるペリクルフレームにおいて、 前記フレームの他方の端面と前記接着剤との間に、前記
   他方の端面の長手方向と交差する方向に所定距離離して
   設けられ、前記他方の端面と前記接着剤とが接着する少
   なくとも２つの接着領域と、前記少なくとも２つの接着
   領域の間に設けられ、前記他方の端面と前記接着剤とが
   接着しない非接着領域とを備えることを特徴とするペリ
   クルフレーム。
2. 【請求項２】前記接着領域と前記非接着領域は、前記長
   手方向に延びて形成されていることを特徴とする請求項
   １に記載のペリクルフレーム。
3. 【請求項３】前記接着剤は、前記フレームを基板に接着
   させるための接着面を有し、前記接着面は、前記長手方
   向に沿って突出していることを特徴とする請求項１に記
   載のペリクルフレーム。
4. 【請求項４】前記接着面は、凸面であることを特徴とす
   る請求項３に記載のペリクルフレーム。